JP2006202778A - 固体撮像装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板101内に光電変換部102を二次元配列し、当該半導体基板101及び光電変換部102上に平坦化層103、遮光膜104、平坦化層105及び集光レンズ106を順次形成する。遮光膜104は光電変換素子に対応する位置毎に開口104aを備えている。当該開口104aのそれぞれには多層膜干渉フィルタ107r、107g、107bが配設されている。
【選択図】 図1
Description
「固体撮像素子の基礎」日本理工出版会、安藤・菰淵著、映像情報メディア学会編、1999年12月発行、p.183−188。
また、無機フィルタは有機フィルタよりも薄膜化し易く、また、薄膜化に起因する混色を防止することもできる。また、無機フィルタは有機フィルタよりも耐熱性、耐光性に優っている。さらに、無機材料を用いれば光電変換部や配線部と同じ半導体プロセスで作製できるので、カラーフィルタ製造専用ラインが必要な有機フィルタと比べて製造工程を簡略化し、コストを低減できる。
また、本発明に係る固体撮像装置は、多層膜干渉フィルタの膜厚は遮光膜の膜厚を超えず、多層膜干渉フィルタ上には平坦化層が積層されており、多層膜干渉フィルタと平坦化層とを合わせた膜厚が遮光膜の膜厚に略等しいことを特徴とする。
本発明に係る固体撮像装置は、多層膜干渉フィルタ又は平坦化層上に集光レンズが形成されていることを特徴とする。このようにすれば、多層膜干渉フィルタと集光レンズとの間の距離を短縮して、固体撮像装置を薄膜化することができると共に、斜め光による混色を解消することができる。
[1] 固体撮像装置の構成
まず、本実施の形態に係る固体撮像装置の構成について説明する。図1は、本実施の形態に係る固体撮像装置の構成の一部を示す断面図である。図1に示されるように、固体撮像装置1は半導体基板101、光電変換部102、平坦化層103、遮光膜104、平坦化層105及び集光レンズ106を備えている。また、遮光膜104は開口部104aを有し、当該開口部104aに多層膜干渉フィルタ107r、107g及び107bが配設されている。
図2は、多層膜干渉フィルタ107r、107g及び107bの積層構造を示す断面図であって、図2(a)は多層膜干渉フィルタ107rを、図2(b)は多層膜干渉フィルタ107gを、図2(c)は多層膜干渉フィルタ107bをそれぞれ示している。
先ず、図2(a)に示されるように、二酸化チタン(TiO2)層201と二酸化ケイ素(SiO2)層202とを交互に積層した構造を有しており、これらに挟まれたスペーサ層203rが形成されている。スペーサ層203rは二酸化ケイ素からなっており、二酸化チタン層201に挟まれている。二酸化チタン層201と二酸化ケイ素層202とは光学膜厚を同じくしている。ひとつの層について光学膜厚とはその層の膜厚に屈折率を乗じた値である。
図3は多層膜干渉フィルタ107r、107g、107bの分光特性を示すグラフである。図3において、グラフ301〜303はそれぞれ多層膜干渉フィルタ107r、107g、107bの分光特性を示す。これらグラフから分かるように、本実施の形態によれば入射光を赤色、緑色及び青色の3原色に分離してカラー画像を撮像することができる。
[3] 固体撮像装置の寸法
固体撮像装置1の寸法について述べる。図4は固体撮像装置1の寸法を示す図である。図4に示されるように、固体撮像装置1の1セルの幅は2.2μmである。この幅は固体撮像装置1の画素数によって増減し得る。また、平坦化層103の厚みは2.0μm、遮光膜104の厚みは0.5μm、平坦化層105の厚みは0.6μmである。従って、集光レンズ106から光電変換部102までの距離は3.1μmとなる。
また、本実施の形態に係る多層膜干渉フィルタ107r、107g、107bは二酸化チタンや二酸化シリコンといった無機材料からなっているので、遮光膜104の開口部104aに形成することができる。このようにすれば、多層膜干渉フィルタ107r、107g、107bと光電変換部102との間の距離を小さくすることができるので、光電変換部102に斜め光が入射して混色が発生するのを防止することができる。
次に固体撮像装置1の製造方法について、特に平坦化層103上に形成される多層膜干渉フィルタ107r、107g、107b及び遮光膜104の製造方法について説明する。図5は、固体撮像装置1を製造するための諸工程を示す断面図である。図6は、図5に引き続く固体撮像装置1の製造工程を示す断面図である。
その後、アルミニウム層602上にレジスト603を形成する(図6(c))。すなわち、アルミニウム層602上にレジスト剤を塗布し、熱処理(プリベーク)し、ステッパ等の露光装置を用いて露光し、有機溶剤等を用いてレジスト現像し、更に熱処理(ポストベーク)を施して、レジスト603を形成する。
以上述べたように、本実施の形態においては、先ず、多層膜干渉フィルタ107r、107g、107bを形成した後に遮光膜104を形成する。これに対して、先に遮光膜を形成してから多層膜干渉フィルタを形成する製造方法も考えられる。図7は、遮光膜を形成してから多層膜干渉フィルタを形成することによって製造される多層膜干渉フィルタの構造を示す断面図である。このような製造方法を採ると、図7に示されるように、遮光膜701の開口部に形成された多層膜干渉フィルタ702のうち遮光膜701に接する部分は遮光膜701に沿って形成される。
以上、本発明を実施の形態に基づいて説明してきたが、本発明が上述の実施の形態に限定されないのは勿論であり、以下のような変形例を実施することができる。
(1) 上記実施の形態においては、本発明に係る固体撮像装置の製造方法のうちのひとつについてのみ説明したが、本発明がこれに限定されないのは言うまでもなく、これに代えて次のようにしても良い。
(2) 上記実施の形態においては、すべての多層膜干渉フィルタ上に平坦化層を形成する場合について説明したが、本発明がこれに限定されないのは言うまでもなく、これに代えて次のようにしても良い。
その後、スパッタ法を用いて、二酸化ケイ素層905及び平坦化層904上にアルミニウム層907を形成する。アルミニウム層907の厚みは600nmである(図9(c))。そして、例えば、化学・機械的研磨(CMP: Chemical Mechanical Polishing)法を用いて、アルミニウム層907及び二酸化ケイ素層905を研磨する(図9(d))。これによって、多層膜干渉フィルタ908r、908g、908bの上部が平坦化される。また、遮光膜の形成が完了する。
このようにすれば、エッチング工程を経ることなく、化学・機械的研磨法のみを用いて遮光膜を形成することができる。また、遮光膜の形成と同時に固体撮像装置上面を平坦化するので、固体撮像装置の製造工程を簡略化することができる。
図10は、本変形例に係る固体撮像装置の構成の一部を示す断面図である。図10に示されるように、固体撮像装置10は半導体基板1001、光電変換部1002、平坦化層1003、遮光膜1004、平坦化層1005及び集光レンズ1006を備えている。また、遮光膜1004は開口部1004aを有し、当該開口部1004aに単層膜フィルタ1007r、1007g及び1007bが配設されている。
一般的に、一定の膜厚を有する媒質は、膜と外部媒質との間の反射によって、その膜厚に応じて強めあう波長、弱めあう波長が決まり、干渉を生じる。また、アモルファスシリコンは波長が400nm〜700nmにおいて消衰係数が0〜2程度の大きな値を有するので吸収材料と呼ぶことができる。故に、特定の波長領域の光を吸収する。
101、1001、1101…………………半導体基板
102、1002、1102…………………光電変換部
103、904、1003、1103………平坦化層
104、701、1004、1104………遮光膜
105、1005、1105、1107……平坦化層
106、909、1006、1108………集光レンズ
104a、1004a、1104a…………開口部
107r等、702、908r等……………多層膜干渉フィルタ
201、901…………………………………二酸化チタン層
202、501、503、902、905…二酸化ケイ素層
203r等、903r等………………………スペーサ層
301〜303…………………………………グラフ
502、601、603、906……………レジスト
602、907…………………………………アルミニウム層
801……………………………………………矢印
1007r等……………………………………単層膜フィルタ
1106…………………………………………カラーフィルタ
Claims (14)
- 無機材料からなり、入射光のうち特定の波長の光のみを透過させるカラーフィルタと、
入射光を遮光する遮光膜と、
カラーフィルタを透過した光の光量に応じた電気信号を生成する光電変換部と、を備え、
遮光膜は光電変換部に対向する位置に開口部を有し、
カラーフィルタは遮光膜の開口部の内部に配設されている
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記カラーフィルタは単層膜フィルタである
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記カラーフィルタは多層膜干渉フィルタである
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 多層膜干渉フィルタの膜厚は遮光膜の膜厚を超えず、
多層膜干渉フィルタ上には平坦化層が積層されており、
多層膜干渉フィルタと平坦化層とを合わせた膜厚が遮光膜の膜厚に略等しい
ことを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置。 - 多層膜干渉フィルタの最大膜厚は遮光膜の膜厚に略等しい
ことを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置。 - 多層膜干渉フィルタ又は平坦化層上に集光レンズが形成されている
ことを特徴とする請求項4に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 多層膜干渉フィルタは、材料を異にし、光学膜厚を同じくする2種類の誘電体層を交互に積層したλ/4多層膜が2組と、
2組のλ/4多層膜に挟まれ、λ/4多層膜を構成する誘電体層とは光学膜厚をことにするスペーサ層とからなり、
λ/4多層膜を構成する誘電体層の材料は、二酸化ケイ素、二酸化チタン、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、一窒化ケイ素、窒化ケイ素、酸化アルミニウム、フッ化マグネシウム、酸化ハフニウム及び酸化マグネシウムのうちの何れか2種類である
ことを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置。 - λ/4多層膜を構成する誘電体層の材料は二酸化ケイ素と二酸化チタンである
ことを特徴とする請求項7に記載の固体撮像装置。 - 二次元配列された光電変換部を有する半導体基板上に多層膜干渉フィルタを形成する第1工程と、
光電変換部に対向する箇所を残して、多層膜干渉フィルタを除去することによって溝部を形成する第2工程と、
前記溝部に遮光膜を形成する第3工程と、
を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 第3工程は、
残された多層膜干渉フィルタ及び溝部の上に遮光膜材料を積層する工程と、
積層した遮光膜材料上であって、前記溝部上にレジストを形成する工程と、
積層した遮光膜材料を除去する工程と、
レジストを除去する工程と、
を含むことを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 第3工程は、
残された多層膜干渉フィルタ及び溝部の上に遮光膜材料を積層する工程と、
ウエハ面に対して斜めにエッチングすることによって、多層膜干渉フィルタ上に積層された遮光膜材料を除去する工程と、
を含むことを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記遮光膜材料は金属である
ことを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 二次元配列された光電変換部を有する半導体基板上に、透過させるべき光の波長に応じて膜厚が異なる多層膜干渉フィルタを形成する第1工程と、
膜厚が異なる多層膜干渉フィルタ間の膜厚差以上の膜厚を有する絶縁体膜を多層膜干渉フィルタ上に形成する第2工程と、
光電変換部に対向する箇所を残して、絶縁体膜と多層膜干渉フィルタとを除去することによって溝部を形成する第3工程と、
絶縁体膜及び半導体基板上に遮光膜材料を積層する第4工程と、
多層膜干渉フィルタの最も膜厚が大きい部分が露出するまで、積層された遮光膜材料と絶縁体膜とを研磨する第5工程と、
を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 化学・機械的研磨法を用いて積層された遮光膜材料と絶縁体膜とを研磨する
ことを特徴とする請求項13に記載の固体撮像装置の製造方法。
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