JP2007054698A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 塗布方向を基準として前方の連結ビーム7の幅方向の中央部には、塗布液送液ポンプとして、非圧縮流体によりチューブの外周部に均一な圧力を加えて作動させるチューブフラムポンプ12を配置している。このチューブフラムポンプ12は連結ビーム7上面に取り付けた楔部材13に出口が上になり入口が下になるように斜めに固定されている。このように、斜めに配置することで、エアーの噛み込みを防止することができる。尚、出口と入口には液溜がない構造としておくことがボタ落ちなどを防ぐ上で好ましい。
【選択図】 図2
Description
このような、回転塗布タイプやスプレータイプにあっては、基板上に塗布される有効な塗布液の量が少なく無駄が多い。
一方、塗布液の無駄がない塗布装置としては特許文献2に開示されるロールコータがある。しかしながらロールコータにおいては、均一な塗布が困難という問題がある。
このような理由から最近では基板の大型化(1辺の長さが1mを超える矩形)が進んでいるが、基板寸法の大型化が進むと、基板を回転させることが困難になる。
即ち、1辺が1mを超える矩形状基板を数千回転/分の速度で回転させることは、装置の構造が極めて複雑になり、また基板の破損等の事態を考慮すると、大型基板を高速で回転せしめることには不利な点が多い。
このように塗布エレメントを取り付ける部材をベースに対して非接触で移動可能とすることで、振動に起因する塗布ムラを解消することはできるが、これだけでは十分とは言えない。
また、特許文献7には、スリットノズルと一体的に送液ポンプを設置する発明が記載されているが、これでは、スリットノズル交換時に送液ポンプも取外さなくてはならない。このため作業精度を上げる必要が生じ、作業負担が増加し塗布再開までの時間がかかる。
また、連結ビームの略中央部に送液ポンプが取り付けられているため、左右門柱のバランスの調整が容易である。これにより、移動時に発生する振動やピッチングを低減することができる。
この際、横斜め方向に取り付けるとチューブフラム内の出入り口付近の接合部に液溜りが発生しやすいので、これを解消する構造とするのが好ましい。
また、左右門柱のバランスの調整が容易であり、移動時に発生する振動やピッチングを低減することが可能になる。
従って、高性能且つ信頼性の向上した塗布装置を実現することができる。
図1は本発明に係る塗布装置の一部を拡大した一実施の形態を示す平面図である。また、図2は図1のA方向矢視図、図3は図1のB方向矢視図、図4はスリットノズルの取り付け状態を説明した拡大側面図である。
ベースフレーム1上には一対のレール2,2が水平方向に且つ平行に設けられ、これら一対のレール2には門型移動機構3が係合し、ベースフレーム1上にはガラス基板W等を載置する基板載置ステージ4が設けられている。
なお、連結ビーム7,7については1本のみの構成とすることもできる。
ここで、連結ビーム7,7はガントリーフレーム5の上面に取り付けられているが、この位置は走行時に連結ビーム7,7が基板(基板載置ステージ4)に緩衝しない範囲で最も低い位置である。
このように連結ビーム7,7の高さを低くすることで、走行時のピッチングを抑制することができる。
而して、昇降機構8,8を駆動することでノズルベースプレート9とスリットノズル10は一体的に昇降動する。
本実施の形態では、この楔部材13が、図2及び図3に示すように、一方に傾斜した形状であるため(紙面垂直方向から見て)、チューブフラムポンプ12は斜めに配置されている。この場合、チューブフラムポンプ12は、出口側(アウト)が上方に、入口側(イン)が下方になるように固定されている。
このように、チューブフラムポンプ12が斜めに配置されることで、エアーの噛み込みを防止することができる。
なお、チューブフラムポンプ12において、出口側と入口側の構成は、液溜がない構造とすることがボタ落ちなどを防ぐ上で好ましい。
ここで、チューブフラムポンプ12はスリットノズル10と一体的に移動する連結ビーム7に取り付けられており、スリットノズル10の昇降動分だけフレキシブルチューブ14に余裕があればよい。
従って、本実施の形態の場合では、フレキシブルチューブ14の長さを1m以下と短くし、チューブの伸縮による塗布液供給量の微妙な増減を避けている。
〔表中、移動速度は、レール2に沿って門型移動機構3が移動する速度を、整定距離はガントリーの振幅が安定するまでの距離を示す。〕
また、連結ビームの中央部に送液ポンプが取り付けられているため、左右門柱のバランスの調整が容易であり、移動時に発生する振動やピッチングを低減することができる。
Claims (4)
- 一対の平行なレール間に基板載置ステージが配置され、該基板載置ステージを跨ぐようにスリットノズルを備えた門型移動機構が前記レール間に走行可能に架け渡された塗布装置において、
前記門型移動機構は、前記一対の平行なレールのそれぞれに係合する走行体と、これら走行体間を連結する連結ビームとを備え、
前記連結ビームの略中央部に塗布液送液ポンプが取り付けられていることを特徴とする塗布装置。 - 前記塗布液送液ポンプがチューブフラムポンプであることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記チューブフラムポンプから前記スリットノズルまでの配管の長さが1m未満であることを特徴とする請求項2に記載の塗布装置。
- 前記チューブフラムポンプは、出口側が上方になるように斜めに取り付けられていることを特徴とする請求項2に記載の塗布装置。
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