TW201335049A - 基板傳送裝置 - Google Patents
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Abstract
本申請提供了一種基板傳送裝置。上述基板傳送裝置包括:基部,基板放置在上述基部上;支撐單元,上述支撐單元穿過上述基部以支撐上述基板;以及驅動單元,上述驅動單元用於向上或向下移動上述支撐單元。基板傳送裝置利用支撐單元的薄板支撐基板,從而防止基板因色不均現象而受損。
Description
本發明係有關於一種基板傳送裝置,並且更具體地,有關一種供應或傳送有機發光二極體顯示器所用的基板進出室時防止其表面在室中受損以避免基板缺陷的基板傳送裝置。
通常,將具有長邊和短邊的矩形玻璃基板用做用於平板顯示器設備(例如,有機發光二極體顯示器)的基板。
這樣的玻璃基板經受各種處理(包括清洗、鐳射退火、曝光和蝕刻)以被製成用於平板顯示器設備的基板。
玻璃基板通過供應機器人被傳送到上述處理中的每個處理,並且被提供到用於進行相應處理的每個室的基板傳送裝置,支撐由供應機器人傳送的玻璃基板。
標題為“玻璃支撐系統及支撐銷結構(Glass Support System and Support Pin Structure)”的韓國專利申請No.2006-0000008A(公佈於2006年1月6日)公開了本發明的相關技術。
在相關技術中,因為支撐基板的支撐銷具有圓形的橫截面,所以基板因基板與支撐銷之間的摩擦所致色不均現象(mura phenomenon)而受損。
因此,需要一種克服這種問題的基板傳送系統。
本發明被構思為解決現有技術中的這種問題,並且本發明的一方面是提供一種基板傳送裝置,上述基板傳送裝置利用薄板支撐基板以防止基板受損。
根據本發明的一方面,基板傳送裝置包括:基部,基板放置在上述基部上;支撐單元,上述支撐單元穿過上述基部以支撐上述基板;以及驅動單元,上述驅動單元用於向上或向下移動上述支撐單元。
上述支撐單元可包括:定位單元,上述定位單元被放置在上述驅動單元上並且通過上述驅動單元向上或向下移動;支柱單元,上述支柱單元被放置在上述定位單元上並且用於支撐上述基板;以及導向單元,上述導向單元被連接到上述定位單元上並且用於限制上述支柱單元的移動。
上述定位單元可包括:定位板,上述定位板被放置在上述驅動單元上並且在上述定位板的上表面上具有安裝凹槽;插入棒,上述插入棒從上述定位板的下表面向下突出;以及定位輥子,上述定位輥子從上述定位板的上述下表面向下突出。這裏,上述安裝凹槽彎曲為在上述安裝凹槽的中心部位處具有最低點。
上述支柱單元可包括:支柱構件,上述支柱構件具有與上述安裝凹槽相對應的彎曲表面;支柱凸台,上述支柱凸台從上述支柱構件的上側向上突出並且在上述支柱凸臺上縱向形成有板凹槽;以及薄板,上述薄板被插入到上述板凹槽
內並且穿過上述基部以支撐上述基板。
上述薄板可具有0.5 mm至1.5 mm的厚度。
上述導向單元可包括:導向板,上述導向板被連接到上述定位板上並且配置為鄰近上述支柱構件的對端(opposite ends);以及導向凸台,上述導向凸台從上述導向板突出並且配置為鄰近上述支柱凸台。
上述驅動單元可包括:固定板,上述固定板具有導向管,上述插入棒插入在上述導向管內;軌道,上述軌道被配置在上述固定板上;斜板,上述斜板沿上述軌道移動並且具有與上述定位輥子接觸的斜面;以及長度調節器,上述長度調節器被固定到上述固定板上並且被連接到上述斜板上以具有可變長度。
在根據本發明的基板傳送裝置中,將薄板與基板接觸以最小化基板的接觸面積,從而防止基板因色不均現象而受損。
在本發明的基板傳送裝置中,具有彎曲表面的支柱構件被插入到安裝凹槽內並且借助支柱構件的重量保持平衡,從而防止薄板和基部之間的干涉。
1‧‧‧基板傳送裝置
10‧‧‧基部
11‧‧‧基部孔
20‧‧‧支撐單元
30‧‧‧驅動單元
31‧‧‧固定板
32‧‧‧軌道
33‧‧‧斜板
34‧‧‧長度調節器
35‧‧‧導向管
40‧‧‧定位單元
41‧‧‧定位板
42‧‧‧插入棒
43‧‧‧定位輥子
44‧‧‧凹槽
431‧‧‧輥子支座
432‧‧‧輥子
50‧‧‧支柱單元
51‧‧‧支柱構件
52‧‧‧支柱凸台
53‧‧‧薄板
54‧‧‧彎曲表面
55‧‧‧中心部位處限定板凹槽
56‧‧‧固定構件
60‧‧‧導向單元
61‧‧‧導向板
62‧‧‧導向凸台
100‧‧‧基板
根據結合附圖對實施例進行的以下描述,本發明的上述及其他方面、特徵和優點將變得明顯,其中:圖1是根據本發明的一實施例的基板傳送裝置的示意圖,其中,基板被放置在基板傳送裝置的基部上;
圖2是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的示意圖,其中,基板與基部分離;圖3是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的定位單元的示意圖;圖4是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的支撐單元的示意圖;圖5是圖4的導向單元的示意圖;以及圖6是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的支撐單元的示意性的剖面圖。
在下文中,將根據附圖描述本發明的示意性的實施例。應當注意的是,附圖不是精確的比例,並且為了描述方便以及清楚,線的厚度或部件的尺寸可被放大。如本文中使用的,單數形式“一(a)”、“一(an)”和“該(the)”同樣可適合於包括複數形式,除非另外明確地指出。此外,本文中使用的術語通過考慮本申請的功能被限定,並且可以根據使用者或操作者的習慣或意向被改變。因此,應當根據本文中提出的全部申請進行術語的定義。
圖1是根據本發明的一實施例的基板傳送裝置的示意圖,其中,基板被放置在基板傳送裝置的基部上;圖2是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的示意圖,其中,基板與基部分離;以及圖3是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的定位單元的示意圖。
圖4是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的
支撐單元的示意圖;圖5是圖4的導向單元的示意圖;以及圖6是根據本發明的該實施例的基板傳送裝置的支撐單元的性的剖面圖。
參見圖1至圖6,根據本發明的一實施例的基板傳送裝置1包括基部10、支撐單元20和驅動單元30。
基部10具有比基板100更大的截面積,以便使基板100能夠被放置在基部10上。基部10形成有多個基部孔11,基部孔11具有預定的長度。
基部10被連接到驅動單元30或分開的定位單元上,使得基部10在某一位置處是靜止的。
支撐單元20被放置在基部10下方並且通過基部孔11支撐基板100。
支撐單元20被向上或向下移動以將基板100放置在基部10上或將基板100與基部10分離。
驅動單元30被放置在支撐單元20下方並且在向上或向下的方向上移動支撐單元20。
在本發明的該實施例中,支撐單元20包括定位單元40、支柱單元50和導向單元60。
定位單元40被放置在驅動單元30上,以通過驅動單元30得以向上或向下移動。支柱單元50被放置在定位單元40上以支撐基板100。導向單元60被連接到定位單元40上以限制支柱單元50的移動。
在本發明的該實施例中,定位單元40包括定位板41、插入棒42和定位輥子43。
定位板41被配置在基部10和驅動單元30之間,並且被放置在驅動單元30上。定位板41的上表面上形成有安裝凹槽44。
安裝凹槽44的數量對應于基部孔11的數量,並且每個安裝凹槽44被配置在相應的基部孔11的豎直線(vertical line)上。每個安裝凹槽44彎曲為在安裝凹槽44的中心部位處具有最低點。
插入棒42從定位板41的下表面向下突出。插入棒42被配置在定位板41的每個拐角處。
定位輥子43包括輥子支座431和輥子432,輥子支座431被連接到定位板41的下表面上以向下突出,並且輥子432可旋轉地被連接到輥子支座431上。
在本發明的該實施例中,支柱單元50包括支柱構件51、支柱凸台52和薄板53。
支柱構件51被放置于形成在定位板41的上表面上的各個安裝凹槽44內。在支柱構件51的下表面上形成與安裝凹槽44相對應的彎曲表面54。
這樣,當支柱構件51被放置在安裝凹槽44中時,支柱構件51借助自身重量保持平衡。
支柱凸台52從支柱構件51的上表面向上突出。沿支柱凸台52的縱向在支柱凸台52的中心部位處限定板凹槽55。
薄板53被插入到板凹槽55內。薄板53穿過相應的基部孔11並且與基板100接觸。
固定構件56被連接到支柱凸台52上以固定被插入到板凹槽55內的薄板53。固定構件56被擰緊到支柱凸台52上以壓緊薄板53的下側,或者穿過薄板53以被擰緊到支柱凸台52上。
此外,薄板53可以被插入到板凹槽55內並且通過施加到板凹槽55內的粘合劑被固定到板凹槽55上。
薄板53具有0.5 mm至1.5 mm的厚度。使薄板53和基板100之間的接觸面積最小化,以防止基板100的色不均現象。
薄板53由強度低於基板100的軟材料製成。相應地,防止基板100在與薄板53接觸時被損壞。
在本發明的該實施例中,導向單元60包括導向板61和導向凸台62。
導向板61被連接到定位板41上。導向板61被配置為靠近支柱構件51的對端,以防止支柱構件51在縱向上偏離。
導向凸台62在支柱構件51的縱向上從每個導向板61突出。導向凸台62被成對地靠近支柱凸台52佈置。
因此,在其上安裝有薄板53的支柱構件51被移到安裝凹槽44中,以使薄板53借助自身重量被配置在豎直線上。
這裏,導向單元60防止支柱構件51在縱向上移動並且偏離安裝凹槽44。進一步地,導向單元60限制支柱構件51的旋轉角度,以防止支柱構件51過度移動。
在本發明的該實施例中,驅動單元30包括固定板31、軌道32、斜板33和長度調節器34。
固定板31被放置在支撐單元20下方並且被固定地安裝在固定設備上。
導向管35從固定板31向上突出。導向管35具有管狀的形狀,並且相應的插入棒42被插入到導向管35內。
因此,當定位板41被向上或向下移動時,插入棒42保持被插入到導向管35內,從而防止定位板41左右移動。
軌道32被配置在固定板31上,並且斜板33沿軌道32移動。斜板33具有斜面36。斜面36與定位輥子43接觸。
因此,當斜板33在軌道32的兩端之間往復運動時,與斜面36接觸的定位輥子43的高度被改變。
由於定位輥子43的高度的變化,連接到定位輥子43上的定位板41被向上或向下移動。
當定位板41被向上或向下移動時,安裝在定位板41上的支柱單元50的薄板53的高度被改變,以向上或向下移動基板100。
長度調節器34被固定到固定板31上。長度調節器34被連接到斜板33上並且長度調節器34的長度回應於控制信號而變化。
例如,長度可隨液壓變化的液壓缸被用做長度調節器34。當長度調節器34的長度被改變時,斜板33的位置被改變。
接下來,將描述根據本發明的該實施例的基板傳
送裝置的操作。
斜板33安裝為隨放置在固定板31的上表面上的軌道32而移動,並且將長度可變的長度調節器34連接到斜板33上。
將定位板41放置在斜板33的上側上,並且將從定位板41的下表面突出的插入棒42插入到形成在斜板33中的相應的導向管35內。
從定位板41的下表面突出的定位輥子43接觸到在斜板33上形成的斜面36。
在定位板41中形成安裝凹槽44,並且將支柱構件51插入到相應的安裝凹槽44內。被固定地插入有薄板53的支柱凸台52從支柱構件51突出,並且連接到定位板41上的導向單元60限制支柱構件51的移動。
其間,將基部10配置在定位板41上方,並且在基部10中形成基部孔10,使得薄板53穿過相應的基部孔10。
當將基板100放置在基部10上時,將薄板53放置在基部10的下方(見圖1)。然後,將每個定位輥子43放置在斜面36的最低點處。
在這種狀態下,當改變長度調節器34的長度並且移動斜板33時,將定位輥子43放置在斜面36的較高點處(見圖2)。
相應地,定位輥子43向上移動以抬高連接在定位輥子43上的定位板41。
當定位板41被抬高時,安裝在定位板41上的支
柱單元50的薄板53穿過基部孔11以抬高基板100,從而使基板100能夠與基部10分離。
當薄板53被抬高到穿過基部孔11且基部10上未放置基板100時,將由供應機器人傳送的基板100放置到薄板53上。
在將由供應機器人傳送的基板100放置到薄板53上之後,當薄板53被降低到位於基部10下方時,基板100居於(seated)基部10上。
當薄板53被抬高至升舉(lift)放置在基部10上的基板100時,供應機器人將基板100移送到下一處理。
其間,支柱單元50的支柱構件51具有與定位板41的安裝凹槽44相對應的彎曲表面54。
因此,當支柱單元50借助自身重量保持平衡時,將薄板53配置在基部孔11的豎直線上,從而防止薄板53在被抬高時受基部10干涉。
儘管已經公開了一些實施例,但是應當理解的是,這些實施例僅以實例說明的方式被給出,並且在不脫離本發明的精神和範圍的情況下,可以進行各種修改、變化和改變。本發明的範圍應當僅由所附的申請專利範圍書及其等同物限定。
1‧‧‧基板傳送裝置
10‧‧‧基部
11‧‧‧基部孔
20‧‧‧支撐單元
30‧‧‧驅動單元
31‧‧‧固定板
32‧‧‧軌道
33‧‧‧斜板
34‧‧‧長度調節器
35‧‧‧導向管
36‧‧‧斜面
40‧‧‧定位單元
41‧‧‧定位板
42‧‧‧插入棒
43‧‧‧定位輥子
44‧‧‧凹槽
431‧‧‧輥子支座
432‧‧‧輥子
50‧‧‧支柱單元
60‧‧‧導向單元
100‧‧‧基板
Claims (7)
- 一種基板傳送裝置,包括:基部,基板放置在上述基部上;支撐單元,上述支撐單元穿過上述基部以支撐上述基板;以及驅動單元,上述驅動單元用於向上或向下移動上述支撐單元。
- 根據申請專利範圍第1項所述的基板傳送裝置,其中,上述支撐單元包括:定位單元,上述定位單元被放置在上述驅動單元上並且通過上述驅動單元向上或向下移動;支柱單元,上述支柱單元被放置在上述定位單元上並且用於支撐上述基板;以及導向單元,上述導向單元被連接到上述定位單元上並且用於限制上述支柱單元的移動。
- 根據申請專利範圍第2項所述的基板傳送裝置,其中,上述定位單元包括:定位板,上述定位板被放置在上述驅動單元上並且在上述定位板的上表面上具有安裝凹槽,上述安裝凹槽彎曲為在上述安裝凹槽的中心部位處具有最低點;插入棒,上述插入棒從上述定位板的下表面向下突出;以及定位輥子,上述定位輥子從上述定位板的上述下表面向下突出。
- 根據申請專利範圍第3項所述的基板傳送裝置,其中,上 述支柱單元包括:支柱構件,上述支柱構件具有與上述安裝凹槽相對應的彎曲表面;支柱凸台,上述支柱凸台從上述支柱構件的上側向上突出並且在上述支柱凸臺上縱向形成有板凹槽;以及薄板,上述薄板被插入到上述板凹槽內並且穿過上述基部以支撐上述基板。
- 根據申請專利範圍第4項所述的基板傳送裝置,其中,上述薄板具有0.5 mm至1.5 mm的厚度。
- 根據申請專利範圍第4項所述的基板傳送裝置,其中,上述導向單元包括:導向板,上述導向板被連接到上述定位板上並且配置為鄰近上述支柱構件的對端;以及導向凸台,上述導向凸台從上述導向板突出並且配置為鄰近上述支柱凸台。
- 根據申請專利範圍第3項所述的基板傳送裝置,其中,上述驅動單元包括:固定板,上述固定板具有導向管,上述插入棒插入在上述導向管內;軌道,上述軌道被配置在上述固定板上;斜板,上述斜板沿上述軌道移動並且具有與上述定位輥子接觸的斜面;以及長度調節器,上述長度調節器被固定到上述固定板上並且被連接到上述斜板上以具有可變長度。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110138695A KR101368819B1 (ko) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 기판 이송장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201335049A true TW201335049A (zh) | 2013-09-01 |
TWI477428B TWI477428B (zh) | 2015-03-21 |
Family
ID=48637763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW101146342A TWI477428B (zh) | 2011-12-20 | 2012-12-10 | 基板傳送裝置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5575869B2 (zh) |
KR (1) | KR101368819B1 (zh) |
CN (1) | CN103177993B (zh) |
TW (1) | TWI477428B (zh) |
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CN109520718A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-03-26 | 江苏省优联检测技术服务有限公司 | 汽车出风口耐久测试装置 |
KR102435298B1 (ko) * | 2020-07-07 | 2022-08-24 | 디앤에이 주식회사 | 기판 지지장치 |
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-
2011
- 2011-12-20 KR KR1020110138695A patent/KR101368819B1/ko active IP Right Grant
-
2012
- 2012-12-10 TW TW101146342A patent/TWI477428B/zh active
- 2012-12-19 CN CN201210555398.6A patent/CN103177993B/zh active Active
- 2012-12-20 JP JP2012278173A patent/JP5575869B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130071284A (ko) | 2013-06-28 |
CN103177993A (zh) | 2013-06-26 |
JP2013131759A (ja) | 2013-07-04 |
TWI477428B (zh) | 2015-03-21 |
JP5575869B2 (ja) | 2014-08-20 |
KR101368819B1 (ko) | 2014-03-06 |
CN103177993B (zh) | 2016-03-09 |
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