JP2007107937A - プローブカードのプローブ交換方法及びプローブカード - Google Patents
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Abstract
【課題】 プローブのピッチが小さくなっても不良プローブを簡単に交換することが可能なようにする。
【構成】 複数の電気配線20が設けられた配線基板10と、配線基板10上に固着された電気配線20に電気的に接続された複数のプローブ30と、プローブ30のうち破損や磨耗等により不良になった不良プローブ30aを切除した後にその代わりに使用される交換用プローブ40とを具備している。特に交換用プローブ40を電気配線20上に設定した固着領域22に固着するようにしている。
【選択図】 図1
Description
20 電気配線
21 固着領域
22 配置領域
30 プローブ
30a 不良プローブ
40 交換用プローブ
100 交換用プローブ群
Claims (6)
- 交換用プローブの固着領域が設定された配線基板を準備する工程と、配線基板上の不良プローブの一部又は全部を除去する工程と、交換用プローブを配線基板に対して位置合わせし交換用プローブの固着領域上に固着する工程とを備えることを特徴とするプローブカードのプローブ交換方法。
- 請求項1記載のプローブカードのプローブ交換方法において、交換用プローブを配線基板上に取り付けた後に、配線基板上に絶縁性のコーティング材を塗布し、これにより交換用プローブをその先端部分を除いて配線基板への固定のためにコーティングするようにしたことを特徴とするプローブカードのプローブ交換方法。
- 配線基板上に複数の平行な配線が設けられ、各配線上にプローブの配置領域が設けられ、ブローブの配置領域の直線的延長線上の上記配線上に交換用プローブの固着領域が設定され、上記配線上の配置領域に片持ち梁状のプローブが設けられ、上記プローブのうち少なくとも1本が交換用プローブに変更され、上記プローブが上記固着領域に固着されていることを特徴とするプローブカード。
- 請求項3記載のプローブカードにおいて、交換用プローブは配線基板上に取り付けられた状態でその先端部の高さが他のプローブの先端部の高さと一致していることを特徴とするプローブカード。
- 不良プローブの先端部が切除され、不良プローブのベース部分が残存している場合の請求項3又は4記載のプローブカードにおいて、交換用プローブは不良プローブのベース部分の上面に当接していることを特徴とするプローブカード。
- 不良プローブの先端部が切除され、不良プローブのベース部分が残存している場合の請求項3又は4記載のプローブカードにおいて、交換用プローブは不良プローブのベース部分を跨いで配線基板上に当接していることを特徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005297019A JP4849861B2 (ja) | 2005-10-11 | 2005-10-11 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005297019A JP4849861B2 (ja) | 2005-10-11 | 2005-10-11 | プローブカード |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011132475A Division JP2011221031A (ja) | 2011-06-14 | 2011-06-14 | プローブ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007107937A true JP2007107937A (ja) | 2007-04-26 |
JP2007107937A5 JP2007107937A5 (ja) | 2008-11-20 |
JP4849861B2 JP4849861B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=38033919
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005297019A Active JP4849861B2 (ja) | 2005-10-11 | 2005-10-11 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4849861B2 (ja) |
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JP7386138B2 (ja) | 2020-07-06 | 2023-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板 |
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JP4849861B2 (ja) | 2012-01-11 |
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