JP2007088344A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5270192B2 (ja) * 2007-04-16 2013-08-21 アスリートＦａ株式会社 マスクおよびこのマスクを用いた基板の製造方法
JP5183250B2 (ja) * 2007-04-16 2013-04-17 アスリートＦａ株式会社 マスクおよびこのマスクを用いたプリント配線板の製造方法
JP5273428B2 (ja) 2007-08-29 2013-08-28 澁谷工業株式会社 導電性ボール搭載装置
JP5298273B2 (ja) * 2008-01-17 2013-09-25 アスリートＦａ株式会社 ステージおよびこれを用いたボール搭載装置
JP2009295861A (ja) * 2008-06-06 2009-12-17 Shibuya Kogyo Co Ltd 微小ボール搭載装置
JP2011035160A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Hioki Ee Corp 吸着台および球状体搭載装置
JP5553234B2 (ja) * 2010-09-29 2014-07-16 澁谷工業株式会社 導電性ボールの搭載装置
JP5884398B2 (ja) * 2011-10-18 2016-03-15 ウシオ電機株式会社 紫外線照射装置
JP6109609B2 (ja) * 2013-03-14 2017-04-05 Ａｉメカテック株式会社 ハンダボール印刷機およびハンダボール印刷方法
JP7425296B2 (ja) * 2020-02-20 2024-01-31 澁谷工業株式会社 導電性ボール搭載装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3962197B2 (ja) * 2000-03-01 2007-08-22 株式会社日立製作所 バンプ形成システム
JP4130526B2 (ja) * 2000-11-10 2008-08-06 株式会社日立製作所 バンプ形成方法およびその装置
JP3635068B2 (ja) * 2002-03-06 2005-03-30 株式会社日立製作所 バンプ形成装置
JP2003276160A (ja) * 2002-03-22 2003-09-30 Seiko Epson Corp 印刷方法、印刷装置、及び半導体装置

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