JP2007026885A - 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】拡大観察装置は、観察対象を撮像して観察像を取得するための撮像部42と、撮像部42で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部650と、観察条件設定部650で設定された像観察条件で撮像の開始を指示するための撮像開始指示部654と、撮像開始指示部654で撮像開始が指示されると、観察条件設定部650で設定された倍率で撮像部42が観察像を撮像すると共に、この倍率を基準とする複数の異なる倍率にて関連画像を取得可能な関連画像取得部とを備える。これによって、観察条件設定部650で所望の倍率に設定して観察像を撮像すると、この倍率を基準とする異なる複数の関連画像を自動的に取得できる。
【選択図】図1
Description
(試料台33)
(eプレビュー)
(関連画像の自動取得)
(関連画像の自動取得フロー)
(関連付け保存)
(関連画像の撮像倍率)
(表示倍率変更機能)
(拡大観察装置操作プログラム)
(視差画像から3次元画像を構築する手順)
(3次元画像表示プログラム700)
(荷電粒子線装置を用いた3次元画像生成方法)
(第2表示領域48)
(説明表示欄630)
(「1枚目の撮影」ステップ)
(「2枚目の撮影」ステップ)
(倍率連動機能)
(ガイド線682)
200…拡大観察装置
1…コンピュータ;2…中央演算処理部
3…電子銃高圧電源;4…フィラメント
5…ウェーネルト;6…アノード
7…電子銃;8…電子線
9…ガンアライメントコイル;10…ガンアライメントコイル制御部
11…収束レンズ制御部;12…収束レンズ
13…対物レンズ絞り;14…非点収差補正コイル制御部
15…電子線偏向走査コイル制御部;16…対物レンズ制御部
17…非点収差補正コイル;18…電子線偏向走査コイル
19…対物レンズ;20…試料
21…二次電子検出器;22…反射電子検出器
23…二次電子検出増幅部;24…反射電子検出増幅部
25…A/D変換器;26…A/D変換器
27…画像データ生成部;28…表示部
29…プリンタ;30…排気系ポンプ
31…試料室;32…排気制御部;33…試料台;34…試料台制御部
42…撮像部
47…第1表示領域;47A…第1分割表示領域;47B…第2分割表示領域
48…第2表示領域
68…画像データ記憶部
70…演算部;74…モード切替部
76…関連画像取得部
78…補完処理部
80…設定部
82…関連画像設定部;82A…関連画像倍率設定部;82B…関連画像画素数設定部
84…保存指示手段
86…動作モード切替手段
601…画像補正設定手段;601a…シャープネス設定手段
601b…ハイライト設定手段;601c…ガンマ補正設定手段
601d…輝度分布図;601e…オーバーレンジ抽出設定手段
603…個別条件設定手段;603a…「検出器」ボックス
603b…「加速電圧」ボックス;603c…「真空度」ボックス
603d…「スポットサイズ」ボックス
604…ファイル対応条件設定手段;605…「eプレビュー設定」ボタン
611…倍率設定部;611a…「倍率」ボタン;611b…スライダ
612…観察視野移動設定部;612a…「中心移動」ボタン
613…コントラスト・明るさ設定手段;614…非点収差調整設定手段
615…光軸調整設定手段
621…「3D」タブ
630…説明表示欄;640…フロー図
641…「1枚目の撮影」欄
650…観察条件設定部
652…「倍率誤差補正」ボタン
654…撮像開始指示部
654a…「撮影」ボタン;656…「次へ」ボタン
670…3次元画像生成モード選択部;672…「次へ」ボタン
681…枠状
682…ガイド線
700…3次元画像表示プログラム
701…「3D表示」タブ
702…「3D計測」タブ
703…「2D表示」タブ
K…3次元画像枠
Claims (21)
- 観察対象を撮像して観察像を取得するための撮像部と、
前記撮像部で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部と、
前記観察条件設定部で設定された像観察条件で撮像の開始を指示するための撮像開始指示部と、
前記撮像開始指示部で撮像開始が指示されると、前記観察条件設定部で設定された倍率で前記撮像部が観察像を撮像すると共に、この倍率を基準とする複数の異なる倍率にて関連画像を取得可能な関連画像取得部と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1に記載の拡大観察装置であって、
前記関連画像取得部が、関連画像として前記観察条件設定部で設定された撮像時の倍率よりも低い複数の倍率で関連画像を撮像することを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1又は2に記載の拡大観察装置であって、
前記関連画像取得部が、関連画像を取得する倍率を、観察像の倍率を基準として徐々に低倍率となるように、連続的に変化させることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1又は2に記載の拡大観察装置であって、
前記関連画像取得部が、関連画像を取得する倍率を、観察像の倍率を基準として離散的に変化させることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から4のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記関連画像取得部で関連画像を取得する倍率を設定可能な関連画像倍率設定部を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から5のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記関連画像取得部で取得される関連画像が、前記撮像部で撮像された観察像よりも画素数を少なくすることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から6のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記関連画像取得部で取得される関連画像の画素数を設定可能な関連画像画素数設定部を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から7のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記撮像開始指示部で撮像開始が指示されると、前記撮像部が観察像を撮像する通常モードと、前記撮像部による観察像の撮像と共に、前記関連画像取得部が関連画像を取得する関連画像取得モードとを切り替え可能な動作モード切替手段を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から8のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記関連画像取得部による関連画像の撮像が、前記撮像部による観察像の撮像と観察位置の中心を同じとすることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から9のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、
前記関連画像取得部による関連画像の保存が、前記撮像部による観察像のデータと関連付けて行われることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から10のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
観察像及び/又は関連画像を表示可能な表示部と、
前記表示部で表示される観察像の表示倍率を調整するための倍率設定部と、
前記倍率設定部で設定される表示倍率の観察像が保存されていない場合、同一の観察像について前記関連画像取得部にて予め撮像された関連画像に基づいて、前記倍率設定部で設定された倍率にて表示される補完観察像を演算により生成し、該補完観察像を表示するための補完処理部と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項11に記載の拡大観察装置であって、
前記表示部に表示される観察像の表示倍率を前記倍率設定部で設定可能な増減分にて連続的に変更すると、表示倍率が予め撮像された関連画像の倍率と一致するときは該関連画像を表示し、表示倍率が異なるときは近傍の表示倍率で撮像された関連画像に基づいて前記補完処理部で生成された補完画像を表示するよう、切り替えて表示するように構成してなることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項11又は12に記載の拡大観察装置であって、
前記表示部が、異なる画像を各々表示可能な第1分割表示領域と第2分割表示領域を有しており、
前記拡大観察装置はさらに、
前記第1分割表示領域に観察像を表示させ、前記第2表示領域に該観察像よりも低倍率の関連画像を広域画像として表示させた際に、前記第1分割表示領域に表示された観察像の領域に相当する広域画像中の領域を枠状の2次元画像枠として前記広域画像上に重ねて表示可能な2次元画像枠表示手段を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項11又は12に記載の拡大観察装置であって、さらに、
取得された2以上の観察像に基づいて3次元の画像を生成可能な3次元画像生成手段と、
前記表示部で観察像を表示させた状態で、前記3次元画像生成手段で生成した3次元画像に相当する領域を、観察像上で3次元画像枠として表示可能な3次元画像枠表示手段を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から14のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
取得された画像を記憶するための画像データ記憶部を備えており、
前記撮像開始指示部で撮像開始が指示されると、前記観察条件設定部で観察像及び複数の関連画像を取得すると共に、取得された観察像及び関連画像を前記画像データ記憶部に保存するよう構成されてなることを特徴とする拡大観察装置。 - 請求項1から15のいずれか一に記載の拡大観察装置であって、さらに、
前記撮像開始指示部の指示により撮像された観察像及び/又は関連画像を、保存するよう指示するための保存指示手段
を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 観察対象を裁置するためのステージと、前記ステージ上の観察対象に対して電子線を照射するための電子銃と、観察対象から放出される二次電子または反射電子を検出するための1以上の検出器と、前記検出器で検出された情報に基づいて電子線観察像を結像するための電子線撮像部と、前記電子線撮像部で撮像された観察像を表示するための表示部と、
を備え、
所定の像観察条件に基づいて、前記電子銃に加速電圧を印加して電子線を観察対象に照射し、観察対象から放出される二次電子または反射電子を前記検出器で検出しながら観察対象表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し前記表示部に表示可能な拡大観察装置であって、さらに、
前記電子線撮像部で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部と、
前記観察条件設定部で設定された像観察条件で撮像の開始を指示するための撮像開始指示部と、
前記撮像開始指示部で撮像開始が指示されると、前記観察条件設定部で設定された倍率で前記電子線撮像部が観察像を撮像すると共に、この倍率を基準とし、前記観察条件設定部で設定可能な倍率に対して複数の異なる倍率にて関連画像を取得可能な関連画像取得部と、
を備えることを特徴とする拡大観察装置。 - 観察対象を撮像して観察像を取得するための撮像部と、
前記撮像部で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部と、
前記観察条件設定部で設定された像観察条件で撮像の開始を指示するための撮像開始指示部と、
を備える拡大観察装置の操作方法であって、
前記観察条件設定部で像観察条件を設定した後、前記撮像開始指示部で撮像開始を指示する工程と、
前記観察条件設定部で設定された倍率で前記撮像部が観察像を撮像すると共に、この倍率を基準とし、前記観察条件設定部で設定された倍率と異なる複数の倍率にて前記撮像部が関連画像を撮像する工程
を含むことを特徴とする拡大観察装置の操作方法。 - 請求項18に記載の拡大観察装置の操作方法であって、さらに、
関連画像を基準となる観察像と関連付けて保存する工程を含むことを特徴とする拡大観察装置の操作方法。 - 観察対象を撮像して観察像を取得するための撮像部と、
前記撮像部で観察像を撮像する際の倍率の設定を少なくとも含む像観察条件を設定するための観察条件設定部と、
前記観察条件設定部で設定された像観察条件で撮像の開始を指示するための撮像開始指示部と、
を備える拡大観察装置の操作プログラムであって、
前記観察条件設定部で像観察条件を設定した後、前記撮像開始指示部で撮像開始を指示する機能と、
前記観察条件設定部で設定された倍率で前記撮像部が観察像を撮像すると共に、この倍率を基準とし、前記観察条件設定部で設定された倍率と異なる複数の倍率にて関連画像を撮像する機能
をコンピュータに実現させることを特徴とする拡大観察装置の操作プログラム。 - 請求項20に記載されるプログラムを格納したコンピュータで読み取り可能な記録媒体又は記録した機器。
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