KR100749406B1 - 불용방전 방지를 위한 전극 구조를 갖는 대기압 플라즈마발생장치 - Google Patents
불용방전 방지를 위한 전극 구조를 갖는 대기압 플라즈마발생장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
본 발명에서는 고체 유전체와 액체 유전체가 모두 등장하는데 이하에서는 고체 유전체는 그냥 유전체로 표기하여 액체 유전체와 구별하도록 한다.
Claims (11)
- 플라즈마 발생장치로서,전원공급수단으로부터 방전 전압이 인가되는 제1 전극;상기 제1 전극과 소정 간격 이격되어서 상기 제1 전극을 둘러싸는 유전체;상기 제1 전극과 상기 유전체 사이의 공간에 채워지는 액체 유전체; 및상기 유전체와의 사이에 플라즈마가 형성되는 공간을 남기면서 상기 유전체와 소정 간격 이격 설치되는 제2 전극; 을 포함하여방전 전압이 인가되는 상기 제1 전극과 상기 유전체가 직접 접촉하지 않게 한 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서,상기 전원공급수단으로부터의 방전 전압이 상기 제2 전극에 인가되고, 상기 제1 전극은 접지 또는 플로우팅 상태로 된 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제2 전극과 소정 간격 이격되어서 상기 제2 전극을 둘러싸는 제2 유전체; 및상기 제2 전극과 상기 제2 유전체 사이의 공간에 채워지는 제2 액체 유전체;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 액체 유전체는 냉각 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제4항에 있어서,상기 액체 유전체로서 물을 사용하는 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제3항에 있어서,상기 액체 유전체들은 냉각 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제6항에 있어서,상기 액체 유전체로서 물을 사용하는 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 유전체 사이의 이격거리(D)는 0.1~30mm 범위 내인 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제3항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 유전체 사이의 이격거리 및 상기 제2 전극과 상기 제2 유전체 사이의 이격거리는 각각 0.1~30mm 범위 내인 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
- 제4항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 유전체 사이의 이격거리는 0.1~30mm 범위 내인 것을 특징으로 하는 불용방전 방지를 위한 전극 구조의 플라즈마 발생장치.
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