KR101537871B1 - 기판 정렬 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 정렬 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 정렬 장치는 상향식 증착에서 기판을 마스크에 정렬하는 기판 정렬 장치에 있어서, 적어도 한 쌍으로 마련되어 기판의 단부가 거치되며, 하방으로 가압되는 가압력을 제공받아 상호 멀어지는 방향 및 하방으로 이동하는 거치부; 승강 가능하게 마련되며, 상기 거치부에 상기 가압력을 제공하는 가압부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 장치의 상하 이동만으로 거치부를 상하 및 좌우로 이동시킴으로써 기판을 거치부상에 정밀하게 거치하여 마스크 상에 정렬시킬 수 있는 기판 정렬 장치가 제공된다.

Description

기판 정렬 장치{APPARATUS FOR ALIGNING A SUBSTRATE}
본 발명은 기판 정렬 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 장치의 상하 이동만으로 거치부를 상하 및 좌우로 이동시킴으로써 기판을 거치부상에 용이하게 거치하여 마스크 상에 정밀하게 정렬시킬 수 있는 기판 정렬 장치에 관한 것이다.
디지털 콘버젼스와 유비쿼터스로 대변되는 정보기술의 혁명으로 전자기기의 발전이 눈부시게 빠르게 진행되고 있다. 이 가운데에 핵심을 이루고 있는 기술 중 하나가 디스플레이 기술이다. 최근에는 보다 뛰어난 시인성, 저비용, 소비전력이 낮은 디스플레이에 대한 요구가 증가된다. 이에 따라, PDP(Plasma Display Panel), 액정 표시 장치(LCD : Liquid Crystal Display)에 이어 유기발광 다이오드(OLED : Organic Light Emitting Diode)가 각광을 받고 있다. 유기발광 다이오드는 전류를 흘려주면 빛을 내는 자발광 디바이스로 응답속도가 액정 표시 장치 대비 천 배 이상 빠르고 시야각이 넓다. 또한, 액정 표시 장치가 필요로 하는 백라이드, 칼라필터 등이 필요없으며, 유연한 디스플레이로 구현이 가능하여 성능 뿐만 아니라 부품 가격 측면에서도 큰 장점을 갖는다.
유기발광 다이오드의 제작시에 사용되는 유기박막은 고진공 상태에서 진공 증착 방식을 이용하여 기판의 표면에 순차적으로 형성된다. 유기발광 다이오드의 full color display를 구현하기 위해서는 고정세의 증착패턴이 필수적이다. 이러한 증착 패턴을 형성하기 위하여 패턴이 형성된의 마스크를 사용한다. 증착 패턴의 정밀도를 향상시키기 위해서는 마스크 자체의 패턴이 정밀하여야 할 뿐만 아니라 기판과 마스크가 기구적으로 정밀하게 정렬(alignment)되는 것이 중요하다.
기판과 마스크를 정렬하기 위하여 거치부 상에 기판을 거치한 뒤, 마스크 상에서 거치해제 함으로써 정렬한다. 이때, 종래에는 거치부를 작동시키기 위하여 거치부가 상하이동 하도록 구동력을 제공하는 모터 등의 구성 및 거치부 좌우이동 하도록 구동력을 제공하는 구성 등이 별도로 요구되었다. 이에 따라, 장치 작동의 비효율성 및 제조 단가의 상승, 유지보수의 어려움 등의 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 장치의 상하이동 만으로 거치동작 또는 거치해제시 거치부의 상하 이동 및 좌우 이동 모두 가능하게 함으로써 비교적 간단한 구성만으로 기판을 마스크 상에 정밀하게 안착할 수 있는 기판 정렬 장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 상향식 증착에서 기판을 마스크에 정렬하는 기판 정렬 장치에 있어서, 적어도 한 쌍으로 마련되어 기판의 단부가 거치되며, 하방으로 가압되는 가압력을 제공받아 상호 멀어지는 방향 및 하방으로 이동하는 거치부; 승강 가능하게 마련되며, 상기 거치부에 상기 가압력을 제공하는 가압부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치에 의하여 달성된다.
여기서, 상기 거치부는, 상기 기판이 거치되는 안착부; 상기 안착부가 설치되며, 승강 가능하게 마련되는 승강부; 상기 승강부와 물리적으로 연결되어 상기 안착부 상호 간의 간격을 조절하며, 상호 가까워지는 방향으로 탄성력이 제공되는 간격 조절부;를 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 가압부 하면에 설치되어 승강 가능하게 마련되는 제1캠을 더 포함하며, 상기 승강부는 상기 제1캠과 접촉되어 상기 가압력을 제공받음으로써 하방으로 이동하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 가압부 하면에 설치되어 승강 가능하게 마련되는 제2캠을 더 포함하며, 상기 간격 조절부는 적어도 일부가 경사면을 형성하며 상기 제2캠과 접촉시 상기 경사면이 가압됨으로써 상호 멀어지는 방향으로 이동하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 거치부는, 일면에는 상기 승강부가 이동 가능하게 설치되며 타면에는 상기 간격 조절부가 설치되는 지지부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
여기서, 샤프트; 상기 샤프트 하단에 설치되며 상면에는 간격 조절부가 슬라이딩 이동 가능하게 설치되는 고정부;를 더 포함하며, 상기 가압부는 상기 샤프트 상에서 슬라이딩 이동 가능하게 마련되어 상기 고정부 측으로 이동함으로써 상기 거치부에 상기 가압력을 제공하는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 마스크는 금속 재질로 마련되며, 상기 고정부에는 상기 기판과 상기 마스크가 밀착되도록 자성체가 설치되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 기판과 접촉되는 상기 고정부의 면은 상기 기판과 접촉 시 정전기가 발생하지 않도록 엠보싱 패턴으로 에칭되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 장치의 상하이동 만으로 거치부의 상하이동 및 좌우이동 모두 가능하게 함으로써 비교적 간단한 구성만으로 기판을 마스크 상에 안착할 수 있는 기판 정렬 장치가 제공된다.
또한, 거치부를 좌우로 이동시키는 구성이 요구되지 않으므로, 비용이 감소되며, 장치의 유지보수가 용이하다.
또한, 한 쌍의 간격 조절부는 상호 가까워지는 방향으로 탄성력이 제공됨으로써, 기판을 거치하기 위하여 간격이 조절된 뒤, 다른 구성 없이 기판을 고정할 수 있다.
또한, 마스크는 금속 재질로 마련되며, 고정부는 인력에 의하여 마스크가 기판에 밀착되도록 자성체가 설치됨으로써, 보다 정밀하게 기판을 마스크에 정렬할 수 있다.
또한, 기판과 접촉되는 고정부의 면은 엠보싱 패턴이 형성됨으로써 기판과 접촉 시 정전기가 발생하지 않는다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 정렬 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1의 기판 정렬 장치의 주요부를 확대한 도면이다.
도 3은 도 1의 기판 정렬 장치의 고정부의 저면사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 정렬 장치의 작동의 개략적인 순서도이다.
도 5는 도 1의 기판 정렬 장치의 기판 준비 단계를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 1의 기판 정렬 장치의 가압부 하강 단계를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 1의 기판 정렬 장치의 가압부 상승 단계를 나타내는 도면이다.
도 8은 도 1의 기판 정렬 장치에 사용되는 기판을 나타내는 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 기판 정렬 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 정렬 장치는 장치의 상하 이동만으로 거치부를 상하 및 좌우로 이동시킴으로써 기판을 거치부상에 용이하게 거치하여 마스크 상에 정밀하게 정렬시키기 위한 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 정렬 장치의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 정렬 장치(100)는 거치부(110)와, 거치부(110)로부터 상측으로 이격되어 설치되는 가압부(120)와, 샤프트(130)와, 샤프트(130) 하단에 설치되며 간격 조절부(113)가 설치되는 고정부(140)와, 가압부(120) 하단에 설치되는 제1캠(150) 및 가압부(120) 하단에 설치되는 제2캠(160)을 포함한다.
도 2는 도 1의 기판 정렬 장치의 주요부를 확대한 도면이다. 도 2를 참조하면, 거치부(110)는 기판(S)을 마스크(M) 상에 정렬시 기판(S)을 거치 및 고정시키기 위한 부재로서 기판(S)의 단부가 거치되는 구성이다. 또한, 거치부(110)는 기판(S)이 용이하게 안착되도록 안착부(111)를 수평방향 및 수직방향으로 이동시키는 구성이다. 여기서, 수평방향은 도 1에 도시된 바와 같이 거치부(110) 상에 안착되는 기판(S)과 나란한 방향 즉, X축 방향이며, 수직방향은 수평방향과 수직한 방향 즉, Y축 방향이다. 거치부(110)는 안착부(111)와, 안착부(111)가 설치되는 승강부(112)와, 간격 조절부(113) 및 일면에는 승강부(112)가 설치되며 타면에는 간격 조절부(113)가 설치되는 지지부(114)를 포함한다.
안착부(111)는 적어도 한 쌍이 마련되어 승강부(112)에 설치되며, 한 쌍의 안착부(111)는 상호 이격되게 배치된다. 즉, 안착부(111)는 복수 개가 각 쌍을 형성하며, 각 쌍을 이루는 안착부(111)는 기판(S)의 단부가 거치되도록 한 쌍으로 마련되는 승강부(112) 각각에 설치되어 상호 이격되며, 나란하게 위치한다.
한편, 안착부(111)의 단부에는 기판(S)의 단부가 거치되는 영역인 접촉부가 형성된다. 이때, 접촉부에는 한 쌍의 안착부(111)가 상호 가까워지는 방향으로 갈수록 높이가 높아지는 경사면이 형성된다. 즉, 접촉부는 안착되는 기판(S)의 양 단부에서 중심부 측으로 갈수록 높이가 높아지는 경사면을 갖는다. 안착부(111)에 기판(S)이 거치되는 경우 기판(S)은 자중에 의해 양 단부에서 중심부 측으로 갈수록 하방으로 기울어지는 처짐현상이 발생한다. 이때, 접촉부는 기판(S)의 양 단부에서 중심부 측으로 갈수록 경사가 높아지도록 형성됨으로써, 안착부(111) 상에 안착된 기판(S)의 양단부를 상방에서 가압하면 접촉부의 경사면으로 인해 기판(S)은 상방으로 휘는 휨력을 받는다. 이 후, 고정부(140)에 의하여 기판(S)의 상면 전체가 가압됨으로써 기판(S)은 정밀하게 안착부(111) 상에 고정된다.
승강부(112)는 기판(S)이 용이하게 안착부(111) 상에 거치되어 고정될 수 있도록 안착부(111)를 수직방향으로 이동시키는 구성이다. 승강부(112)는 한 쌍으로 마련되어 각각의 지지부(114)의 일면에 설치되며, 지지부(114)를 따라 이동 가능하게 마련된다. 또한, 승강부(112)의 상면은 제1캠(150)이 접촉하여 용이하게 수평방향을 따라 이동할 수 있도록 수평방향을 따라 길게 마련된다. 본 실시예에서는 지지부(114)를 따라 슬라이딩 이동하는 슬라이딩부와 제1캠(150)과 접촉되는 스토퍼 각각이 결합되어 승강부(112)를 형성하는 것으로 하였으나, 슬라이딩부와 스토퍼는 일체로 형성될 수도 있다. 한편, 승강부(112)의 하단 즉, 슬라이딩부의 하단에는 안착부(111)가 설치된다. 즉, 승강부(112)는 지지부(114)를 따라 이동함으로써 안착부(111)는 수직방향을 따라 이동한다. 다시 말해, 승강부(112)가 지지부(114)를 따라 이동함으로써, 안착부(111)와 고정부(140) 상호 간의 간격이 조절되어 기판(S)이 용이하게 거치 될 수 있다.
간격 조절부(113)는 기판(S)이 용이하게 안착부(111) 상에 거치되어 고정될 수 있도록 안착부(111)를 수평방향으로 이동시키는 구성이다. 간격 조절부(113)는 한 쌍으로 마련되어 승강부(112)가 설치되는 각각의 지지부(114)의 타면에 설치되며, 지지부(114)에 고정된다. 한편, 간격 조절부(113)의 하면은 고정부(140)의 상면을 따라 이동 가능하게 마련된다. 이때, 간격 조절부(113) 상호 간에는 서로 가까워지는 방향으로 탄성력이 제공된다. 즉, 한 쌍의 간격 조절부(113)는 외부 힘에 의하여 고정부(140) 상에서 상호 멀어지는 방향으로 이동 가능하도록 마련되되, 힘이 가해지지 않는 경우 상호 가까워지는 방향으로 이동하도록 탄성력이 제공된다.
간격 조절부(113)는 적어도 일부가 경사면을 형성한다. 구체적으로, 간격 조절부(113)의 횡단면은 하방으로 갈수록 단면적이 커지도록 경사면을 형성한다. 경사면을 수직방향을 따라 상방에서 가압하면, 고정부(140) 상면을 따라 이동 가능하게 마련된 간격 조절부(113)는 상호 멀어지는 방향으로 이동한다. 다시 말해, 간격 조절부(113)는 일부가 경사면을 형성하며 고정부(140) 상에서 슬라이딩 이동 가능하게 마련되므로, 경사면을 가압하는 경우 한 쌍의 간격 조절부(113)는 상호 멀어지는 방향으로 고정부(140) 상에서 이동한다. 경사면이 가압되지 않는 경우에는 탄성력에 의하여 상호 가까워지는 방향으로 복원된다.
지지부(114)는 일면에는 승강부(112)가 설치되며 타면에는 간격 조절부(113)가 설치되는 구성이며, 수직방향을 따라 길게 형성된다. 승강부(112)가 설치되는 지지부(114)의 일면은 승강부(112)가 수직방향을 따라 이동할 수 있도록 마련된다. 또한, 간격 조절부(113)가 설치되는 지지부(114)의 타면은 간격 조절부(113)와 고정된다. 따라서, 지지부(114)는 고정부(140) 상면에 설치되는 간격 조절부(113)에 고정되어 간격 조절부(113)가 수평방향을 따라 슬라이딩 이동하는 경우 함께 이동한다.
가압부(120)는 거치부(110) 상면에 수직방향을 따라 하방으로 가압되는 가압력을 제공하는 구성이다. 가압부(120)는 평판 형상으로 마련되며, 샤프트(130)를 관통하여 설치되어 샤프트(130) 상에서 슬라이딩 이동 가능하게 마련된다. 한편, 가압부(120)의 하면에는 각각 한 쌍의 제1캠(150) 및 제2캠(160)이 설치된다. 즉, 가압부(120)는 샤프트(130)를 따라 고정부(140) 측으로 이동함으로써 제1캠(150) 및 제2캠(160)이 각각 승강부(112) 및 간격 조절부(113)와 접촉되어 거치부(110)에 가압력을 제공한다.
샤프트(130)는 가압부(120)와 고정부(140)를 상호 연결하는 구성이다. 샤프트(130)는 별도의 구성(미도시)에 의하여 수직방향으로 이동 가능하게 마련된다.
고정부(140)는 안착부(111) 상에 거치된 기판(S)을 가압하여 기판(S)의 처짐 현상을 해결하고, 기판(S)을 고정하기 위한 구성이다. 고정부(140)는 평판 형상으로 마련되며 샤프트(130)의 하단에 설치된다. 한편, 고정부(140)의 상면에는 간격 조절부(113)가 슬라이딩 이동 가능하게 설치된다. 고정부(140)와 가압부(120)는 상호 이격되어 설치되되, 하면에 제1캠(150) 및 제2캠(160)이 설치된 가압부(120)가 샤프트(130)를 따라 고정부(140) 측으로 이동한다. 이로 인해, 고정부(140) 상면에 설치된 승강부(112) 및 간격 조절부(113)가 가압되어 안착부(111)는 수평방향 및 수직방향을 따라 이동된다. 한편, 고정부(140)의 하면에는 기판(S)의 처짐현상을 보다 용이하게 해결할 수 있도록 접촉부의 경사면과 대응되는 경사면을 갖는 돌출부가 형성되는 것이 바람직하다. 돌출부는 고정부(140)의 하면으로부터 돌출되되, 가압시 고정부(140) 내부로 수용되도록 마련된다.
도 3은 도 1의 기판 정렬 장치의 고정부의 저면사시도이다. 도 3을 참조하면, 고정부(140)의 내부에는 자성체(141)가 설치된다. 고정부(140)는 기판(S)과 접촉한 상태로 하강하여 마스크(M)에 접촉된다. 이때, 마스크(M)는 금속 재질로 마련되므로, 자성체(141)의 인력에 의하여 기판(S) 측으로 밀착된다. 이로 인해, 기판(S)과 마스크(M)의 보다 정밀한 정렬이 가능하다. 또한, 고정부(140)의 하면, 즉, 기판(S)과 접촉하는 면에는 엠보싱 패턴(142)이 형성된다. 엠보싱 패턴(142)을 갖도록 에칭됨으로써 고정부(140)와 기판(S)이 접촉되는 경우 정전기 등이 발생하지 않는다.
제1캠(150)은 승강부(112)를 가압하여 승강부(112)를 지지부(114) 상에서 이동시키기 위한 구성이다. 가압부(120)의 하강에 의하여 제1캠(150)은 승강부(112)의 상면 즉, 스토퍼의 상면에 접촉된다. 제1캠(150)이 제공하는 가압력에 의해 안착부(111)와 고정부(140) 간의 간격이 넓어지며, 이로 인해 기판(S)이 거치부(110) 상에 용이하게 거치된다. 승강부(112)는 수직방향 뿐만 아니라 간격 조절부(113)에 의하여 수평방향으로도 이동한다. 이때, 제1캠(150)은 원형으로 마련됨으로써 승강부(112)가 용이하게 이동한다.
제2캠(160)은 간격 조절부(113)를 수평방향으로 이동시키기 위한 구성이다.가압부(120)의 하강에 의하여 제2캠(160)은 간격 조절부(113)의 경사면에 접촉된다. 제2캠(160)은 간격 조절부(113)에 형성된 경사면을 가압함으로써 한 쌍의 간격 조절부(113)는 상호 멀어지는 방향으로 이동한다. 이로 인해, 각 쌍의 거치부(110) 상호 간의 간격이 넓어지므로 기판(S)은 용이하게 거치부(110) 상에 거치된다.
지금부터는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 정렬 장치의 작동에 대하여 설명한다. 도 4는 도 1의 기판 정렬 장치의 작동의 개략적인 순서도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 정렬 장치(100)의 작동은 기판 준비단계(S110)와 가압부 하강단계(S120)와 가압부 상승단계(S130) 및 승강부 상승단계(S140)를 포함한다.
도 5는 도 1의 기판 정렬 장치의 기판 준비 단계를 나타내는 도면이다. 도 5를 참조하면, 기판 준비 단계(S110)는 별도의 기판 이송 장치(미도시)를 통하여 기판 정렬 장치(100) 내부로 기판(S)을 배치하는 단계이다. 기판(S)을 직접적으로 안착부(111) 상에 안착하는 경우 기판(S)을 이동시키는 과정에서 기판(S)과 안착부(111) 간의 접촉 등에 의하여 기판(S)이 손상될 수 있다. 따라서, 본 단계에서 기판(S)은 안착부(111)와 마스크(M) 사이의 공간에 배치된다.
도 6은 도 1의 기판 정렬 장치의 가압부 하강 단계를 나타내는 도면이다. 가압부 하강 단계(S120)는 수평 이동 단계(S121)와 수직 이동 단계(S122)를 포함한다. 도 6을 참조하면, 가압부 하강 단계(S110)는 기판(S)을 안착부(111) 상에 용이하게 거치하기 위하여 안착부(111)와 고정부(140) 사이의 공간을 확대하는 단계이다. 별도의 구동부(미도시)에 의하여 가압부(120)가 샤프트(130)를 따라 하강한다. 즉, 가압부(120)가 수직방향을 따라 하방으로 슬라이딩 이동한다. 가압부(120) 하면에 설치된 제1캠(150) 및 제2캠(160)은 각각 거치부(110)의 승강부(112) 및 간격 조절부(113)에 접촉한다. 구체적으로, 제1캠(150)은 승강부(112)의 스토퍼의 상면에 접촉하며, 제2캠(160)은 간격 조절부(113)의 경사면에 접촉한다. 구동부(미도시)에 의하여 가압부(120)는 수직방향을 따라 계속적으로 하강하며, 따라서, 제2캠(160)은 간격 조절부(113)의 경사면을 가압한다. 간격 조절부(113)는 하방으로 갈수록 횡단면적이 넓어지도록 경사면이 형성되므로, 제2캠(160)이 경사면을 가압하면 한 쌍의 간격 조절부(113)는 상호 멀어지는 방향으로 이동한다. 즉, 제2캠(160)이 간격 조절부(113)의 경사면을 가압하면, 간격 조절부(113)는 고정부(140)의 상면에서 상호 멀어지는 방향으로 이동한다. 한편, 스토퍼는 상면이 수평방향을 따라 길게 형성되며, 제1캠(150)은 원형으로 마련되므로 승강부(112) 또한 간격 조절부(113)와 함께 이동한다.
간격 조절부(113)는 고정부(140) 상면을 따라 이동 가능하게 마련되므로, 구동부(미도시)에 의하여 가압부(120)가 수직방향을 따라 계속적으로 하강하여도 간격 조절부(113)가 고정부(140)의 단부에 위치하면 간격 조절부(113)의 이동이 정지된다. 이 때, 승강부(112)는 지지부(114)를 따라 수직방향으로 이동 가능하게 마련되므로, 가압부(120)의 가압력에 의해 승강부(112)는 지지부(114)를 따라 하강한다. 이때, 승강부(112)는 기판 배치 단계(S110)에서 배치된 기판(S)이 접촉부와 나란해질 때까지 하강한다.
즉, 가압부(120)가 하강하여 거치부(110)에 가압력을 제공하면, 경사면에 의해 간격 조절부(113) 상호 간의 간격이 넓어지게 되며, 승강부(112)의 하강에 의해 안착부(111)와 고정부(140) 사이의 공간이 확대된다.
도 7은 도 1의 기판 정렬 장치의 가압부 상승단계를 나타내는 도면이다. 도 7을 참조하면, 가압부 상승단계(S130)는 거치부(110) 상에 기판(S)을 정밀하게 거치하는 단계이다. 가압부 하강 단계(S120)에서 안착부(111)의 접촉부가 기판(S)과 나란해질 때까지 하강하면, 가압부(120)는 상승한다. 간격 조절부(113)는 고정부(140) 상면에서 이동 가능하게 마련되되, 한 쌍의 간격 조절부(113) 상호는 서로 가까워지는 방향으로 탄성력이 제공된다. 따라서, 가압부(120)가 상승하게 되면 더 이상 경사면으로의 가압은 없으며, 탄성력에 의하여 제2축 이동부(122)는 상호 가까워지는 방향으로 이동한다. 한편, 승강부(112)에는 탄성력이 제공되지 않으므로 가압부(120)가 상승하더라도 승강부(112)는 이동하지 않는다.
간격 조절부(113)와 지지부(114) 및 승강부(112)는 물리적으로 연결되어 있으므로, 간격 조절부(113)의 이동에 의해 각 쌍의 안착부(111)는 상호 가까워지는 방향으로 이동한다. 가압부 하강 단계(S120)에서 승강부(112)는 접촉부 기판(S)과 나란해질 때까지 하강하므로, 가압부(120)가 상승하게 되면 간격 조절부(113)의 이동에 의해 기판(S)은 접촉부에 정밀하게 거치된다. 즉, 기판(S)의 양단부는 복수 개의 안착부(111)에 거치된다.
도 8은 도 1의 기판 정렬 장치의 승강부 상승단계를 나타내는 도면이다. 도 8을 참조하면 승강부 상승단계(S140)는 마스크(M) 상에 기판(S)을 정렬하기 전 거치부(110) 상에 거치된 기판(S)을 고정하는 단계이다. 안착부(111)에는 기판(S)의 양단이 거치되므로 기판(S)의 중심부는 자중에 의하여 하방으로 처지는 처짐현상이 발생한다. 이때, 접촉부는 거치된 기판(S)의 중심부 방향으로 갈수록 높이가 높아지는 경사면이 형성된다. 또한, 고정부(140)의 하면으로부터 돌출되며 접촉부에 대응되는 돌출부에도 기판(S)의 중심부 방향으로 갈수록 높이가 높아지는 경사면이 형성된다. 별도의 구동부(미도시)에 의하여 승강부(112)를 상방으로 이동시키면 기판(S)의 양 단부는 먼저 접촉부와 돌출부 사이에 맞물리게 된다. 승강부(112)의 계속적인 상승으로 인해 기판(S)에는 상방으로의 휘는 힘이 가해지며 기판(S)은 단부에서 중심부 측으로 갈수록 경사가 높아지는 경사면이 형성된다. 이 후 거치부(110)는 기판(S)의 양단이 상호 멀어지는 방향으로 이동하여 기판(S)을 인장시킨다. 이 후 승강부(112)의 계속적인 상승으로 인해 기판(S) 전체가 고정부(140) 측으로 가압됨으로써 기판(S)은 균일하게 고정된다. 한편, 고정부(140)의 하면은 엠보싱 패턴(142)을 갖도록 에칭되므로, 고정부(140)와 기판(S)이 접촉할 때 정전기 등이 발생하지 않는다.
이후, 샤프트(130)를 하강시킴으로써 고정부(140)와 기판(S)이 함께 마스크(M) 측으로 이동한다. 고정된 기판(S)의 위치를 조절한 뒤 마스크(M) 상에 정렬한다. 마스크(M)는 금속 재질로 마련되며, 고정부(140)에는 자성체(141)가 설치되므로, 자성체(141)의 인력에 의해 마스크(M)는 고정부(140) 측 즉, 기판(S) 측으로 밀착되어 보다 정교하게 기판(S)과 마스크(M)가 정렬된다.
따라서, 본 발명에 따르면 장치의 상하 이동만으로 거치부를 상하 및 좌우로 이동시킴으로써 기판을 거치부 상에 정밀하게 거치하여 마스크 상에 정렬시킬 수 있는 기판 정렬 장치가 제공된다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100 : 기판 정렬 장치 110 : 거치부
111 : 안착부 112 : 승강부
113 : 간격 조절부 114 : 지지부
120 : 가압부 130 : 샤프트
140 : 고정부 141 : 자성체
150 : 제1캠 160 : 제2캠
S : 기판 M : 마스크
E : 엠보싱 패턴 S110 : 기판 준비 단계
S120 : 가압부 하강 단계 S130 : 가압부 상승 단계
S140 : 승강부 상승 단계

Claims (8)

  1. 상향식 증착에서 기판을 마스크에 정렬하는 기판 정렬 장치에 있어서,
    적어도 한 쌍으로 마련되어 기판의 단부가 거치되며, 하방으로 가압되는 가압력을 제공받아 상호 멀어지는 방향 및 하방으로 이동하는 거치부;
    승강 가능하게 마련되며, 상기 거치부에 상기 가압력을 제공하는 가압부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 거치부는,
    상기 기판이 거치되는 안착부; 상기 안착부가 설치되며, 승강 가능하게 마련되는 승강부; 상기 승강부와 물리적으로 연결되어 상기 안착부 상호 간의 간격을 조절하며, 상호 가까워지는 방향으로 탄성력이 제공되는 간격 조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가압부 하면에 설치되어 승강 가능하게 마련되는 제1캠을 더 포함하며,
    상기 승강부는 상기 제1캠과 접촉되어 상기 가압력을 제공받음으로써 하방으로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가압부 하면에 설치되어 승강 가능하게 마련되는 제2캠을 더 포함하며,
    상기 간격 조절부는 적어도 일부가 경사면을 형성하며 상기 제2캠과 접촉시 상기 경사면이 가압됨으로써 상호 멀어지는 방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 거치부는, 일면에는 상기 승강부가 이동 가능하게 설치되며 타면에는 상기 간격 조절부가 설치되는 지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    샤프트; 상기 샤프트 하단에 설치되며 상면에는 간격 조절부가 슬라이딩 이동 가능하게 설치되는 고정부;를 더 포함하며,
    상기 가압부는 상기 샤프트 상에서 슬라이딩 이동 가능하게 마련되어 상기 고정부 측으로 이동함으로써 상기 거치부에 상기 가압력을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 마스크는 금속 재질로 마련되며,
    상기 고정부에는 상기 기판과 상기 마스크가 밀착되도록 자성체가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기판과 접촉되는 상기 고정부의 면은 상기 기판과 접촉 시 정전기가 발생하지 않도록 엠보싱 패턴으로 에칭되는 것을 특징으로 하는 기판 정렬 장치.
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