CN103177993B - 基板传送装置 - Google Patents

基板传送装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103177993B
CN103177993B CN201210555398.6A CN201210555398A CN103177993B CN 103177993 B CN103177993 B CN 103177993B CN 201210555398 A CN201210555398 A CN 201210555398A CN 103177993 B CN103177993 B CN 103177993B
Authority
CN
China
Prior art keywords
plate
substrate
transfer device
location
driver element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210555398.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103177993A (zh
Inventor
梁相熙
李基雄
金圣进
车恩熙
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
AP Cells Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd, AP Cells Inc filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN103177993A publication Critical patent/CN103177993A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103177993B publication Critical patent/CN103177993B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本申请提供了一种基板传送装置。所述基板传送装置包括：基部，基板放置在所述基部上；支撑单元，所述支撑单元穿过所述基部以支撑所述基板；以及驱动单元，所述驱动单元用于向上或向下移动所述支撑单元。基板传送装置利用支撑单元的薄板支撑基板，从而防止基板因色不均现象而受损。

Description

基板传送装置
技术领域
本发明涉及一种基板传送装置，并且更具体地，涉及一种供应或传送有机发光二极管显示器所用的基板进出室时防止其表面在室中受损以避免基板缺陷的基板传送装置。
背景技术
通常，将具有长边和短边的矩形玻璃基板用做用于平板显示器设备(例如，有机发光二极管显示器)的基板。
这样的玻璃基板经受各种处理(包括清洗、激光退火、曝光和蚀刻)以被制成用于平板显示器设备的基板。
玻璃基板通过供应机器人被传送到上述处理中的每个处理，并且被提供到用于进行相应处理的每个室的基板传送装置，支撑由供应机器人传送的玻璃基板。
标题为“玻璃支撑系统及支撑销结构(GlassSupportSystemandSupportPinStructure)”的韩国专利申请No.2006-0000008A(公布于2006年1月6日)公开了本发明的相关技术。
在相关技术中，因为支撑基板的支撑销具有圆形的横截面，所以基板因基板与支撑销之间的摩擦所致色不均现象(muraphenomenon)而受损。
因此，需要一种克服这种问题的基板传送系统。
发明内容
本发明被构思为解决现有技术中的这种问题，并且本发明的一方面是提供一种基板传送装置，所述基板传送装置利用薄板支撑基板以防止基板受损。
根据本发明的一方面，基板传送装置包括：基部，基板放置在所述基部上；支撑单元，所述支撑单元穿过所述基部以支撑所述基板；以及驱动单元，所述驱动单元用于向上或向下移动所述支撑单元。
所述支撑单元可包括：定位单元，所述定位单元被放置在所述驱动单元上并且通过所述驱动单元向上或向下移动；支柱单元，所述支柱单元被放置在所述定位单元上并且用于支撑所述基板；以及导向单元，所述导向单元被连接到所述定位单元上并且用于限制所述支柱单元的移动。
所述定位单元可包括：定位板，所述定位板被放置在所述驱动单元上并且在所述定位板的上表面上具有安装凹槽；插入棒，所述插入棒从所述定位板的下表面向下突出；以及定位辊子，所述定位辊子从所述定位板的所述下表面向下突出。这里，所述安装凹槽弯曲为在所述安装凹槽的中心部位处具有最低点。
所述支柱单元可包括：支柱构件，所述支柱构件具有与所述安装凹槽相对应的弯曲表面；支柱凸台，所述支柱凸台从所述支柱构件的上侧向上突出并且在所述支柱凸台上纵向形成有板凹槽；以及薄板，所述薄板被插入到所述板凹槽内并且穿过所述基部以支撑所述基板。
所述薄板可具有0.5mm至1.5mm的厚度。
所述导向单元可包括：导向板，所述导向板被连接到所述定位板上并且配置为邻近所述支柱构件的对端(oppositeends)；以及导向凸台，所述导向凸台从所述导向板突出并且配置为邻近所述支柱凸台。
所述驱动单元可包括：固定板，所述固定板具有导向管，所述插入棒插入在所述导向管内；轨道，所述轨道被配置在所述固定板上；斜板，所述斜板沿所述轨道移动并且具有与所述定位辊子接触的斜面；以及长度调节器，所述长度调节器被固定到所述固定板上并且被连接到所述斜板上以具有可变长度。
在根据本发明的基板传送装置中，将薄板与基板接触以最小化基板的接触面积，从而防止基板因色不均现象而受损。
在本发明的基板传送装置中，具有弯曲表面的支柱构件被插入到安装凹槽内并且借助支柱构件的重量保持平衡，从而防止薄板和基部之间的干涉。
附图说明
根据结合附图对实施例进行的以下描述，本发明的上述及其他方面、特征和优点将变得明显，其中：
图1是根据本发明的一实施例的基板传送装置的示意图，其中，基板被放置在基板传送装置的基部上；
图2是根据本发明的该实施例的基板传送装置的示意图，其中，基板与基部分离；
图3是根据本发明的该实施例的基板传送装置的定位单元的示意图；
图4是根据本发明的该实施例的基板传送装置的支撑单元的示意图；
图5是图4的导向单元的示意图；以及
图6是根据本发明的该实施例的基板传送装置的支撑单元的示意性的截面图。
具体实施方式
在下文中，将根据附图描述本发明的示意性的实施例。应当注意的是，附图不是精确的比例，并且为了描述方便以及清楚，线的厚度或部件的尺寸可被放大。如本文中使用的，单数形式“一(a)”、“一(an)”和“该(the)”同样可适合于包括复数形式，除非另外明确地指出。此外，本文中使用的术语通过考虑本申请的功能被限定，并且可以根据使用者或操作者的习惯或意向被改变。因此，应当根据本文中提出的全部申请进行术语的定义。
图1是根据本发明的一实施例的基板传送装置的示意图，其中，基板被放置在基板传送装置的基部上；图2是根据本发明的该实施例的基板传送装置的示意图，其中，基板与基部分离；以及图3是根据本发明的该实施例的基板传送装置的定位单元的示意图。
图4是根据本发明的该实施例的基板传送装置的支撑单元的示意图；图5是图4的导向单元的示意图；以及图6是根据本发明的该实施例的基板传送装置的支撑单元的性的截面图。
参见图1至图6，根据本发明的一实施例的基板传送装置1包括基部10、支撑单元20和驱动单元30。
基部10具有比基板100更大的截面积，以便使基板100能够被放置在基部10上。基部10形成有多个基部孔11，基部孔11具有预定的长度。
基部10被连接到驱动单元30或分开的定位单元上，使得基部10在某一位置处是静止的。
支撑单元20被放置在基部10下方并且通过基部孔11支撑基板100。
支撑单元20被向上或向下移动以将基板100放置在基部10上或将基板100与基部10分离。
驱动单元30被放置在支撑单元20下方并且在向上或向下的方向上移动支撑单元20。
在本发明的该实施例中，支撑单元20包括定位单元40、支柱单元50和导向单元60。
定位单元40被放置在驱动单元30上，以通过驱动单元30得以向上或向下移动。支柱单元50被放置在定位单元40上以支撑基板100。导向单元60被连接到定位单元40上以限制支柱单元50的移动。
在本发明的该实施例中，定位单元40包括定位板41、插入棒42和定位辊子43。
定位板41被配置在基部10和驱动单元30之间，并且被放置在驱动单元30上。定位板41的上表面上形成有安装凹槽44。
安装凹槽44的数量对应于基部孔11的数量，并且每个安装凹槽44被配置在相应的基部孔11的竖直线(verticalline)上。每个安装凹槽44弯曲为在安装凹槽44的中心部位处具有最低点。
插入棒42从定位板41的下表面向下突出。插入棒42被配置在定位板41的每个拐角处。
定位辊子43包括辊子支座431和辊子432，辊子支座431被连接到定位板41的下表面上以向下突出，并且辊子432可旋转地被连接到辊子支座431上。
在本发明的该实施例中，支柱单元50包括支柱构件51、支柱凸台52和薄板53。
支柱构件51被放置于形成在定位板41的上表面上的各个安装凹槽44内。在支柱构件51的下表面上形成与安装凹槽44相对应的弯曲表面54。
这样，当支柱构件51被放置在安装凹槽44中时，支柱构件51借助自身重量保持平衡。
支柱凸台52从支柱构件51的上表面向上突出。沿支柱凸台52的纵向在支柱凸台52的中心部位处限定板凹槽55。
薄板53被插入到板凹槽55内。薄板53穿过相应的基部孔11并且与基板100接触。
固定构件56被连接到支柱凸台52上以固定被插入到板凹槽55内的薄板53。固定构件56被拧紧到支柱凸台52上以压紧薄板53的下侧，或者穿过薄板53以被拧紧到支柱凸台52上。
此外，薄板53可以被插入到板凹槽55内并且通过施加到板凹槽55内的粘合剂被固定到板凹槽55上。
薄板53具有0.5mm至1.5mm的厚度。使薄板53和基板100之间的接触面积最小化，以防止基板100的色不均现象。
薄板53由强度低于基板100的软材料制成。相应地，防止基板100在与薄板53接触时被损坏。
在本发明的该实施例中，导向单元60包括导向板61和导向凸台62。
导向板61被连接到定位板41上。导向板61被配置为靠近支柱构件51的对端，以防止支柱构件51在纵向上偏离。
导向凸台62在支柱构件51的纵向上从每个导向板61突出。导向凸台62被成对地靠近支柱凸台52布置。
因此，在其上安装有薄板53的支柱构件51被移到安装凹槽44中，以使薄板53借助自身重量被配置在竖直线上。
这里，导向单元60防止支柱构件51在纵向上移动并且偏离安装凹槽44。进一步地，导向单元60限制支柱构件51的旋转角度，以防止支柱构件51过度移动。
在本发明的该实施例中，驱动单元30包括固定板31、轨道32、斜板33和长度调节器34。
固定板31被放置在支撑单元20下方并且被固定地安装在固定设备上。
导向管35从固定板31向上突出。导向管35具有管状的形状，并且相应的插入棒42被插入到导向管35内。
因此，当定位板41被向上或向下移动时，插入棒42保持被插入到导向管35内，从而防止定位板41左右移动。
轨道32被配置在固定板31上，并且斜板33沿轨道32移动。斜板33具有斜面36。斜面36与定位辊子43接触。
因此，当斜板33在轨道32的两端之间往复运动时，与斜面36接触的定位辊子43的高度被改变。
由于定位辊子43的高度的变化，连接到定位辊子43上的定位板41被向上或向下移动。
当定位板41被向上或向下移动时，安装在定位板41上的支柱单元50的薄板53的高度被改变，以向上或向下移动基板100。
长度调节器34被固定到固定板31上。长度调节器34被连接到斜板33上并且长度调节器34的长度响应于控制信号而变化。
例如，长度可随液压变化的液压缸被用做长度调节器34。当长度调节器34的长度被改变时，斜板33的位置被改变。
接下来，将描述根据本发明的该实施例的基板传送装置的操作。
斜板33安装为随放置在固定板31的上表面上的轨道32而移动，并且将长度可变的长度调节器34连接到斜板33上。
将定位板41放置在斜板33的上侧上，并且将从定位板41的下表面突出的插入棒42插入到形成在斜板33中的相应的导向管35内。
从定位板41的下表面突出的定位辊子43接触到在斜板33上形成的斜面36。
在定位板41中形成安装凹槽44，并且将支柱构件51插入到相应的安装凹槽44内。被固定地插入有薄板53的支柱凸台52从支柱构件51突出，并且连接到定位板41上的导向单元60限制支柱构件51的移动。
其间，将基部10配置在定位板41上方，并且在基部10中形成基部孔10，使得薄板53穿过相应的基部孔10。
当将基板100放置在基部10上时，将薄板53放置在基部10的下方(见图1)。然后，将每个定位辊子43放置在斜面36的最低点处。
在这种状态下，当改变长度调节器34的长度并且移动斜板33时，将定位辊子43放置在斜面36的较高点处(见图2)。
相应地，定位辊子43向上移动以抬高连接在定位辊子43上的定位板41。
当定位板41被抬高时，安装在定位板41上的支柱单元50的薄板53穿过基部孔11以抬高基板100，从而使基板100能够与基部10分离。
当薄板53被抬高到穿过基部孔11且基部10上未放置基板100时，将由供应机器人传送的基板100放置到薄板53上。
在将由供应机器人传送的基板100放置到薄板53上之后，当薄板53被降低到位于基部10下方时，基板100居于(seated)基部10上。
当薄板53被抬高至升举(lift)放置在基部10上的基板100时，供应机器人将基板100移送到下一处理。
其间，支柱单元50的支柱构件51具有与定位板41的安装凹槽44相对应的弯曲表面54。
因此，当支柱单元50借助自身重量保持平衡时，将薄板53配置在基部孔11的竖直线上，从而防止薄板53在被抬高时受基部10干涉。
尽管已经公开了一些实施例，但是应当理解的是，这些实施例仅以实例说明的方式被给出，并且在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以进行各种修改、变化和改变。本发明的范围应当仅由所附的权利要求书及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种基板传送装置，包括：
基部，基板放置在所述基部上；
支撑单元，所述支撑单元穿过所述基部以支撑所述基板；以及
驱动单元，所述驱动单元用于向上或向下移动所述支撑单元，
其中，所述支撑单元包括：
定位单元，所述定位单元被放置在所述驱动单元上并且通过所述驱动单元向上或向下移动；
支柱单元，所述支柱单元被放置在所述定位单元上并且用于支撑所述基板；
其中，所述定位单元包括：
定位板，所述定位板被放置在所述驱动单元上并且在所述定位板的上表面上具有安装凹槽，所述安装凹槽弯曲为在所述安装凹槽的中心部位处具有最低点。
2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述支柱单元包括：
支柱构件，所述支柱构件具有与所述安装凹槽相对应的弯曲表面；
支柱凸台，所述支柱凸台从所述支柱构件的上侧向上突出并且在所述支柱凸台上纵向形成有板凹槽；以及
薄板，所述薄板被插入到所述板凹槽内并且穿过所述基部以支撑所述基板。
3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其中，所述薄板具有0.5mm至1.5mm的厚度。
4.根据权利要求2所述的基板传送装置，其中，所述支撑单元包括导向单元，所述导向单元被连接到所述定位单元上并且用于限制所述支柱单元的移动，并且所述导向单元包括：
导向板，所述导向板被连接到所述定位板上并且配置为邻近所述支柱构件的对端；以及
导向凸台，所述导向凸台从所述导向板突出并且配置为邻近所述支柱凸台。
5.根据权利要求1所述的基板传送装置，其中，所述定位单元包括：
插入棒，所述插入棒从所述定位板的下表面向下突出；以及
定位辊子，所述定位辊子从所述定位板的所述下表面向下突出，并且
所述驱动单元包括：
固定板，所述固定板具有导向管，所述插入棒插入在所述导向管内；
轨道，所述轨道被配置在所述固定板上；
斜板，所述斜板沿所述轨道移动并且具有与所述定位辊子接触的斜面；以及
长度调节器，所述长度调节器被固定到所述固定板上并且被连接到所述斜板上以具有可变长度。
CN201210555398.6A 2011-12-20 2012-12-19 基板传送装置 Active CN103177993B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110138695A KR101368819B1 (ko) 2011-12-20 2011-12-20 기판 이송장치
KR10-2011-0138695 2011-12-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103177993A CN103177993A (zh) 2013-06-26
CN103177993B true CN103177993B (zh) 2016-03-09

Family

ID=48637763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210555398.6A Active CN103177993B (zh) 2011-12-20 2012-12-19 基板传送装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5575869B2 (zh)
KR (1) KR101368819B1 (zh)
CN (1) CN103177993B (zh)
TW (1) TWI477428B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101958694B1 (ko) 2016-03-03 2019-03-19 에이피시스템 주식회사 Ela 장치용 기판 지지모듈
TWI571420B (zh) * 2016-06-29 2017-02-21 The modified cassette support bar restructuring
CN108328506A (zh) * 2018-03-30 2018-07-27 苏州伊而雅精密部件有限公司 一种升降设备
CN108298457A (zh) * 2018-03-30 2018-07-20 苏州伊而雅精密部件有限公司 一种自动顶升设备
CN109520718A (zh) * 2018-12-25 2019-03-26 江苏省优联检测技术服务有限公司 汽车出风口耐久测试装置
KR102435298B1 (ko) * 2020-07-07 2022-08-24 디앤에이 주식회사 기판 지지장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1530714A (zh) * 2003-03-11 2004-09-22 富士通株式会社 基板粘合装置以及基板粘合方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3823027B2 (ja) * 2001-01-31 2006-09-20 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP2006073876A (ja) * 2004-09-03 2006-03-16 Seiko Epson Corp リフター機構、これを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP4920209B2 (ja) * 2005-07-15 2012-04-18 シーケーディ株式会社 板状ワークの移載装置
JP4692131B2 (ja) * 2005-08-04 2011-06-01 株式会社ニコン ステージ装置及び露光装置
JP2008294100A (ja) * 2007-05-23 2008-12-04 Japan Steel Works Ltd:The 基板保持装置
JP2010064159A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Seiko Epson Corp 吸引保持ハンド
US20120025054A1 (en) * 2009-03-31 2012-02-02 Musha Kazuhiro Holding apparatus, conveying apparatus, and rotation-transmitting apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1530714A (zh) * 2003-03-11 2004-09-22 富士通株式会社 基板粘合装置以及基板粘合方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR101368819B1 (ko) 2014-03-06
JP5575869B2 (ja) 2014-08-20
TWI477428B (zh) 2015-03-21
JP2013131759A (ja) 2013-07-04
TW201335049A (zh) 2013-09-01
KR20130071284A (ko) 2013-06-28
CN103177993A (zh) 2013-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103177993B (zh) 基板传送装置
US20180095265A1 (en) Curved display panel adhering device
US20180178499A1 (en) Bonding Apparatus
TW200624941A (en) Backlight assembly with supporting member and display device having the same
TW200624587A (en) Supporting and lifting device for substrates in vacuum
KR20140090934A (ko) 흡착 반전 장치
JPWO2004096679A1 (ja) 基板浮上装置
KR20150077164A (ko) 라미네이션 장치
KR20190126050A (ko) 판유리의 제조 방법 및 판유리의 스냅핑 장치
MX2012006449A (es) Dispositivo y metodo para la marcacion interna de un articulo de vidrio hueco.
KR102067983B1 (ko) 기판 절단 장치
CN202111071U (zh) 基底校正装置
KR20170006038A (ko) 플렉시블 디스플레이 필름 합착장치
CN104691082B (zh) 一种带升降装置的偏光片贴合机的定位机构
CN207313435U (zh) 一种全方位均匀蚀刻的玻璃蚀刻机
CN205205018U (zh) 一种玻璃裂片机
WO2009037867A1 (ja) 刷版ストッカ
KR102218641B1 (ko) 곡면형 플렉서블 디스플레이 제조용 라미네이터
KR20120079982A (ko) 기판 수직 이송장치
CN219432906U (zh) 停车系统智能物联室内外显示装置
KR101520640B1 (ko) 기판 고정 장치
CN215473765U (zh) 一种超薄光伏玻璃的全自动丝印机
KR101537871B1 (ko) 기판 정렬 장치
KR101021986B1 (ko) 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이빙 장치 및 스크라이브 라인 형성 방법
KR101742497B1 (ko) 글래스 더미 제거장치 및 제거방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.

Effective date: 20131106

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20131106

Address after: Gyeonggi Do, South Korea

Applicant after: Ap Cells Inc.

Applicant after: Samsung Display Co., Ltd.

Address before: Gyeonggi Do, South Korea

Applicant before: Ap Cells Inc.

C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20171103

Address after: Gyeonggi Do city of East China South Beach east beach all 8 road 15-5

Co-patentee after: Samsung Display Co., Ltd.

Patentee after: Ap Cells Inc.

Address before: Gyeonggi Do, South Korea

Co-patentee before: Samsung Display Co., Ltd.

Patentee before: Ap Cells Inc.