JP5575869B2 - 基板移送装置 - Google Patents

基板移送装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5575869B2
JP5575869B2 JP2012278173A JP2012278173A JP5575869B2 JP 5575869 B2 JP5575869 B2 JP 5575869B2 JP 2012278173 A JP2012278173 A JP 2012278173A JP 2012278173 A JP2012278173 A JP 2012278173A JP 5575869 B2 JP5575869 B2 JP 5575869B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
support
substrate
base
mounting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012278173A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2013131759A (ja
Inventor
サンヒ ヤン
キウン イ
ソンジン キム
ウンヒ チャ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of JP2013131759A publication Critical patent/JP2013131759A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5575869B2 publication Critical patent/JP5575869B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、基板移送装置に関し、より詳細には、有機発光ダイオードディスプレイに使用される基板を搬入又は搬送するチャンバーで基板の表面に対する損傷を抑制し、基板の不良を防止する基板移送装置に関する。
一般に、有機発光ダイオードディスプレイ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ Ｄｉｓｐｌａｙ）などの平板表示装置の基板としては、長辺及び短辺を有する矩形状のガラス基板が使用される。
このようなガラス基板は、洗浄工程、レーザーアニーリング工程、露光工程及びエッチング工程などの多様な工程を経ながら平板表示装置の基板に製造される。
ガラス基板は、移送用ロボットによって各工程に移送され、各工程が実施されるチャンバーに設置される基板移送装置は、移送用ロボットを通して搬入されたガラス基板を支持する。
一方、本発明の背景技術は、特許文献１（２００６年０１月０６日公開、発明の名称：ガラス支持システム及び支持ピン構造）に開示されている。
大韓民国公開特許公報２００６―００００００８号
従来は、基板を支持する支持ピンの断面が円状であるので、基板と支持ピンとの間の摩擦によって基板にムラが発生するという問題がある。
したがって、これを改善する必要性が要請される。
本発明は、前記のような問題点を改善するためになされたもので、薄い板で基板を支持し、基板の損傷を防止する基板移送装置を提供することを目的とする。
前記のような目的を達成するために、本発明は、基板が載置されるベース部；前記ベース部を貫通して前記基板を支持する支持部；及び前記支持部を上下方向に移動させる駆動部；を含み、前記支持部は、前記駆動部に載置され、前記駆動部によって上下に移動する載置部；及び前記載置部に載置され、前記基板を支持する支え部；を含み、前記載置部は、前記駆動部に載置され、上側面に形成され、中央が低点になるように曲率を有する設置溝が形成される載置板を含み、前記支え部は、前記設置溝に対応する曲面を有する支え台；前記支え台の上側から上方に突出形成され、板溝が長さ方向に形成される支え突起；及び前記板溝に挿入され、前記ベース部を貫通して前記基板を支持する薄板；を含むことを特徴とする基板移送装置を提供する。
前記支持部は、前記載置部に結合され、前記支え部の移動を制限するガイド部；を含むことを特徴とする。
前記載置部は、前記載置板の底面から下方に突出形成される挿入棒；及び前記載置板の底面から下方に突出形成される載置ローラー；を含むことを特徴とする。
前記薄板の厚さは０.５ｍｍ〜１．５ｍｍであることを特徴とする。
前記ガイド部は、前記載置板に結合され、前記支え台の両端部に近接配置されるガイド板；及び前記ガイド板から突出形成され、前記支え突起に隣接するように配置されるガイド突起；を含むことを特徴とする。
前記駆動部は、前記挿入棒が挿入される案内管が形成される固定板；前記固定板に設置されるレール；前記レールに沿って移動し、傾斜面が前記載置ローラーに接触する傾斜板；及び前記固定板に固定設置され、前記傾斜板に結合されて長さを可変にする長さ調節器；を含むことを特徴とする。
本発明に係る基板移送装置は、薄板と基板との接触によって接触面積が最小化されることによって、基板のムラ現象を抑制するという効果がある。
本発明に係る基板移送装置は、設置溝に曲面を有する支え台が挿入されることによって、支え台が自重によって自体的に均衡を維持し、薄板とベース部との間の干渉を防止するという効果がある。
本発明の一実施例に係る基板移送装置のベース部に基板が載置された状態を概略的に示す図である。 本発明の一実施例に係る基板移送装置のベース部から基板が離隔した状態を概略的に示す図である。 本発明の一実施例に係る基板移送装置における載置部を概略的に示す図である。 本発明の一実施例に係る基板移送装置における支え部を概略的に示す図である。 図４におけるガイド部が配置された状態を概略的に示す図である。 本発明の一実施例に係る基板移送装置における支持部の連結関係を概略的に示す断面図である。
以下、添付の各図面を参照して本発明に係る基板移送装置の実施例を説明する。このような過程で図面に示した各線の太さや構成要素の大きさなどは、説明の明瞭性と便宜上、誇張して図示する場合がある。また、後述する用語は、本発明での機能を考慮して定義された用語であって、これは、使用者及び運用者の意図又は慣例によって変わり得る。したがって、これら用語は、本明細書全般にわたる内容に基づいて定義しなければならない。
図１は、本発明の一実施例に係る基板移送装置のベース部に基板が載置された状態を概略的に示す図で、図２は、本発明の一実施例に係る基板移送装置のベース部から基板が離隔した状態を概略的に示す図で、図３は、本発明の一実施例に係る基板移送装置における載置部を概略的に示す図である。
図４は、本発明の一実施例に係る基板移送装置における支え部を概略的に示す図で、図５は、図４におけるガイド部が配置された状態を概略的に示す図で、図６は、本発明の一実施例に係る基板移送装置における支持部の連結関係を概略的に示す断面図である。
図１〜図６を参照すると、本発明の一実施例に係る基板移送装置１には、ベース部１０、支持部２０及び駆動部３０が備えられる。
ベース部１０は、基板１００を載置するために基板１００より広い断面積を有する。このようなベース部１０には、一定の長さを有するベースホール１１が複数形成される。
ベース部１０は、駆動部３０又は別途の位置固定手段に結合され、位置が固定された状態を維持する。
支持部２０は、ベース部１０の下方に位置し、ベースホール１１を貫通して基板１００を支持する。
このような支持部２０は、上下に移動しながら基板１００をベース部１０に載置させたり、ベース部１０に載置された基板１００をベース部１０から離隔させる。
駆動部３０は、支持部２０の下方に位置し、支持部２０を上下方向に移動させる。
本発明の一実施例に係る支持部２０には、載置部４０、支え部５０及びガイド部６０が備えられる。
載置部４０は、駆動部３０に載置され、駆動部３０によって上下方向に移動する。支え部５０は、載置部４０に載置され、基板１００を支持する。ガイド部６０は、載置部４０に結合され、支え部５０の移動を制限する。
本発明の一実施例に係る載置部４０には、載置板４１、挿入棒４２及び載置ローラー４３が備えられる。
載置板４１は、ベース部１０と駆動部３０との間に配置され、駆動部３０に載置される。このような載置板４１の上側面には設置溝４４が形成される。
設置溝４４は、ベースホール１１の個数に対応し、ベースホール１１の垂直線上に配置される。このような設置溝４４は、中央が低点になるように曲率を有する。
挿入棒４２は、載置板４１の底面から下方に突出形成される。このような挿入棒４２は載置板４１のコーナー部分にそれぞれ配置される。
載置ローラー４３には、載置板４１の底面に結合され、下方に突出形成されるローラー支持台４３１、及びローラー支持台４３１に回転可能に結合されるローラー４３２が備えられる。
本発明の一実施例に係る支え部５０には、支え台５１、支え突起５２及び薄板５３が備えられる。
支え台５１は、載置板４１の上側面に形成される設置溝４４に載置される。このような支え台５１の底面には、設置溝４４に対応する曲面５４が形成される。
このように設置溝４４に支え台５１が載置されると、自重によって支え台５１が均衡を維持する。
支え突起５２は、支え台５１の上側面から上方に突出形成される。このような支え突起５２の中央部には、支え突起５２の長さ方向に板溝５５が形成される。
薄板５３は板溝５５に挿入される。このような薄板５３は、ベースホール１１を貫通して基板１００と接触する。
板溝５５に挿入された薄板５３を固定させるために、固定体５６が支え突起５２に結合される。このような固定体５６は、支え突起５２にねじ結合されて薄板５３の下端部を加圧したり、薄板５３を貫通して支え突起５２にねじ結合される。
さらに、薄板５３は、板溝５５に投入された接着物質によって板溝５５に挿入されて固定され得る。
薄板５３は、０.５ｍｍ〜１.５ｍｍの厚さを有する。このような薄板５３と基板１００との接触面積が最小化され、基板１００のムラ現象が抑制される。
また、薄板５３は、基板１００より強度の低い軟性材質を含んで構成される。その結果、薄板５３と基板１００との接触過程における基板１００の損傷が抑制される。
本発明の一実施例に係るガイド部６０には、ガイド板６１及びガイド突起６２が備えられる。
ガイド板６１は載置板４１に結合される。このようなガイド板６１は、支え台５１の両端部にそれぞれ近接配置され、支え台５１が長さ方向に離脱することを防止する。
ガイド突起６２は、ガイド板６１から支え台５１の長さ方向に突出形成される。このようなガイド突起６２は、一対からなり、支え突起５２に隣接するように配置される。
したがって、薄板５３が装着された支え台５１は、設置溝４４で遊動しながら自重によって薄板５３を垂直線上に配置させる。
このとき、ガイド部６０は、支え台５１が長さ方向に移動して設置溝４４から離脱することを防止する。また、ガイド部６０は、支え台５１の回転角を制限して支え台５１が過度に遊動することを防止する。
本発明の一実施例に係る駆動部３０には、固定板３１、レール３２、傾斜板３３及び長さ調節器３４が備えられる。
固定板３１は、支持部２０の下方に位置し、固定物に装着されて固定された状態を維持する。
固定板３１には、案内管３５が上方に突出形成される。このような案内管３５は管状をなしており、この案内管３５に挿入棒４２が挿入される。
したがって、載置板４１が上下に移動するとき、挿入棒４２が案内管３５に挿入された状態を維持することによって、載置板４１の左右遊動が抑制される。
レール３２は固定板３１に設置され、傾斜板３３はレール３２に沿って移動する。傾斜板３３には傾斜面３６が形成される。このような傾斜面３６は載置ローラー４３と接触する。
したがって、傾斜板３３がレール３２の一端部から他端部に往復移動すると、傾斜面３６と接触した載置ローラー４３の高低が変わる。
載置ローラー４３の高低変化により、載置ローラー４３と結合された載置板４１が上下に移動する。
載置板４１が上下に移動すると、載置板４１に装着された支え部５０の薄板５３の高低が変化し、基板１００を上下に移動させる。
長さ調節器３４は固定板３１に固定設置される。このような長さ調節器３４は傾斜板３３に結合され、制御部の制御信号に従って長さが可変になる。
例えば、長さ調節器３４としては、油圧によって長さが可変になる油圧シリンダーを使用する。このような長さ調節器３４の長さ変化によって傾斜板３３の位置が変わる。
以下では、前記のような構造を有する本発明の一実施例に係る基板移送装置の作用を説明する。
固定板３１の上側面に形成されるレール３２に沿って移動するように傾斜板３３が設置され、傾斜板３３には、長さが変化する長さ調節器３４が結合される。
傾斜板３３の上方には載置板４１が位置し、載置板４１の底面から突出する挿入棒４２は、傾斜板３３に形成される案内管３５に挿入される。
また、載置板４１の底面から突出する載置ローラー４３は、傾斜板３３に形成される傾斜面３６に接触する。
載置板４１には設置溝４４が形成され、設置溝４４には支え台５１が挿入される。支え台５１には、薄板５３を挿入固定するための支え突起５２が突出形成され、載置板４１に結合されるガイド部６０が支え台５１の遊動を制限する。
一方、載置板４１の上方にはベース部１０が配置され、ベース部１０には薄板５３が貫通するようにベースホール１１が形成される。
基板１００がベース部１０に載置される場合、薄板５３はベース部１０の下側に位置する（図１参照）。このとき、載置ローラー４３は、傾斜面３６の低点に位置する。
上記のような状態で、長さ調節器３４の長さが変化して傾斜板３３が移動すると、載置ローラー４３は傾斜面３６の高点に位置する（図２参照）。
これによって、載置ローラー４３は上方に移動し、これと結合された載置板４１を上昇させる。
載置板４１が上昇すると、載置板４１に装着された支え部５０の薄板５３がベースホール１１を貫通して基板１００を持ち上げるので、ベース部１０から基板１００が離隔する。
ベース部１０に基板１００が載置されていない状態で薄板５３が上昇してベースホール１１を貫通すると、移送用ロボットを通して移送された基板１００が薄板５３に載置される。
移送用ロボットを通して移送された基板１００が薄板５３に載置された後、薄板５３が下降してベース部１０の下側に位置すると、基板１００がベース部１０に載置される。
ベース部１０に基板１００が載置された状態で薄板５３が上昇して基板１００を持ち上げると、移送用ロボットが基板１００を次の工程に移動させる。
一方、支え部５０の支え台５１には、載置板４１の設置溝４４に対応する曲面５４が形成される。
したがって、支え部５０の自重によって支え台５１が均衡を維持すると、薄板５３がベースホール１１と垂直線上に配置されるので、薄板５３が上昇しながらベース部１０と干渉し合うことを防止する。
本発明は、図面に示した実施例を参考にして説明したが、これは例示的なものに過ぎなく、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解できるだろう。
したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、下記の特許請求の範囲によって定められなければならない。
１０：ベース部、２０：支持部、３０：駆動部、３１：固定板、３２：レール、３３：傾斜板、３４：長さ調節器、４０：載置部、４１：載置板、４２：挿入棒、５０：支え部、５１：支え台、５２：支え突起、５３：薄板、５４：曲面、６０：ガイド部、６１：ガイド板、６２：ガイド突起

Claims (6)

  1. 基板が載置されるベース部；
    前記ベース部を貫通して前記基板を支持する支持部；及び
    前記支持部を上下方向に移動させる駆動部；
    を含み、
    前記支持部は、
    前記駆動部に載置され、前記駆動部によって上下に移動する載置部；及び
    前記載置部に載置され、前記基板を支持する支え部；
    を含み、
    前記載置部は、前記駆動部に載置され、上側面に形成され、中央が低点になるように曲率を有する設置溝が形成される載置板を含み、
    前記支え部は、
    前記設置溝に対応する曲面を有する支え台；
    前記支え台の上側から上方に突出形成され、板溝が長さ方向に形成される支え突起；及び
    前記板溝に挿入され、前記ベース部を貫通して前記基板を支持する薄板；
    を含むことを特徴とする基板移送装置。
  2. 前記支持部は、
    前記載置部に結合され、前記支え部の移動を制限するガイド部；を含むことを特徴とする、請求項１に記載の基板移送装置。
  3. 前記載置部は、
    前記載置板の底面から下方に突出形成される挿入棒；及び
    前記載置板の底面から下方に突出形成される載置ローラー；を含むことを特徴とする、請求項１に記載の基板移送装置。
  4. 前記薄板の厚さは０.５ｍｍ〜１.５ｍｍであることを特徴とする、請求項１に記載の基板移送装置。
  5. 前記ガイド部は、
    前記載置板に結合され、前記支え台の両端部に近接配置されるガイド板；及び
    前記ガイド板から突出形成され、前記支え突起に隣接するように配置されるガイド突起；を含むことを特徴とする、請求項２に記載の基板移送装置。
  6. 前記駆動部は、
    前記挿入棒が挿入される案内管が形成される固定板；
    前記固定板に設置されるレール；
    前記レールに沿って移動し、傾斜面が前記載置ローラーに接触する傾斜板；及び
    前記固定板に固定設置され、前記傾斜板に結合されて長さが可変になる長さ調節器；を含むことを特徴とする、請求項３に記載の基板移送装置。
JP2012278173A 2011-12-20 2012-12-20 基板移送装置 Active JP5575869B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110138695A KR101368819B1 (ko) 2011-12-20 2011-12-20 기판 이송장치
KR10-2011-0138695 2011-12-20

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013131759A JP2013131759A (ja) 2013-07-04
JP5575869B2 true JP5575869B2 (ja) 2014-08-20

Family

ID=48637763

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012278173A Active JP5575869B2 (ja) 2011-12-20 2012-12-20 基板移送装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5575869B2 (ja)
KR (1) KR101368819B1 (ja)
CN (1) CN103177993B (ja)
TW (1) TWI477428B (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101958694B1 (ko) 2016-03-03 2019-03-19 에이피시스템 주식회사 Ela 장치용 기판 지지모듈
TWI571420B (zh) * 2016-06-29 2017-02-21 The modified cassette support bar restructuring
CN108298457A (zh) * 2018-03-30 2018-07-20 苏州伊而雅精密部件有限公司 一种自动顶升设备
CN108328506A (zh) * 2018-03-30 2018-07-27 苏州伊而雅精密部件有限公司 一种升降设备
CN109520718A (zh) * 2018-12-25 2019-03-26 江苏省优联检测技术服务有限公司 汽车出风口耐久测试装置
KR102435298B1 (ko) * 2020-07-07 2022-08-24 디앤에이 주식회사 기판 지지장치

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3823027B2 (ja) * 2001-01-31 2006-09-20 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
JP4245138B2 (ja) * 2003-03-11 2009-03-25 富士通株式会社 基板貼合せ装置及び基板貼合せ方法
JP2006073876A (ja) * 2004-09-03 2006-03-16 Seiko Epson Corp リフター機構、これを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器
JP4920209B2 (ja) * 2005-07-15 2012-04-18 シーケーディ株式会社 板状ワークの移載装置
JP4692131B2 (ja) * 2005-08-04 2011-06-01 株式会社ニコン ステージ装置及び露光装置
JP2008294100A (ja) * 2007-05-23 2008-12-04 Japan Steel Works Ltd:The 基板保持装置
JP2010064159A (ja) * 2008-09-09 2010-03-25 Seiko Epson Corp 吸引保持ハンド
US20120025054A1 (en) * 2009-03-31 2012-02-02 Musha Kazuhiro Holding apparatus, conveying apparatus, and rotation-transmitting apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130071284A (ko) 2013-06-28
CN103177993A (zh) 2013-06-26
JP2013131759A (ja) 2013-07-04
TWI477428B (zh) 2015-03-21
TW201335049A (zh) 2013-09-01
KR101368819B1 (ko) 2014-03-06
CN103177993B (zh) 2016-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5575869B2 (ja) 基板移送装置
JP2017155338A (ja) 有機発光素子の蒸着装置
TWI603906B (zh) 基板裝載裝置
KR20090095281A (ko) 스크라이빙 장치 및 이를 이용한 기판 절단 장치 및 방법
JP2006332587A (ja) 基板処理装置
JP4906375B2 (ja) 基板支持部材
JP2008294100A (ja) 基板保持装置
KR101328574B1 (ko) 기판이송장치
KR20170003129A (ko) 증착 장치
JP5406475B2 (ja) 熱処理装置
JP5956877B2 (ja) 吸着テーブル
JP2008311407A (ja) リフトピン昇降装置
JP2009206315A (ja) テーブルへの基板搭載装置
KR20190014262A (ko) 유연기판 벤딩장치
KR20120079982A (ko) 기판 수직 이송장치
JP6006538B2 (ja) 吸着テーブル
JP2009043846A (ja) 基板搬送装置
KR100842182B1 (ko) 기판과 마스크를 얼라인하는 장치 및 방법
KR101492939B1 (ko) 마스크 지그 조립체
KR101537871B1 (ko) 기판 정렬 장치
KR101520640B1 (ko) 기판 고정 장치
KR101045622B1 (ko) 편광판 공급장치용 카세트 및 이를 포함하는 편광판 공급장치
JP2571389Y2 (ja) 部品搭載装置
KR101396538B1 (ko) 부품실장기용 피더베이스 클램핑 장치 및 방법
JP2014041873A (ja) 基板支持装置およびその方法、並びに実装装置およびその方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426

Effective date: 20131028

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20131030

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20131030

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131122

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20131210

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140307

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140603

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140702

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5575869

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250