JP2007059385A - 無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電源供給手段50から放電電圧が印加される第1電極10と、第1電極10と所定間隔が離隔され、第1電極10を取り囲む誘電体30と、第1電極10と誘電体30との間の空間に充填される液体誘電体40と、誘電体30と所定間隔が離隔されるように設置される第2電極20と、を備える。さらに、第2電極20と所定間隔が離隔され、第2電極20を取り囲む第2誘電体と、第2電極20と前記第2誘電体との間の空間に充填される第2液体誘電体とを付加することもできる。
【選択図】図4
Description
同図に示すように、電源供給手段5が、第1電極1と第2電極2との間に電圧を印加し、誘電体3が、第1電極1及び第2電極の面にそれぞれ平板状に形成されている。両誘電体3の間には、一定間隔が維持される空間が形成されており、電源供給手段5により電圧が印加されると、両誘電体3の間の空間においてプラズマ6が生成される。
同図に示すように、両電極1、2の間に誘電体3が形成され、放電によりプラズマ6が生成されるという点は図1と同じであるが、第1電極1及び第2電極2の断面が、円状に形成され、その内部に誘電体3層が接して形成されたという特徴がある。また、第1電極1の内部に冷却水4を充填し得る空間が形成されているという特徴もある。図1と図2において、いずれか一方の誘電体は省略できる。
冷却水も誘電体であるため、以下では「液体誘電体や冷却水」の代りに、便宜上「液体誘電体」と略称する。
図3は、本発明の第1実施の形態に係る大気圧プラズマ発生装置の電極構造を示す断面図である。
図4は、本発明の第2実施の形態に係る大気圧プラズマ発生装置の電極構造を示す断面図である。
電源供給手段50から第1電極10と第2電極20との間に放電電圧が印加されると、誘電体30と第2電極20との間の空間から放電が発生し、プラズマ60が生成される。
2,20 第2電極
3,30 誘電体
4 冷却水
40 液体誘電体
5,50 電源供給手段
6,60 プラズマ
7 無駄な放電プラズマ
Claims (11)
- プラズマ発生装置であって、
電源供給手段から放電電圧が印加される第1電極と、
前記第1電極と所定間隔が離隔され、前記第1電極を取り囲む誘電体と、
前記第1電極と前記誘電体との間の空間に充填される液体誘電体と、
前記誘電体と所定間隔が離隔されるように設置される第2電極と、を備える無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。 - 前記電源供給手段からの放電電圧が、前記第2電極に印加され、前記第1電極が、接地又はフローティング状態になったことを特徴とする請求項1に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記第2電極と所定間隔が離隔され、前記第2電極を取り囲む第2誘電体と、
前記第2電極と前記第2誘電体との間の空間に充填される第2液体誘電体と
をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。 - 前記液体誘電体が、冷却機能を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記液体誘電体として水を使用することを特徴とする請求項4に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記液体誘電体が、冷却機能を有することを特徴とする請求項3に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記液体誘電体として、水を使用することを特徴とする請求項6に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記誘電体と前記第2電極との間の隔離距離が、0.1〜30mmの範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記誘電体と前記第2誘電体との間の隔離距離が、0.1〜30mmの範囲であることを特徴とする請求項3に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記誘電体と前記第2電極との間の隔離距離が、0.1〜30mmの範囲であることを特徴とする請求項4に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
- 前記誘電体と前記第2誘電体との間の隔離距離が、0.1〜30mmの範囲であることを特徴とする請求項6に記載の無駄な放電を防止するための電極構造の大気圧プラズマ発生装置。
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