JP2006522494A - 機能材料アクチュエータ製品からの仕事を最適化する機器および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書の説明では、添付の図面を参照する。これらの図面では、同じ参照数字は、いくつかの図を通じて同じ部分を指す。
次に図3を参照すると、図1および図2と同じデータを使用した変位−力のグラフが示されている。図2を見た後では、仕事のピーク値は40に位置することがわかっている。このグラフに直角三角形10を重ね、AB、BC、CAの3つの線分を形成する。ここで、線分CAは最大変位であり、線分ABは阻止力、線分BCはアクチュエータの動作線である。この変位線分CAは、図2に示す仕事のピーク値と合わさる。この点の付近で、機能材料アクチュエータを、好ましくは仕事のピーク値の少なくとも40%以内に、より好ましくは仕事のピーク値の少なくとも25%以内に、最も好ましくは仕事のピーク値の少なくとも10%以内に、あるいは、ほぼ仕事のピーク値自体に最適に予荷重を付与し得る。この機能材料アクチュエータが40単位に予荷重が付与される場合、最大変位は、線分CAすなわち13単位になる。この機能材料アクチュエータに電力が与えられ、予荷重が60単位に増加すると、阻止力が得られ、阻止力に対する変位を示す線分は、線分ABになる。この時点で、この機能材料アクチュエータは、その元の高さに戻る。抵抗がゼロのばねを作るのは不可能なので、線分CAを得ることは不可能であり、そのため、実際の設計ルールが優先され、動作部分BC上の点を用いることができる。この点は、線分CAと線分BCの交点のところの、三角形10の角に近くなるように最適化し得る。当業者なら、三角形10を、図2でグラフ化された仕事のピーク値からわずかに上下に動かして、予荷重を微妙に最適化し得ることに留意されたい。アクチュエータを形成する材料および幾何形状は広範に及ぶので、材料と幾何形状の組合せによりそれぞれ異なる組のグラフが得られることがあり、そのため、各アクチュエータをその特定の応用例において評価することが必要とされることにも留意されたい。
次に図7aを参照すると、本発明の第4実施形態の切断図が示されている。アクチュエータアセンブリ10は、中点付近で切断され、それによって内部形状が見えるように示されている。アクチュエータアセンブリ10は、機能材料アクチュエータ20、力を伝達する部材30、剛体背面プレート40、下部ウェッジ300、上部ウェッジ310、および浮動プレート100を含む。この実施形態では、アクチュエータアセンブリ10のコンプライアントな機構は、単一片設計のものであり、剛体背面支持体40および力を伝達する部材30を含む2つの主要な形状を有する。ウェッジブロックアセンブリ300、310を含む第2サブアセンブリは、調整可能なスペーサとして設計される。機能材料アクチュエータ20は、浮動プレート100と力を伝達する部材30との間に収められる。ウェッジブロックアセンブリ300、310は、剛体背面プレート40によって支持される。ウェッジアセンブリ300、310が相互に移動すると、調整可能なスペーサの寸法が変化し、それによって予荷重が増減する。機能材料アクチュエータ20は、位置合わせ不良をあまり許容しない。位置合わせが不良だと、組立中に機能材料アクチュエータ20に不具合が生じることがある。浮動プレート100は、これら2つの表面間の位置合わせ不良を許容するように設計される。これを実現するために、浮動プレート100は、上部ウェッジ310と点接触し、機能材料アクチュエータ20とは平坦な表面で接触する。
Claims (40)
- 剛体非撓み部分および移動可能な部分を画定する支持構造と、
該支持構造の前記移動可能な部分を、第1位置及び第2位置間で駆動する機能材料アクチュエータと、
十分な予荷重力で前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与して、前記支持構造の仕事の出力を最適化する手段とを備え、
仕事の出力は、前記支持構造の寿命が無限の状態で変位と力の関数として定義されることを特徴とする機器。 - 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、約60%〜約90%の間の効率に最適化することを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、60%よりも高い効率に最適化することを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、約75%〜約90%の間の効率に最適化することを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、75%よりも高い効率に最適化される、請求項1に記載の機器。
- 前記予圧手段により、仕事の出力が、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、90%よりも高い効率に最適化することを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事の、力と変位の積と、力との関係の曲線によって決まるピーク荷重の20%以内に最適化することを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記予荷重付与手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータとの間に配置されることを特徴とする請求項1記載の機器。
- 前記予荷重付与手段はさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間を延びる調整可能なねじ込みねじを備えることを特徴とする請求項8記載の機器。 - 前記予荷重付与手段はさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間に位置決めされた調整可能なウェッジを備えることを特徴とする請求項8記載の機器。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1の半円形ウェッジ部分、第2の相補的な半円形ウェッジ部分、中央ウェッジ部分、および調整ねじを備え、それによって、前記ねじの調整により、前記中央ウェッジ部分が、前記第1および第2の半円形ウェッジ部分に関して相互に近づくように、また離れるように移動し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項10記載の機器。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み曲部分と係合可能な第1長手方向ウェッジ部分および前記機能材料アクチュエータの一端と係合可能な第2長手方向ウェッジ部分を備え、前記第1ウェッジ部分は、横方向に延び、角度がついた鋸歯状表面を有し、前記第2ウェッジ部分は、前記第1ウェッジ部分と動作可能に連動して係合する、横方向に延び、角度がついた相補的鋸歯状表面を有し、それによって、一方のウェッジ部分が、他方のウェッジ部分に対して横方向に動くことにより、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項10記載の機器。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1のカム表面部分、第2の相補的なカム表面部分、前記第1のカム表面部分と前記第2のカム表面部分との間に配置されたカム用ねじを備え、それによって、前記カム用ねじの調整により、前記カム表面部分が相互に移動し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項10記載の機器。 - 前記予荷重付与手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記支持構造の前記移動可能な部分との間に配置されることを特徴とする請求項8記載の機器。
- さらに前記予荷重付与手段において、前記支持構造の前記剛体非撓み部分は、前記支持構造の少なくとも1つの剛体非撓みアームと動作可能に係合可能な分離可能かつ調整可能な剛体非撓みウェブを有し、それによって、前記少なくとも1つのアームに関して前記ウェブを調整することにより、前記ウェブと、前記支持構造の前記少なくとも1つのアームが、前記機能材料アクチュエータにかかる所定の予荷重でロック係合されることを特徴とする請求項14記載の機器。
- さらに前記予荷重付与手段において、前記ウェブは、第1の鋸歯状部分を有し、該第1の鋸歯状部分は、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された第2の相補的な鋸歯状部分と係合可能であり、それによって、前記少なくとも1つのアームに対して前記ウェブが動くと、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項15記載の機器。
- さらに前記予荷重付与手段において、前記ウェブは、少なくとも1つの調整可能なねじを有し、該少なくとも1つの調整可能なねじは、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された少なくとも1つの対応するねじ孔内で動作可能に係合可能であり、それによって、前記ねじを調整すると、前記少なくとも1つのアームに対してウェブが移動し、前記機能材料アクチュエータに予荷重が加えられることを特徴とする請求項15記載の機器。
- 前記機能材料アクチュエータは、圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項1記載の機器。
- 支持構造の移動可能な部分を第1位置と第2位置との間で駆動する機能材料アクチュエータの予荷重を最適化する方法であって、
機能材料アクチュエータに電力が与えられている間および電力が与えられない間に加えられる力と、支持構造の偏向との関係を、所定の範囲の力にわたって測定するステップと、
力と変位の積と、力との関係を評価して、力と変位の積についてのピーク値を求めるステップと、
力と変位の積についての前記ピーク値の少なくとも40%以内の値に前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップとを含むことを特徴とする方法。 - 前記予荷重付与ステップはさらに、力と変位の積についての前記ピーク値の少なくとも25%以内の値に前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップを含むことを特徴とする請求項19記載の方法。
- 前記予荷重付与テップはさらに、力と変位の積についての前記ピーク値の少なくとも10%以内の値に前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップを含むことを特徴とする請求項19記載の方法。
- 前記予荷重付与ステップはさらに、力と変位の積についての前記ピーク値に、前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与するステップを含むことを特徴とする請求項19記載の方法。
- 請求項19の方法に従って製作された製品であって、
剛体非撓み部分および移動可能な部分を画定する支持構造と、
前記支持構造の前記移動可能な部分を、第1位置及び第2位置間で駆動する機能材料アクチュエータと、
十分な予荷重力で前記機能材料アクチュエータに予荷重を付与して、前記支持構造の仕事の出力を最適化する手段とをさらに備え、
仕事の出力は、前記支持構造の寿命が無限の状態で変位と力の関数として定義されることを特徴とする製品。 - 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、約60%〜約90%の間の効率に最適化することを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、60%よりも高い効率に最適化することを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、約75%〜約90%の間の効率に最適化することを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、75%よりも高い効率に最適化することを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事を含めて、90%よりも高い効率に最適化することを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記予荷重付与手段は、仕事の出力を、前記機能材料アクチュエータから入力される仕事の、力と変位の積と、力との関係の曲線によって決まるピーク荷重の20%以内に最適化することを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記予荷重付与手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータとの間に配置されることを特徴とする請求項23記載の製品。
- 前記予荷重付与手段はさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間を延びる調整可能なねじ込みねじを備えることを特徴とする請求項30記載の製品。 - 前記予荷重付与手段はさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記機能材料アクチュエータの一端との間に位置決めされた調整可能なウェッジを備えることを特徴とする請求項30記載の製品。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1の半円形ウェッジ部分、第2の相補的な半円形ウェッジ部分、中央ウェッジ部分、および調整ねじを備え、それによって、前記ねじの調整により、前記中央ウェッジ部分が、前記第1および第2の半円形ウェッジ部分に関して相互に近づくように、また離れるように移動し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項32記載の製品。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
前記支持構造の前記剛体非撓み部分と係合可能な第1長手方向ウェッジ部分および前記機能材料アクチュエータの一端と係合可能な第2長手方向ウェッジ部分を備え、前記第1ウェッジ部分は、横方向に延び、角度がついた鋸歯状表面を有し、前記第2ウェッジ部分は、前記第1ウェッジ部分と動作可能に連動して係合する、横方向に延び、角度がついた相補的鋸歯状表面を有し、それによって、一方のウェッジ部分が、他方のウェッジ部分に対して横方向に動くことにより、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項32記載の製品。 - 前記調整可能なウェッジはさらに、
第1のカム表面部分、第2の相補的なカム表面部分、前記第1のカム表面部分と前記第2のカム表面部分との間に配置されたカム用ねじを備え、それによって、前記カム用ねじの調整により、前記カム表面部分が相互に移動し、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項32記載の製品。 - 前記予荷重付与手段は、前記支持構造の前記剛体非撓み部分と前記支持構造の前記移動可能な部分との間に配置されることを特徴とする請求項30記載の製品。
- さらに前記予荷重付与手段において、前記支持構造の前記剛体非撓み部分は、前記支持構造の少なくとも1つの剛体非撓みアームと動作可能に係合可能な分離可能かつ調整可能な剛体非屈撓みウェブを有し、それによって、前記少なくとも1つのアームに関して前記ウェブを調整することにより、前記ウェブと、前記支持構造の前記少なくとも1つのアームが、前記機能材料アクチュエータにかかる所定の予荷重でロック係合されることを特徴とする請求項36記載の製品。
- さらに前記予荷重付与手段において、前記ウェブは、第1の鋸歯状部分を有し、該第1の鋸歯状部分は、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された第2の相補的な鋸歯状部分と係合可能であり、それによって、前記少なくとも1つのアームに対して前記ウェブが動くと、前記機能材料アクチュエータに加えられる予荷重の大きさが調整されることを特徴とする請求項37記載の製品。
- さらに前記予荷重付与手段において、前記ウェブは、少なくとも1つの調整可能なねじを有し、該少なくとも1つの調整可能なねじは、相互に動作可能に連動して係合するように前記少なくとも1つのアーム上に形成された少なくとも1つの対応するねじ孔内で動作可能に係合可能であり、それによって、前記ねじを調整すると、前記少なくとも1つのアームに対して前記ウェブが移動し、前記機能材料アクチュエータに予荷重が加えられることを特徴とする請求項37記載の製品。
- 前記機能材料アクチュエータは、圧電アクチュエータであることを特徴とする請求項23記載の製品。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012139028A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Mechano Transformer Corp | 圧電素子の変位拡大機構 |
JP2014508489A (ja) * | 2010-12-09 | 2014-04-03 | ヴァイキング エーティー,エルエルシー | 第二段を備える多アームスマート材料アクチュエータ |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100891605B1 (ko) * | 2004-05-20 | 2009-04-08 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 중량물 이동 방법 및 장치 |
DE502005006150D1 (de) * | 2005-08-10 | 2009-01-15 | Mettler Toledo Ag | Kalibriergewichtsanordnung für eine elektronische Waage |
US7994688B2 (en) * | 2008-09-18 | 2011-08-09 | Uchicago Argonne, Llc | Mechanical design of laminar weak-link mechanisms with centimeter-level travel range and sub-nanometer positioning resolution |
US20100148100A1 (en) * | 2008-12-17 | 2010-06-17 | Parker Hannifin Corporation | Media isolated piezo valve |
DE102009015428B4 (de) * | 2009-03-27 | 2015-09-10 | Unovatis Gmbh | Kompensation einer altersbedingten Längenänderung eines Stellelements aus einer Formgedächtnislegierung |
US8237334B2 (en) | 2009-04-22 | 2012-08-07 | Parker-Hannifin Corporation | Piezo actuator |
WO2011006164A2 (en) | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Viking At, Llc | Mountable arm smart material actuator and energy harvesting apparatus |
WO2011006028A2 (en) | 2009-07-10 | 2011-01-13 | Viking At, Llc | Small scale smart material actuator and energy harvesting apparatus |
WO2011029081A2 (en) * | 2009-09-04 | 2011-03-10 | Viking At, Llc | Smart material actuator adapted for resonant operation |
WO2011041689A2 (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-07 | Viking At, Llc | Nano piezoelectric actuator energy conversion apparatus and method of making same |
JP2013520157A (ja) * | 2010-02-17 | 2013-05-30 | ヴァイキング エーティー,エルエルシー | 取り囲まれた補償器を持つスマート材料アクチュエータ |
WO2012162604A1 (en) | 2011-05-25 | 2012-11-29 | Parker-Hannifin Corporation | Smart material actuator |
US20150337823A1 (en) * | 2012-11-08 | 2015-11-26 | Viking At, Llc | Lubricant-Free Compressor Having a Graphite Piston in a Glass Cylinder |
US10276776B2 (en) | 2013-12-24 | 2019-04-30 | Viking At, Llc | Mechanically amplified smart material actuator utilizing layered web assembly |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02288380A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Nippondenso Co Ltd | 圧電素子を用いたアクチュエータ装置 |
JPH07270559A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Chichibu Onoda Cement Corp | 密封式超精密微動装置 |
JPH10173247A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Nissan Motor Co Ltd | ピエゾアクチュエータ |
JP2002541401A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式アクチエータ |
Family Cites Families (145)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US34823A (en) * | 1862-04-01 | Improvement in steam-boilers | ||
US3144802A (en) | 1961-06-01 | 1964-08-18 | Jr Lawrence P Faber | Tuning apparatus |
US3405289A (en) | 1965-06-04 | 1968-10-08 | Gikow Emanuel | Switch |
US3414779A (en) | 1965-12-08 | 1968-12-03 | Northern Electric Co | Integrated parametric amplifier consisting of a material with both semiconductive and piezoelectric properties |
US3421109A (en) * | 1967-04-19 | 1969-01-07 | Euphonics Corp | Frequency selective amplifier and oscillator circuits employing piezoelectric elements to control frequency |
US3558936A (en) * | 1967-07-19 | 1971-01-26 | John J Horan | Resonant energy-conversion system |
US3548314A (en) | 1967-12-21 | 1970-12-15 | Univ Ohio | Piezoelectric pulse amplifier |
US3446902A (en) * | 1968-01-08 | 1969-05-27 | Westinghouse Electric Corp | Electrode having oxygen jets to enhance performance and arc starting and stabilizing means |
US3513309A (en) * | 1968-01-29 | 1970-05-19 | Michael Wahl | Piezoelectric unitary device for emitting fluorescence and amplifying radiation under stimulation in opposite directions |
US3614486A (en) | 1969-11-10 | 1971-10-19 | Physics Int Co | Lever motion multiplier driven by electroexpansive material |
US3666975A (en) * | 1970-05-18 | 1972-05-30 | Ultrasonic Systems | Ultrasonic motors |
US3649857A (en) * | 1970-07-30 | 1972-03-14 | Ibm | Mechanical energy storage and release device |
US3731214A (en) * | 1971-04-16 | 1973-05-01 | Massachusetts Inst Technology | Generation of weakly damped electron plasma surface waves on a semiconductor: amplification and coupling of acoustic waves on an adjacent piezoelectric |
US3749946A (en) * | 1971-05-27 | 1973-07-31 | Ruti J Von | Elec rical circuit for the transferring and amplification of a piezoelectric transducer signal |
CH542434A (de) * | 1972-07-28 | 1973-09-30 | Kistler Instrumente Ag | Piezoelektrische Messvorrichtung |
FR2223865B1 (ja) * | 1973-03-27 | 1978-10-20 | Thomson Csf | |
US4007666A (en) * | 1974-05-23 | 1977-02-15 | Pneumo Corporation | Servoactuator |
US3902084A (en) | 1974-05-30 | 1975-08-26 | Burleigh Instr | Piezoelectric electromechanical translation apparatus |
US4196652A (en) * | 1974-08-19 | 1980-04-08 | Jef Raskin | Digital electronic tuner |
US3902085A (en) | 1974-11-25 | 1975-08-26 | Burleigh Instr | Electromechanical translation apparatus |
DE2507917C2 (de) | 1975-02-24 | 1986-01-02 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur Regelung des optimalen Betriebsverhaltens einer Brennkraftmaschine |
US4044239A (en) | 1975-02-28 | 1977-08-23 | Nippon Gakki Seizo Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for adjusting vibration frequency of vibrating object |
DE2538381A1 (de) * | 1975-08-28 | 1977-03-10 | Siemens Ag | Piezoelektrischer druckaufnehmer |
US4018124A (en) * | 1975-11-26 | 1977-04-19 | Rosado Ruperto L | Automatic guitar tuner for electric guitars |
JPS6014201B2 (ja) | 1975-12-01 | 1985-04-12 | 黒田精工株式会社 | 空圧デイジタルシリンダー装置 |
US4088052A (en) * | 1976-11-02 | 1978-05-09 | Hedrick W David | String instrument tuning apparatus |
US4121504A (en) | 1977-01-21 | 1978-10-24 | Inovec, Inc. | Cylinder positioning systems |
DE2710935A1 (de) * | 1977-03-12 | 1978-09-14 | Ibm Deutschland | Matrixdrucker mit piezoelektrisch getriebenen drucknadeln |
US4207791A (en) * | 1977-06-25 | 1980-06-17 | Kabushiki Kaisha Kawai Gakki Seisakusho | Automatic tuning device |
US4157802A (en) * | 1977-07-15 | 1979-06-12 | Burleigh Instruments, Inc. | Rigid thermally stable structure for supporting precision devices |
US4208636A (en) * | 1977-12-16 | 1980-06-17 | Burleigh Instruments, Inc. | Laser apparatus |
DE2805175A1 (de) | 1978-02-08 | 1979-08-09 | Bosch Gmbh Robert | Einrichtung zum erfassen des spritzbeginns eines einspritzventils |
FR2425785A1 (fr) | 1978-05-08 | 1979-12-07 | France Etat | Transducteurs piezo-electriques a amplification mecanique pour tres basses frequences et antennes acoustiques |
US4214215A (en) * | 1978-08-02 | 1980-07-22 | Contact Communication Corporation | Low noise-high gain JFET amplifier for a piezoelectric transducer |
US4327623A (en) * | 1979-04-12 | 1982-05-04 | Nippon Gakki Seizo Kabushiki Kaisha | Reference frequency signal generator for tuning apparatus |
DE2942010A1 (de) * | 1979-10-17 | 1981-05-07 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Kraftstoffeinspritzpumpe fuer brennkraftmaschinen |
US4318023A (en) * | 1980-02-21 | 1982-03-02 | Physics International Company | Sagittally amplified piezoelectric actuator |
US4319843A (en) * | 1980-02-25 | 1982-03-16 | Burleigh Instruments, Inc. | Interferometer apparatus for the direct measurement of wavelength and frequency |
US4336809A (en) * | 1980-03-17 | 1982-06-29 | Burleigh Instruments, Inc. | Human and animal tissue photoradiation system and method |
US4313361A (en) * | 1980-03-28 | 1982-02-02 | Kawai Musical Instruments Mfg. Co., Ltd. | Digital frequency follower for electronic musical instruments |
US4450753A (en) * | 1980-05-12 | 1984-05-29 | Ford Motor Company | Electro-hydraulic proportional actuator |
DE3039967A1 (de) * | 1980-10-23 | 1982-06-03 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Kraftstoffeinspritzanlage |
US4379335A (en) * | 1980-10-28 | 1983-04-05 | Auto-Place, Inc. | Electronic controller and portable programmer system for a pneumatically-powered point-to-point robot |
CA1157142A (en) * | 1981-01-09 | 1983-11-15 | Robert G. Dunn | Diaphragm design for a bender type acoustic sensor |
US4432228A (en) * | 1981-01-22 | 1984-02-21 | Robert Bosch Gmbh | Fuel injection arrangement |
DE3116687C2 (de) * | 1981-04-28 | 1983-05-26 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Elektrisch angesteuertes Stellglied |
DE3118425A1 (de) * | 1981-05-09 | 1982-12-09 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zum erfassen der den brennraeumen eines dieselmotors zugefuehrten kraftstoffmenge |
US4434753A (en) * | 1981-05-18 | 1984-03-06 | Nippon Soken, Inc. | Ignition apparatus for internal combustion engine |
US4435666A (en) * | 1981-05-26 | 1984-03-06 | Nippon Electric Co., Ltd. | Lever actuator comprising a longitudinal-effect electroexpansive transducer and designed to prevent actuation from degrading the actuator |
DE3122375C2 (de) * | 1981-06-05 | 1983-03-03 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Sensoranordnung |
US4481768A (en) | 1981-08-14 | 1984-11-13 | International Robomation/Intelligence | Pneumatic control system for machines |
DE3135494A1 (de) | 1981-09-08 | 1983-03-24 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | "kraftstoffeinspritzanlage" |
US4426907A (en) * | 1981-09-10 | 1984-01-24 | Scholz Donald T | Automatic tuning device |
DE3148671A1 (de) | 1981-12-09 | 1983-07-21 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Kraftstoffeinspritzvorrichtung fuer brennkraftmaschinen, insbesondere fuer dieselmotoren |
US4481451A (en) | 1982-08-20 | 1984-11-06 | Johnson Service Company | Electronically controlled positioner for pneumatic actuators |
JPS5976184A (ja) | 1982-10-22 | 1984-05-01 | Hitachi Ltd | アクチユエ−タ |
DE3332949A1 (de) | 1983-09-13 | 1985-04-04 | Finnigan MAT GmbH, 2800 Bremen | Vorrichtung zur einstellung von spaltweiten bei spektrometern |
JPS6081568A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-09 | Nec Corp | 機械的増幅機構 |
US4570096A (en) * | 1983-10-27 | 1986-02-11 | Nec Corporation | Electromechanical translation device comprising an electrostrictive driver of a stacked ceramic capacitor type |
US4686338A (en) | 1984-02-25 | 1987-08-11 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Contact electrode material for vacuum interrupter and method of manufacturing the same |
US4763560A (en) | 1984-05-25 | 1988-08-16 | Tokyo Precision Instruments Co., Ltd. | Method and apparatus of controlling and positioning fluid actuator |
JPS60251701A (ja) | 1984-05-28 | 1985-12-12 | Nec Corp | マイクロ波スイツチ |
US4628499A (en) | 1984-06-01 | 1986-12-09 | Scientific-Atlanta, Inc. | Linear servoactuator with integrated transformer position sensor |
US4617952A (en) | 1984-07-31 | 1986-10-21 | Yamatake-Honeywell Co. Limited | Switching valve and an electro-pneumatic pressure converter utilizing the same |
US4675568A (en) * | 1984-08-13 | 1987-06-23 | Nec Corporation | Mechanical amplification mechanism for electromechanical transducer |
JPS6162369A (ja) * | 1984-08-30 | 1986-03-31 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | 圧電素子を用いたアクチユエ−タ |
JPS6162370A (ja) | 1984-08-31 | 1986-03-31 | Tokyo Juki Ind Co Ltd | ピエゾモ−タ |
US4790233A (en) | 1984-09-04 | 1988-12-13 | South Bend Lathe, Inc. | Method and apparatus for controlling hydraulic systems |
DE3440942A1 (de) * | 1984-11-09 | 1986-05-15 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Piezoelektrischer steuerblock |
US4629039A (en) | 1985-01-17 | 1986-12-16 | Nippondenso Co., Ltd | Vehicle braking control apparatus |
US4584923A (en) * | 1985-03-05 | 1986-04-29 | Minnick Gregory B | Self tuning tail piece for string instruments |
JPS61258679A (ja) | 1985-05-07 | 1986-11-17 | Nec Corp | 回転角制御装置 |
JPS61286540A (ja) * | 1985-06-14 | 1986-12-17 | Nippon Denso Co Ltd | 燃料噴射制御装置 |
DE3526629A1 (de) * | 1985-07-25 | 1987-02-05 | Bosch Gmbh Robert | Verteilereinspritzpumpe fuer brennkraftmaschinen |
US4736131A (en) * | 1985-07-30 | 1988-04-05 | Nec Corporation | Linear motor driving device |
DE3533085A1 (de) * | 1985-09-17 | 1987-03-26 | Bosch Gmbh Robert | Zumessventil zur dosierung von fluessigkeiten oder gasen |
DE3533975A1 (de) * | 1985-09-24 | 1987-03-26 | Bosch Gmbh Robert | Zumessventil zur dosierung von fluessigkeiten oder gasen |
US4629926A (en) | 1985-10-21 | 1986-12-16 | Kiwi Coders Corporation | Mounting for piezoelectric bender of fluid control device |
JPS62171457A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | リニア・アクチユエ−タ |
JPS62206238A (ja) * | 1986-03-05 | 1987-09-10 | Nippon Denso Co Ltd | 燃料噴射ポンプのパイロツト噴射装置 |
US4749897A (en) * | 1986-03-12 | 1988-06-07 | Nippondenso Co., Ltd. | Driving device for piezoelectric element |
JPH0325421Y2 (ja) | 1986-03-13 | 1991-06-03 | ||
DE3633107A1 (de) | 1986-04-10 | 1987-10-15 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzvorrichtung fuer brennkraftmaschinen |
FR2600120B1 (fr) | 1986-06-12 | 1990-06-29 | Bertin & Cie | Procede et dispositif d'asservissement en position d'un verin pneumatique |
US4697118A (en) | 1986-08-15 | 1987-09-29 | General Electric Company | Piezoelectric switch |
US4741247A (en) * | 1986-09-17 | 1988-05-03 | Rexa Corporation | Pneumatic actuator apparatus |
JPH07101021B2 (ja) * | 1986-11-07 | 1995-11-01 | 日本電装株式会社 | シングルドライブ・多重ノズル式電子制御式圧電式燃料噴射装置 |
US4732071A (en) * | 1987-02-13 | 1988-03-22 | Kawai Musical Instrument Mfg. Co., Ltd | Tuning indicator for musical instruments |
FR2614152B1 (fr) * | 1987-04-14 | 1991-06-14 | Thomson Csf | Procede de compensation d'un circuit a amplificateur de charge notamment pour hydrophone piezoelectrique |
JPH0410704Y2 (ja) | 1987-04-20 | 1992-03-17 | ||
JP2525019B2 (ja) | 1987-06-05 | 1996-08-14 | アルプス電気株式会社 | 超音波リニアモ―タ |
US4874978A (en) | 1987-06-09 | 1989-10-17 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Device for magnifying displacement of piezoelectric element or the like and method of producing same |
US4847193A (en) * | 1987-06-18 | 1989-07-11 | Gene-Trak Systems | Signal amplification in an assay employing a piezoelectric oscillator |
DE3722264A1 (de) * | 1987-07-06 | 1989-01-19 | Bosch Gmbh Robert | Kraftstoffeinspritzanlage fuer brennkraftmaschinen |
GB8719372D0 (en) * | 1987-08-15 | 1987-09-23 | Lucas Ind Plc | Fuel injection nozzle |
JP2592615B2 (ja) * | 1987-09-16 | 1997-03-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 電歪駆動装置 |
US4816713A (en) * | 1987-10-09 | 1989-03-28 | Change Jr Nicholas D | Piezoelectric sensor with FET amplified output |
US4819543A (en) * | 1987-10-23 | 1989-04-11 | Topworks, Inc. | Electric and pneumatic feedback controlled positioner |
US4803908A (en) * | 1987-12-04 | 1989-02-14 | Skinn Neil C | Automatic musical instrument tuning system |
US4909126A (en) * | 1987-12-04 | 1990-03-20 | Transperformance, Inc. | Automatic musical instrument tuning system |
JPH01161790A (ja) | 1987-12-17 | 1989-06-26 | Nec Corp | 圧電アクチュエータ用変位拡大機構 |
US4929859A (en) * | 1987-12-25 | 1990-05-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator having parallel arrangement of a single piezoelectric element and a pair of displacement magnification arms |
EP0322503A3 (en) * | 1987-12-29 | 1991-09-25 | Daihatsu Diesel Mfg. Co., Ltd. | Fluid apparatus |
US4933591A (en) * | 1988-01-06 | 1990-06-12 | Ford Aerospace Corporation | Double saggital pull stroke amplifier |
US4808874A (en) * | 1988-01-06 | 1989-02-28 | Ford Aerospace Corporation | Double saggital stroke amplifier |
US4769569A (en) | 1988-01-19 | 1988-09-06 | Ford Motor Company | Piezoelectric stack motor stroke amplifier |
US4999284A (en) * | 1988-04-06 | 1991-03-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Enzymatically amplified piezoelectric specific binding assay |
IL87312A (en) * | 1988-08-02 | 1992-02-16 | Zvi Orbach | Electromechanical translation apparatus of the inchworm linear motor type |
US4907748A (en) * | 1988-08-12 | 1990-03-13 | Ford Motor Company | Fuel injector with silicon nozzle |
US4874979A (en) | 1988-10-03 | 1989-10-17 | Burleigh Instruments, Inc. | Electromechanical translation apparatus |
DE3838599A1 (de) * | 1988-11-15 | 1990-05-17 | Bosch Gmbh Robert | Magnetventil, insbesondere fuer kraftstoffeinspritzpumpen |
US4901625A (en) * | 1989-01-03 | 1990-02-20 | Increcyl, Inc. | Apparatus and method for positioning equipment |
DE3914297A1 (de) * | 1989-04-29 | 1990-10-31 | Boge Ag | Regelbarer schwingungsdaempfer fuer kraftfahrzeuge |
US5115880A (en) * | 1989-05-08 | 1992-05-26 | Halliburton Geophysical Services | Piezoelectric seismic vibrator with hydraulic amplifier |
US5205147A (en) * | 1989-05-12 | 1993-04-27 | Fuji Electric Co., Ltd. | Pre-loaded actuator using piezoelectric element |
EP0407184A3 (en) * | 1989-07-06 | 1991-08-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Parallel link mechanism |
JPH03107568A (ja) * | 1989-09-22 | 1991-05-07 | Aisin Seiki Co Ltd | 燃料噴射装置 |
US5314175A (en) * | 1990-02-27 | 1994-05-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Wire clamping device and wire clamping method |
DE59008025D1 (de) * | 1990-03-09 | 1995-01-26 | Siemens Ag | Ventil mit piezoelektrischem Antrieb. |
US5009142A (en) * | 1990-03-26 | 1991-04-23 | Kurtz Noel T | Means and method for automatic resonance tuning |
GB9014140D0 (en) * | 1990-06-25 | 1990-08-15 | Burgon Harold S | Improvement in or relating to the tuning of musical instruments |
LU87794A1 (fr) * | 1990-08-31 | 1991-02-18 | Hydrolux Sarl | Proportional-wegeventil in sitzbauweise |
US5191252A (en) * | 1991-04-25 | 1993-03-02 | Nec Corporation | Displacement amplification mechanism using piezoelectric element |
US5182484A (en) * | 1991-06-10 | 1993-01-26 | Rockwell International Corporation | Releasing linear actuator |
US5424941A (en) * | 1991-08-02 | 1995-06-13 | Mosier Industries, Inc. | Apparatus and method for positioning a pneumatic actuator |
US5425941A (en) * | 1991-08-16 | 1995-06-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Agriculture | Biological control of diseases of harvested agricultural commodities using strains of the yeast Candida oleophola |
JPH0582852A (ja) * | 1991-09-19 | 1993-04-02 | Fujitsu Ltd | 積層型圧電アクチユエータのプレロード測定方法及びその装置 |
JP2981948B2 (ja) * | 1992-03-12 | 1999-11-22 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
US5323680A (en) * | 1992-05-29 | 1994-06-28 | Miller Mark D | Device and method for automatically tuning a stringed musical instrument |
US5319257A (en) * | 1992-07-13 | 1994-06-07 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Unitaxial constant velocity microactuator |
JP2542154B2 (ja) * | 1992-11-26 | 1996-10-09 | 山一電機株式会社 | 圧電アクチェ―タ― |
JP3053149B2 (ja) * | 1993-01-19 | 2000-06-19 | アイシン精機株式会社 | 内燃機関の燃料噴射制御装置 |
JP3005784B2 (ja) * | 1993-03-09 | 2000-02-07 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
JP3005783B2 (ja) * | 1993-03-09 | 2000-02-07 | 株式会社新川 | ワイヤクランパ |
US5410206A (en) * | 1993-04-06 | 1995-04-25 | New Focus, Inc. | Piezoelectric actuator for optical alignment screws |
DE4311627B4 (de) * | 1993-04-08 | 2005-08-25 | Robert Bosch Gmbh | Kraftstoffeinspritzeinrichtung für Brennkraftmaschinen |
JP3079503B2 (ja) * | 1995-09-13 | 2000-08-21 | 株式会社新川 | クランプ装置 |
US5907269A (en) * | 1997-06-06 | 1999-05-25 | Etrema Products, Inc. | Magnetostrictive clamping device |
DE19725918A1 (de) * | 1997-06-19 | 1998-12-24 | Mannesmann Rexroth Ag | Elektromagnetischer Stellantrieb |
JP4186135B2 (ja) * | 1998-05-15 | 2008-11-26 | Smc株式会社 | シリンダ用速度制御装置 |
DE10005477A1 (de) * | 2000-02-08 | 2001-08-09 | Kayser Herold Uwe | Verfahren und Vorrichtung zur Leistungsverstärkung von Festkörper-Aktoren |
US6548938B2 (en) * | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
US6759790B1 (en) * | 2001-01-29 | 2004-07-06 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
US6879087B2 (en) * | 2002-02-06 | 2005-04-12 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation |
WO2004001871A2 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-31 | Viking Technologies, L.C. | Uni-body piezoelectric motor |
-
2004
- 2004-04-05 CN CN200480011671.2A patent/CN1781196A/zh active Pending
- 2004-04-05 CA CA2521307A patent/CA2521307C/en not_active Expired - Fee Related
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2005
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02288380A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-28 | Nippondenso Co Ltd | 圧電素子を用いたアクチュエータ装置 |
JPH07270559A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Chichibu Onoda Cement Corp | 密封式超精密微動装置 |
JPH10173247A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Nissan Motor Co Ltd | ピエゾアクチュエータ |
JP2002541401A (ja) * | 1999-03-30 | 2002-12-03 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 圧電式アクチエータ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014508489A (ja) * | 2010-12-09 | 2014-04-03 | ヴァイキング エーティー,エルエルシー | 第二段を備える多アームスマート材料アクチュエータ |
JP2012139028A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Mechano Transformer Corp | 圧電素子の変位拡大機構 |
Also Published As
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