JPH08222170A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- JPH08222170A JPH08222170A JP7029077A JP2907795A JPH08222170A JP H08222170 A JPH08222170 A JP H08222170A JP 7029077 A JP7029077 A JP 7029077A JP 2907795 A JP2907795 A JP 2907795A JP H08222170 A JPH08222170 A JP H08222170A
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 46
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
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- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】電子線の照射を行わないでも、フレームメモリ
に記憶された画像を部分拡大することにより、迅速に視
野選択や倍率の決定などを行うことのできる走査電子顕
微鏡を提供する。 【構成】同一視野で解像度の異なる画像データを前記複
数のフレームメモリに１回の電子線走査で同時に、また
は複数回の電子線の走査で記憶し、拡大倍率に応じた解
像度のフレームメモリからの画像データ出力を選択して
画像表示を行う事により、部分拡大を行う。 【効果】迅速に視野選択や倍率の決定などを行うことが
でき、また電子線の照射による試料ダメージを低減でき
る。
に記憶された画像を部分拡大することにより、迅速に視
野選択や倍率の決定などを行うことのできる走査電子顕
微鏡を提供する。 【構成】同一視野で解像度の異なる画像データを前記複
数のフレームメモリに１回の電子線走査で同時に、また
は複数回の電子線の走査で記憶し、拡大倍率に応じた解
像度のフレームメモリからの画像データ出力を選択して
画像表示を行う事により、部分拡大を行う。 【効果】迅速に視野選択や倍率の決定などを行うことが
でき、また電子線の照射による試料ダメージを低減でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフレームメモリを用いて
画像データを記憶する走査電子顕微鏡に係り、特にその
画像表示方法に関する。
画像データを記憶する走査電子顕微鏡に係り、特にその
画像表示方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は走査電子顕微鏡の一般的構成を示
し、図中１は電子銃、２は電子線、３は電子線２を収束
するための収束レンズ、４は電子線２をＸ方向およびＹ
方向に偏向走査するための偏向コイル、５は対物レン
ズ、６は各レンズを制御するレンズ制御回路、７は偏向
コイル及び画像のサンプリングタイミングを制御する偏
向制御回路、８は試料、９は２次電子や反射電子等の検
出器である。検出器９で検出された信号はＡ／Ｄコンバ
ータ１０でデジタル信号に変換され、フレームメモリ１
１へ記憶される。フレームメモリ１１の画像データはＴ
Ｖレートでモニタ１２へ出力され、モニタ１２上に試料
８の拡大像を得る。これら一連の制御はＣＰＵ１３によ
り管理され、操作卓１４からの使用者の指示に従い制御
される。以上のように構成される走査電子顕微鏡装置に
おいて、使用者は試料８上の電子線２の走査領域とモニ
タ１２の表示領域との比を拡大倍率として、試料８上の
任意の位置の拡大像をモニタ１２で観察することができ
るが、目的部位の視野選択や倍率の決定などに時間がか
かると、その間電子銃１は電子線２を発生し、電子線の
照射により試料８はダメージを受け、また電子銃１のフ
ィラメントの寿命は短くなる。
し、図中１は電子銃、２は電子線、３は電子線２を収束
するための収束レンズ、４は電子線２をＸ方向およびＹ
方向に偏向走査するための偏向コイル、５は対物レン
ズ、６は各レンズを制御するレンズ制御回路、７は偏向
コイル及び画像のサンプリングタイミングを制御する偏
向制御回路、８は試料、９は２次電子や反射電子等の検
出器である。検出器９で検出された信号はＡ／Ｄコンバ
ータ１０でデジタル信号に変換され、フレームメモリ１
１へ記憶される。フレームメモリ１１の画像データはＴ
Ｖレートでモニタ１２へ出力され、モニタ１２上に試料
８の拡大像を得る。これら一連の制御はＣＰＵ１３によ
り管理され、操作卓１４からの使用者の指示に従い制御
される。以上のように構成される走査電子顕微鏡装置に
おいて、使用者は試料８上の電子線２の走査領域とモニ
タ１２の表示領域との比を拡大倍率として、試料８上の
任意の位置の拡大像をモニタ１２で観察することができ
るが、目的部位の視野選択や倍率の決定などに時間がか
かると、その間電子銃１は電子線２を発生し、電子線の
照射により試料８はダメージを受け、また電子銃１のフ
ィラメントの寿命は短くなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術によれ
ば、目的部位の視野選択や倍率の決定などに時間がかか
ると、電子線の照射による試料ダメージやフィラメント
の寿命などの問題が発生する。特に高画質での画像観察
を行うために遅い走査速度を選択していたときに、前記
目的部位の視野選択や倍率の変更を行おうとすると、１
フレームの画像更新に時間がかかり、前記の問題が顕著
になるとともに使用者に不快感を感じさせる。
ば、目的部位の視野選択や倍率の決定などに時間がかか
ると、電子線の照射による試料ダメージやフィラメント
の寿命などの問題が発生する。特に高画質での画像観察
を行うために遅い走査速度を選択していたときに、前記
目的部位の視野選択や倍率の変更を行おうとすると、１
フレームの画像更新に時間がかかり、前記の問題が顕著
になるとともに使用者に不快感を感じさせる。
【０００４】本発明の目的は、上記従来技術の問題点を
解決し、電子線の照射を行わないでも、フレームメモリ
に記憶された画像により、迅速に視野選択や倍率の決定
などを行うことのできる走査電子顕微鏡を提供すること
にある。
解決し、電子線の照射を行わないでも、フレームメモリ
に記憶された画像により、迅速に視野選択や倍率の決定
などを行うことのできる走査電子顕微鏡を提供すること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明においては、画像データを記憶するフレーム
メモリと、フレームメモリに記憶された画像データをモ
ニタに表示する際に、２次元的な部分拡大処理を行う手
段を備えた。フレームメモリに記憶された低倍率の画像
で部分拡大を行うことにより、電子線の試料への照射無
しで、画像観察、視野探しが行える。つまり画像観察に
おける電子線の試料への照射による試料ダメージを低減
し、かつ所望の視野の画像を得るまでの時間を短縮する
ことが可能となる。
に、本発明においては、画像データを記憶するフレーム
メモリと、フレームメモリに記憶された画像データをモ
ニタに表示する際に、２次元的な部分拡大処理を行う手
段を備えた。フレームメモリに記憶された低倍率の画像
で部分拡大を行うことにより、電子線の試料への照射無
しで、画像観察、視野探しが行える。つまり画像観察に
おける電子線の試料への照射による試料ダメージを低減
し、かつ所望の視野の画像を得るまでの時間を短縮する
ことが可能となる。
【０００６】前記部分拡大処理は、解像度の異なる複数
のフレームメモリと、複数のフレームメモリから出力さ
れる画像データの一つを選択する選択回路と、選択され
た画像データを一時記憶する表示用バッファメモリと、
表示用バッファメモリから出力された画像データを表示
する画像表示手段を備え、同一視野で解像度の異なる画
像データを前記複数のフレームメモリに１回の電子線走
査で同時に、または複数回の電子線の走査で記憶し、画
像をフリーズし、拡大倍率に応じた解像度のフレームメ
モリからの画像データ出力を選択して画像表示を行うも
のである。拡大位置は、フレームメモリから出力される
画像データを表示用バッファメモリへ記憶する際の、フ
レームメモリの出力座標を、前記選択回路で選択するこ
とで決定され、前記出力座標を変更することで拡大位置
を変更することが可能である。
のフレームメモリと、複数のフレームメモリから出力さ
れる画像データの一つを選択する選択回路と、選択され
た画像データを一時記憶する表示用バッファメモリと、
表示用バッファメモリから出力された画像データを表示
する画像表示手段を備え、同一視野で解像度の異なる画
像データを前記複数のフレームメモリに１回の電子線走
査で同時に、または複数回の電子線の走査で記憶し、画
像をフリーズし、拡大倍率に応じた解像度のフレームメ
モリからの画像データ出力を選択して画像表示を行うも
のである。拡大位置は、フレームメモリから出力される
画像データを表示用バッファメモリへ記憶する際の、フ
レームメモリの出力座標を、前記選択回路で選択するこ
とで決定され、前記出力座標を変更することで拡大位置
を変更することが可能である。
【０００７】前記部分拡大処理の他の方法は、解像度の
異なる複数のフレームメモリと、複数のフレームメモリ
から出力される画像データの一つを選択する選択回路
と、選択回路から出力された画像データを表示する画像
表示手段と、画像表示の解像度で前記フレームメモリの
一部を２次元走査するよう制御する表示アドレス制御回
路を備え、同一視野で解像度の異なる画像データを前記
複数のフレームメモリに１回の電子線走査で同時に、ま
たは複数回の電子線走査で記憶し、拡大倍率に応じた解
像度のフレームメモリからの画像データ出力を選択して
画像表示を行うものである。
異なる複数のフレームメモリと、複数のフレームメモリ
から出力される画像データの一つを選択する選択回路
と、選択回路から出力された画像データを表示する画像
表示手段と、画像表示の解像度で前記フレームメモリの
一部を２次元走査するよう制御する表示アドレス制御回
路を備え、同一視野で解像度の異なる画像データを前記
複数のフレームメモリに１回の電子線走査で同時に、ま
たは複数回の電子線走査で記憶し、拡大倍率に応じた解
像度のフレームメモリからの画像データ出力を選択して
画像表示を行うものである。
【０００８】前記部分拡大処理のもう一つの方法は、画
像表示の解像度より高解像度のフレームメモリと、フレ
ームメモリから出力される画像データを表示する画像表
示手段と、前記フレームメモリの表示アドレスを２次元
的に飛び越し走査するよう制御する表示アドレス制御回
路を備え、画像の拡大倍率に合うよう設定された飛び越
し率で表示アドレスを飛び越し走査するものである。
像表示の解像度より高解像度のフレームメモリと、フレ
ームメモリから出力される画像データを表示する画像表
示手段と、前記フレームメモリの表示アドレスを２次元
的に飛び越し走査するよう制御する表示アドレス制御回
路を備え、画像の拡大倍率に合うよう設定された飛び越
し率で表示アドレスを飛び越し走査するものである。
【０００９】
【作用】電子線の照射を行わないでも、フレームメモリ
に記憶された画像により、迅速に視野選択や倍率の決定
などを行うことができ、電子線の照射による試料ダメー
ジや電子銃のフィラメントの寿命を意識する必要が無
く、大幅な操作性の改善が行える。
に記憶された画像により、迅速に視野選択や倍率の決定
などを行うことができ、電子線の照射による試料ダメー
ジや電子銃のフィラメントの寿命を意識する必要が無
く、大幅な操作性の改善が行える。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づき詳述
する。図１に、本発明における部分拡大を行うフレーム
メモリ部の構成を示す。解像度の異なる複数のフレーム
メモリ１１ａ〜１１ｃに、同一視野で解像度の異なる画
像データを１回の電子線走査で同時に、または複数回の
電子線の走査で記憶し、拡大倍率に応じた解像度のフレ
ームメモリからの画像データ出力を選択回路１５で選択
して表示用バッファメモリ１６に記憶し、モニタ１２に
表示することで部分拡大を実行する。選択回路１５で
は、拡大倍率を選択すると同時に、フレームメモリの出
力画像データの座標を選択することで拡大位置を決定す
る。また、通常の電子線走査による画像観察を行うとき
は、フレームメモリ１１を通らない画像データを選択す
ることにより、リアルタイムの像観察を行うことができ
る。
する。図１に、本発明における部分拡大を行うフレーム
メモリ部の構成を示す。解像度の異なる複数のフレーム
メモリ１１ａ〜１１ｃに、同一視野で解像度の異なる画
像データを１回の電子線走査で同時に、または複数回の
電子線の走査で記憶し、拡大倍率に応じた解像度のフレ
ームメモリからの画像データ出力を選択回路１５で選択
して表示用バッファメモリ１６に記憶し、モニタ１２に
表示することで部分拡大を実行する。選択回路１５で
は、拡大倍率を選択すると同時に、フレームメモリの出
力画像データの座標を選択することで拡大位置を決定す
る。また、通常の電子線走査による画像観察を行うとき
は、フレームメモリ１１を通らない画像データを選択す
ることにより、リアルタイムの像観察を行うことができ
る。
【００１１】図２に、表示解像度が５００×５００、フ
レームメモリ１１ａ〜１１ｃの解像度が２０００×２０
００，１０００×１０００，５００×５００のときの部
分拡大の概念を示す。電子線の走査範囲の画像１７は１
回の電子線走査で同時に、または複数回の電子線走査で
フレームメモリ１１ａ〜１１ｃに記憶する。フレームメ
モリ１１ａ〜１１ｃに同時に記憶する際は２０００本で
電子線走査を行い、２０００×２０００のフレームメモ
リ１１ａには２０００本で記録し、１０００×１０００
のフレームメモリ１１ｂには走査線２本に１本の平均値
を記録し、５００×５００のフレームメモリ１１ｃには
４本に１本の平均値を記録することにより、同一視野で
異なる解像度の画像データが得られる。また、フレーム
メモリ１１ａ〜１１ｃに、複数回の電子線走査で画像デ
ータを記憶するには、2000本で電子線走査を行い２００
０×２０００のフレームメモリ１１ａに記録し、次に１
０００本で電子線走査を行い１０００×１０００のフレ
ームメモリ１１ｂに記録し、次に５００本で電子線走査
を行い５００×５００のフレームメモリ１１ｃに記録す
ればよい。前記同時記憶方式は記憶時間が短く、連続記
憶方式は平均化の手段が不要であるというメリットがあ
る。次にフレームメモリに記憶された画像は選択回路１
５を経由し表示回路に送られるが、表示解像度の５００
×５００画素に対するフレームメモリの解像度で拡大倍
率が決定され、例えば１０００×１０００の解像度のフ
レームメモリ１１ｂのなかの５００×５００画素を選択
した場合は、拡大倍率は２倍になり、２０００×２００
０を選択した場合は４倍となる。また本実施例で４倍以
上の倍率で観察したいときは２０００×２０００画素の
フレームメモリ１１ａの画像データを補完拡大し、表示
用バッファメモリ１６に記憶することにより、最も画質
劣下の少ない拡大画像を得ることができる。またこれら
部分拡大処理を高速で実行することにより、遅い走査速
度で電子線照射による通常観察を行うときより観察画像
の追従性がよく、観察時間が短縮され、操作性を向上す
ることができる。
レームメモリ１１ａ〜１１ｃの解像度が２０００×２０
００，１０００×１０００，５００×５００のときの部
分拡大の概念を示す。電子線の走査範囲の画像１７は１
回の電子線走査で同時に、または複数回の電子線走査で
フレームメモリ１１ａ〜１１ｃに記憶する。フレームメ
モリ１１ａ〜１１ｃに同時に記憶する際は２０００本で
電子線走査を行い、２０００×２０００のフレームメモ
リ１１ａには２０００本で記録し、１０００×１０００
のフレームメモリ１１ｂには走査線２本に１本の平均値
を記録し、５００×５００のフレームメモリ１１ｃには
４本に１本の平均値を記録することにより、同一視野で
異なる解像度の画像データが得られる。また、フレーム
メモリ１１ａ〜１１ｃに、複数回の電子線走査で画像デ
ータを記憶するには、2000本で電子線走査を行い２００
０×２０００のフレームメモリ１１ａに記録し、次に１
０００本で電子線走査を行い１０００×１０００のフレ
ームメモリ１１ｂに記録し、次に５００本で電子線走査
を行い５００×５００のフレームメモリ１１ｃに記録す
ればよい。前記同時記憶方式は記憶時間が短く、連続記
憶方式は平均化の手段が不要であるというメリットがあ
る。次にフレームメモリに記憶された画像は選択回路１
５を経由し表示回路に送られるが、表示解像度の５００
×５００画素に対するフレームメモリの解像度で拡大倍
率が決定され、例えば１０００×１０００の解像度のフ
レームメモリ１１ｂのなかの５００×５００画素を選択
した場合は、拡大倍率は２倍になり、２０００×２００
０を選択した場合は４倍となる。また本実施例で４倍以
上の倍率で観察したいときは２０００×２０００画素の
フレームメモリ１１ａの画像データを補完拡大し、表示
用バッファメモリ１６に記憶することにより、最も画質
劣下の少ない拡大画像を得ることができる。またこれら
部分拡大処理を高速で実行することにより、遅い走査速
度で電子線照射による通常観察を行うときより観察画像
の追従性がよく、観察時間が短縮され、操作性を向上す
ることができる。
【００１２】図３に、本発明による画像観察から写真撮
影までの手順を示す。まず適当な倍率で観察条件の設
定，調整，画像観察を行い（ステップ３１）、所望の倍
率より低い倍率で画像をフリーズし（ステップ３２）、
前記の方法で画像データをフレームメモリに記憶する。
画像データをフリーズした時点で電子線の試料への照射
は必要無くなるので、何らかの手段で電子線をカットす
る（ステップ３３）ことにより試料ダメージを低減でき
る。次に前記フレームメモリに記憶された画像の一部を
拡大表示するために、その位置と拡大倍率を指定し（ス
テップ３４）、部分拡大を実行し（ステップ３５）、画
像観察を行う（ステップ３６）。所望の視野の画像にな
るよう部分拡大位置、倍率を変更しながら画像観察を行
い（ステップ３７）、所望の視野が得られた時点で部分
拡大画像の写真撮影を行う（ステップ３８）。前記写真
撮影による画像の記録は、ディスクなどへの画像データ
の記録であってもよい。また、目的視野が得られた後
で、部分拡大を行った結果の観察倍率と観察位置で、以
後の電子線走査を行うよう偏向コイル４を制御すること
により、その目的視野で通常の電子線走査による画像観
察を容易に行うことが可能である。
影までの手順を示す。まず適当な倍率で観察条件の設
定，調整，画像観察を行い（ステップ３１）、所望の倍
率より低い倍率で画像をフリーズし（ステップ３２）、
前記の方法で画像データをフレームメモリに記憶する。
画像データをフリーズした時点で電子線の試料への照射
は必要無くなるので、何らかの手段で電子線をカットす
る（ステップ３３）ことにより試料ダメージを低減でき
る。次に前記フレームメモリに記憶された画像の一部を
拡大表示するために、その位置と拡大倍率を指定し（ス
テップ３４）、部分拡大を実行し（ステップ３５）、画
像観察を行う（ステップ３６）。所望の視野の画像にな
るよう部分拡大位置、倍率を変更しながら画像観察を行
い（ステップ３７）、所望の視野が得られた時点で部分
拡大画像の写真撮影を行う（ステップ３８）。前記写真
撮影による画像の記録は、ディスクなどへの画像データ
の記録であってもよい。また、目的視野が得られた後
で、部分拡大を行った結果の観察倍率と観察位置で、以
後の電子線走査を行うよう偏向コイル４を制御すること
により、その目的視野で通常の電子線走査による画像観
察を容易に行うことが可能である。
【００１３】本発明の他の一実施例を図３に基づき詳述
する。図５は、本発明における部分拡大を行うフレーム
メモリ部の構成であり、図１における表示用バッファメ
モリ１６が必要無い構成としたものである。表示アドレ
ス制御回路１８により、画像表示の解像度でフレームメ
モリ１１の一部または全部を２次元走査するよう制御
し、ＴＶレートで画像データを出力し、画像表示を行
う。画像表示の解像度と同解像度のフレームメモリ１１
ｃからの出力を選択することにより、部分拡大無しの、
通常の画像表示を行い、画像表示の解像度の２倍の解像
度を有するフレームメモリ１１ｂからの出力を選択する
ことにより、拡大倍率２倍の部分拡大を行い、画像表示
の解像度の４倍の解像度を有するフレームメモリ１１ａ
からの出力を選択することにより、拡大倍率４倍の部分
拡大を行う。フレームメモリ１１の表示アドレスの２次
元走査開始座標を設定することで、拡大位置を設定す
る。
する。図５は、本発明における部分拡大を行うフレーム
メモリ部の構成であり、図１における表示用バッファメ
モリ１６が必要無い構成としたものである。表示アドレ
ス制御回路１８により、画像表示の解像度でフレームメ
モリ１１の一部または全部を２次元走査するよう制御
し、ＴＶレートで画像データを出力し、画像表示を行
う。画像表示の解像度と同解像度のフレームメモリ１１
ｃからの出力を選択することにより、部分拡大無しの、
通常の画像表示を行い、画像表示の解像度の２倍の解像
度を有するフレームメモリ１１ｂからの出力を選択する
ことにより、拡大倍率２倍の部分拡大を行い、画像表示
の解像度の４倍の解像度を有するフレームメモリ１１ａ
からの出力を選択することにより、拡大倍率４倍の部分
拡大を行う。フレームメモリ１１の表示アドレスの２次
元走査開始座標を設定することで、拡大位置を設定す
る。
【００１４】本発明のもう一つの他の実施例を図６に基
づき詳述する。図６は、本発明における部分拡大を行う
フレームメモリ部の構成であり、１つのフレームメモリ
で部分拡大を実行するものである。フレームメモリ１１
は表示解像度より高い解像度を有し、表示アドレス制御
回路１９で表示アドレスを２次元的に飛び越し走査する
よう制御する。飛び越し走査の結果出力される画像デー
タの解像度を表示解像度と同一とし、画像表示を行う。
フレームメモリ１１の解像度に対する表示倍率は前記飛
び越し走査の飛び越し率で決定され、フレームメモリ１
１の全面を走査するよう飛び越し率を設定することで、
拡大倍率１倍の通常画像表示が行える。例えば表示解像
度が５００×５００画素で、フレームメモリ１１の解像
度が2000×２０００画素のときは、縦横４画素毎の飛び
越し走査を行うことにより2000×２０００画素全面を走
査する事になり、拡大倍率は１倍となる。また縦横２画
素毎の飛び越し走査を行えば拡大倍率は２倍となり、飛
び越し走査を行わなければ拡大倍率は４倍となる。
づき詳述する。図６は、本発明における部分拡大を行う
フレームメモリ部の構成であり、１つのフレームメモリ
で部分拡大を実行するものである。フレームメモリ１１
は表示解像度より高い解像度を有し、表示アドレス制御
回路１９で表示アドレスを２次元的に飛び越し走査する
よう制御する。飛び越し走査の結果出力される画像デー
タの解像度を表示解像度と同一とし、画像表示を行う。
フレームメモリ１１の解像度に対する表示倍率は前記飛
び越し走査の飛び越し率で決定され、フレームメモリ１
１の全面を走査するよう飛び越し率を設定することで、
拡大倍率１倍の通常画像表示が行える。例えば表示解像
度が５００×５００画素で、フレームメモリ１１の解像
度が2000×２０００画素のときは、縦横４画素毎の飛び
越し走査を行うことにより2000×２０００画素全面を走
査する事になり、拡大倍率は１倍となる。また縦横２画
素毎の飛び越し走査を行えば拡大倍率は２倍となり、飛
び越し走査を行わなければ拡大倍率は４倍となる。
【００１５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば次のような効果が達成される。
によれば次のような効果が達成される。
【００１６】すなわち、電子線の照射を行わないでも、
フレームメモリに記憶された画像により、迅速に視野選
択や倍率の決定などを行うことができ、また電子線の照
射による試料ダメージや電子銃のフィラメントの寿命を
意識する必要が無くなる。つまり試料ダメージが少な
く、視野選択や倍率の決定などの操作性の良い走査電子
顕微鏡を提供できるようになる。
フレームメモリに記憶された画像により、迅速に視野選
択や倍率の決定などを行うことができ、また電子線の照
射による試料ダメージや電子銃のフィラメントの寿命を
意識する必要が無くなる。つまり試料ダメージが少な
く、視野選択や倍率の決定などの操作性の良い走査電子
顕微鏡を提供できるようになる。
【図１】本発明による走査電子顕微鏡のフレームメモリ
の一構成図。
の一構成図。
【図２】本発明に係る部分拡大の概念図。
【図３】本発明による画像観察から写真撮影までの手順
を示すフローチャート。
を示すフローチャート。
【図４】本発明を適用する走査電子顕微鏡の一構成図。
【図５】本発明に係るフレームメモリの第２の実施例の
構成図。
構成図。
【図６】本発明に係るフレームメモリの第３の実施例の
構成図。
構成図。
１…電子銃、２…電子線、３…収束レンズ、４…偏向コ
イル、５…対物レンズ、６…鏡体制御回路、７…偏向制
御回路、８…試料、９…検出器、１０…Ａ／Ｄコンバー
タ、１１…フレームメモリ、１２…モニタ、１３…制御
ＣＰＵ、１４…操作卓、１５…画像データ選択回路、１
６…表示用バッファメモリ、１７…電子線の走査範囲の
画像、１８…表示アドレス制御回路、１９…飛び越し走
査機能付き表示アドレス制御回路。
イル、５…対物レンズ、６…鏡体制御回路、７…偏向制
御回路、８…試料、９…検出器、１０…Ａ／Ｄコンバー
タ、１１…フレームメモリ、１２…モニタ、１３…制御
ＣＰＵ、１４…操作卓、１５…画像データ選択回路、１
６…表示用バッファメモリ、１７…電子線の走査範囲の
画像、１８…表示アドレス制御回路、１９…飛び越し走
査機能付き表示アドレス制御回路。
フロントページの続き (72)発明者 北沢 貢 茨城県ひちたなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内
Claims (5)
- 【請求項１】電子銃と、電子銃から発生される電子線を
細く絞る収束レンズと、前記収束レンズで収束された電
子線を試料上で２次元的に走査する偏向コイルと、電子
線の照射によって前記試料から放出された電子を検出す
る検出器と、前記検出器の検出信号をデジタル信号に変
換後、画像データとして記憶するフレームメモリを備え
た走査電子顕微鏡において、前記フレームメモリに記憶
された画像データを部分拡大または縮小し、表示する画
像表示手段を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、画像表示の解像度より
高解像度のフレームメモリと、フレームメモリから出力
される画像データを表示する画像表示手段と、前記フレ
ームメモリの表示アドレスを２次元的に飛び越し走査す
るよう制御する表示アドレス制御回路を備え、部分拡大
倍率に応じた飛び越し率になるよう前記表示アドレス制
御回路を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１において、部分拡大を行った結果
の観察倍率と観察位置で、以後の電子線走査を行うよう
前記偏向コイルを制御する手段を備えたことを特徴とす
る走査電子顕微鏡。 - 【請求項４】解像度の異なる複数のフレームメモリと、
複数のフレームメモリから出力される画像データの一つ
を選択する選択回路と、選択された画像データを一時記
憶する表示用バッファメモリと、表示用バッファメモリ
から出力された画像データを表示する画像表示手段を備
え、同一視野で解像度の異なる画像データを前記複数の
フレームメモリに１回の電子線走査で同時に、または複
数回の電子線走査で記憶し、拡大倍率に応じた解像度の
フレームメモリからの画像データを選択して画像表示を
行うことにより、部分拡大または縮小を行うことを特徴
とする走査電子顕微鏡。 - 【請求項５】解像度の異なる複数のフレームメモリと、
複数のフレームメモリから出力される画像データの一つ
を選択する選択回路と、選択回路から出力された画像デ
ータを表示する画像表示手段と、画像表示の解像度で前
記フレームメモリの一部を２次元走査するよう制御する
表示アドレス制御回路を備え、同一視野で解像度の異な
る画像データを前記複数のフレームメモリに１回の電子
線走査で同時に、または複数回の電子線走査で記憶し、
拡大倍率に応じた解像度のフレームメモリからの画像デ
ータ出力を選択して画像表示を行うことにより、部分拡
大または縮小を行うことを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02907795A JP3294458B2 (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02907795A JP3294458B2 (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08222170A true JPH08222170A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3294458B2 JP3294458B2 (ja) | 2002-06-24 |
Family
ID=12266291
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02907795A Expired - Lifetime JP3294458B2 (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3294458B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5626945A (en) * | 1993-09-28 | 1997-05-06 | International Paper Company | Repulpable, water repellant paperboard |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
-
1995
- 1995-02-17 JP JP02907795A patent/JP3294458B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5626945A (en) * | 1993-09-28 | 1997-05-06 | International Paper Company | Repulpable, water repellant paperboard |
| US6066379A (en) * | 1993-09-28 | 2000-05-23 | International Paper Company | Repulpable, water repellant paperboard |
| JP2007026885A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Keyence Corp | 拡大観察装置、拡大観察装置の操作方法、拡大観察装置操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3294458B2 (ja) | 2002-06-24 |
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