JP2007071928A - 液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007071928A JP2007071928A JP2005255805A JP2005255805A JP2007071928A JP 2007071928 A JP2007071928 A JP 2007071928A JP 2005255805 A JP2005255805 A JP 2005255805A JP 2005255805 A JP2005255805 A JP 2005255805A JP 2007071928 A JP2007071928 A JP 2007071928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- layer
- semiconductor layer
- substrate
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 92
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 211
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 131
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 116
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 24
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 17
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 15
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 claims description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 200
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 167
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 34
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 32
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 31
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 26
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 25
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 23
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 22
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 18
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 18
- -1 γ-butyl lactone Chemical class 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 13
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 12
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 11
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 11
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 11
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 8
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 8
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 8
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 7
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 7
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 7
- VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 1-Butene Chemical compound CCC=C VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 6
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 6
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 6
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000002508 contact lithography Methods 0.000 description 5
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 5
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 5
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 5
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 4
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N pentacene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC5=CC=CC=C5C=C4C=C3C=C21 SLIUAWYAILUBJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002964 pentacenes Chemical class 0.000 description 4
- 229920002239 polyacrylonitrile Polymers 0.000 description 4
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 4
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 4
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 4
- 125000001731 2-cyanoethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C([H])([H])C#N 0.000 description 3
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 3
- 229930040373 Paraformaldehyde Natural products 0.000 description 3
- 229920002367 Polyisobutene Polymers 0.000 description 3
- 229920001218 Pullulan Polymers 0.000 description 3
- 239000004373 Pullulan Substances 0.000 description 3
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 3
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 3
- 229920000306 polymethylpentene Polymers 0.000 description 3
- 239000011116 polymethylpentene Substances 0.000 description 3
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920001709 polysilazane Polymers 0.000 description 3
- 229960002796 polystyrene sulfonate Drugs 0.000 description 3
- 239000011970 polystyrene sulfonate Substances 0.000 description 3
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 235000019423 pullulan Nutrition 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydrothieno[3,4-b][1,4]dioxine Chemical compound O1CCOC2=CSC=C21 GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WDECIBYCCFPHNR-UHFFFAOYSA-N chrysene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=C3C4=CC=CC=C4C=CC3=C21 WDECIBYCCFPHNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N coronene Chemical compound C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N trichloro(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl PYJJCSYBSYXGQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSABUFWDVWCFDP-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylheptane Chemical compound CCCCCC(C)(C)C PSABUFWDVWCFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIHFWXNMOWDPBM-UHFFFAOYSA-N 2,4,4-trimethylpentylphosphonic acid Chemical compound CC(C)(C)CC(C)CP(O)(O)=O FIHFWXNMOWDPBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJJOZVFVARQUJV-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexylphosphonic acid Chemical compound CCCCC(CC)CP(O)(O)=O JJJOZVFVARQUJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPOCSQCZXMATFR-UHFFFAOYSA-N 3-butylthiophene Chemical compound CCCCC=1C=CSC=1 KPOCSQCZXMATFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAYBIBLZTQMCAY-UHFFFAOYSA-N 3-decylthiophene Chemical compound CCCCCCCCCCC=1C=CSC=1 JAYBIBLZTQMCAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005964 Acibenzolar-S-methyl Substances 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920000291 Poly(9,9-dioctylfluorene) Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 1
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 229920000547 conjugated polymer Polymers 0.000 description 1
- LQPZPOBKWBQFNE-UHFFFAOYSA-N decyl(disilanyl)silane Chemical class CCCCCCCCCC[SiH2][SiH2][SiH3] LQPZPOBKWBQFNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- KSKFRQOKQUPWQL-UHFFFAOYSA-N dichloro-[3-(1,1,1,2,3,3,3-heptafluoropropan-2-yloxy)propyl]-methylsilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)CCCOC(F)(C(F)(F)F)C(F)(F)F KSKFRQOKQUPWQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OHABWQNEJUUFAV-UHFFFAOYSA-N dichloro-methyl-(3,3,3-trifluoropropyl)silane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)CCC(F)(F)F OHABWQNEJUUFAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- CWAFVXWRGIEBPL-UHFFFAOYSA-N ethoxysilane Chemical compound CCO[SiH3] CWAFVXWRGIEBPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDPSFRXPDJVJMV-UHFFFAOYSA-N hexadecylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O JDPSFRXPDJVJMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJWAEWLHSDGBGG-UHFFFAOYSA-N hexylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCP(O)(O)=O GJWAEWLHSDGBGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N n-(3-trimethoxysilylpropyl)aniline Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNC1=CC=CC=C1 KBJFYLLAMSZSOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJGCRMAPOWGWMW-UHFFFAOYSA-N octylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCP(O)(O)=O NJGCRMAPOWGWMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005054 phenyltrichlorosilane Substances 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000636 poly(norbornene) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001470 polyketone Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N tetracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C21 IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HLWCOIUDOLYBGD-UHFFFAOYSA-N trichloro(decyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCC[Si](Cl)(Cl)Cl HLWCOIUDOLYBGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N trichloro(phenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZMJEGJVKFTGMU-UHFFFAOYSA-N triethoxy(octadecyl)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](OCC)(OCC)OCC FZMJEGJVKFTGMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
- G02F1/1362—Active matrix addressed cells
- G02F1/1368—Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/133711—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by organic films, e.g. polymeric films
- G02F1/133723—Polyimide, polyamide-imide
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
- G02F1/133784—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by rubbing
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/136—Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2202/00—Materials and properties
- G02F2202/02—Materials and properties organic material
Abstract
【課題】
配向膜の形成時に発生する有機半導体膜の劣化を防止し、高性能な有機薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置を安価に提供すること。
【解決手段】
ゲート電極,ゲート絶縁膜,ソース・ドレイン電極,半導体層から構成される薄膜トランジスタ及び、配線,画素電極の各部材を有する薄膜トランジスタ基板と、この基板との間で液晶層を挟持する対向基板を有する液晶表示装置において、半導体層と液晶層との間に液晶層の分子配向を制御する機能を有する配向膜を介在させない。
【選択図】図2
配向膜の形成時に発生する有機半導体膜の劣化を防止し、高性能な有機薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置を安価に提供すること。
【解決手段】
ゲート電極,ゲート絶縁膜,ソース・ドレイン電極,半導体層から構成される薄膜トランジスタ及び、配線,画素電極の各部材を有する薄膜トランジスタ基板と、この基板との間で液晶層を挟持する対向基板を有する液晶表示装置において、半導体層と液晶層との間に液晶層の分子配向を制御する機能を有する配向膜を介在させない。
【選択図】図2
Description
本発明は、薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置に関する。
情報化の進展に伴い、紙に代わる薄くて軽い電子ペーパーディスプレイや、商品1つ1つを瞬時に識別することが可能なICタグ等の開発が注目されている。現行では、これらのデバイスにアモルファスシリコンや多結晶シリコンを半導体に用いた薄膜トランジスタをスイッチング素子として使用している。しかし、シリコン系半導体を用いた薄膜トランジスタを作製するには、高価なプラズマ化学気相成長(CVD)装置やスパッタリング装置等の設備コストがかかるうえに、真空プロセス,フォトリソグラフィー,加工等のプロセスをいくつも経るため、生産効率が低いという問題がある。
このため、近年、塗布法・印刷法で形成でき、安価に製品を提供することが可能な、有機材料を半導体層に用いた有機薄膜トランジスタが注目されている。有機薄膜トランジスタを画素のスイッチング素子として用いたディスプレイとして、特許文献1に液晶ディスプレイの断面構造が開示されている。同公報にも開示されているように、液晶層を配向させる配向膜は、絶縁基板上にゲート電極,ゲート絶縁膜,半導体層,ソース・ドレイン電極の各部材から構成される薄膜トランジスタを形成した後に形成されるため、薄膜トランジスタ上も覆うような構造になる。これは薄膜トランジスタの半導体が有機物であっても無機物であっても同様である。
配向膜は、γ−ブチルラクトンを主成分とする高沸点溶媒(沸点204℃)に溶かしたポリイミドを塗布後、230℃程度で焼成して形成される。このため従来のように薄膜トランジスタを形成した後に配向膜を形成すると、薄膜トランジスタの半導体層に有機化合物を用いた場合には、半導体層が熱によって凝集し、薄膜トランジスタの性能が劣化するという問題がある。この対策として、ポリイミドを80℃程度の低温で焼成して半導体層の劣化を回避することが考えられる。しかし、この場合には、ポリイミドの高沸点溶媒がポリイミド膜内に残留し、その残留溶媒が有機半導体内に染みこむことによって、有機半導体の性能を劣化させるという問題がある。有機半導体と配向膜との間に保護層を介した場合にも、有機半導体への溶媒の染み込み量を低減する効果はあるが、溶媒による有機半導体の劣化を完全に防止することはできない。特に、塗布や印刷によって保護層を形成する場合には、保護層の膜密度が低いため、溶媒の染み込み量の低減効果も低くなる。
本発明の目的は、配向膜の形成時に発生する有機半導体膜の劣化を防止し、有機薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置を安価に提供することである。
本発明は、前記目的を達成するために、一対の基板と、一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、一方基板上に形成された画素電極と、他方基板上に形成された共通電極と、一対の基板に挟持された液晶層と、液晶層と画素電極間に配置された第1の配向膜と、液晶層と他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、第1の配向膜は、半導体層上方を除いた平面領域に形成された構成とする。
また、一対の基板と、一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、一方基板上に形成された画素電極と、他方基板上に形成された共通電極と、一対の基板に挟持された液晶層と、液晶層と他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、ゲート絶縁膜は、複数の膜で積層形成され、複数の層の1つの層は、ゲート電極上方で半導体層と接し、且つ画素電極上に配置され、液晶層の液晶分子の配向を制御する機能を有する構成とする。
また、一対の基板と、一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、一方基板上に形成された画素電極と、他方基板上に形成された共通電極と、一対の基板に挟持された液晶層と、液晶層と画素電極間に配置された第1の配向膜と、液晶層と他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、半導体層とゲート絶縁層との間には、第1の配向膜と同材料の膜が形成された構成とする。
また、一対の基板と、一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、他方基板上に形成された共通電極と、一対の基板に挟持された液晶層と、液晶層と一方基板間に配置された第1の配向膜と、液晶層と他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、薄膜トランジスタのソース電極は、画素電極の機能を有し、一方基板と第1の配向膜間に配置され、第1の配向膜は、半導体層上方を除いた平面領域に形成された構成とする。
配向膜の形成時に発生する有機半導体膜の劣化を防止し、有機薄膜トランジスタを用いた液晶表示装置を安価に提供できる。
以下に図面を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1に、本発明を用いた液晶表示装置構成と平面概略図の一例を示す。
行及び列状に複数配置された画素1と、所定のサイクルで画素を選択するための走査配線102′と、画素に情報を与える信号配線108′とがマトリクス状に配置している。各走査線は走査ドライバ2に接続されている。また、各信号配線は信号ドライバ3に接続されている。例えば、m行n列目の画素の1サイクル間の動作は次のように行う。画素に接続されたn列目の走査配線が選択されると、n列目の画素の薄膜トランジスタ(TFT)のゲート電極に所定の電圧が印加され、オン状態になる。この際m行の信号線から輝度情報である信号電圧Vs=Vdmnが取り込まれ、m行n列目の画素のドレイン電極に印加される。画素に接続されたn列目の走査配線が非選択になった後も、輝度情報は画素容量に所定の期間保持され続ける。
図2に、本発明を用いた液晶表示装置画素部の断面概略図を示す。
図2は図1の(A)−(A)′における断面にあたる。図1,図2を用いて説明する。
まず、TFT基板を以下の手順で作成した。絶縁基板101には、ガラス基板を用いた。絶縁基板101は、絶縁性の材料であれば広い範囲から選択することが可能である。具体的には、石英,サファイア,シリコン等の無機基板、アルミニウム,ステンレス等の金属を絶縁膜でコーティングした基板、アクリル,エポキシ,ポリアミド,ポリカーボネート,ポリイミド,ポリエステル,ポリノルボルネン,ポリフェニレンオキシド,ポリエチレンナフタレンジカルボキシレート,ポリエチレンテレフタレート,ポリエチレンナフタレート,ポリアリレート,ポリエーテルケトン,ポリエーテルスルホン,ポリケトン,ポリフェニレンスルフィド等の有機プラスチック基板を用いることができる。また、これらの基板の表面に、酸化シリコン,窒化シリコン等の膜を設けたものを用いてもよい。その上に、スパッタ法を用いて成膜したITOをフォトリソグラフィー法でパターニングして、ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104を厚さ150nmで同層に形成した。ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104としては、導電体であれば特に限定されるものではなく、例えばAl,Cu,
Ti,Cr,Au,Ag,Ni,Pd,Pt,Ta,Moのような金属および合金の他、単結晶シリコン,ポリシリコンのようなシリコン材料,ITO,IZOのような透明導電材料、あるいはポリアニリンやポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネートのような有機導電体等を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。上記ゲート電極は単層構造としてだけでなく、例えばCr層とAu層との重ね合わせ、あるいはTi層と
Pt層との重ね合わせ等、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。また、上記ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
Ti,Cr,Au,Ag,Ni,Pd,Pt,Ta,Moのような金属および合金の他、単結晶シリコン,ポリシリコンのようなシリコン材料,ITO,IZOのような透明導電材料、あるいはポリアニリンやポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネートのような有機導電体等を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。上記ゲート電極は単層構造としてだけでなく、例えばCr層とAu層との重ね合わせ、あるいはTi層と
Pt層との重ね合わせ等、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。また、上記ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
次に、スピンコートしたポリシラザンを450℃で焼成し、厚さ200nmのSiO2膜をゲート絶縁層105として用いた。ゲート絶縁層105には、窒化シリコン,酸化アルミニウム,酸化タンタル等の無機膜,ポリビニルフェノール,ポリビニルアルコール,ポリイミド,ポリアミック酸,ポリアミド,パリレン,ポリメチルメタクリレート,ポリ塩化ビニル,ポリアクリロニトリル,ポリ(パーフロロエチレン−コ−ブテニルビニルエーテル),ポリイソブチレン,ポリ(4−メチル−1−ペンテン),ポリ(プロピレン−コ−(1−ブテン)),ベンゾシクロブテン樹脂等の有機膜またはそれらの積層膜を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ディップコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。次に、画素電極上のゲート絶縁膜を取り除くように、スルーホール106をフォトリソグラフィー法によって形成した。ゲート絶縁層105を前記印刷法で形成する場合には、スルーホール106はゲート絶縁層105と同時に形成することが可能である。
次に、ポリイミドをスピンコート法で50nmの厚さに成膜し200℃で焼成後、フォトリソグラフィー法で画素電極上を覆うようにパターニングして配向膜107を形成した。配向膜107にはポリイミド以外にポリアミック酸、もしくはポリイミドとポリアミック酸からなる膜や、アクリル,ポリクロロピレン,ポリエチレンテレフタレート,ポリオキシメチレン,ポリビニルクロライド,ポリフッ化ビニリデン,シアノエチルプルラン,ポリメチルメタクリレート,ポリサルフォン,ポリカーボネート等の樹脂材料を用いることができる。ゲート絶縁層105と配向膜107に同一の材料を用いる場合には、ゲート絶縁膜と配向膜を同時に形成することができるため、プロセス数を低減することができる。
次に、スパッタ法を用いて成膜した厚さ150nmのITOをフォトリソグラフィー法でパターニングしてドレイン電極108,ソース電極109,信号配線108′を形成し、ソース電極109を画素電極103に接続させた。ドレイン電極108,ソース電極
109、及び信号配線108′の材料はゲート電極と同様、導電体であれば特に限定されるものではなく、例えばAl,Cu,Ti,Cr,Au,Ag,Ni,Pd,Pt,Taのような金属の他、IZOのような他の透明導電材料,ポリアニリンやポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネートのような有機導電体等を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は単層構造としてだけでなく、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。また、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′にはそれぞれ異なる材料を用いてもよい。
109、及び信号配線108′の材料はゲート電極と同様、導電体であれば特に限定されるものではなく、例えばAl,Cu,Ti,Cr,Au,Ag,Ni,Pd,Pt,Taのような金属の他、IZOのような他の透明導電材料,ポリアニリンやポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネートのような有機導電体等を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は単層構造としてだけでなく、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。また、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′にはそれぞれ異なる材料を用いてもよい。
次に、そのゲート絶縁層105上をオクタデシルトリクロロシランの単分子膜で修飾した。単分子膜には、ヘプタフロロイソプロポキシプロピルメチルジクロロシラン,トルフロロプロピルメチルジクロロシラン,ヘキサメチルジシラザン,ビニルトリエトキシシラン,γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン,γ−アミノプロピルトリエトキシシラン,N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン,γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン,ヘプタデカフロロ−1,1,2,2−テトラハイドロデシル−1−トリメトキシシラン,オクタデシルトリエトキシシラン,デシルトリクロロシラン,デシルトリエトキシシラン,フェニルトリクロロシランのようなシラン系化合物や、1−ホスホノオクタン、1−ホスホノヘキサン、1−ホスホノヘキサデカン、1−ホスホノ−3,7,11,15−テトラメチルヘキサデカン、1−ホスホノ−2−エチルヘキサン、1−ホスホノ−2,4,4−トリメチルペンタン、1−ホスホノ−3,5,5−トリメチルヘキサンのようなホスホン酸系化合物等を用いてもよい。上記修飾はゲート絶縁層105の表面を前記化合物の溶液や蒸気に接触させることにより前記化合物をゲート絶縁膜表面に吸着させることにより達成される。また、ゲート絶縁層105の表面は単分子膜で修飾しなくてもよい。
次に、可溶性のペンタセン誘導体をコンタクトプリントでパターニングして、150℃で焼成して厚さ100nmの有機化合物で構成される半導体層110を形成した。半導体層110は銅フタロシアニン,ルテチウムビスフタロシアニン,アルミニウム塩化フタロシアンニンのようなフタロシアニン系化合物、テトラセン,クリセン,ペンタセン,ピレン,ペリレン,コロネンのような縮合多環芳香族系化合物、ポリアニリン,ポリチエニレンビニレン,ポリ(3−ヘキシルチオフェン),ポリ(3−ブチルチオフェン),ポリ
(3−デシルチオフェン),ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン),ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ベンゾチアジアゾール),ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ジチオフェン)のような共役系ポリマー等を用い、熱蒸着法,分子線エピタキシー法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。半導体層
110に、ペンタセン等の低分子有機半導体を用いる場合には、半導体とゲート絶縁膜との界面の平滑性を保ち、薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させるために、半導体層と接するゲート絶縁膜部にはラビング処理を施さない。
(3−デシルチオフェン),ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン),ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ベンゾチアジアゾール),ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ジチオフェン)のような共役系ポリマー等を用い、熱蒸着法,分子線エピタキシー法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。半導体層
110に、ペンタセン等の低分子有機半導体を用いる場合には、半導体とゲート絶縁膜との界面の平滑性を保ち、薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させるために、半導体層と接するゲート絶縁膜部にはラビング処理を施さない。
半導体層110に、ポリ−9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ジチオフェン(F8T2)等の液晶性材料を用いる場合には、半導体層を形成する前に、あらかじめ半導体層と接するゲート絶縁膜表面を、ソース電極の形成位置からドレイン電極の形成位置の方向、またはドレイン電極の形成位置からソース電極の形成位置の方向に光配向処理を施し、キャリアがチャネルを移動する方向に液晶半導体を一軸配向させることによって薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。
次に、パリレン膜をCVD法で形成し、フォトリソグラフィー法で厚さ500nmの保護膜111とスルーホール106′を形成した。保護膜111はパリレンに限らず、酸化シリコン,窒化シリコン等の無機膜,ポリビニルフェノール,ポリビニルアルコール,ポリメチルメタクリレート,ポリ塩化ビニル,ポリアクリロニトリル等の有機膜またはそれらの積層膜を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
次に、配向膜107を、絶縁基板101の対角方向に液晶が配向するように、ラビング処理を施し、TFT基板を完成させた。配向膜のラビング方向は液晶の視野角を重視するので、液晶性材料を用い、半導体層と接するゲート絶縁膜表面に配向処理を施した場合には、配向膜とゲート絶縁膜表面との配向方向は必ずしも一致しない。
対向基板は以下の手順で作成した。
絶縁基板101′には、ガラス基板を用いた。絶縁基板101′はTFT基板と同様に、絶縁性の材料であれば広い範囲から選択することが可能である。
次に、絶縁基板101′上に厚さ150nmのITO膜をスパッタ法で成膜し、共通電極112を形成した。
次に、厚さ100nmのCrをスパッタで成膜し、フォトリソグラフィー法でブラックマトリクス113を形成した。
カラーフィルタ114を形成後、スピンコート法でポリイミドを50nmの厚さに成膜し、200℃で焼成して配向膜107′を形成した。
次に、配向膜107′にラビング処理を施し、対向基板を完成させた。
粒径5μmのポリマースペーサー剤をTFT基板上に分散後、表示部周辺にUV硬化型シール剤をディスペンサで塗布し、TFT基板と対向基板を貼り合わせた後、外線を照射してシール剤を硬化させた。最後に、液晶層115を封入して液晶パネルを完成させた。
本実施例ように、配向膜107を半導体層110よりも先に形成し、半導体層110よりも上層には配置しないようにする、つまり、絶縁基板101,101′である一対の基板と、その一方基板(絶縁基板101)上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層110を有する薄膜トランジスタと、一方基板上に形成された画素電極103と、他方基板(絶縁基板101′)上に形成された共通電極112と、一対の基板に挟持された液晶層115と、液晶層115と画素電極103間に配置された第1の配向膜(配向膜107)と、液晶層115と他方基板間に配置された第2の配向膜(配向膜107′)と、を備え、薄膜トランジスタの半導体層110は、有機化合物で形成され、第1の配向膜は、半導体層110上方を除いた平面領域に形成された構成とすることよって、第1の配向膜である配向膜107の焼成温度または、配向膜107の溶媒による有機の半導体層の劣化を防止することができる。
また、この配向膜とゲート絶縁膜とが同層で形成されるので、同一工程で配向膜とゲート絶縁膜とを形成でき、安価な液晶表示装置を提供できる効果を得ることができる。
本実施例で作成したTFTの電界効果移動度は、半導体層よりも後にTFT基板側の配向膜を形成する従来のプロセスで作成したTFTの電界効果移動度に比べて2桁以上大きく、約1.2cm2/Vsの値が得られた。
図3及び図4を用いて本発明の第2の実施例について説明する。図3に、本発明を用いた液晶表示装置画素部の平面概略図を、図4に、図3の(A)−(A)′における断面概略図を示す。
TFT基板を以下の手順で作成した。絶縁基板101には、ガラス基板を用いた。絶縁基板101は、実施例1と同様に広い範囲から選択することが可能である。その上に、スパッタ法を用いて成膜したITOをフォトリソグラフィー法でパターニングして、ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104を厚さ150nmで同層に形成した。ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線
104の材料としては、実施例1と同様に導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。また、上記ゲート電極
102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線
102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
104の材料としては、実施例1と同様に導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。また、上記ゲート電極
102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線
102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
次に、ポリシラザンを5nmの厚さにディップコート後、90℃で焼成してSiO2膜に変成し、ゲート絶縁膜201の1層目(ゲート絶縁膜201−1)を形成した。ゲート絶縁膜201の1層目には、窒化シリコン,酸化アルミニウム,酸化タンタル等の無機膜、ポリビニルフェノール,ポリビニルアルコール,パリレン,ポリメチルメタクリレート,ポリ塩化ビニル,ポリアクリロニトリル,ポリ(パーフロロエチレン−コ−ブテニルビニルエーテル),ポリイソブチレン,ポリ(4−メチル−1−ペンテン),ポリ(プロピレン−コ−(1−ブテン)),ベンゾシクロブテン樹脂等の有機膜またはそれらの積層膜を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ディップコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。特に、ゲート絶縁膜201の1層目には、SiO2 ,SiN,Al2O3,Ta2O5等の耐圧性がよく、分極の少ない材料を用いることによって薄膜トランジスタの性能を向上させることができる。
画素電極103上のゲート絶縁膜を取り除くように、スルーホール106をフォトリソグラフィー法によって形成した。ゲート絶縁膜201の1層目を前記印刷法で形成する場合には、スルーホール106はゲート絶縁膜201の1層目と同時に形成することが可能である。
次に、ポリビニルフェノールを100nmの厚さにスピンコートし、ゲート絶縁膜201の2層目(ゲート絶縁膜201−2)を形成した。ゲート絶縁膜201の2層目には、窒化シリコン,酸化アルミニウム,酸化タンタル等の無機膜,ポリビニルアルコール,パリレン,ポリメチルメタクリレート,ポリ塩化ビニル,ポリアクリロニトリル,ポリ(パーフロロエチレン−コ−ブテニルビニルエーテル),ポリイソブチレン,ポリ(4−メチル−1−ペンテン),ポリ(プロピレン−コ−(1−ブテン)),ベンゾシクロブテン樹脂等の有機膜またはそれらの積層膜を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ディップコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
ゲート絶縁膜のスルーホール106′はフォトリソグラフィー法によって再度形成する。ゲート絶縁膜201の2層目を前記印刷法で形成する場合には、スルーホール106′はゲート絶縁膜201の2層目と同時に形成することが可能である。
次に、ポリイミドを50nmの厚さにスピンコート法で成膜し200℃で焼成してゲート絶縁膜201の3層目(ゲート絶縁膜201−3)を形成した。ゲート絶縁膜201の3層目にはポリイミド以外にポリアミック酸、もしくはポリイミドとポリアミック酸からなる膜や、アクリル,ポリクロロピレン,ポリエチレンテレフタレート,ポリオキシメチレン,ポリビニルクロライド,ポリフッ化ビニリデン,シアノエチルプルラン,ポリメチルメタクリレート,ポリサルフォン,ポリカーボネート等の樹脂材料を用いることができる。図3に示した画素電極103とソース電極とを接続するためのスルーホール202をフォトリソグラフィー法によって形成した。ゲート絶縁膜201の3層目を前記印刷法で形成する場合には、スルーホール202はゲート絶縁膜201の3層目と同時に形成することが可能である。
ゲート絶縁膜の3層目は画素電極103上も覆うように形成した。尚、ゲート絶縁膜の2層目は、ゲート絶縁膜の1層目の耐圧を確保することによって、省略することもできる。また、ゲート絶縁膜のポリイミド層を200nm〜500nm程度に厚膜化することによって、ゲート絶縁膜の1層目と2層目を省略することができる。つまりゲート絶縁膜の3層目のみを形成してもよい。
次に、スパッタ法を用いて成膜した厚さ150nmのITOをフォトリソグラフィー法でパターニングしてドレイン電極108,ソース電極109,信号配線108′を形成し、ソース電極109を画素電極103に接続させた。ドレイン電極108,ソース電極
109、及び信号配線108′の材料は実施例1と同様に、導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は単層構造としてだけでなく、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。また、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′にはそれぞれ異なる材料を用いてもよい。
109、及び信号配線108′の材料は実施例1と同様に、導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は単層構造としてだけでなく、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。また、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′にはそれぞれ異なる材料を用いてもよい。
次に、可溶性のペンタセン誘導体をコンタクトプリントでパターニングして、150℃で焼成して厚さ100nmの半導体層110を形成した。半導体層110の材料は実施例1と同様に、半導体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。また、熱蒸着法,分子線エピタキシー法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。半導体層110に、ペンタセン等の低分子有機半導体を用いる場合には、半導体とゲート絶縁膜との界面の平滑性を保ち、薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させるために、半導体層と接するゲート絶縁膜部にはラビング処理を施さない。
半導体層110に、ポリ−9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ジチオフェン(F8T2)等の液晶性半導体を用いる場合には、あらかじめ、半導体層と接するゲート絶縁膜表面を、ソース電極の形成位置からドレイン電極の形成位置の方向、またはドレイン電極の形成位置からソース電極の形成位置の方向に光配向処理を施し、キャリアがチャネルを移動する方向に液晶半導体を一軸配向させることによって薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。
次に、パリレン膜をCVD法で形成し、フォトリソグラフィー法で厚さ500nmの保護膜111とスルーホール106′を形成した。保護膜111はパリレンに限らず、実施例1と同様に、絶縁体の中から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
最後に、画素上のゲート絶縁膜201にラビング処理を施して、TFT基板を完成させた。配向膜のラビング方向は液晶の視野角を重視するので、液晶性材料を用い、半導体層と接するゲート絶縁膜表面に配向処理を施した場合には、配向膜とゲート絶縁膜表面との配向方向は必ずしも一致しない。
以上の通り、本実施例では、薄膜トランジスタの半導体層110は、有機化合物で形成され、ゲート絶縁膜201は、複数の膜で積層形成され、その複数の層の1つの層は、ゲート電極102上方で半導体層110と接し、画素電極103上に配置され、液晶層115の液晶分子の配向を制御する機能を有する構成とすることで、実施例1同様、有機の半導体層の劣化を防止することができ、且つ1回の工程で配向膜の機能を有するゲート絶縁膜を形成でき、安価な液晶表示装置を提供できる効果を得ることができる。
以下、対向基板の作製および、液晶層115の封入は実施例1と同様に実施した。
本実施例で作成したTFTの電界効果移動度は実施例1と同様に、半導体層よりも後にTFT基板側の配向膜を形成する従来のプロセスで作成したTFTの電界効果移動度が向上する効果が得られる。
図5を用いて本発明の第3の実施例について説明する。図5に、本発明を用いた有機薄膜トランジスタの断面概略図を示す。
TFT基板を以下の手順で作成した。絶縁基板101には、ガラス基板を用いた。絶縁基板101は、実施例1と同様に広い範囲から選択することが可能である。その上に、スパッタ法を用いて成膜したAlをフォトリソグラフィー法でパターニングして、ゲート電極102及び走査配線102′,共通配線104を厚さ300nmで同層に形成した。ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104の材料としては、実施例1と同様に導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。また、上記ゲート電極102及び走査配線
102′,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
102′,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
次に、陽極酸化法で200nmのAl2O3をゲート電極102及び走査配線102′,共通配線104上に形成し、ゲート絶縁層301として用いた。ゲート絶縁層301には、実施例1と同様に広い範囲から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ディップコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
次に、スパッタ法を用いて成膜した厚さ150nmのITOをフォトリソグラフィー法でパターニングしてドレイン電極108,ソース電極109,信号配線108′及び画素電極103を形成した。本実施例では、ソース電極109と画素電極103は一体となる。ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′の材料は実施例1と同様に、導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は単層構造としてだけでなく、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。
また、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′にはそれぞれ異なる材料を用いてもよい。
次に、ポリイミドをスピンコート法で50nmの厚さに成膜し200℃で焼成後、フォトリソグラフィー法で画素電極103上を覆うようにパターニングして配向膜107を形成すると同時に、ドレイン電極108及びソース電極109の間を埋めるように電界効果移動度向上用の膜302を形成した。配向膜107は、絶縁基板101の対角方向に液晶が配向するように、光配向処理を施した。一方、電界効果移動度向上用の膜302は、後から形成する液晶半導体がソース電極からドレイン電極の方向へ配向するように光配向処理を施した。配向膜のラビング方向は液晶の視野角を重視する。
一方、液晶性半導体は、ソース電極からドレイン電極の方向、つまり半導体内をキャリアが移動する方向に一軸配向させることによって薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。このため、配向膜107と電界効果移動度向上用の膜302の配向処理方向は必ずしも一致しない。
次に、F8T2をインクジェット法でパターニングして、厚さ100nmの半導体層
110を形成した。半導体層110の材料は実施例1と同様に、半導体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。また、熱蒸着法,分子線エピタキシー法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,コンタクトプリント法等によって形成することができる。
110を形成した。半導体層110の材料は実施例1と同様に、半導体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。また、熱蒸着法,分子線エピタキシー法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,コンタクトプリント法等によって形成することができる。
次に、パリレン膜をCVD法で形成し、フォトリソグラフィー法で厚さ500nmの保護膜111とスルーホール106′を形成した。保護膜111はパリレンに限らず、実施例1と同様に、絶縁体の中から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
このようにTFT基板を完成させた。以下、対向基板の作製および、液晶層115の封入は実施例1と同様に実施した。
以上のように、本実施例では、半導体層110とゲート絶縁層301との間には、第1の配向膜である配向膜107と同材料の膜(電界効果移動度向上用の膜302)を形成する構成とした。
本実施例で作成したTFTの電界効果移動度は実施例1と同様に、半導体層よりも後にTFT基板側の配向膜を形成する従来のプロセスで作成したTFTの電界効果移動度が向上する効果が得られる。
また、配向膜107と電界効果移動度向上用膜302を同時に形成することができるので、プロセス数を低減でき、安価な液晶表示装置を提供できる効果を得ることができる。
図6を用いて本発明の第4の実施例について説明する。図6に、本発明に用いた有機薄膜トランジスタの断面概略図を示す。
絶縁基板101,ゲート電極102及び走査配線102′,共通配線104,ゲート絶縁層105,スルーホール106,ドレイン電極108,ソース電極109,信号配線
108′,半導体層110,保護膜111の形成方法は実施例1と同様である。
108′,半導体層110,保護膜111の形成方法は実施例1と同様である。
画素電極401は、ソース電極109をスルーホール106まで伸ばして形成され、スパッタ法を用いて成膜した厚さ150nmのITOをフォトリソグラフィー法でパターニングしてドレイン電極108,信号配線108′と同層に形成した。画素電極401の材料は、導電体であれば特に限定されるものではなく、例えばAl,Cu,Ti,Cr,
Au,Ag,Ni,Pd,Pt,Taのような金属の他、IZOのような他の透明導電材料,ポリアニリンやポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネートのような有機導電体等を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。
Au,Ag,Ni,Pd,Pt,Taのような金属の他、IZOのような他の透明導電材料,ポリアニリンやポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネートのような有機導電体等を用い、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。
また、画素電極401は単層構造としてだけでなく、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、画素電極401はドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′にはそれぞれ異なる材料を用いてもよい。
配向膜402は、画素電極401を形成した後に、ポリイミドをスピンコート法で50nmの厚さに成膜し、200℃で焼成後、フォトリソグラフィー法で画素電極上を覆うようにパターニングして形成した。ここで配向膜402は実施例1と実施例3と同様に半導体層110を覆わないように形成した。配向膜402にはポリイミド以外にポリアミック酸、もしくはポリイミドとポリアミック酸からなる膜や、アクリル,ポリクロロピレン,ポリエチレンテレフタレート,ポリオキシメチレン,ポリビニルクロライド,ポリフッ化ビニリデン,シアノエチルプルラン,ポリメチルメタクリレート,ポリサルフォン,ポリカーボネート等の樹脂材料を用いることができる。
以上のようにTFT基板を完成させた。以下、対向基板の作製および、液晶層の封入は実施例1と同様に実施した。
つまり本実施例では、薄膜トランジスタのソース電極109は、画素電極401の機能を有し、一方の絶縁基板101と配向膜402間に配置され、その配向膜402は、半導体層110上方を除いた平面領域に形成された構成としたことで、有機半導体層の劣化を防止することができ、且つソース電極と画素電極を1回の工程で形成できるため、簡易な製造工程で、安価な液晶表示装置を提供できる効果を得ることができる。
本実施例で作成したTFTの電界効果移動度は実施例1と同様に、半導体層よりも後にTFT基板側の配向膜を形成する従来のプロセスで作成したTFTの電界効果移動度が向上する効果が得られる。
図7を用いて本発明の第5の実施例について説明する。図7に、本発明を用いた液晶表示装置画素部の断面概略図を示す。
TFT基板を以下の手順で作成した。絶縁基板101には、ガラス基板を用いた。絶縁基板101は、実施例1と同様に広い範囲から選択することが可能である。その上に、スパッタ法を用いて成膜したITOをフォトリソグラフィー法でパターニングして、ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104を厚さ150nmで同層に形成した。ゲート電極102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線
104の材料としては、実施例1と同様に導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。また、上記ゲート電極
102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線
102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
104の材料としては、実施例1と同様に導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,スクリーン印刷法,インクジェット法,電解重合法,無電解メッキ法,電気メッキ法,ホットスタンピング法等の公知の方法によって形成することができる。また、上記ゲート電極
102及び走査配線102′,画素電極103,共通配線104は、フォトリソグラフィー法,シャドウマスク法,マイクロプリンティング法,レーザーアブレーション法等を用いて、所望の形状に加工することができる。さらに、ゲート電極102及び走査配線
102′,画素電極103,共通配線104はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
次に、スピンコートしたポリシラザンを450℃で焼成し、厚さ200nmのSiO2膜をゲート絶縁層105として用いた。ゲート絶縁層105には、絶縁体であれば特に限定されるものではなく、実施例1と同様に広い範囲から選択することができ、プラズマ
CVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ディップコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
CVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ディップコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
次に、画素電極103上のゲート絶縁膜を取り除くように、スルーホール106をフォトリソグラフィー法によって形成した。ゲート絶縁層105を前記印刷法で形成する場合には、スルーホール106はゲート絶縁層105と同時に形成することが可能である。
次に、ポリイミドをスピンコート法で50nmの厚さに成膜し、200℃で焼成後、フォトリソグラフィー法で画素電極103上を覆うようにパターニングして配向膜107を形成した。配向膜107にはポリイミド以外にも実施例1と同様に広い範囲の樹脂材料から選択することができる。ゲート絶縁層105と配向膜107に同一の材料を用いる場合には、ゲート絶縁膜と配向膜を同時に形成することができるため、プロセス数を低減することができる。
次に、そのゲート絶縁層105上をオクタデシルトリクロロシランの単分子膜で修飾した。単分子膜には、実施例1と同様に広い範囲から選択することが可能である。上記修飾はゲート絶縁層105の表面を前記化合物の溶液や蒸気に接触させることにより前記化合物をゲート絶縁膜表面に吸着させることにより達成される。また、ゲート絶縁層105の表面は単分子膜で修飾しなくてもよい。
次に、可溶性のペンタセン誘導体をコンタクトプリントでパターニングし、150℃で焼成して厚さ100nmの半導体層110を形成した。半導体層110は、実施例1と同様に広い範囲の有機化合物の半導体材料から選択することができ、熱蒸着法,分子線エピタキシー法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。半導体層110に、ペンタセン等の低分子有機半導体を用いる場合には、半導体とゲート絶縁膜との界面の平滑性を保ち、薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させるために、半導体層と接するゲート絶縁膜部にはラビング処理を施さない。
半導体層110に、ポリ−9,9−ジオクチルフルオレン−コ−ジチオフェン(F8T2)等の液晶性性材料を用いる場合には、半導体層を形成する前に、あらかじめ半導体層と接するゲート絶縁膜表面を、ソース電極の形成位置からドレイン電極の形成位置の方向、またはドレイン電極の形成位置からソース電極の形成位置の方向に光配向処理を施し、キャリアがチャネルを移動する方向に液晶半導体を一軸配向させることによって薄膜トランジスタの電界効果移動度を向上させることができる。
次に、マスク蒸着法で、厚さ150nmのITOを成膜してドレイン電極108,ソース電極109,信号配線108′を形成し、ソース電極109を画素電極103に接続させた。ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′の材料はゲート電極と同様、導電体であれば特に限定されるものではなく、実施例1と同様に広い範囲の導電性材料から選択することができる。また、単層構造としてだけでなく、複数層を重ね合わせた構造でも使用できる。さらに、ドレイン電極108,ソース電極109、及び信号配線108′にはそれぞれ異なる材料を用いてもよい。
次に、パリレン膜をCVD法で形成し、フォトリソグラフィー法で厚さ500nmの保護膜111とスルーホール106′を形成した。保護膜111はパリレンに限らず、実施例1と同様に、絶縁体の中から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
次に、配向膜107を、絶縁基板101の対角方向に液晶が配向するように、ラビング処理を施し、TFT基板を完成させた。配向膜のラビング方向は液晶の視野角を重視するので、液晶半導体を用い、半導体層と接するゲート絶縁膜表面に配向処理を施した場合には、配向膜とゲート絶縁膜表面との配向方向は必ずしも一致しない。
以下、対向基板の作製および、液晶層の封入は実施例1と同様に実施した。
本実施例で作成したTFTの電界効果移動度は実施例1と同様に、半導体層よりも後にTFT基板側の配向膜を形成する従来のプロセスで作成したTFTの電界効果移動度が向上する効果が得られる。
本実施例は実施例1において、ソース電極及びドレイン電極と半導体層との形成順序を入れ替えることによって、薄膜トランジスタをボトムコンタクト構造からトップコンタクト構造に置き換えたものである。実施例2から4において薄膜トランジスタをトップコンタクト構造に置き換えた場合にも同様の効果が得られる。
図8を用いて本発明の第6の実施例について説明する。図8に、本発明を用いた液晶表示装置画素部の断面概略図を示す。
TFT基板を以下の手順で作成した。絶縁基板101には、ガラス基板を用いた。絶縁基板101は、実施例1と同様に広い範囲から選択することが可能である。その上に、スパッタ法を用いて成膜したITOをフォトリソグラフィー法でパターニングして、ドレイン電極601,信号配線,ソース電極602及び画素電極603を厚さ150nmで同層に形成した。
次に、ポリイミドをスピンコート法で50nmの厚さに成膜し200℃で焼成後、フォトリソグラフィー法で画素電極上を覆うようにパターニングして配向膜604を形成した。配向膜604にはポリイミド以外にも実施例1と同様に広い範囲の樹脂材料から選択することができる。
次に、可溶性のペンタセン誘導体をコンタクトプリントでパターニングし、150℃で焼成して厚さ100nmの半導体層605を形成した。半導体層605は、実施例1と同様に広い範囲の有機化合物の半導体材料から選択することができ、熱蒸着法,分子線エピタキシー法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
次に、厚さ500nmのポリビニルフェノールをスクリーン印刷法で形成し、ゲート絶縁膜606を形成した。ゲート絶縁膜606はポリビニルフェノールに限らず、実施例1と同様に、絶縁体の中から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
次に、配向膜604にラビング処理を施した。
次に、マスク蒸着法を用いて厚さ150nmのAlを成膜し、ゲート電極607及び走査配線,共通配線を形成した。ゲート電極607及び走査配線,共通配線の材料としては、実施例1と同様に導電体であれば特に限定されるものではなく広い範囲から選択することが可能である。さらに、ゲート電極607及び走査配線,共通配線はそれぞれ異なる材料で形成しても構わない。
次に、厚さ500nmのポリビニルフェノールをスクリーン印刷法で形成し、保護膜
608を形成した。保護膜608はポリビニルフェノールに限らず、実施例1と同様に、絶縁体の中から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
608を形成した。保護膜608はポリビニルフェノールに限らず、実施例1と同様に、絶縁体の中から選択することが可能である。また、プラズマCVD法,熱蒸着法,スパッタ法,陽極酸化法,スプレー法,スピンコート法,ロールコート法,ブレードコート法,ドクターロール法,スクリーン印刷法,インクジェット法等によって形成することができる。
以上のようにTFT基板を完成させた。以下、対向基板の作製および、液晶層115の封入は実施例1と同様に実施した。
つまり、本実施例では、一対の基板(絶縁基板101,101′)と、その一方基板
(絶縁基板101)上に形成され、ソース電極602,ドレイン電極601,半導体層
605,ゲート絶縁層606,ゲート電極607を有する薄膜トランジスタと、他方基板(絶縁基板101′)上に形成された共通電極112と、一対の基板に挟持された液晶層115と、液晶層と一方基板間に配置された第1の配向膜(配向膜604)と、液晶層と他方基板間に配置された第2の配向膜(配向膜107′)と、を有し、半導体層605は、有機化合物で形成され、薄膜トランジスタのソース電極602は、画素電極603の機能を有し、一方の絶縁基板101と配向膜604間に配置され、その配向膜604は、半導体層605上方を除いた平面領域に形成された構成としたことで、有機半導体層の劣化を防止することができ、且つソース電極と画素電極を1回の工程で形成できるため、簡易な製造工程で、安価な液晶表示装置を提供できる効果を得ることができる。
(絶縁基板101)上に形成され、ソース電極602,ドレイン電極601,半導体層
605,ゲート絶縁層606,ゲート電極607を有する薄膜トランジスタと、他方基板(絶縁基板101′)上に形成された共通電極112と、一対の基板に挟持された液晶層115と、液晶層と一方基板間に配置された第1の配向膜(配向膜604)と、液晶層と他方基板間に配置された第2の配向膜(配向膜107′)と、を有し、半導体層605は、有機化合物で形成され、薄膜トランジスタのソース電極602は、画素電極603の機能を有し、一方の絶縁基板101と配向膜604間に配置され、その配向膜604は、半導体層605上方を除いた平面領域に形成された構成としたことで、有機半導体層の劣化を防止することができ、且つソース電極と画素電極を1回の工程で形成できるため、簡易な製造工程で、安価な液晶表示装置を提供できる効果を得ることができる。
実施例4,図6と異なる点は、薄膜トランジスタの層構造が逆になっている点であり、本実施例では、半導体層605上にゲート絶縁膜606が形成され、その上にゲート電極607が形成された点である。
本実施例で作成したTFTの電界効果移動度は実施例1と同様に、半導体層よりも後にTFT基板側の配向膜を形成する従来のプロセスで作成したTFTの電界効果移動度が向上する効果が得られる。
101,101′…絶縁基板、102…ゲート電極、102′…走査配線、103,
401…画素電極、104…共通配線、105,301…ゲート絶縁層、106,106′,202…スルーホール、107,402…配向膜、108…ドレイン電極、108′…信号配線、109…ソース電極、110…半導体層、111…保護膜、112…共通電極、113…ブラックマトリクス、114…カラーフィルタ、115…液晶層、201…ゲート絶縁層、302…電界効果移動度向上用の膜。
401…画素電極、104…共通配線、105,301…ゲート絶縁層、106,106′,202…スルーホール、107,402…配向膜、108…ドレイン電極、108′…信号配線、109…ソース電極、110…半導体層、111…保護膜、112…共通電極、113…ブラックマトリクス、114…カラーフィルタ、115…液晶層、201…ゲート絶縁層、302…電界効果移動度向上用の膜。
Claims (10)
- 一対の基板と、
前記一対の基板の一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、
前記一方基板上に形成された画素電極と、
前記他方基板上に形成された共通電極と、
前記一対の基板に挟持された液晶層と、
前記液晶層と前記画素電極間に配置された第1の配向膜と、
前記液晶層と前記他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、
前記薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、
前記第1の配向膜は、前記半導体層上方を除いた平面領域に形成された液晶表示装置。 - 一対の基板と、
前記一対の基板の一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、
前記一方基板上に形成された画素電極と、
前記他方基板上に形成された共通電極と、
前記一対の基板に挟持された液晶層と、
前記液晶層と前記他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、
前記薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、
前記ゲート絶縁膜は、複数の膜で積層形成され、前記複数の層の1つの層は、前記ゲート電極上方で前記半導体層と接し、且つ前記画素電極上に配置され、前記液晶層の液晶分子の配向を制御する機能を有する液晶表示装置。 - 一対の基板と、
前記一対の基板の一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、
前記一方基板上に形成された画素電極と、
前記他方基板上に形成された共通電極と、
前記一対の基板に挟持された液晶層と、
前記液晶層と前記画素電極間に配置された第1の配向膜と、
前記液晶層と前記他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、
前記薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、
前記半導体層と前記ゲート絶縁層との間には、前記第1の配向膜と同材料の膜が形成された液晶表示装置。 - 一対の基板と、
前記一対の基板の一方基板上に形成され、ゲート電極,ゲート絶縁層,ソース電極,ドレイン電極,半導体層を有する薄膜トランジスタと、
前記他方基板上に形成された共通電極と、
前記一対の基板に挟持された液晶層と、
前記液晶層と前記一方基板間に配置された第1の配向膜と、
前記液晶層と前記他方基板間に配置された第2の配向膜と、を有し、
前記薄膜トランジスタの半導体層は、有機化合物で形成され、
前記薄膜トランジスタのソース電極は、画素電極の機能を有し、前記一方基板と前記第1の配向膜間に配置され、
前記第1の配向膜は、前記半導体層上方を除いた平面領域に形成された液晶表示装置。 - 請求項1,3,4のいずれか一項に記載の液晶表示装置において、
前記第1の配向膜は、ポリイミドまたはポリアミック酸、もしくはポリイミド及びポリアミック酸からなる膜である液晶表示装置。 - 請求項1,3,4のいずれか一項に記載の液晶表示装置において、
前記ゲート絶縁膜と前記第1の配向膜は、同一の材料で形成された液晶表示装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液晶表示装置において、
前記半導体層は、液晶性材料で形成され、
前記半導体層と接する前記ゲート絶縁膜に配向処理が施されて形成された液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記半導体層と接する前記ゲート絶縁膜の表面は、前記ソース電極の形成位置から前記ドレイン電極の形成位置の方向、または前記ドレイン電極の形成位置から前記ソース電極の形成位置の方向に配向処理された液晶表示装置。 - 請求項7記載の液晶表示装置において、
前記半導体層と接する前記ゲート絶縁膜の表面に形成された配向方向と、前記配向膜の表面に形成された配向方向とは、配向方向が異なっている液晶表示装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の液晶表示装置において、
前記他方基板と前記第2の配向膜間にカラーフィルタを有する液晶表示装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005255805A JP2007071928A (ja) | 2005-09-05 | 2005-09-05 | 液晶表示装置 |
TW095129422A TW200717142A (en) | 2005-09-05 | 2006-08-10 | Liquid crystal display device |
KR1020060081089A KR100839684B1 (ko) | 2005-09-05 | 2006-08-25 | 액정 표시 장치 |
US11/510,561 US20070058101A1 (en) | 2005-09-05 | 2006-08-28 | Liquid crystal display device |
CNB2006101262191A CN100451789C (zh) | 2005-09-05 | 2006-08-28 | 液晶显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005255805A JP2007071928A (ja) | 2005-09-05 | 2005-09-05 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007071928A true JP2007071928A (ja) | 2007-03-22 |
Family
ID=37854680
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005255805A Withdrawn JP2007071928A (ja) | 2005-09-05 | 2005-09-05 | 液晶表示装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070058101A1 (ja) |
JP (1) | JP2007071928A (ja) |
KR (1) | KR100839684B1 (ja) |
CN (1) | CN100451789C (ja) |
TW (1) | TW200717142A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009044614A1 (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-09 | Rohm Co., Ltd. | 有機半導体装置 |
JP2009164368A (ja) * | 2008-01-08 | 2009-07-23 | Hitachi Ltd | 有機薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP2010238869A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機トランジスタの製造方法 |
JP2020154174A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | スタンレー電気株式会社 | 液晶表示素子 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101357214B1 (ko) * | 2007-02-28 | 2014-01-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액상의 유기 반도체물질을 이용한 액정표시장치용 어레이기판 및 그 제조 방법 |
JP5286826B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2013-09-11 | 凸版印刷株式会社 | 薄膜トランジスタアレイ、薄膜トランジスタアレイの製造方法、およびアクティブマトリスクディスプレイ |
CH705051B1 (fr) * | 2007-12-21 | 2012-12-14 | Swatch Group Res & Dev Ltd | Dispositif d'affichage à matrice active. |
KR101458898B1 (ko) | 2008-02-12 | 2014-11-07 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 및 그 제조 방법 |
CN101840996A (zh) * | 2009-03-20 | 2010-09-22 | 德晶电子(江苏)有限公司 | 印刷式半导体晶体管及其形成方法 |
US20140166991A1 (en) * | 2012-12-17 | 2014-06-19 | Dmitri E. Nikonov | Transparent light-emitting display |
CN104808409B (zh) * | 2015-05-18 | 2018-03-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板、阵列基板制造方法和显示装置 |
CN107615144B (zh) * | 2015-05-29 | 2020-11-24 | 夏普株式会社 | 液晶显示装置以及取向膜 |
CN107490917A (zh) * | 2017-09-27 | 2017-12-19 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种薄膜晶体管阵列基板及显示装置 |
WO2020049674A1 (ja) * | 2018-09-06 | 2020-03-12 | シャープ株式会社 | 表示デバイス |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW293172B (ja) * | 1994-12-09 | 1996-12-11 | At & T Corp | |
US5835177A (en) * | 1995-10-05 | 1998-11-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Array substrate with bus lines takeout/terminal sections having multiple conductive layers |
KR100685944B1 (ko) * | 2000-12-05 | 2007-02-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 광배향성 물질 및 이를 이용한 액정표시소자 |
JP3963693B2 (ja) * | 2001-10-15 | 2007-08-22 | 富士通株式会社 | 導電性有機化合物及び電子素子 |
CN1371017A (zh) * | 2002-04-05 | 2002-09-25 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 有源矩阵液晶显示装置及制造方法和材料 |
TW200413803A (en) * | 2003-01-30 | 2004-08-01 | Ind Tech Res Inst | Organic transistor array substrate and its manufacturing method, and LCD including the organic transistor array substrate |
TWI228189B (en) * | 2003-04-15 | 2005-02-21 | Ind Tech Res Inst | Organic thin film transistor array substrate, its manufacturing method and liquid crystal display including the organic thin film transistor array substrate |
JP4325479B2 (ja) * | 2003-07-17 | 2009-09-02 | セイコーエプソン株式会社 | 有機トランジスタの製造方法、アクティブマトリクス装置の製造方法、表示装置の製造方法および電子機器の製造方法 |
-
2005
- 2005-09-05 JP JP2005255805A patent/JP2007071928A/ja not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-08-10 TW TW095129422A patent/TW200717142A/zh unknown
- 2006-08-25 KR KR1020060081089A patent/KR100839684B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-08-28 US US11/510,561 patent/US20070058101A1/en not_active Abandoned
- 2006-08-28 CN CNB2006101262191A patent/CN100451789C/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009044614A1 (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-09 | Rohm Co., Ltd. | 有機半導体装置 |
JPWO2009044614A1 (ja) * | 2007-10-01 | 2011-02-03 | ローム株式会社 | 有機半導体装置 |
JP2009164368A (ja) * | 2008-01-08 | 2009-07-23 | Hitachi Ltd | 有機薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP2010238869A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機トランジスタの製造方法 |
JP2020154174A (ja) * | 2019-03-20 | 2020-09-24 | スタンレー電気株式会社 | 液晶表示素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070058101A1 (en) | 2007-03-15 |
CN1928679A (zh) | 2007-03-14 |
KR20070026046A (ko) | 2007-03-08 |
KR100839684B1 (ko) | 2008-06-19 |
TW200717142A (en) | 2007-05-01 |
CN100451789C (zh) | 2009-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100839684B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
JP4385812B2 (ja) | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 | |
US7286281B2 (en) | Electrophoretic display and method of manufacturing thereof | |
US7919778B2 (en) | Making organic thin film transistor array panels | |
US8039296B2 (en) | Organic thin film transistor array panel and manufacturing method thereof | |
TWI429084B (zh) | 製作有機薄膜電晶體陣列面板 | |
US20060197881A1 (en) | Organic thin film transistor array panel and manufacturing method thereof | |
JP5376287B2 (ja) | 回路基板、電気光学装置、電子機器 | |
US20070166855A1 (en) | Display device and method of manufacturing the same | |
CN101017840A (zh) | 有机薄膜晶体管阵列板 | |
US20080023695A1 (en) | Organic thin film transistor substrate and method of manufacturing the same | |
US20070103613A1 (en) | Flat panel display | |
JP5148086B2 (ja) | 有機薄膜トランジスタ表示板 | |
US7679712B2 (en) | Liquid crystal display comprising a semiconductor formed in an opening of a partition formed on a source electrode and a drain electrode and method of manufacturing thereof | |
JP5055849B2 (ja) | 表示装置、有機薄膜トランジスタの製造方法 | |
US20080076204A1 (en) | Method for manufacturing a thin film transistor array panel | |
US20070262308A1 (en) | Thin film transistor array panel and manufacturing method thereof | |
KR20080029279A (ko) | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 | |
KR20080013300A (ko) | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 | |
JP2010212326A (ja) | 半導体装置 | |
JP5262966B2 (ja) | 表示装置および表示装置の製造方法 | |
JP2016163029A (ja) | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタアレイの製造方法及び画素表示装置 | |
KR101785916B1 (ko) | 유기 박막트랜지스터 및 그 제조방법 그리고 이를 구비하는 액정표시장치 | |
WO2012141225A1 (ja) | 有機半導体素子の製造方法 | |
JP5685933B2 (ja) | 薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070927 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20090402 |