JP2006344754A - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents

固体撮像装置及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2006344754A
JP2006344754A JP2005168725A JP2005168725A JP2006344754A JP 2006344754 A JP2006344754 A JP 2006344754A JP 2005168725 A JP2005168725 A JP 2005168725A JP 2005168725 A JP2005168725 A JP 2005168725A JP 2006344754 A JP2006344754 A JP 2006344754A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refractive index
opening
high refractive
light
imaging device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005168725A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006344754A5 (enExample
Inventor
Takumi Yamaguchi
琢己 山口
Takahiko Murata
隆彦 村田
Shigetaka Kasuga
繁孝 春日
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2005168725A priority Critical patent/JP2006344754A/ja
Priority to US11/422,708 priority patent/US7968888B2/en
Priority to CN2006100917092A priority patent/CN1877867B/zh
Publication of JP2006344754A publication Critical patent/JP2006344754A/ja
Publication of JP2006344754A5 publication Critical patent/JP2006344754A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Blocking Light For Cameras (AREA)
JP2005168725A 2005-06-08 2005-06-08 固体撮像装置及びその製造方法 Pending JP2006344754A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005168725A JP2006344754A (ja) 2005-06-08 2005-06-08 固体撮像装置及びその製造方法
US11/422,708 US7968888B2 (en) 2005-06-08 2006-06-07 Solid-state image sensor and manufacturing method thereof
CN2006100917092A CN1877867B (zh) 2005-06-08 2006-06-08 固体摄像器件及摄像机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005168725A JP2006344754A (ja) 2005-06-08 2005-06-08 固体撮像装置及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006344754A true JP2006344754A (ja) 2006-12-21
JP2006344754A5 JP2006344754A5 (enExample) 2008-05-08

Family

ID=37510229

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005168725A Pending JP2006344754A (ja) 2005-06-08 2005-06-08 固体撮像装置及びその製造方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2006344754A (enExample)
CN (1) CN1877867B (enExample)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009044076A (ja) * 2007-08-10 2009-02-26 Toshiba Corp パターン形成方法および半導体装置の製造方法
WO2011148574A1 (ja) * 2010-05-28 2011-12-01 パナソニック株式会社 固体撮像装置
JP2013510424A (ja) * 2009-11-05 2013-03-21 ナム タイ,ヒョク イメージセンサーのための最適化された光導波路アレイ
JP2016178341A (ja) * 2016-06-15 2016-10-06 キヤノン株式会社 撮像素子及び撮像装置
JPWO2017057277A1 (ja) * 2015-09-30 2018-07-26 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
JPWO2017057278A1 (ja) * 2015-09-30 2018-07-26 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
WO2023067935A1 (ja) * 2021-10-20 2023-04-27 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012043939A (ja) * 2010-08-18 2012-03-01 Sony Corp 撮像素子および撮像装置
JP5197823B2 (ja) 2011-02-09 2013-05-15 キヤノン株式会社 光電変換装置
JP2015012043A (ja) * 2013-06-26 2015-01-19 株式会社東芝 撮像装置およびその製造方法
JP2016096163A (ja) * 2014-11-12 2016-05-26 ソニー株式会社 固体撮像装置および製造方法、並びに電子機器
JP6646830B2 (ja) * 2016-03-30 2020-02-14 パナソニックIpマネジメント株式会社 光検出装置および光検出システム
KR102375989B1 (ko) * 2017-08-10 2022-03-18 삼성전자주식회사 화소 사이의 신호 차이를 보상하는 이미지 센서
CN110349987B (zh) * 2019-07-15 2022-04-01 德淮半导体有限公司 相位检测自动对焦像素元件及其形成方法,图像传感器及其形成方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0555622A (ja) * 1991-08-23 1993-03-05 Fujitsu Ltd 半導体受光装置
JP2003197897A (ja) * 2001-12-28 2003-07-11 Fuji Film Microdevices Co Ltd 半導体光電変換装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0555622A (ja) * 1991-08-23 1993-03-05 Fujitsu Ltd 半導体受光装置
JP2003197897A (ja) * 2001-12-28 2003-07-11 Fuji Film Microdevices Co Ltd 半導体光電変換装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009044076A (ja) * 2007-08-10 2009-02-26 Toshiba Corp パターン形成方法および半導体装置の製造方法
JP2013510424A (ja) * 2009-11-05 2013-03-21 ナム タイ,ヒョク イメージセンサーのための最適化された光導波路アレイ
WO2011148574A1 (ja) * 2010-05-28 2011-12-01 パナソニック株式会社 固体撮像装置
JPWO2011148574A1 (ja) * 2010-05-28 2013-07-25 パナソニック株式会社 固体撮像装置
US8698064B2 (en) 2010-05-28 2014-04-15 Panasonic Corporation Solid-state imaging device
JPWO2017057277A1 (ja) * 2015-09-30 2018-07-26 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
JPWO2017057278A1 (ja) * 2015-09-30 2018-07-26 株式会社ニコン 撮像素子および撮像装置
JP2021044571A (ja) * 2015-09-30 2021-03-18 株式会社ニコン 撮像素子
JP2016178341A (ja) * 2016-06-15 2016-10-06 キヤノン株式会社 撮像素子及び撮像装置
WO2023067935A1 (ja) * 2021-10-20 2023-04-27 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 撮像装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN1877867A (zh) 2006-12-13
CN1877867B (zh) 2010-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7968888B2 (en) Solid-state image sensor and manufacturing method thereof
JP4349456B2 (ja) 固体撮像素子
JP2010093081A (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
US20080191301A1 (en) Solid-state image sensing device equipped with inner lens
JP2006202778A (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
US20100078744A1 (en) Solid-state imaging device, method of manufacturing the same, and electronic apparatus
JP2002064193A (ja) 固体撮像装置および製造方法
JP2006344754A (ja) 固体撮像装置及びその製造方法
JP2012019113A (ja) 固体撮像装置
JP2004047682A (ja) 固体撮像装置
JP4923357B2 (ja) 固体撮像装置の製造方法
JP2011243885A (ja) 固体撮像装置及びその製造方法
JP5409087B2 (ja) 固体撮像素子
US20050045805A1 (en) Solid-state image sensor and a manufacturing method thereof
JP2006140413A (ja) 固体撮像素子
TWI837516B (zh) 固態影像感測器
JP2009124053A (ja) 光電変換装置及びその製造方法
JP2005033074A (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
JP2011243749A (ja) 固体撮像装置及びその製造方法
JP2009283637A (ja) 固体撮像装置とその製造方法
JP2010080648A (ja) 固体撮像装置及びその製造方法
JP2009146957A (ja) 固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法
JP2006310343A (ja) カラー固体撮像装置
JP2005166919A (ja) 固体撮像装置およびその製造方法
JP2006319037A (ja) 固体撮像素子

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080325

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080325

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101202

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111004

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120313