JP2007003517A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 少なくとも１つの大面積基板のテストのためのテストシステムであって、
   内部容積内に可動テストテーブルを有するテストチャンバを備え、テストテーブルは大面積基板の搬送を可能にするように構成され、
   テストテーブルに連結された位置決めアセンブリとを備え、位置決めアセンブリはテストテーブルに対して可動であり、テストチャンバに１又はそれ以上のプローバを搬入し又は排出するように構成され、位置決めアセンブリはチャンバに隣接して配置されたプローバ交換装置に対し又はプローバ交換装置から１又はそれ以上のプローバを搬送するために用いられるテストシステム。
2. プローバ交換装置は、フレームと、フレームに連結された少なくとも１つのアクチュエータを備える請求項１記載のシステム。
3. プローバ交換装置は少なくとも１つのアクチュエータに連結された１又はそれ以上の支持部材を備え、支持部材は１又はそれ以上のプローバを受けるように用いられる請求項２記載のシステム。
4. １又はそれ以上の支持部材は位置決めアセンブリに対して移動するよう用いられる請求項３記載のシステム。
5. １又はそれ以上の支持部材はフレームに対して移動するよう用いられる請求項４記載のシステム。
6. 大面積基板の方向を変えるように用いられる複数の配列部材を備えるロードロックチャンバを備えた請求項１記載のシステム。
7. 位置決めアセンブリは、１又はそれ以上のプローバの１つを可動的に支持するように用いられる複数の摩擦低減部材を有する２つの昇降部材と、
   昇降部材を上昇させ及び下降させるように用いられる少なくとも２つのドライブを備える請求項１記載のシステム。
8. チャンバの上面に連結された複数の電子ビームカラムを備える請求項１記載のシステム。
9. 少なくとも１つの大面積基板のテストのためのテストシステムであって、
   大面積基板の搬送を可能にするように構成された可動テストテーブルを有するテストチャンバと、
   テストテーブルに連結された位置決めアセンブリとを備え、位置決めアセンブリはテストテーブルに対して可動であり、テストチャンバに１又はそれ以上のプローバを搬入し又は排出するように構成され、位置決めアセンブリはチャンバに隣接して配置されたプローバ交換装置に対し又はプローバ交換装置から１又はそれ以上のプローバを搬送するために用いられ、
   プローバ交換装置は、
   少なくとも２つの昇降部材を備え、昇降部材の各々は複数のローラを有し、
   昇降部材に連結した少なくとも１つのドライブと、
   テストチャンバに隣接して配置された複数の支持部材を備え、複数の支持部材はプローバを昇降部材に対して又は昇降部材から搬送するように構成されるシステム。
10. 昇降部材は１又はそれ以上のプローバの１つを搬送し及び可動的に支持するように用いられる請求項９記載のシステム。
11. 複数の支持部材は、
    摩擦低減表面と、
    複数の支持部材を支持するように構成されたフレームとを備え、複数の支持部材はフレームに対して支持部材を移動するように構成される少なくとも１つのドライブに連結される請求項９記載のシステム。
12. フレームは、テストチャンバの外側に連結される請求項１１記載のシステム。
13. テストチャンバは１又はそれ以上の大面積基板を支持し及び搬送を可能にするように構成されたロードロックチャンバに連結される請求項１２記載のシステム。
14. ロードロックチャンバは、少なくとも２つの基板の搬送を支持し及び搬送を可能にするように構成された複数の支持トレイと、
    複数の支持トレイに連結した昇降システムと、
    基板の少なくとも１つの誤配列を修正するように構成された複数の基板配列装置を備える請求項１３記載のシステム。
15. ロードロックチャンバは、１又はそれ以上基板を外界へ又は外界から搬送することが可能に構成された搬送ドアと、
    開位置から閉位置まで搬送ドアを動かすため搬送ドアに連結したアクチュエータとを備える請求項１３記載のシステム。