JP2006341547A - 印刷用マスク、スクリーン印刷方法および光電変換素子の製造方法ならびに光電変換素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 開口部のパターンの形状や配置に自由度をもたすことのできる印刷用マスクと、その印刷用マスクを用いたスクリーン印刷方法と、その印刷用マスクを用いた光電変換素子の製造方法と光電変換素子とを提供する。
【解決手段】 メタルマスク1では、太陽電池の副電極に対応する開口部1bにおいて、支持体部1aが所定の間隔をもって形成され、また、主電極に対応する開口部1cにも支持体部1aが所定の間隔をもって形成されている。支持体部1aの一方の主表面側の部分はメタルマスク1の一方の主表面と同一平面上に位置するとともに、支持体部1aの他方の主表面側の部分は、メタルマスクの他方の主表面から一方の主表面の側に後退して位置することによって、支持体部1aの厚みがより薄くなるように設定されている。支持体部を除くメタルマスク1の表面には感光性乳剤が塗布されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 メタルマスク1では、太陽電池の副電極に対応する開口部1bにおいて、支持体部1aが所定の間隔をもって形成され、また、主電極に対応する開口部1cにも支持体部1aが所定の間隔をもって形成されている。支持体部1aの一方の主表面側の部分はメタルマスク1の一方の主表面と同一平面上に位置するとともに、支持体部1aの他方の主表面側の部分は、メタルマスクの他方の主表面から一方の主表面の側に後退して位置することによって、支持体部1aの厚みがより薄くなるように設定されている。支持体部を除くメタルマスク1の表面には感光性乳剤が塗布されている。
【選択図】 図1
Description
本発明は印刷用マスク、スクリーン印刷方法および光電変換素子の製造方法ならびに光電変換素子に関し、特に、スクリーン印刷に使用される印刷用マスクと、その印刷用マスクを用いたスクリーン印刷方法と、その印刷用マスクを用いた光電変換素子の製造方法と、そのような光電変換素子の製造方法によって製造される光電変換素子とに関するものである。
太陽電池などの光電変換素子において受光面電極を形成する場合や、ペースト材料を用いて印刷基板を形成する場合に、従来から、生産性および信頼性等の面において優位なスクリーン印刷装置やディスペンサが多く用いられている。特に、装置コストおよび生産タクトが有利であるとの観点から、スクリーン印刷法が広く用いられている。
太陽電池において太陽光線が入射する側の表面に形成される受光面電極は、図36に示すように、発電電力を太陽電池30の外部に取り出すための主電極32bと、その主電極32bと交差する微細な副電極32aとから構成され、魚の骨のように形成されることから、この受光面電極32は魚骨型集電極と称されている。
この受光面電極32においては、特に、副電極32aが光を遮るために、副電極32aが形成される領域は発電に寄与しないことになる。そのため、副電極32aの線幅をできるだけ細くすることが求められる。また、副電極32aの直列抵抗を低減するために、副電極32aの厚みをできるだけ厚くすることが求められる。すなわち、副電極32aにはアスペクト比(厚み/線幅)の高い電極とすることが求められている。
スクリーン印刷法によって上述した魚骨型の受光面電極32を形成するには、代表的には、スクリーンマスクあるいはメタルマスクが用いられる。そのスクリーンマスクは、次のように形成される。まず、金属またはプラスチックの細線を編んだスクリーン紗に感光性の乳剤が塗布される。次に、塗布された乳剤の上に必要な印刷パターンを形成したマスク板が載置されて、所定の露光および現像処理が施される。現像処理の後、不要な乳剤がエッチングにより除去されて空隙部(開口部)を備えたスクリーンマスクが形成される。一方、メタルマスクは、ニッケル等の薄板に対して所定のエッチングを施したり、レーザ光を照射することによって印刷パターンに対応した所定の開口部を形成することによって形成される。
これらの方法のうち、メタルマスクを用いて受光面電極を形成する場合には、開口部にスクリーン紗が存在しないため、ペーストの抜けが良くなる。そのため、メタルマスクは、線幅が細く、かつ、厚みの厚い受光面電極を印刷するのに適している。これに対して、スクリーンマスクを用いて受光面電極を形成する場合には、スクリーン紗が開口部が形成された印刷マスクを保持する支持体として機能するため、開口部のパターンにはほとんど制約はなくなる。そのため、太陽電池に受光面電極を形成する場合には、副電極と主電極とを1回の印刷で同時に形成することができる。
なお、スクリーン印刷法を開示した文献として特許文献1がある。また、メタルマスクの製造方法について開示した文献として特許文献2,3がある。
特開平1−173691号公報
特開平4−163553号公報
特開平4−166844号公報
しかしながら、上述したメタルマスクおよびスクリーンマスクでは次のような問題点があった。まず、メタルマスクでは、メタルマスク全体を均一な力で周囲から引っ張ることによってマスクに十分な張力を与える必要があることから、開口部のパターンに制約がある。また、太陽電池に受光面電極を形成する場合には、副電極と主電極を同時に形成することができないため、たとえば図37に示すように、上記制約から明らかなように、副電極32aを形成し、その後、図38に示すように主電極32bを形成する必要があり、受光面電極32の形成のために2回に分けて印刷をする必要があった。
一方、スクリーンマスクでは、スクリーンマスクの空隙部に細線を編んだ紗が存在するために、ペーストの抜けがメタルマスクに比べて劣ってしまう。その結果、高いアスペクト比を有する受光面電極を形成することが困難であった。
本発明は、メタルマスクにおいて、上述したメタルマスク特有の問題点を解消してスクリーンマスクの長所を備えるためになされたものであり、一つの目的は、開口部のパターンの形状や配置に自由度をもたすことのできる印刷用マスクを提供することであり、他の目的は、そのような印刷用マスクを用いたスクリーン印刷方法を提供することであり、さらに他の目的は、そのような印刷用マスクを用いた光電変換素子の製造方法を提供することであり、さらに他の目的は、そのような光電変換素子の製造方法によって製造される光電変換素子を提供することである。
本発明に係る印刷用マスクは、スクリーン印刷に使用される印刷用マスクであって、マスク本体と開口部と支持体部とを備えている。マスク本体は対向する第1主表面および第2主表面を有している。開口部はマスク本体に形成され、印刷されるパターンに対応している。支持体部は開口部を分割するように形成されている。その支持体部の第1主表面側の部分は第1主表面と同一平面上に位置するとともに、支持体部の第2主表面側の部分は、第2主表面から第1主表面の側に後退して位置することによって、支持体部の厚みがマスク本体の厚みよりも薄くされている。
この構成によれば、開口部を分割するように支持体部が形成されていることで、開口部を挟んで対向するマスク本体の部分同士が接続されることになる。これにより、マスクを一定の張力をもって引っ張っても開口部が変形するようなことがなくなる。その結果、開口部のパターンや形状の制約を受けることなく精度の高い印刷を行なうことができる。また、その支持体部の厚みがマスク本体の厚みよりも薄くされていることで、支持体部が薄くされた分、印刷材料が支持体部の直下の部分にまで充填されて、パターンが途切れてしまうのを防止することができる。
また、印刷の対象が、特に太陽電池などの光電変換素子の場合には、その表面に光を閉じ込めるための比較的微細な凹凸が形成されている。そこで、マスク本体における第2主表面に、支持体部の部分を除いて所定の被覆膜を形成し、これを光電変換素子の表面と対向させることによって、スクリーン印刷の際に印刷材料が滲み出たり、光閉じ込め構造に損傷を与えたりするのを抑制することができる。
そのような印刷用マスクとして、より具体的には、マスク本体および支持体部は所定の金属板から形成されていることが好ましい。
本発明に係るスクリーン印刷方法は、印刷されるパターンに対応した開口部が形成された印刷用マスクによるスクリーン印刷方法であって、以下の工程を備えている。スクリーン印刷を行なう所定の部材の上に印刷用マスクを設置する。その印刷用マスクの上に、印刷材料を供給する。その印刷材料を印刷用マスクの開口部に充填する。印刷用マスクを所定の部材から取外す。その印刷用マスクでは、開口部を分割するように支持体部が形成され、支持体部の印刷用マスクの一方の面の側の部分は一方の面と同一平面上に位置するとともに、支持体部の印刷用マスクの他方の面の側の部分は、他方の面から一方の面の側に後退して位置することによって、支持体部の厚みが印刷用マスクの厚みよりも薄くされ、他方の面に、支持体部の部分を除いて所定の被覆膜が形成されている。印刷用マスクを設置する工程では、所定の被覆膜が形成された印刷用マスクの他方の面の側が所定の部材と対向するように設置される。
この方法によれば、開口部を分割するように支持体部が形成されていることで、マスクを一定の張力をもって引っ張っても開口部が変形するようなことがなくなる。その結果、開口部のパターンや形状の制約を受けることなく精度の高い印刷を行なうことができる。また、その支持体部の厚みが印刷用マスクの厚みよりも薄くされていることで、支持体部が薄くされた分、印刷材料が支持体部の直下の部分にまで充填されて、パターンが途切れてしまうのを防止することができる。さらに、所定の被覆膜が形成された印刷用マスクの他方の面の側が所定の部材と対向するように設置されることで、印刷される表面にたとえ凹凸があったとしても、その凹凸部分から印刷材料が滲み出たり、凹凸が損傷を受けたりするのを抑制することができる。
本発明に係る光電変換素子の製造方法は、印刷用マスクを用いた光電変換素子の製造方法であって、以下の工程を備えている。光電変換を行なう素子本体が形成された光電変換素子基板の主表面に、電極のパターンに対応した所定の開口部が形成された印刷用マスクを設置する。その印刷用マスクの上に印刷用材料を供給する。その印刷用材料を印刷用マスクの開口部に充填する。印刷用マスクを光電変換素子基板から取外すことによって、光電変換素子基板の表面に電極を形成する。印刷用マスクでは、開口部を分割するように支持体部が形成され、支持体部の印刷用マスクの一方の面の側の部分は一方の面と同一平面上に位置するとともに、支持体部の印刷用マスクの他方の面の側の部分は、他方の面から一方の面の側に後退して位置することによって、支持体部の厚みが印刷用マスクの厚みよりも薄くされ、他方の面に、支持体部の部分を除いて所定の被覆膜が形成されている。印刷用マスクを設置する工程では、所定の被覆膜が形成された印刷用マスクの他方の面の側が光電変換素子基板と対向するように設置される。
この製造方法によれば、開口部を分割するように支持体部が形成されていることで、開口部を挟んで対向する印刷用マスクの部分同士が接続されることになる。これにより、印刷用マスクを一定の張力をもって引っ張っても開口部が変形するようなことがなくなる。その結果、開口部のパターンや形状の制約を受けることなく精度の高い印刷を行なうことができる。また、その支持体部の厚みが印刷用マスクの厚みよりも薄くされていることで、支持体部が薄くされた分、印刷材料が支持体部の直下の部分にまで充填されて、パターンが途切れてしまうのを防止することができる。さらに、光電変換素子の主表面に形成された光を閉じ込めるための比較的微細な凹凸に対して、所定の被覆膜が形成された印刷用マスクの他方の面の側がこれと対向するように設置されることにより、スクリーン印刷の際に印刷材料が滲み出たり、光閉じ込め構造に損傷を与えたりするのを抑制することができる。
また、電極は、所定の幅を有して一方向に延在する主電極と、その所定の幅よりも狭い幅を有して一方向と交差する他の方向に延在する副電極とを含み、支持体部は、印刷用マスクに形成された開口部のうち副電極に対応する開口部に設けられていることが好ましい。
この場合には、より狭い幅を有して延在する副電極に対応する開口部が、スクリーン印刷を行なう際の張力によって開口部の中央付近が広がってしまうようなことがなく、寸法精度の高い副電極を形成することができる。
さらに、主電極についても寸法精度を向上するためには、支持体部は、印刷用マスクに形成された開口部のうち主電極に対応する開口部にも設けられていることが好ましい。
その主電極の幅と副電極の幅としては、より具体的に、主電極の幅は400μm以上であり、副電極の幅は400μmを超えないように形成されていることが好ましい。
本発明に係る光電変換素子は、上述した光電変換素子の製造方法によって製造される光電変換素子であり、主電極と副電極とを備え、その主電極は、所定の半導体基板の主表面において、第1の幅を有して一方向に延在するように形成されている。また、副電極は、第2の幅を有して一方向と交差する他の方向に延在するように形成されている。その主電極および副電極の少なくともいずれかの電極の表面には、延在する方向に周期的に、いずれかの電極をいずれかの電極の幅方向に横切る凹部が形成されていることになる。
特に、この場合には、主電極あるいは副電極にインターコネクタ等をはんだ付けによって接続する際に、その凹部が、はんだが流れてしまうのを阻止するはんだの溜りとしての機能を果たし、はんだディップ状態を改善することができる。
実施の形態1
まず、ここでは、太陽電池の受光面電極の形成に適用されるメタルマスクについて説明する。図1に示すように、メタルマスク1では、太陽電池の副電極に対応する開口部1bにおいて、開口部1bを挟んで対向するメタルマスク1の部分を繋ぐ支持体部1aが所定の間隔をもって形成されている。同様に、主電極に対応する開口部1cにも支持体部1aが所定の間隔をもって形成されている。
まず、ここでは、太陽電池の受光面電極の形成に適用されるメタルマスクについて説明する。図1に示すように、メタルマスク1では、太陽電池の副電極に対応する開口部1bにおいて、開口部1bを挟んで対向するメタルマスク1の部分を繋ぐ支持体部1aが所定の間隔をもって形成されている。同様に、主電極に対応する開口部1cにも支持体部1aが所定の間隔をもって形成されている。
次に、メタルマスク1に支持体部1aを設けることによる効果について説明する。まず、たとえば図2に示すように、メタルマスク101に長さLが約100mmであり幅Wが約1mmの矩形状の開口部101bが形成されている場合を想定する。このような短辺と長辺との長さが著しく異なる開口部101bが形成されたメタルマスク101を用いてスクリーン印刷を行なう際には、一定の張力をもってメタルマスク101を保持することが難しい。
そのため、開口部101bが延在する方向(矢印51)にメタルマスク101を引っ張る力よりも、開口部101bが延在する方向と略直交する方向(矢印52)にメタルマスク101を引っ張る力が強いと、開口部101bの中央付近が広がって樽状の開口部となる。その結果、開口部101bの中央付近に対応する電極の幅が所望の幅よりも太くなってしまう。
そこで、図3に示すように、開口部(長さL=100mm、幅W=1mm)が延在する方向に所定の間隔(たとえばL1=2.5mm)を隔てて支持体部1a(たとえば長さL2=0.05mm)を形成することで、開口部1bを挟んで対向するメタルマスク1の部分同士が接続されることになる。これにより、メタルマスク1を一定の張力をもって引っ張っても開口部1の中央付近が広がることもなく、所定の幅を有する電極(副電極)を形成することができる。
また、支持体部としてその厚みが支持体部以外のメタルマスクの部分の厚みと同じ場合には、支持体部が位置する部分には電極となるペーストが転写されず、電極としてパターンが途切れてしまうことがある。
そこで、図4に示すように、このメタルマスク1では、支持体部1aの一方の主表面側の部分はメタルマスク1の一方の主表面と同一平面上に位置するとともに、支持体部1aの他方の主表面側の部分は、メタルマスクの他方の主表面から一方の主表面の側に後退して位置することによって、支持体部1aの厚みT2が支持体部1a以外のメタルマスク1の部分の厚みT1よりも薄く設定されている。
たとえば、メタルマスク1の厚さT1を約90μmとすると、支持体部1aの厚さT2は約50μmに設定される。このように、支持体部1aの厚みをメタルマスク1の厚みよりも薄く設定することで、支持体部1aが薄くされた分、電極となるペーストが支持体部1aの直下の部分にまで充填されて、電極が途切れてしまうのを防止することができる。
さらに、このメタルマスク1では、図5に示すように、メタルマスク1が太陽電池基板(図示せず)と接触する側の面に感光性乳剤13が塗布されている。太陽電池の受光面には、受光面に入射する光を閉じ込めるために、シリコンの異方性エッチングを利用したり、あるいは、反応性イオンエッチング等を適用することによって、数μm〜数10μmオーダの微細な凹凸(光閉込構造)が形成されている。
そのため、一般的なメタルマスクを太陽電池に基板に接触させてスクリーン印刷法を適用した場合には、その凹凸部分から受光面電極となるペーストが滲み出てしまい、電極を寸法精度よく形成することができなくなってしまうことがある。また、比較的硬いメタルマスクが太陽電池の微細な凹凸部分に直接接触するために、光閉込構造が損傷を受けてしまうことがある。
そこで、支持体部を除くメタルマスク1の表面に感光性乳剤13を塗布することで、ペーストが滲み出たり、光閉じ込め構造が損傷を受けたりすることが抑制されて、寸法精度が高く、かつ、アスペクト比の高い電極を形成することができる。
次に、上述したメタルマスクの製造方法について説明する。まず、図6に示すように、電鋳母型9の一主表面にメタルマスクの開口部のパターンに対応したパターンのレジスト膜10が形成される。次に、電鋳法によって、図7に示すように、レジスト膜10によって覆われていない電鋳母型9の表面にメタルマスクとなるメタル膜11が形成される。その後、電鋳母型9の表面からメタル膜11が剥離される。
剥離されたメタル膜11では、図8〜図10に示すように、メタル膜11にメタルマスクの開口部に対応した開口部11bが形成されている。また、その開口部11bには所定の間隔を隔てて支持体部となる部分11aが形成されている。その支持体部に対応する部分11bの厚みは、まだ、他の部分の厚みと同じ状態である。
次に、図11〜図13に示すように、メタル膜11の一方の面に対して、支持体部となる部分11aの表面を除いて耐エッチング性のレジスト膜12aが塗布形成される。メタル膜11の他方の面に対して、支持体部となる部分11aの表面も含めて耐エッチング性のレジスト膜12bが塗布形成される。
次に、レジスト膜12a,12bによって被覆されたメタル膜11に、たとえば化学的エッチングを施すことによって、露出している支持体部となる部分11aの表面がエッチングされて、図14〜図16に示すように、支持体部となる部分11aの厚みがメタル膜11の他の部分11cの厚みよりも薄くなる。
次に、図17〜図19に示すように、メタル膜11の一方の面、すなわち、支持体部を形成するためにエッチングが施された側の面の全面に感光性乳剤13が塗布される。次に、その感光性乳剤13の上に、開口部14aパターンが形成された所定のガラスマスク14が載置される。このガラスマスク14は、露光光を透過させる性質を有するベース(ガラス)と、そのベース上に形成された露光光を透過させないためのパターン部分との2層構造とされる。特に、露光光を透過させる性質を有するベースの部分、すなわち、開口部14aは、支持体部となる部分11aが位置する領域に対応するように配設される。
次に、ガラスマスク14を介して所定の露光および現像処理が施されて、ガラスマスクが除去される。これにより、図20〜図22に示すように、メタル膜11では、支持体部となる部分11aに位置する感光性乳剤13が除去されて、それ以外の部分では感光性乳剤13が残されることになる。このようにして形成されるメタル膜11が、図5に示されるメタルマスク1となる。
実施の形態2
ここでは、メタルマスクを用いた太陽電池の製造方法について説明する。まず、太陽電池基板として、図23に示すように、厚さ約400μm、基板サイズ100mm×100mm、比抵抗約1.5Ω・cmのP型の多結晶シリコン基板21が用意される。次に、この多結晶シリコン基板21に所定の洗浄処理が施される。次に、NaOH水溶液とイソプロピルアルコールの混合液を用いて、液温約90℃のもとで多結晶シリコン基板21にテクスチャエッチングを施すことにより、多結晶シリコン基板21の表面に高さ数μm程度の光を閉じ込めるためのピラミッド状の微小な凹凸(図示せず)が形成される。
ここでは、メタルマスクを用いた太陽電池の製造方法について説明する。まず、太陽電池基板として、図23に示すように、厚さ約400μm、基板サイズ100mm×100mm、比抵抗約1.5Ω・cmのP型の多結晶シリコン基板21が用意される。次に、この多結晶シリコン基板21に所定の洗浄処理が施される。次に、NaOH水溶液とイソプロピルアルコールの混合液を用いて、液温約90℃のもとで多結晶シリコン基板21にテクスチャエッチングを施すことにより、多結晶シリコン基板21の表面に高さ数μm程度の光を閉じ込めるためのピラミッド状の微小な凹凸(図示せず)が形成される。
次に、スピンコート法によって多結晶シリコン基板21の表面にPSG液(リンガラス液)が塗布され、温度約850℃にて焼成することにより、図24に示すように、多結晶シリコン基板21の受光面側の表面にN型半導体層22が形成される。次に、図25に示すように、常圧CVD法によってN型半導体層22上にたとえば酸化チタン膜からなる反射防止膜23が形成される。
次に、図26に示すように、多結晶シリコン基板21における受光面とは反対側の表面上に、スクリーン印刷法によって裏面電極となるアルミニウムペースト(図示せず)が印刷される。なお、この場合のスクリーン印刷法は、ステンレスメッシュと感光性乳剤によって作製されたスクリーンマスクを用いた一般的なスクリーン印刷法である。また、このアルミニウムペーストは、導体物質としてアルミニウムを70重量パーセント含み、印刷性を付与するための樹脂ならびに溶剤を混合、分散させたものである。その後、温度約750℃のもとで焼成することにより、図27に示すように、裏面電極24bと裏面電界層24aが形成される。
次に、図28に示すように、実施の形態1において説明した受光面電極形成のためのメタルマスク1が太陽電池基板21の受光面側の表面に配設される。なお、メタルマスク1の厚さは80μmとされ、主電極部の設計線幅は800μmとされる。そして、副電極部の設計線幅は100μmとされる。また、副電極部に対応する開口部には、厚さ50μm、幅30μmの支持体部が0.4mm間隔で設けられ、主電極部に対応する開口部には、厚さ50μm、幅40μmの支持体部が0.3mm間隔で設けられている。なお、電極の幅としては、主電極の幅は400μm以上に設定され、副電極の幅は400μmを超えないように設定されることが好ましいことから、本実施の形態では、主電極部および副電極部の設計線幅は上記のとおり設定される。
次に、図29に示すように、そのメタルマスク1の上に受光面電極となる銀ペースト25が載置され、所定のスキージ27によって、図30に示すように、メタルマスク1に設けられた開口部1bに銀ペースト25が充填される。このとき、銀ペースト25は支持体部1aと多結晶シリコン基板21の表面との間の隙間にまで充填されることになる。その後、図31に示すように、メタルマスク1が取外されて銀ペースト25が受光面電極のパターンに印刷される。なお、図31では、受光面電極が延在する方向と略直交する方向の断面形状が示されている。
次に、温度650℃のもとで焼成することにより、図32に示すように、受光面電極26が形成される。この受光面電極26は、図36に示すように、主電極32bと副電極32aとからなる魚骨型の形状を有している。以上のようにして、受光面電極26を備えた太陽電池が製造される。
上述した製造方法によって形成された太陽電池の受光面電極26においては、特に、図33に示すように、主電極32bおよび副電極32aの少なくともいずれかの表面には、周期的な凹部が形成されることになる。この凹部はメタルマスクの支持体部の形状を反映したものであり、その周期は短くても1mm程度以上とされ、主電極32bまたは副電極32aが延在する方向に沿って電極が延在する方向と直交する方向(幅方向)に形成されることになる。
このように、受光面電極26において、周期的に凹部が形成されていることで、表面がフラットな受光面電極の場合と比べて、受光面電極26にたとえばはんだ付けによりインターコネクタ等を接続する際に、その凹部が、はんだが流れてしまうのを阻止するはんだの溜りとしての機能を果たし、はんだディップ状態を改善することができる。
一方、従来技術に係るスクリーンマスクを用いて光電変換素子の受光面電極を製造する場合には、受光面電極には、受光面電極が延在する方向と、それに直交する方向の2方向の凹部が形成されることになる。この場合の周期は、250μm(#100のメッシュを適用)〜50μm(#500のメッシュを適用)程度であり、最大でも1mm未満とされる。また、従来技術に係るメタルマスクを用いて光電変換素子の受光面電極を製造する場合には、受光面電極には、特に凹部は何ら形成されないことになる。
次に、実施の形態1において説明したメタルマスクを用いて製造した太陽電池と、比較例として従来の一般的なスクリーン印刷法を用いて製造した太陽電池とのそれぞれについて、種々の評価を行なった結果について説明する。なお、比較例に係る太陽電池では、受光面電極を形成するために、メッシュ番号250、線径35μmのステンレスメッシュを用いた一般的なスクリーンマスクを用いた。また、メタルマスクの場合と同様に、主電極の設計線幅を800μmとし、副電極の設計線幅を100μmとした。
まず、上記メタルマスク(本実施の形態)とスクリーンマスク(比較例)を用いて印刷した受光面電極のそれぞれについて、乾燥直後の形状を評価した。その結果を図34に示す。図34に示すように、本メタルマスクを用いた受光面電極の電極の幅は、スクリーンマスクを用いた受光面電極の電極の幅よりも狭く、より設計線幅に近い幅であることが確認された。また、本メタルマスクを用いた受光面電極の電極の厚さは、スクリーンマスクを用いた受光面電極の電極の厚さよりも厚く、よりアスペクト比の高い受光面電極が形成されていることが確認された。
次に、それぞれの太陽電池について、ソーラシミュレータによる評価を行なった。このことについて説明する。なお、ソーラシミュレータとは、太陽電池の特性試験、信頼性試験を屋内で行なうために使用される照射光源をいい、試験目的に応じて要求される放射照度、均一性およびスペクトル合致度が満足される。
まず、そのソーラシミュレータとしてエアマス(AM)1.5、100mW/cm2の条件のソーラシミュレータを用いて、温度25℃のもとで電流電圧特性を評価した。そして、その電流電圧特性に基づいて短絡電流、開放電圧、曲線因子および変換効率をそれぞれ求めた。
ここで、エアマスとは標準状態の大気(標準気圧1013hPa)に太陽光が垂直に入射した場合の路程に対する、地球に入射する直達太陽光が通過する路程の比をいう。短絡電流とは、太陽電池の出力端子を短絡させたときの両出力端子間に流れる電流をいう。開放電圧とは、太陽電池の出力端子を開放したときの両出力端子間の電圧をいう。曲線因子とは、最大出力を開放電圧と短絡電流の積で除した値をいう。変換効率とは、最大出力を太陽電池の面積と規定放射照度の積で除した値(%)をいう。
図35に、求められた短絡電流、開放電圧、曲線因子および変換効率のそれぞれの結果を示す。図35に示すように、本メタルマスクを用いて受光面電極を形成した太陽電池では、比較例に係る太陽電池の場合と比べると、特に曲線因子について、より高い値が得られることが判明し、その結果として、より高い変換効率が得られることがわかった。これは、本メタルマスクを用いて形成された受光面電極では、より高アスペクト比が得られて、直列抵抗の損失が低減されたことによるものと考えられる。
なお、印刷用マスクとして上述した実施の形態ではメタルマスクを例に挙げて説明したが、材質としてスクリーン印刷の際における張力に対応できるものであれば、金属に限られない。また、そのような印刷用マスクを用いて太陽電池の受光面電極を形成する場合を例に挙げて説明したが、印刷の対象としては太陽電池の受光面電極に限られるものではなく、一定の幅を有して延在する電極等の形成に適用することができる。
今回開示された実施の形態は例示にすぎず、これに制限されるものではない。本発明は上記で説明した範囲ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 メタルマスク、1a 支持体部、1b 開口部、9 電鋳母型、10 レジスト膜、11 メタル膜、11a 薄い部分、11b 厚い部分、12a,12b 耐エッチング性レジスト膜、13 感光性乳剤、14 ガラスマスク、14a 開口部、21 p型多結晶シリコン基板、22 N型半導体層、23 反射防止膜、24 アルミニウムペースト、24a 裏面電界層、24b 裏面電極、25 銀ペースト、26,32 受光面電極、30 太陽電池、31 基板、32a 副電極、32b 主電極。
Claims (9)
- スクリーン印刷に使用される印刷用マスクであって、
対向する第1主表面および第2主表面を有するマスク本体と、
前記マスク本体に形成され、印刷されるパターンに対応した開口部と、
前記開口部を分割するように形成された支持体部と
を備え、
前記支持体部の前記第1主表面側の部分は前記第1主表面と同一平面上に位置するとともに、前記支持体部の前記第2主表面側の部分は、前記第2主表面から前記第1主表面の側に後退して位置することによって、前記支持体部の厚みが前記マスク本体の厚みよりも薄くされた、印刷用マスク。 - 前記マスク本体における前記第2主表面には、前記支持体部の部分を除いて所定の被覆膜が形成された、請求項1記載の印刷用マスク。
- 前記マスク本体および前記支持体部は所定の金属板から形成された、請求項1または2に記載の印刷用マスク。
- 印刷されるパターンに対応した開口部が形成された印刷用マスクによるスクリーン印刷方法であって、
スクリーン印刷を行なう所定の部材の上に印刷用マスクを設置する工程と、
前記印刷用マスクの上に、印刷材料を供給する工程と、
前記印刷材料を前記印刷用マスクの前記開口部に充填する工程と、
前記印刷用マスクを前記所定の部材から取外す工程と
を備え、
前記印刷用マスクでは、前記開口部を分割するように支持体部が形成され、前記支持体部の前記印刷用マスクの一方の面の側の部分は前記一方の面と同一平面上に位置するとともに、前記支持体部の前記印刷用マスクの他方の面の側の部分は、前記他方の面から前記一方の面の側に後退して位置することによって、前記支持体部の厚みが前記印刷用マスクの厚みよりも薄くされ、前記他方の面に、前記支持体部の部分を除いて所定の被覆膜が形成され、
前記印刷用マスクを設置する工程では、前記被覆膜が形成された前記印刷用マスクの前記他方の面の側が前記所定の部材と対向するように設置される、スクリーン印刷方法。 - 印刷用マスクを用いた光電変換素子の製造方法であって、
光電変換を行なう素子本体が形成された光電変換素子基板の主表面に、電極のパターンに対応した所定の開口部が形成された印刷用マスクを設置する工程と、
前記印刷用マスクの上に印刷用材料を供給する工程と、
前記印刷用材料を前記印刷用マスクの前記開口部に充填する工程と、
前記印刷用マスクを前記光電変換素子基板から取外すことによって、前記光電変換素子基板の表面に電極を形成する工程と
を備え、
前記印刷用マスクでは、前記開口部を分割するように支持体部が形成され、前記支持体部の前記印刷用マスクの一方の面の側の部分は前記一方の面と同一平面上に位置するとともに、前記支持体部の前記印刷用マスクの他方の面の側の部分は、前記他方の面から前記一方の面の側に後退して位置することによって、前記支持体部の厚みが前記印刷用マスクの厚みよりも薄くされ、前記他方の面に、前記支持体部の部分を除いて所定の被覆膜が形成され、
前記印刷用マスクを設置する工程では、前記被覆膜が形成された前記印刷用マスクの前記他方の面の側が前記光電変換素子基板と対向するように設置される、光電変換素子の製造方法。 - 前記電極は、
所定の幅を有して一方向に延在する主電極と、
前記所定の幅よりも狭い幅を有して前記一方向と交差する他の方向に延在する副電極と
を含み、
前記支持体部は、前記印刷用マスクに形成された前記開口部のうち前記副電極に対応する開口部に設けられた、請求項5記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記支持体部は、前記印刷用マスクに形成された前記開口部のうち前記主電極に対応する開口部にさらに設けられた、請求項6記載の光電変換素子の製造方法。
- 前記主電極の幅は400μm以上であり、前記副電極の幅は400μmを超えないように形成された、請求項5〜7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。
- 所定の半導体基板の主表面において、第1の幅を有して一方向に延在するように形成された主電極と、
第2の幅を有して前記一方向と交差する他の方向に延在するように形成された副電極と
を備え、
前記主電極および前記副電極の少なくともいずれかの電極の表面には、延在する方向に周期的に、前記いずれかの電極を前記いずれかの電極の幅方向に横切る凹部が形成された、光電変換素子。
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