JP2007005820A - 化学機械的研磨スラリー、化学機械的研磨方法及びこれを採用する浅いトレンチ素子分離方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】化学機械的研磨スラリー、化学機械的研磨方法及びこれを採用する浅いトレンチ素子分離方法を提供する。
【解決手段】化学機械的な研磨酸化物スラリーは研磨粒子と二つまたはそれ以上の相異なるパッシベーション剤を含む水溶液とよりなる。望ましくは、水溶液は脱イオン水を含んでなり、研磨粒子はセリア、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア及びゲルマニアを含んでなる一群から選択された金属酸化物である。第1パッシベーション剤は陰イオン性、陽イオン性、または非イオン性界面活性剤でありえ、第2パッシベーション剤はフタル酸またはその塩でありうる。例えば、第1パッシベーション剤はポリ−ビニールスルホン酸であり、第2パッシベーション剤はフタル酸水素カリウムである。このようなスラリーは高いシリコン窒化膜に対する酸化物の除去選択比を示す。
【選択図】図6
【解決手段】化学機械的な研磨酸化物スラリーは研磨粒子と二つまたはそれ以上の相異なるパッシベーション剤を含む水溶液とよりなる。望ましくは、水溶液は脱イオン水を含んでなり、研磨粒子はセリア、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア及びゲルマニアを含んでなる一群から選択された金属酸化物である。第1パッシベーション剤は陰イオン性、陽イオン性、または非イオン性界面活性剤でありえ、第2パッシベーション剤はフタル酸またはその塩でありうる。例えば、第1パッシベーション剤はポリ−ビニールスルホン酸であり、第2パッシベーション剤はフタル酸水素カリウムである。このようなスラリーは高いシリコン窒化膜に対する酸化物の除去選択比を示す。
【選択図】図6
Description
本発明は超小型半導体素子を製造する化学機械的研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing Slurry)に係り、特に、CMPスラリー及びこのCMPスラリーを採用する半導体素子の製造方法に関する。
超小型半導体素子の集積度が高くなるに伴い、このような素子を製造するのに用いられる平坦化工程が一層重要になりつつある。一般に、高集積化した半導体素子を得ようとする努力の一環として、半導体ウェーハ上に多重連結配線及び複数の層を積層する工程が行われている。これらの工程が行われた後に生じるウェーハ表面の不均一性は極めて多くの問題点を引き起こしており、また、これらの問題は広く知られている。したがって、ウェーハ表面における不均一性を最小化するために、平坦化技術が各種の製造工程段階に採用されている。
このような平坦化技術の一つは、化学機械的な研磨(MCP)である。CMP中に、ウェーハの表面は、相対的に回転する研磨パッドに突き合わせられて押される。研磨中に、研磨剤及びCMPスラリーとして知られた化学的な反応溶液は研磨パッドに流れる。このようなCMP技術は化学的及び物理的な作用によりウェーハの表面を平坦化させる。すなわち、このようなCMP技術は相対的に回転する研磨パッドの表面をウェーハ表面に突き合わせて押さえ、これと同時に、化学的な反応スラリーをパターンの形成されたウェーハの表面に供給することによりウェーハ表面を平坦化させる。
図1は、半導体素子を製造するのに用いられるCMP装置の典型的な例を示した概略図である。示されたように、CMP装置は、研磨ヘッド102と、研磨テーブル104と、スラリー供給管106及び研磨パッド108を含む。CMP工程は研磨テーブル104上で行われ、研磨テーブル104はその上に形成された研磨パッド108を有する。スラリーがスラリー供給管106から供給される間に、研磨ヘッド102が基板100を研磨パッド108に押さえつつ、これと同時に回転して研磨が行われる。
CMP工程を適用する通常の例の一つが、浅いトレンチ素子分離(Shallow Trench Isolation、以下、STI)である。STI技術では相対的に浅い素子分離トレンチが形成され、これらのトレンチはウェーハ上で活性領域を分離させるフィールド領域を形成するのに用いられる。STI工程の典型的な例が図2ないし図2Dに示されている。このような工程において、パッド酸化膜202及びシリコン窒化膜(SiN)エッチング終了層204が半導体基板200上に順次積層される。次に、フォトレジストパターン(図示せず)がSiNエッチング終了層204上に形成される。次に、図2Aに示されたように、フォトレジストパターンをマスクとしてSiNエッチング終了層204、パッド酸化膜202及び半導体基板200が部分的にエッチングされて多数のトレンチ206を形成する。次に、図2Bに示されたように、フィールド領域を形成するためにトレンチ206を充填し、SiNエッチング終了層204の表面を覆うように絶縁酸化膜208を蒸着する。
次に、前記SiNエッチング終了層204が露出されるまで絶縁酸化膜208がCMPされる。結果的に、図2Cの形状が得られる。次に、活性領域上のSiN終了層204及びパッド酸化膜202はエッチング工程を通じて除去される。次に、ゲート酸化膜210が、図2Dに示されたように、半導体基板200の表面上に形成される。
前述したCMP工程である前記絶縁酸化膜208を除去する過程において、前記絶縁酸化膜208及びSiNエッチング終了層204の化学的及び物理的な特性の差のために、これらの層は相異なる除去速度を示す。
このような除去速度の比はスラリーの“除去選択比”として示される。スラリーの除去選択比が低くなるほど、SiNエッチング終了層204の除去量は多くなる。理想的には、前記SiNエッチング終了層204は除去されてはいけない。すなわち、絶縁酸化膜208に対するSiNエッチング終了層204の除去選択比は無限である必要がある。それにも拘わらず、現在用いられるCMPスラリーの絶縁酸化膜208に対するSiNエッチング終了層204の除去選択比は約4:1で低いため、実際の工程において、SiNエッチング終了層204がエッチング許容範囲以上に研磨されている。結果的に、SiNエッチング終了層204パターンはCMP工程中にウェーハの部位別に均一に除去されない場合があるため、ウェーハ全体に亘ってSiNエッチング終了層204の厚さの変化幅が極めて大きくならざるを得ない。これは、半導体基板の表面が高密度のパターンと低密度のパターンとを合わせ持つ場合に特に問題になりうる。このような問題のため、フィールド領域の形成された最終構造は前記活性領域とフィールド領域との段差を引き起こす。これは後続する素子製造工程のマージンを減少させ、結果的にトランジスタ及び素子の特性を劣化させる。したがって、SiNエッチング終了層204パターンはCMPにより酸化膜を除去した後にも均一な厚さを有することが望ましい。それにも拘わらず、現在のCMPスラリーは酸化膜とSiN層との間に十分な除去選択比を具現できないため、CMP後に均一な厚さのSiNパターンが極めて得られ難い。
本発明が解決しようとする技術的課題は、酸化膜とシリコン窒化膜との間に改善された除去選択比を示すCMPスラリーを提供するところにある。
本発明が解決しようとする他の技術的課題は、酸化膜とシリコン窒化膜との間に改善された除去選択比を示すCMP方法を提供するところにある。
本発明が解決しようとするさらに他の技術的課題は、酸化膜とシリコン窒化膜との間に改善された除去選択比を示すCMP方法を用いるSTI方法を提供するところにある。
前記目的を達成するために、本発明の一観点によれば、研磨粒子と、二つまたはそれ以上の相異なるパッシベーション剤とを含むCMPスラリーが提供される。望ましくは、水溶液は脱イオン水を含んでなり、研磨粒子はセリア、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア及びゲルマニアを含んでなる一群から選ばれた金属酸化物である。また、第1パッシベーション剤は陰イオン性、陽イオン性、または非イオン性界面活性剤を含み、第2パッシベーション剤はフタル酸を含む。例えば、第1パッシベーション剤はポリ−ビニールスルホン酸であり、第2パッシベーション剤はポタシウムハイドロジェンフタレートである。
CMPスラリーを形成する水溶液はアンモニウムジハイドロジェンフォスフェートなどの除去速度加速剤をさらに含みうる。また、前記水溶液のpHを調節するためのpH調節剤をさらに含みうる。
前記技術的課題を達成するために、本発明の他の観点によれば、半導体ウェーハの表面を研磨パッドの表面と接触させ、研磨粒子と相異なる第1及び第2パッシベーション剤とを含む水溶液を前記研磨パッドの表面と前記半導体ウェーハの表面と間の界面に供給し、前記半導体ウェーハの表面を前記研磨パッドの表面に対して回転させることを含む化学機械的研磨方法が提供される。
前記技術的課題を達成するために、本発明のさらに他の観点によれば、半導体基板の表面を覆うパッド酸化膜及びシリコン窒化膜を順次形成し、前記シリコン窒化膜及び前記パッド酸化膜を貫通して前記半導体基板内に延びる多数のトレンチを形成し、前記多数のトレンチ内に、そして前記シリコン窒化膜上に絶縁酸化膜を形成し、前記絶縁酸化膜を除去して前記シリコン窒化膜の表面が露出されるように前記絶縁酸化膜に化学機械的研磨を行い、次に、前記パッド酸化膜及び前記シリコン窒化膜を除去するSTI形成方法が提供される。前記STI形成方法において、前記CMP工程は前記絶縁酸化膜の表面を研磨パッドの表面と接触させ、研磨粒子と相異なる第1及び第2パッシベーション剤とを含む水溶液を前記研磨パッドの表面と前記絶縁酸化膜の表面との間の界面に供給し、前記半導体ウェーハの表面を前記研磨パッドの表面に対して回転させる段階を含む。
本発明によれば、酸化膜とシリコン窒化膜との間に改善された除去選択比を示すCMPスラリーを提供できる。
以下、本発明を実施形態を挙げて詳細に説明する。本発明の化学機械的研磨(CMP)スラリーは、例えば、脱イオン水を含む水溶液である。以下、詳細に説明するが、本発明は、CMPスラリーの研磨粒子及び二つ以上の相異なるパッシベーション剤を含むことにより、シリコン窒化物(SiN)に対する酸化物の高い除去選択比を得ることができる。
望ましくは、第1パッシベーション剤は陰イオン性、陽イオン性、または非イオン性界面活性剤であり、第2パッシベーション剤はフタル酸である。CMP工程中に、第1及び第2パッシベーション剤はSiNエッチング終了層だけを選択的にパッシベーションし、これにより、SiNエッチング終了層のエッチング率が減少され、その結果、絶縁酸化物に対するSiNエッチング終了層の除去選択比が高くなる。第1パッシベーション剤において、陰イオン性界面活性剤はカルボン酸またはその塩、スルホンエステルまたはその塩、スルホン酸またはその塩、及びリンエステルまたはその塩を含んでなる一群から選択でき、陽イオン性界面活性剤は第1アミンまたはその塩、第2アミンまたはその塩、第3アミンまたはその塩、及び第4アミンまたはその塩を含んでなる一群から選択でき、非イオン性界面活性剤は、ポリエチレングリコール型界面活性剤及びポリヒドロキシアルコール型界面活性剤を含んでなる一群から選択できる。例えば、第1パッシベーション剤はポリ−ビニールスルホン酸であり、第2パッシベーション剤はポタシウムハイドロジェンフタレートである。
水溶液における第1パッシベーション剤の重さ百分率は0.001−10wt%であり、望ましくは、0.01−5wt%である。水溶液における第2パッシベーション剤の重さ百分率は0.001−1wt%であり、望ましくは、0.02−0.5wt%である。
また、CMPスラリーを形成する水溶液は、望ましくは、除去速度加速剤を含む。除去速度加速剤はフォスフェート化合物であって、例えば、アンモニウムジハイドロジェンフォスフェート、ポタシウムジハイドロジェンフォスフェート、ビス(2−エチルヘキシル)フォスフェート、2−アミノエチルジハイドロジェンフォスフェート、4−クロロベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェート、ニトロベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェート、アンモニウムヘキサフルオロフォスフェート、ビス(2,4ジクロロフェニル)クロロフォスフェート、ビス(2−エチルヘキシル)ハイドロジェンフォスフェート、ビス(2−エチルヘキシル)フォスファイト、カルシウムフルオロフォスフェート、ジエチルクロロフォスフェート、ジエチルクロロチオフォスフェート、ポタシウムヘキサフルオロフォスフェート、ピロリン酸、テトラブチルアンモニウムヘキサフルオロフォスフェート、及びテトラエチルアンモニウムヘキサフルオロフォスフェートを含んでなる一群から選択されるいずれか一つである。例えば、除去速度加速剤はアンモニウムハイドロジェンフォスフェートであり、水溶液におけるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートの重さ百分率は0.001−10wt%であり、望ましくは、0.01−1wt%である。
CMPスラリーを形成する水溶液は、望ましくは、pH調節剤をさらに含む。例えば、水溶液のpHは1〜7であり、望ましくは、2〜6に含まれる値でありうる。水溶液はスルホン酸、塩素酸、フォスフォリック酸、硝酸などの酸溶液であるか、あるいはポタシウムヒドロキシド、ナトリウムヒドロキシド、またはアンモニウムヒドロキシドなどのアルカリ溶液でありうる。
CMPスラリーの研磨粒子は、望ましくは、セリア、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア及びゲルマニアを含んでなる一群から選択された金属酸化物でありうる。例えば、研磨粒子はセリウム酸化物であり、水溶液における研磨粒子の重さ百分率は0.1−25wt%である。
後述するように、本発明のCMPスラリーは50:1またはそれ以上のシリコン窒化膜に対する酸化物の除去選択比を提供できる。
まず、図3は、アンモニウムハイドロジェンフォスフェートなどの除去速度加速剤の効果を示す。特に、図3は、酸化物スラリーに添加されたアンモニウムハイドロジェンフォスフェートの重さ百分率に対する酸化物の除去速度(Å/分)の変化を示す。この例において、スラリーに含まれた研磨剤はセリウム酸化物である。図3から明らかなように、酸化物スラリーにアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを添加する場合、酸化物のCMP除去速度は大幅に増加する。
図4は、CMPスラリーに除去速度加速剤及び第1パッシベーション剤を添加した場合の除去速度の変化を示す。特に、図4は、ポリ−ビニールスルホン酸の重さ百分率の関数としての酸化物(PETEOS)除去速度及びシリコン窒化膜(SiN)除去速度の変化を示す。ここで、ポリ−ビニールスルホン酸は陰イオン性界面活性剤であって、酸化物スラリーに第1パッシベーション剤として添加される。この例において、酸化物スラリーは、図3で上述した除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを含んでいる。図4から明らかなように、酸化物除去速度は図3に示される除去速度に比べてやや増加するが、スラリーのSiNに対する酸化物の除去選択比はやや減少する。
図5は、除去速度加速剤及び第2パッシベーション剤を添加した場合の除去速度の変化を示す。特に、図5は、酸化物スラリーに第2パッシベーション剤として添加されるポタシウムハイドロジェンフタレートの重さ百分率の関数としての酸化物(PETEOS)除去速度及びシリコン窒化膜(SiN)除去速度の変化を示す。この例において、酸化物スラリーは、図3で述べた除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを含んでいる。図5から明らかなように、酸化物除去速度への実質的な変化はなく、シリコン窒化膜の除去速度はやや減少する。さらに、SiNに対する酸化物の選択比は依然として低く保たれる。
図4及び図5から明らかなように、CMPスラリーにポリ−ビニールスルホン酸またはポタシウムハイドロジェンフタレートの各々の単一パッシベーション剤を添加する場合には、SiNに対する酸化物の除去選択比があまり高くないことが分かる。
図6は、酸化物スラリーにパッシベーション剤として添加されるポタシウムハイドロジェンフタレートの重さ百分率の関数としての酸化物(PETEOS)除去速度及びシリコン窒化膜(SiN)除去速度の変化を示す。図6の酸化物スラリーは除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートだけではなく、第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸及び第2パッシベーション剤であるポタシウムハイドロジェンフタレートを含む。ここで、第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸の重さ百分率は0.05wt%に固定した。図6において、CMPスラリーに相異なる二つのパッシベーション剤を添加する場合、極めて高いSiNに対する酸化物のCMP除去選択比が得られる。もちろん、前記実施形態において、前記酸化物スラリーに除去速度加速剤を添加しない場合にも高いSiNに対する酸化物の除去選択比が得られる。
望ましくは、本発明のCMPスラリーはpH調節剤をさらに含む。pH調節剤はスラリーに添加される第1及び第2パッシベーション剤及び除去速度加速剤の重さ百分率により、スルホン酸、フォスフォリック酸、ハイドロ塩素酸、硝酸またはカルボン酸などの酸溶液、またはアンモニウムヒドロキシドまたはポタシウムヒドロキシドなどのアルカリ溶液の組成を変えることによりスラリーのpHを調節できる。この実施形態においては、スラリーのpHはフルファリック酸またはポタシウムヒドロキシドを用いて調節する。もちろん、前記実施形態において、前記スラリーに除去速度加速剤は含まれない場合もある。
図7は、pHの関数としてのCMPスラリーの酸化物及びシリコン窒化膜除去速度を示す。ここで、スラリーは除去速度加速剤と、第1及び第2パッシベーション剤とを含み、スラリーのpHはpH調節剤を用いて任意に調節される。図7に示されたように、最も高いSiNに対する酸化物の選択比はpH4の時である。
本発明のより詳細な理解のために、各種の実験例が開示される。
(第1実験例)
スラリーに添加される除去速度加速剤であるフォスフェート化合物の量に対するスラリーの特性の変化を測定するために3本の試片が製造された。試片ウェーハはシリコン基板上に10,000Å厚さのPETEOSが蒸着されたPETEOSブランケットシリコン基板であり、セリア研磨剤が1wt%含まれた研磨溶液を使用した。研磨溶液のpHは4に固定した。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを使用する6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。3本のスラリー試片に対する測定結果は、下記表1に示す。
スラリーに添加される除去速度加速剤であるフォスフェート化合物の量に対するスラリーの特性の変化を測定するために3本の試片が製造された。試片ウェーハはシリコン基板上に10,000Å厚さのPETEOSが蒸着されたPETEOSブランケットシリコン基板であり、セリア研磨剤が1wt%含まれた研磨溶液を使用した。研磨溶液のpHは4に固定した。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを使用する6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。3本のスラリー試片に対する測定結果は、下記表1に示す。
表1から明らかなように、除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートの量が約0.05wt%であるとき、酸化物除去速度が大きく増加する。表に示してはいないが、微量の除去速度加速剤が添加される場合、例えば、0.001wt%のアンモニウムハイドロジェンフォスフェートが添加される場合であっても、酸化物除去速度の向上効果は具現できる。
(第2実験例)
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを0.25wt%に固定した状態で、第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸の重さ百分率に対する酸化物及びSiN除去速度とスラリーの除去選択比を測定するために5本の試片が製造された。各試片ウェーハはPETEOSブランケット蒸着シリコン基板であるか、あるいはシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である。試片がPETEOSブランケット蒸着シリコン基板である場合、PETEOSはシリコン基板上に10,000Åの厚さにて蒸着された。また、試片がシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である場合、高温酸化物及びシリコン窒化膜がシリコン基板上に各々1,000Å及び2,000Åの厚さにて蒸着された。研磨溶液は、セリア研磨剤が約1wt%添加された研磨溶液を使用した。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを用いる6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。5本のスラリー試片の測定結果は、下記表2に示す。
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを0.25wt%に固定した状態で、第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸の重さ百分率に対する酸化物及びSiN除去速度とスラリーの除去選択比を測定するために5本の試片が製造された。各試片ウェーハはPETEOSブランケット蒸着シリコン基板であるか、あるいはシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である。試片がPETEOSブランケット蒸着シリコン基板である場合、PETEOSはシリコン基板上に10,000Åの厚さにて蒸着された。また、試片がシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である場合、高温酸化物及びシリコン窒化膜がシリコン基板上に各々1,000Å及び2,000Åの厚さにて蒸着された。研磨溶液は、セリア研磨剤が約1wt%添加された研磨溶液を使用した。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを用いる6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。5本のスラリー試片の測定結果は、下記表2に示す。
表2から明らかなように、第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸の重さ百分率が増加する時、酸化物及びSiNの除去速度がいずれも線形的に増加する。したがって、除去選択比は向上されない
(第3実験例)
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを0.2wt%に固定した状態で、第2パッシベーション剤であるポタシウムハイドロジェンフタレートの重さ百分率に対する酸化物及びSiN除去速度と除去選択比を測定するために、5本の試片が製造された。各試片ウェーハはPETEOSブランケット蒸着シリコン基板であるか、あるいはシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である。試片がPETEOSブランケット蒸着シリコン基板である場合、PETEOSはシリコン基板上に10,000Åの厚さにて蒸着された。試片がシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である場合、高温酸化膜及びシリコン窒化膜をシリコン基板上に各々1,000Å及び2,000Åの厚さにて蒸着した。研磨溶液はセリア研磨剤が約1wt%添加されたものを使用した。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを用いる6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。5本のスラリー試片の測定結果は、下記表3に示す。
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを0.2wt%に固定した状態で、第2パッシベーション剤であるポタシウムハイドロジェンフタレートの重さ百分率に対する酸化物及びSiN除去速度と除去選択比を測定するために、5本の試片が製造された。各試片ウェーハはPETEOSブランケット蒸着シリコン基板であるか、あるいはシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である。試片がPETEOSブランケット蒸着シリコン基板である場合、PETEOSはシリコン基板上に10,000Åの厚さにて蒸着された。試片がシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である場合、高温酸化膜及びシリコン窒化膜をシリコン基板上に各々1,000Å及び2,000Åの厚さにて蒸着した。研磨溶液はセリア研磨剤が約1wt%添加されたものを使用した。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを用いる6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。5本のスラリー試片の測定結果は、下記表3に示す。
表3から明らかなように、第2パッシベーション剤であるポタシウムハイドロジェンフタレートの重さ百分率が増加する時、酸化物除去速度はやや増加し、SiNの除去速度はやや減少するが、除去選択比は依然として相対的に低い。
(第4実験例)
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートと第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸とを各々約0.05wt%に固定した状態で、他の第2パッシベーション剤であるポタシウムハイドロジェンフタレートの重さ百分率に対する酸化物及びSiN除去速度と除去選択比とを測定するために5本の試片が製造された。
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートと第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸とを各々約0.05wt%に固定した状態で、他の第2パッシベーション剤であるポタシウムハイドロジェンフタレートの重さ百分率に対する酸化物及びSiN除去速度と除去選択比とを測定するために5本の試片が製造された。
各試片ウェーハはPETEOSブランケット蒸着シリコン基板であるか、あるいはシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である。試片がPETEOSブランケット蒸着シリコン基板である場合、PETEOSはシリコン基板上に10,000Åの厚さにて蒸着された。試片がシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である場合、高温酸化膜及びシリコン窒化膜がシリコン基板上に各々1,000Å及び2,000Åの厚さにて蒸着された。研磨溶液はセリア研磨剤が約1wt%添加されたものが使用された。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを用いる6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。5本のスラリー試片の測定結果は、下記表4に示す。
表4から明らかなように、第1パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸及び第2パッシベーション剤であるポタシウムハイドロジェンフタレートなど、相異なるパッシベーション剤をCMPスラリーに添加する場合、SiNに対する酸化物の除去選択比が大きく増加する。実際に、50:1またはそれ以上の除去選択比が得られる。この点は、約4:1の除去選択比を有する従来のスラリーに比べて極めて優秀である。また、除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートを添加する場合、除去選択比を高めるのに寄与できる。
(第5実験例)
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートと、第1及び第2パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸及びポタシウムハイドロジェンフタレートを各々0.05wt%に固定した状態で、スラリー溶液の相異なるpH値に対する酸化物及びSiN除去速度を測定するために3本の試片が製造された。
除去速度加速剤であるアンモニウムハイドロジェンフォスフェートと、第1及び第2パッシベーション剤であるポリ−ビニールスルホン酸及びポタシウムハイドロジェンフタレートを各々0.05wt%に固定した状態で、スラリー溶液の相異なるpH値に対する酸化物及びSiN除去速度を測定するために3本の試片が製造された。
各試片ウェーハはPETEOSブランケット蒸着シリコン基板であるか、あるいはシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である。試片がPETEOSブランケット蒸着基板である場合、PETEOSはシリコン基板上に10,000Åの厚さにて蒸着された。試片がシリコン窒化膜ブランケット蒸着シリコン基板である場合、高温酸化膜及びシリコン窒化膜がシリコン基板上に各々1,000Å及び2,000Åの厚さにて蒸着された。研磨溶液はセリア研磨剤が約1wt%添加されたものを使用した。研磨はロデル(RODEL)社のR200キャリアフィルム及びICI1400スタックパッドを用いる6”PRESI装備において、5psi下向き圧力、65rpmのテーブル速度、35rpmの主軸回転速度及び250ml/分のスラリー流れ速度で行われた。3本の試片の測定結果は、下記表5に示す。
表5から明らかなように、スラリー溶液のpHが増加するに伴い、PETEOSの除去速度は減少するのに対し、シリコン窒化膜(SiN)の除去速度は大きく増加する。具体的に、スラリー溶液のpHが8以上である場合、SiNに対するPETEOSの除去選択比が急減する。したがって、7またはそれ以下のpHを有するスラリーが高い選択比を示すと判断される。このように、第1及び第2パッシベーション剤を用いると共に、7またはそれ以下のpHを有するようにpH調節剤を用いることにより、除去選択比を大きく増加できる。
以下、図8の工程フローチャートを参照し、本発明のCMP方法について説明する。802段階において、研磨される半導体ウェーハの表面は研磨パッドの表面に接触する。804段階において、研磨粒子と相異なる第1及び第2パッシベーション剤とを含む水溶液を研磨パッドの表面と半導体ウェーハの表面との界面に供給する。806段階において、半導体ウェーハの表面を研磨パッドの表面に対して相対的に回転させる。
前述したように、第1パッシベーション剤はポリ−ビニールスルホン酸でありえ、第2パッシベーション剤はポタシウムハイドロジェンフタレートでありうる。また、除去速度加速剤及び/またはpH調節剤がCMPスラリー水溶液に添加できる。
図9は、本発明の浅いトレンチ素子分離方法の工程フローチャートである。902段階において、パッド酸化膜が半導体基板の表面を覆うように形成される。次に、904段階において、パッド酸化膜が半導体基板とシリコン窒化膜との間に位置するようにパッド酸化膜を覆うシリコン窒化膜が形成される。次に、906段階において、シリコン窒化膜及びパッド酸化膜を貫通して半導体基板内に延びる多数のトレンチが形成される。908段階において、絶縁酸化膜が多数のトレンチ内に、そしてシリコン窒化膜を覆うように形成される。次に、910段階において、図8で説明したように化学機械的研磨工程を行い、前記シリコン窒化膜の表面が露出されるように絶縁酸化膜を除去する。言い加えれば、第1パッシベーション剤はポリ−ビニールスルホン酸でありえ、第2パッシベーション剤はポタシウムハイドロジェンフタレートでありうる。また、除去速度加速剤及び/またはpH調節剤をCMPスラリー水溶液に添加できる。次に、912段階において、パッド酸化膜及びシリコン窒化膜を除去して半導体基板の表面内に多数のトレンチ酸化物領域を形成する。
以上、本発明を開示された具体的な実施形態を参照して詳細に説明したが、本発明の技術的な思想から逸脱しない範囲内において十分な改良が可能であるということは言うまでもない。
前述したように、本発明によれば、酸化膜とシリコン窒化膜との間に改善された除去選択比を示すCMPスラリーを提供できる。
200 半導体基板
202 パッド酸化膜
204 エッチング終了層
206 トレンチ
208 絶縁酸化膜
202 パッド酸化膜
204 エッチング終了層
206 トレンチ
208 絶縁酸化膜
Claims (32)
- 研磨粒子と、第1及び第2パッシベーション剤を含む所定のpHを有する水溶液とを含み、
前記第1パッシベーション剤は陰イオン、陽イオンまたは非イオン性界面活性剤であり、
前記第2パッシベーション剤はフタル酸またはその塩であり、
酸化膜及び窒化膜よりなる構造物において前記酸化膜を選択的に食刻するために使用されることを特徴とする化学機械的研磨スラリー。 - 前記第1パッシベーション剤は、ポリ−ビニールスルホン酸であることを特徴とする請求項1に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液における前記第1パッシベーション剤の重さ百分率は、0.001−10wt%であることを特徴とする請求項1または2に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液における前記第1パッシベーション剤の重さ百分率は、0.01−5wt%であることを特徴とする請求項1または2に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記第2パッシベーション剤は、ポタシウムハイドロジェンフラレートであることを特徴とする請求項1に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液における前記第2パッシベーション剤の重さ百分率は、0.001−1wt%であることを特徴とする請求項1または5に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液における前記第2パッシベーション剤の重さ百分率は、0.02−0.5wt%であることを特徴とする請求項1または5に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記第2パッシベーション剤は、ポッタシウムハイドロジェンフタレートであることを特徴とする請求項2に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液における前記第1パッシベーション剤の量は0.001−10wt%であり、前記水溶液における前記第2パッシベーション剤の量は0.001−1wt%であることを特徴とする請求項8に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液における前記第1パッシベーション剤の量は0.01−5wt%であり、前記水溶液における前記第2パッシベーション剤の量は0.02−0.5wt%であることを特徴とする請求項8に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記陰イオン性の界面活性剤は、カルボン酸またはその塩、硫エステルまたはその塩、スルホン酸またはその塩、リンエステルまたはその塩を含んでなる一群から選ばれ、
前記陽イオン性の界面活性剤は、第1アミンまたはその塩、第2アミンまたはその塩、第3アミンまたはその塩、及び第4アミンまたはその塩を含んでなる一群から選ばれ、
前記非イオン性の界面活性剤は、ポリエチレングリコール型界面活性剤及びポリヒドロキシアルコール型界面活性剤を含んでなる一群から選ばれることを特徴とする請求項1に記載の化学機械的研磨スラリー。 - 前記水溶液は、酸化膜に対する除去速度加速剤をさらに含むことを特徴とする請求項1、2及び8のいずれか1項に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記除去速度加速剤は、アンモニウムハイドロジェンフォスフェートであり、前記水溶液における前記アンモニウムハイドロジェンフォスフェートの重さ百分率は0.001−10wt%であることを特徴とする請求項12に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記除去速度加速剤は、アンモニウムジハイドロジェンフォスフェート、ポタシウムジハイドロジェンフォスフェート、ビス(2−エチルヘキシル)フォスフェート、2−アミノエチルジハイドロジェンフォスフェート、4−クロロベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェート、ニトロベンゼンジアゾニウムヘキサフルオロフォスフェート、アンモニウムヘキサフルオロフォスフェート、ビス(2,4ジクロロフェニル)クロロフォスフェート、ビス(2−エチルヘキシル)ハイドロジェンフォスフェート、ビス(2−エチルヘキシル)フォスファイト、カルシウムフルオロフォスフェート、ジエチルクロロフォスフェート、ジエチルクロロチオフォスフェート、ポタシウムヘキサフルオロフォスフェート、ピロリン酸、テトラブチルアンモニウムヘキサフルオロフォスフェート、及びテトラエチルアンモニウムヘキサフルオロフォスフェートを含んでなる一群から選ばれるいずれか一種であることを特徴とする請求項12に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液は、pH調節剤をさらに含むことを特徴とする請求項1、2及び8のいずれか1項に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液は、pH調節剤をさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液は、1ないし7のpH値を有することを特徴とする請求項16に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液は、2ないし6のpH値を有することを特徴とする請求項17に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記研磨粒子は、セリア、シリカ、アルミナ、チタニア、ジルコニア及びゲルマニアよりなる一群から選ばれるいずれか一種の金属酸化物であることを特徴とする請求項1に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液における前記研磨粒子の重さ百分率は、0.1−25wt%であることを特徴とする請求項1に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液のシリコン窒化膜に対する酸化物の選択比は、少なくとも50:1であることを特徴とする請求項1に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 前記水溶液のシリコン窒化膜に対する酸化物の選択比は、少なくとも50:1であることを特徴とする請求項8に記載の化学機械的研磨スラリー。
- 半導体ウェーハの表面を研磨パッドの表面と接触させる段階と、
研磨粒子と、第1及び第2パッシベーション剤を含む所定のpHを有する水溶液とを含み、前記第1パッシベーション剤は陰イオン、陽イオンまたは非イオン性界面活性剤であり、前記第2パッシベーション剤はフタル酸またはその塩であり、酸化膜及び窒化膜よりなる構造物において前記酸化膜を選択的に食刻するために使用されるスラリーを前記研磨パッドの表面と前記半導体ウェーハの表面との界面に供給する段階と、
前記半導体ウェーハの表面を前記研磨パッドの表面に対して回転させる段階とを含むことを特徴とする化学機械的研磨方法。 - 半導体ウェーハの表面を研磨パッドの表面と接触させる段階と、
研磨粒子と、ポリ−ビニールスルホン酸、及びポタシウムハイドロジェンフタレートを含む所定のpHを有する水溶液とを含み、酸化膜及び窒化膜よりなる構造物において前記酸化膜を選択的に食刻するために使用されるスラリーを前記研磨パッドの表面と前記半導体ウェーハの表面との界面に供給する段階と、
前記半導体ウェーハの表面を前記研磨パッドの表面に対して回転させる段階とを含むことを特徴とする化学機械的研磨方法。 - 前記供給される水溶液は、pH調節剤及び除去速度加速剤をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の化学機械的研磨方法。
- 前記供給される水溶液は、1ないし7のpH値を有し、アンモニウムハイドロジェンフォスフェートをさらに含むことを特徴とする請求項24に記載の化学機械的研磨方法。
- 前記供給される水溶液は、2ないし6のpH値を有することを特徴とする請求項24に記載の化学機械的研磨方法。
- 半導体基板の表面を覆うパッド酸化膜を形成する段階と、
前記パッド酸化膜上に窒化膜を形成する段階と、
前記窒化膜及び前記パッド酸化膜を貫通して前記半導体基板内に延びる多数のトレンチを形成する段階と、
前記多数のトレンチ内に、そして前記窒化膜上に絶縁酸化膜を形成する段階と、
前記窒化膜の表面が露出されるように前記絶縁酸化膜を除去する段階と、
前記パッド酸化膜及び前記窒化膜を除去する段階とを含み、
前記絶縁酸化膜を除去する段階は、
(イ)前記絶縁酸化膜の表面を研磨パッドの表面と接触させる段階と、
(ロ)研磨粒子と、第1及び第2パッシベーション剤を含む所定のpHを有する水溶液とを含み、前記第1パッシベーション剤は陰イオン、陽イオンまたは非イオン性界面活性剤であり、前記第2パッシベーション剤はフタル酸またはその塩であり、酸化膜及び窒化膜よりなる構造物において前記酸化膜を選択的に食刻するために使用されるスラリーを前記研磨パッドの表面と前記絶縁酸化膜の表面との界面に供給する段階と、
(ハ)前記半導体ウェーハの表面を前記研磨パッドの表面に対して回転させる段階とを含む化学機械的研磨により行われることを特徴とする浅いトレンチ素子分離方法。 - 半導体基板の表面を覆うパッド酸化膜を形成する段階と、
前記パッド酸化膜上に窒化膜を形成する段階と、
前記窒化膜及び前記パッド酸化膜を貫通して前記半導体基板内に延びる多数のトレンチを形成する段階と、
前記多数のトレンチ内に、そして前記窒化膜上に絶縁酸化膜を形成する段階と、前記窒化膜の表面が露出されるように前記絶縁酸化膜を除去する段階と、
前記パッド酸化膜及び前記窒化膜を除去する段階とを含み、
前記絶縁酸化膜を除去する段階は、
(イ)前記絶縁酸化膜の表面を研磨パッドの表面と接触させる段階と、
(ロ)研磨粒子と、ポリ−ビニールスルホン酸、及びポタシウムハイドロジェンフタレートを含む所定のpHを有する水溶液とを含み、酸化膜及び窒化膜よりなる構造物において前記酸化膜を選択的に食刻するために使用されるスラリーを前記研磨パッドの表面と前記絶縁酸化膜の表面との界面に供給する段階と、
(ハ)前記半導体ウェーハの表面を前記研磨パッドの表面に対して回転させる段階とを含む化学機械的研磨により行われることを特徴とする浅いトレンチ素子分離方法。 - 前記供給される水溶液は、pH調節剤及び除去速度加速剤をさらに含むことを特徴とする請求項29に記載の浅いトレンチ素子分離方法。
- 前記供給される水溶液は、1ないし7のpH値を有し、アンモニウムハイドロジェンフォスフェートをさらに含むことを特徴とする請求項29に記載の浅いトレンチ素子分離方法。
- 前記供給される水溶液は、2ないし6のpH値を有することを特徴とする請求項29に記載の浅いトレンチ素子分離方法。
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US20040127045A1 (en) * | 2002-09-12 | 2004-07-01 | Gorantla Venkata R. K. | Chemical mechanical planarization of wafers or films using fixed polishing pads and a nanoparticle composition |
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KR100576479B1 (ko) * | 2003-12-24 | 2006-05-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 저농도의 연마제를 포함하는 슬러리를 이용한 cmp 공정 |
KR100521050B1 (ko) * | 2003-12-30 | 2005-10-11 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 반도체 소자의 금속 배선 형성 방법 |
KR100569541B1 (ko) * | 2004-03-08 | 2006-04-10 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 제조방법 |
JP2005268665A (ja) * | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Fujimi Inc | 研磨用組成物 |
US8003609B2 (en) * | 2004-03-30 | 2011-08-23 | The Hospital For Sick Children | Method for ameliorating pain by modification of NMDA receptors through inhibition of Src |
KR100611064B1 (ko) * | 2004-07-15 | 2006-08-10 | 삼성전자주식회사 | 화학 기계적 연마 공정용 슬러리 조성물, 상기 슬러리조성물을 이용한 화학 기계적 연마 방법 및 상기 방법을이용한 게이트 패턴의 형성 방법 |
US20060021972A1 (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-02 | Lane Sarah J | Compositions and methods for chemical mechanical polishing silicon dioxide and silicon nitride |
KR100672940B1 (ko) * | 2004-08-03 | 2007-01-24 | 삼성전자주식회사 | 금속막을 위한 화학적기계적 연마 슬러리 및 이를 이용한금속막의 화학적기계적 연마 방법 |
JP4012180B2 (ja) * | 2004-08-06 | 2007-11-21 | 株式会社東芝 | Cmp用スラリー、研磨方法、および半導体装置の製造方法 |
KR101232249B1 (ko) * | 2004-08-10 | 2013-02-12 | 간또 가가꾸 가부시끼가이샤 | 반도체 기판 세정액 및 반도체 기판 세정방법 |
KR20060016498A (ko) * | 2004-08-18 | 2006-02-22 | 삼성전자주식회사 | 슬러리 조성물, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 가공물의연마방법 |
KR100684877B1 (ko) * | 2005-01-05 | 2007-02-20 | 삼성전자주식회사 | 슬러리 조성물 및 이를 이용한 화학적 기계적 연마 공정을포함하는 반도체 소자 제조 방법 |
US20060166458A1 (en) * | 2005-01-26 | 2006-07-27 | Yi-Lung Cheng | Method for forming shallow trench isolation structures |
KR100734305B1 (ko) * | 2006-01-17 | 2007-07-02 | 삼성전자주식회사 | 디싱 현상 없이 평탄화된 막을 구비하는 반도체 소자의제조방법 및 그에 의해 제조된 반도체 소자 |
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US9343330B2 (en) * | 2006-12-06 | 2016-05-17 | Cabot Microelectronics Corporation | Compositions for polishing aluminum/copper and titanium in damascene structures |
US20080135520A1 (en) * | 2006-12-12 | 2008-06-12 | Tao Sun | Chemical composition for chemical mechanical planarization |
JP4614981B2 (ja) * | 2007-03-22 | 2011-01-19 | Jsr株式会社 | 化学機械研磨用水系分散体および半導体装置の化学機械研磨方法 |
KR100894985B1 (ko) * | 2007-06-29 | 2009-04-24 | 삼성전자주식회사 | 금속 연마용 슬러리 조성물, 이를 이용한 금속 대상체의연마 방법 및 금속 배선의 형성 방법 |
KR101481573B1 (ko) * | 2008-02-12 | 2015-01-14 | 삼성전자주식회사 | 화학적 기계적 연마용 슬러리 조성물 및 이를 이용한화학적 기계적 연마 방법 |
KR101285948B1 (ko) * | 2009-07-21 | 2013-07-12 | 한양대학교 산학협력단 | 멀티 선택비를 갖는 연마 슬러리 조성물 및 이를 사용한 반도체 소자 제조방법 |
WO2012032461A1 (en) * | 2010-09-08 | 2012-03-15 | Basf Se | Aqueous polishing composition and process for chemically mechanically polishing substrates for electrical, mechanical and optical devices |
CN102615555B (zh) * | 2012-04-16 | 2014-02-05 | 大连理工大学 | 基于超声雾化水汽的kdp晶体微纳潮解超精密抛光方法 |
US9284472B2 (en) * | 2013-08-09 | 2016-03-15 | Fujimi Incorporated | SiCN and SiN polishing slurries and polishing methods using the same |
US9597768B1 (en) | 2015-09-09 | 2017-03-21 | Cabot Microelectronics Corporation | Selective nitride slurries with improved stability and improved polishing characteristics |
WO2017169808A1 (ja) * | 2016-03-30 | 2017-10-05 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
CN109728158B (zh) * | 2017-10-27 | 2023-07-07 | 华邦电子股份有限公司 | 电阻式存储器及其制造方法与化学机械研磨制程 |
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US11326076B2 (en) | 2019-01-25 | 2022-05-10 | Versum Materials Us, Llc | Shallow trench isolation (STI) chemical mechanical planarization (CMP) polishing with low abrasive concentration and a combination of chemical additives |
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US5391258A (en) | 1993-05-26 | 1995-02-21 | Rodel, Inc. | Compositions and methods for polishing |
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US5700383A (en) * | 1995-12-21 | 1997-12-23 | Intel Corporation | Slurries and methods for chemical mechanical polish of aluminum and titanium aluminide |
US5738800A (en) * | 1996-09-27 | 1998-04-14 | Rodel, Inc. | Composition and method for polishing a composite of silica and silicon nitride |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090616 |
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A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091208 |