JP2009068967A - 交換用プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
プローブ交換の際にプローブハンド機構に保持される交換用プローブであって、プローブカードの電極に実装される実装部、上記実装部から延在するアーム部、上記アーム部の先端に設けられ被検査対象物の電極に接触する先端部、プローブハンド機構に保持されるハンドリングプレートから構成される。
【選択図】 図1
Description
2 プローブハンド機構
3 実装部
4 アーム部
5 先端部
6 ハンドリングプレート
7 導電性接着剤
8 プローブ吸着用穴
9 プローブ位置決めピン
10 電極
11 基板
12 凹部
Claims (4)
- プローブ交換の際にプローブハンド機構に保持される交換用プローブであって、プローブカードの電極に実装される実装部、上記実装部から延在するアーム部、上記アーム部の先端に設けられ被検査対象物の電極に接触する先端部、プローブハンド機構に保持されるハンドリングプレートから構成されることを特徴とする交換用プローブ。
- 上記ハンドリングプレートが、アーム部から延びていることを特徴とする請求項1に記載の交換用プローブ。
- 上記ハンドリングプレートが、実装部から延びていることを特徴とする請求項1に記載の交換用プローブ。
- 上記ハンドリングプレートの付け根に、切り口となる凹部が設けられていることを特徴とする請求項2又は3のいずれか1項に記載の交換用プローブ。
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