KR100599461B1 - 대기압 플라즈마 발생장치 및 이를 이용한 플라즈마프로세스 시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 대기압 플라즈마 발생 장치에 있어서:중공의 플라즈마 챔버, 중공의 플라즈마 챔버는: 길이 방향으로 일부가 개방되어 플라즈마 가스를 분사하는 개구부를 갖도록 개방된 영역을 갖는 관형상의 외부 전극관; 외부 전극관의 길이와 동일한 길이를 갖고 외부 전극관의 내측에 매입되는 내부 전극관; 외부 전극관과 내부 전극관이 마주 대하는 표면에 각기 설치되는 한 쌍의 유전체층; 및 외부 전극관과 내부 전극관의 양단에 상호 방전 거리를 갖도록 양단에 장착되어 지지하는 절연체 스페이서를 포함하고;외부 전극관과 내부 전극관에 전기적으로 연결되는 제1 전원;플라즈마 챔버에 장착되어 플라즈마 챔버로 기전력을 전달하기위한 페라이트 코어와 페라이트 코어에 권선되는 유도 코일;유도 코일에 전기적으로 연결되는 제2 전원;외부 전극관의 외측에 길이 방향으로 설치되고, 외부 전극관과 마주접하는 면으로 상호 형성된 다수의 관통된 홀들을 통하여 중공형 플라즈마 챔버로 방전 가스를 공급하는 가스 공급관;플라즈마 챔버에 장착되는 적어도 하나의 냉각관을 포함하여,제1 전원으로부터 외부 전극관과 내부 전극관으로 전원이 공급되는 것에 의해 플라즈마 점화가 이루어지고, 제2 전원으로부터 유도 코일로 공급되는 것에 의해 플라즈마 챔버의 내부에 유도 기전력이 전달되어 플라즈마 이온 입자의 가속이 이루어져 고밀도의 플라즈마가 발생되어 개구부를 통해 하부로 균일하게 분사되는 것을 특징으로 하는 대기압 플라즈마 발생장치.
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- 제1항에 있어서, 상기 내부 전극관은 길이 방향으로 일부분이 개방된 영역을 갖는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제4항에 있어서,상기 내부 전극관의 개방된 영역은 외부 전극관의 개방된 영역과 일치하도록 위치되거나 또는 반대로 대칭되도록 위치하는 것 중 어느 하나로 위치하는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제5항에 있어서, 상기 내부 전극관의 개방된 영역을 막는 절연판을 포함하는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서, 상기 페라이트 코어는 플라즈마 챔버의 중공영역에 교차 장착되는 사각 링 형상을 갖는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서, 상기 페라이트 코어는 플라즈마 챔버의 중공영역에 삽입 장착되는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제1항 있어서, 적어도 둘 이상의 플라즈마 챔버를 병렬로 배열하고, 이웃하는 플라즈마 챔버 간에 각기 페라이트 코어를 교차 착장하여 다수개의 중공형 플라즈마 챔버를 연속하여 설치할 수 있는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 있어서, 상기 플라즈마 챔버의 개구부 하측으로 작업 대상물이 진입하기 전에 작업 대상물을 예열시키기 위한 가열 수단을 더 포함하는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제10항에 있어서, 상기 가열 수단은 하나 이상의 램프와 램프로부터 조사되는 빛을 작업 대상물로 조사되게 하는 반사 갓을 포함하는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제9항에 있어서, 병렬로 배열되는 둘 이상의 플라즈마 챔버와 작업 대상물을 예열시키기 위한 적어도 둘 이상의 가열 수단이 교대적으로 배열되는 대기압 플라즈마 발생장치.
- 제1항에 기재된 플라즈마 발생 장치를 이용한 대기압 플라즈마 프로세스 시스템에 있어서,적어도 하나의 대기압 플라즈마 발생 장치가 설치되는 대기압의 공정실;공정실의 외부로 공정 진행 후 가스를 배출하기 위한 배기구;작업 대상물을 대기압 플라즈마 발생 장치의 개구부의 하부로 진입시키기 위한 다수개의 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 프로세스 시스템.
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