JP7239717B2 - 試料画像表示システムおよび荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
試料の複数の画像と、
前記画像のそれぞれに対応するシンボルと、
を画面に表示する、試料画像表示システムであって、
前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、対応する前記画像に係る情報に応じて異なる態様で表示する。
実施形態1.
<荷電粒子線装置100の構成について>
図1は実施形態1にかかる荷電粒子線装置100を概略的に表した正面図である。この荷電粒子線装置100は走査型電子顕微鏡である。ただし、荷電粒子線装置は透過型電子顕微鏡、イオンビーム装置等の他の荷電粒子線装置であってもよい。荷電粒子線装置100の構成は一例にすぎないことに留意されたい。換言すれば、荷電粒子線装置100の各部の具体的な構成は荷電粒子線装置100の種類や構造に応じて変わり得る。
図2は、表示部154に表示されるGUIの例である。このようなGUIは、表示部154において表示される画面200として実現することができる。画面200は、表形式部201と、画像表示部202と、画像マップ部204とを含む。表形式部201では、試料Sの評価結果が表形式で表示される。図2の例では、検出された各構造について、その構造が含まれる領域に対応する画像番号(「Image」)、その領域に含まれる構造のうち当該構造を特定する番号(「No」)、その構造に関する評価結果(「Score」)、その構造の位置(「X」および「Y」)、その構造の面積(「Area」)が表示されているが、それ以外の評価結果で表示されてもよい。
荷電粒子線装置100は、シンボル205または画像203を選択する操作に応じ、試料Sの選択されたシンボル205または画像203に対応する領域について、試料Sの解析を行ってもよい。選択されるシンボル205または画像203は、1つであってもよく、複数であってもよい。荷電粒子線装置100の使用者は、図2等に示される画面200において、シンボル205または画像203をクリックすることによりそのシンボル205または画像203を選択することができる。
110…照射部
111…電子源
112…鏡筒
120…試料室
130…検出部
140…ステージ
141…試料ホルダ
150…試料画像表示システム
151…制御部(画像生成部)
152…入力部
153…記憶部
154…表示部
160…ナビゲーション画像撮影機
200…画面
201…表形式部
202…画像表示部
203,203a,203b…画像
204…画像マップ部
205,205a,205b…シンボル
206…ナビゲーション部
207…光学画像(画像)
208…撮像領域
209…表示範囲変更部
210…検出対象選択部
130A…第一の検出部
130B…第二の検出部
S…試料
Claims (11)
- 試料の複数の画像と、
前記画像のそれぞれに対応するシンボルと、
を画面に表示する、試料画像表示システムであって、
前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、対応する前記画像における検出結果に応じて異なる態様で表示し、
前記試料の、すべての前記画像に対応する領域を含む画像をさらに表示し、
各前記画像は、前記試料に対する1つ以上の撮像領域のうちいずれかに属し、
前記試料画像表示システムは、前記すべての前記画像に対応する領域を含む前記画像において前記撮像領域を示す情報を表示し、
各前記画像は、前記試料に対する複数の撮像領域のうちいずれかに属し、
前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、前記試料に対する前記画像の位置に応じて画面上の異なる位置に表示し、
前記試料画像表示システムは、前記撮像領域を示す情報を、当該撮像領域に属する各前記画像における前記検出結果に応じて異なる態様で表示する、試料画像表示システム。 - 前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、前記検出結果に応じて異なる色で表示する、請求項1に記載の試料画像表示システム。
- 前記検出結果は、前記画像における第1検出結果を表す情報と、前記画像における第2検出結果を表す情報とを含み、
前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、前記第1検出結果に応じて異なる態様で表示するか、または、前記第2検出結果に応じて異なる態様で表示するかを、検出結果切替操作に応じて切り替える、請求項2に記載の試料画像表示システム。 - 前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、前記検出結果に応じて異なる透過率で表示する、請求項1に記載の試料画像表示システム。
- 前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、前記画像の倍率に応じて異なる大きさで表示する、請求項1に記載の試料画像表示システム。
- 前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、前記試料に対する前記画像の位置に応じて画面上の異なる位置に表示するか、または、前記試料に対する前記画像の角度に応じて異なる角度で表示する、請求項1に記載の試料画像表示システム。
- 前記試料画像表示システムは、表示範囲変更操作に応じて、各前記シンボルの表示位置を変更する、請求項6に記載の試料画像表示システム。
- 複数の前記画像が、前記試料の互いに重複する領域を含む場合に、前記試料画像表示システムは、互いに重複する領域を含む各前記画像に対応する前記シンボルを、互いに重複させて表示する、請求項6に記載の試料画像表示システム。
- 前記試料画像表示システムは、ステージに配置された複数の試料の画像を表示するものであり、
前記試料画像表示システムは、各前記シンボルを、前記ステージに対する前記画像の位置に応じて画面上の異なる位置に表示する、請求項1に記載の試料画像表示システム。 - 請求項1に記載の試料画像表示システムと、
荷電粒子線を前記試料に対して照射する照射部と、
前記荷電粒子線の前記試料への照射に起因する信号を検出する検出部と、
前記検出部からの出力に基づいて前記試料の前記画像を生成する画像生成部と、
を備える、荷電粒子線装置。 - 前記撮像領域に属する画像すべての検出結果を総和または算術平均して前記撮像領域における検出結果を算出し、これに基づいて前記撮像領域を示す前記情報の表示態様を決定する、請求項1に記載の試料画像表示システム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/034781 WO2021044544A1 (ja) | 2019-09-04 | 2019-09-04 | 試料画像表示システムおよび荷電粒子線装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021044544A1 JPWO2021044544A1 (ja) | 2021-03-11 |
JPWO2021044544A5 JPWO2021044544A5 (ja) | 2022-05-24 |
JP7239717B2 true JP7239717B2 (ja) | 2023-03-14 |
Family
ID=74853301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021543860A Active JP7239717B2 (ja) | 2019-09-04 | 2019-09-04 | 試料画像表示システムおよび荷電粒子線装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220336184A1 (ja) |
JP (1) | JP7239717B2 (ja) |
WO (1) | WO2021044544A1 (ja) |
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-
2019
- 2019-09-04 JP JP2021543860A patent/JP7239717B2/ja active Active
- 2019-09-04 WO PCT/JP2019/034781 patent/WO2021044544A1/ja active Application Filing
-
2020
- 2020-09-04 US US17/640,210 patent/US20220336184A1/en active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220336184A1 (en) | 2022-10-20 |
WO2021044544A1 (ja) | 2021-03-11 |
JPWO2021044544A1 (ja) | 2021-03-11 |
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