JP2006224370A - スクリーン印刷方法およびその方法を用いて製造された太陽電池 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被印刷基板の凹凸面に追従してペースト層を均一な厚さで形成することができるスクリーン印刷方法およびその方法を用いて製造された太陽電池を提供する。
【解決手段】 規則的な凹凸部が形成されている凹凸面を有する被印刷基板にペースト材料を塗布するスクリーン印刷法であって、規則的な凹部を形成する線Lk(またはMk)とスクリーンマスクを形成する線材Xk(またはYk)とが一致しないように被印刷基板の前記凹凸面上にスクリーンマスクを配置して、前記凹凸面上にペースト材料を印刷することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【選択図】 図1
【解決手段】 規則的な凹凸部が形成されている凹凸面を有する被印刷基板にペースト材料を塗布するスクリーン印刷法であって、規則的な凹部を形成する線Lk(またはMk)とスクリーンマスクを形成する線材Xk(またはYk)とが一致しないように被印刷基板の前記凹凸面上にスクリーンマスクを配置して、前記凹凸面上にペースト材料を印刷することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【選択図】 図1
Description
本発明は、太陽電池の電極形成に代表される導体回路基板などの印刷に使用されるスクリーン印刷方法に関する。
従来、太陽電池における電極の形成には、生産性、信頼性などの面で優位であるため、多くはスクリーン印刷方法が用いられている。
一般的なスクリーン印刷方法においては、図5に示すように、金属あるいは合成樹脂などの線材を織ったスクリーン紗512に感光性乳剤513を塗布し、必要なパターンを形成したマスク板を前記乳剤上に載せ、露光した後、不必要な乳剤をエッチング除去して空隙部を設けたスクリーンマスク511を使用する。このスクリーンマスク511を、図5に示すように、スクリーン固定用枠(図示せず)に張り付け、それを被印刷基板ステージ(図示せず)上に保持された被印刷基板505に適度な間隔を保って位置合わせする。続いて、ペースト材料506をスクリーンマスク511上に広げると同時にスクリーンマスク511内に充填する機能を有するスクレイパ(図示せず)によりペースト材料506をスクリーンマスク511上に広げ、かつ、スクリーンマスク511内に充填し、これをプラスチックまたはゴムなどから成る、板状またはそれに類する形状のスキージ507で押圧し、スクリーンマスク511の空隙部を通してパターンを形成すべき被印刷基板505上にペースト材料506を押し出し、ペースト層514を形成する。なお、図5において、矢印A方向は、上記スキージ507の押圧走査方向を示している。
ここで、たとえば導体回路を形成する場合においては、ペースト材料506には一般的にガラス粉末、導体となる金属粉、印刷性を付与するための樹脂ならびに溶剤等を主成分として、これらを混合、分散したものが用いられる。このような材料をスクリーン印刷法によって印刷後、焼成することにより、電極が基板上に形成され、太陽電池の裏面電極や表面電極として用いられている。
たとえば、特許文献1に開示されるように、積層インダクタ、積層コンデンサなどの電子部品などの製造において、多層の積層により生じた凹凸のある被印刷基体表面へ導体ペーストまたは絶縁体ペーストをスクリーン印刷することが行なわれる。このスクリーン印刷方法によれば、段差を有する被印刷基体表面にスクリーン印刷を行なう際に、スキージがスクリーンと接触する面が平面であり、かつ、スキージ幅を広くとっていることから、凸部の幅が大きい時や、凹部の幅が大きい時にはペーストを均一に塗布することができる。
しかし、このスクリーン印刷方法によれば、凸部間隔の小さい時や、凸部の幅が小さい時や、凹部の幅が小さい時には、印刷条件によって、凸部のみに印刷されたり、凹部のみ印刷されたりすることが多くなる。これは、表面に凹凸を有する被印刷基板に対して、このスクリーン印刷方法でペーストを転写すると、スクリーン紗からのペーストの抜け性が面内で不均一となり、均一な厚さでペーストを印刷することが困難となる。
たとえば、図2に示すような四角錘状の凹凸部が形成された凹凸面を有する被印刷基板205に対して、スクリーン印刷法により被印刷基板205の凹凸面上にペーストを転写すると、図4に示すような形状のペースト層414が形成される。特に、図4(A)におけるIVC方向(スキージの押圧走査方向に対して垂直な方向)の断面である図4(C)においては、ペースト材料は被印刷基板405の凹凸面に追従して印刷されず、ペースト層414の厚さが不均一になり、厚さが不均一な電極が形成される。
たとえば、特許文献2に開示されるように、溶融シリコンから引き出すことにより形成される多結晶シリコン基板の製造方法(リボン法など)においては、その多結晶シリコン基板の表面形状の均一性を確保し、かつ、その品質の向上を図るために、その多結晶シリコン基板を成長させる基体の表面に凹凸形状を設けることが行われている。これにより、得られた多結晶シリコン基板の表面は、基体の表面に設けられた凹凸形状に対応した、たとえば図2に示すような凹凸形状を有する凹凸面となる。このような多結晶シリコン基板の凹凸面に太陽電池の裏面電極を従来の一般的なスクリーン印刷方法で形成した場合、被印刷基板である多結晶シリコン基板の凹凸に起因して、ペースト材料の抜け性が異なり、印刷状態に大きな影響を及ぼし、上記のように、部分的にペースト層の厚さが異なることが多かった。そのため、均一な電極形成が困難となり、裏面電極および裏面電界層の形成不良により、太陽電池特性の低下を生じる恐れがあった。
特公平07−25234号公報
特開2001−223172号公報
上記問題を解決するため、本発明は、被印刷基板の凹凸面に追従してペースト層を均一な厚さで形成することができるスクリーン印刷方法およびその方法を用いて製造された太陽電池を提供することを目的とする。
本発明は、規則的な凹凸部が形成されている凹凸面を有する被印刷基板にペースト材料を塗布するスクリーン印刷法であって、規則的な凹部を形成する線とスクリーンマスクを形成する線材とが一致しないように被印刷基板の凹凸面上にスクリーンマスクを配置して、凹凸面上にペースト材料を印刷することを特徴とするスクリーン印刷方法である。
本発明にかかるスクリーン印刷方法において、規則的な凹部を形成する線とスクリーンマスクを形成する線材とのなすバイアス角度αが15°≦α≦30°となるように被印刷基板の凹凸面上にスクリーンマスクを配置することができる。また、スクリーンマスクを形成する線材のピッチPbに対する規則的な凹部を形成する線のピッチPaの比Pa/Pbを5<Pa/Pb<40とすることができる。また、被印刷基板の凹凸面における凸部と凹部との高低差tを0.05mm≦t≦0.3mmとすることができる。
また、本発明は、上記のスクリーン印刷方法を用いて製造された太陽電池であって、被印刷基板の凹凸面に追従してペースト層が均一な厚さで形成されていることを特徴とする太陽電池である。
上記のように、本発明によれば、被印刷基板の凹凸面に追従してペースト層を均一な厚さで形成することができるスクリーン印刷方法およびその方法を用いて製造した太陽電池を提供することができる。
本発明によって被印刷基板にペースト材料をスクリーン印刷する方法の好ましい実施形態を、図1〜図3を参照して、詳細に説明する。
本発明において用いられる被印刷基板は、規則的な凹凸部が形成されている凹凸面を有する。たとえば、図2を参照して、被印刷基板205は、四角錐状の凸部が規則的に並ぶことにより規則的な凹凸部が形成された凹凸面を有している。ここで、上記四角錐は、凸部頂部202と稜線204から形成されており、隣り合った四角錐の間には凹部203が存在する。ただし、本発明においては、被印刷基板は、本実施形態のように四角錐状の凸部が被印刷基板の凹凸表面に存在する場合に限られるわけではなく、凸部が規則的に存在していればよく、その形状は三角錐、六角錐などの多角錐であってもよい。また、図2においては、その凸部頂部202が頂点を有する形状が描かれているが、凸部の周辺部分が曲面形状であってもよい。すなわち、凸部周辺に極大値を有していれば足りる。
また、本発明においては、被印刷基板205の規則的な凹部を形成する線とスクリーンマスクを形成する線材とが一致しないように被印刷基板の凹凸面上にスクリーンマスクを配置して、凹凸面上にペースト材料を印刷することを特徴とする。すなわち、図1を参照して、たとえば規則的な凹部を形成する線Lk,Mk(ここで線Lk,Mkにおけるkは1以上の整数、以下同じ)とスクリーンマスクを形成する線材Xk,Yk(ここで線材Xk,Ykにおけるkは1以上の整数、以下同じ)とのなすバイアス角度αが0°とならないように被印刷基板の凹凸面上にスクリーンマスクを配置して、凹凸面上にペースト材料を印刷する。
ここで、被印刷基板205の規則的な凹部を形成する線とは、被印刷基板205の凹凸面の規則的な凹部203によって形成されている線であって各々の方向に延びている各々の線203L,203Mをいう。また、スクリーンマスクを形成する線材とは、図5を参照して、スクリーンマスク511のスクリーン紗512を形成している線材であって各々の方向に延びている各々の線材をいう。
上記バイアス角度αが0°であると、規則的な凹部を形成する線Lk,Mkとスクリーンマスクを形成する線材Xk,Ykとが一致することになる。このような状態で、スクリーンマスクの空隙部分にペースト材料が充填され、被印刷基板に印刷されてしまうと、被印刷基板の凹凸面に形成されている凹凸部により、ペースト材料の抜け性が凹凸面内で不均一になり、図4(C)に示すように、被印刷基板405の凹凸面に追従せず厚さが不均一なペースト層414が形成される。さらには、図示はしないが、被印刷基板405の規則的な凹部を形成する線部分には、スクリーンマスクの空隙部分に充填されたペースト材料が完全に抜けずに、ペースト材料が被印刷基板の凹部に充填されていないことも多くなる。このように厚さが不均一なペースト層が印刷された状態で太陽電池を製造すると、被印刷基板とペースト層との密着強度が維持できずペースト層である裏面電極が剥離したり、裏面電界層の形成が不均一になり太陽電池特性が低下する。このため、本発明においては、上記バイアス角度が0°とならないようにする。
ここで、規則的な凹部を形成する線Lk(またはMk)とスクリーンマスクを形成する線材Xk(またはYk)とのなすバイアス角度αとは、0°≦α≦90°の角度であって、規則的な凹部を形成する線Lk,Mkとスクリーンマスクを形成する線材Xk,Ykとが同一平面内にあると仮定した場合に規則的な凹部を形成する線Lk(またはMk)とスクリーンマスクを形成する線材Xk(またはYk)とがなす角度をいう。言い換えると、上記バイアス角度αとは、被印刷基板上にスクリーンマスクを重ねて、そのマスクスクリーン越しに被印刷基板を垂直方向から見たときに、規則的な凹部を形成する線Lkとスクリーンマスクを形成する線材Xkとがなす角度をいう。また、角度の異なるバイアス角度が2つ以上存在する場合は、角度が小さい方のバイアス角度をバイアス角度αとする。
なお、図1には、被印刷基板の規則的な凹部を形成する線L1,L2,L3,Lk,M1,M2,M3,Mkと、その上に破線でスクリーンマスクを形成している線材の一部X10,X20,X30,Xk,Y10,Y20,Y30,Ykを示している。ここで、スクリーンマスクを形成している線材の一部と記載しているのは、たとえば、図示した線材X10とX20との間には、実際には複数本の線材があるが、図示していないことを意味する。
また、図1には、一方向の被印刷基板の規則的な凹部を形成する線Lkと、その他の方向の被印刷基板の規則的な凹部を形成する線Mkとが直交し、また、一方向のスクリーンマスクを形成している線材Xkと、その他の方向のスクリーンマスクを形成している線材Ykとが直交する場合が図示されているが、上記の線Lkと線Mkとが直交しない場合および上記の線材Xkと線材Ykとが直交しない場合の少なくともいずれかの場合であってもよい。
ここで、スクリーンマスクを形成する線材の材料としては、被印刷基板の凹凸面に追従してペースト材料を均一な厚さで印刷できるものであれば特に制限はなく、金属または合成樹脂などが好ましく用いられる。
また、本発明においては、上記バイアス角度αは、15°≦α≦30°であることが好ましい。上記バイアス角度αを15°≦α≦30°とすることにより、図3に示すように、被印刷基板305の凹凸表面に追従して厚さが均一なペースト層314が形成され、厚さが均一な電極が形成できる。また、このような均一な厚さのペースト層314が形成されることにより、被印刷基板305とペースト層314との密着強度が十分保たれ、さらには均一な裏面電界層が形成されるため、太陽電池特性が高くなる。さらには、太陽電池特性のばらつきが少なくなり、太陽電池の製造工程における製品の歩留りが格段に向上する。
また、本発明においては、スクリーンマスクを形成する線材ピッチPbに対する規則的な凹部を形成する線LkまたはMkのピッチPaとの比Pa/Pbが、5<Pa/Pb<40であることが好ましい。すなわち、上記ピッチ比Pa/Pbが5よりも小さくなると被印刷基板の凹凸面上に印刷されるペースト印刷質量が極端に少なくなり、さらに、ピッチ比Pa/Pbが40よりも大きくなるとペースト印刷質量が多くなる。ペースト印刷質量が適正値より少なかったり、多くなったりすると、上記のように、いずれの場合も電極の仕上がりが不十分となり好ましくない。特に、ペースト印刷質量が多い場合には、電極の仕上がりが不十分になるとともに、被印刷基板自身も反ってしまう場合があり好ましくない。
また、本発明においては、凹凸面の凸部と凹部の高低差tが0.05mm≦t≦0.3mmである被印刷基板を用いることが好ましい。たとえば、図2を参照して、被印刷基板205における凸部頂部202と凹部203との高低差tが0.05mm≦t≦0.3mmであることを意味する。この高低差tが0.3mmを越えると凹凸面に追従した厚さが均一なペースト層を形成し難くなる。
さらに、本発明により、図3を参照して、被印刷基板305の規則的な凹凸面に追従してペースト層314が均一な厚さで形成される。すなわち、本発明にかかるペースト印刷方法を用いて製造される太陽電池は、被印刷基板であるシリコン基板の凹凸面に追従してペースト層である電極が均一な厚さで形成されているために、得られる太陽電池は、平滑な被印刷基板を用いたものと同等の太陽電池特性を示す。
特に、太陽電池を製造する場合には、受光面電極と裏面電極とが形成されるが、受光面電極には銀を主成分とする電極が形成され、裏面電極にはアルミニウムを主成分とする電極が形成される。このとき、受光面電極は、主電極と副電極とから成る魚骨型の形状を有するパターンを用いることが多く、本発明においてはこのようなパターンを有する電極の形成に適用することが可能である。凹凸面に追従した均一な厚さの受光面電極を形成することで、太陽電池のシリーズ抵抗を小さくすることができるため、従来の一般的なスクリーン印刷方法を用いた場合よりも高効率な太陽電池を製造することが可能となる。
本発明にかかるスクリーン印刷方法を用いて製造された太陽電池およびその製造工程を具体的に説明する。以下の実施例の太陽電池の製造においては、本発明にかかるスクリーン印刷方法を用いて、被印刷基板であるp型多結晶シリコンにペースト層である裏面電極を形成した。
(実施例1)
本実施例の太陽電池の製造においては、被印刷基板としてリボン法により製造された厚さが約400μm、大きさが125mm×125mm、比抵抗が2Ω・cmであるp型多結晶シリコン基板を用いた。この多結晶シリコン基板の一方の主面は、凸部と凹部との高低差が0.15mmの四角錐状の凹凸面が形成されている。この四角錘の底面の一辺の長さは1.25mmである。したがって、この多結晶シリコン基板の一方の主面となる凹凸面は、凹部と凸部の高低差が0.15mmで、規則的な凹部を形成する線のピッチPaが1.25mmである。また、この多結晶シリコン基板の他方の主面は平坦な面である。
本実施例の太陽電池の製造においては、被印刷基板としてリボン法により製造された厚さが約400μm、大きさが125mm×125mm、比抵抗が2Ω・cmであるp型多結晶シリコン基板を用いた。この多結晶シリコン基板の一方の主面は、凸部と凹部との高低差が0.15mmの四角錐状の凹凸面が形成されている。この四角錘の底面の一辺の長さは1.25mmである。したがって、この多結晶シリコン基板の一方の主面となる凹凸面は、凹部と凸部の高低差が0.15mmで、規則的な凹部を形成する線のピッチPaが1.25mmである。また、この多結晶シリコン基板の他方の主面は平坦な面である。
まず、この多結晶シリコン基板をフッ酸と硝酸との混合液を用いてエッチング洗浄し、次に、NaOH水溶液とイソプロパノールとの混合液を用いて液温約90℃でアルカリエッチングを行ない、基板表面に高さ数μmの微小ピラミッドを形成した。続いて、太陽電池の受光面となるこの基板の他の主面にPSG(リンシリケートガラス)液をスピンコート法により塗布し、850℃で焼成することにより、受光面側のn型半導体層を形成した。さらに、このn型半導体層上に、プラズマCVD(プラズマ化学気相成長)法により、反射防止膜として窒化シリコン膜を形成した。
次に、n型半導体層および反射防止膜を形成した基板の凹凸面の規則的な凹部を形成する線とスクリーンマスクを形成する線材とのなすバイアス角度αが5°〜40°の範囲となるように、凹凸面上にスクリーンマスクを配置して、太陽電池の裏面となる上記凹凸面上にアルミニウムペーストを印刷した。このときのスクリーンマスクを形成する線材のピッチPbに対する規則的な凹部を形成する線のピッチPaの比Pa/Pbは13.6であった。ここで、上記アルミニウムペーストは、導体物質としてのアルミニウムを70質量%含み、さらに基板への印刷を可能とするための樹脂および溶剤を含む。ここで、上記のスクリーン印刷により基板の凹凸面上に形成されたアルミニウムペーストのペースト層は、基板外周より2mm内側に入った121mm×121mmの矩形であった。
このとき、基板の凹凸面上に印刷された直後のアルミニウムペースト印刷質量は、図6に示すようになった。予備検討により本実施例において適正なアルミニウムペースト印刷質量は約1.5gであることが知られており、図6に示すように、本実施例において、上記バイアス角度αを15°≦α≦30°としたときに、アルミニウムペースト印刷質量がほぼ適正であったのに対し、α<15°としたときはアルミニウムペースト印刷質量が不足し、α>30°としたときはアルミニウムペースト印刷質量が過剰となった。
次に、アルミペーストが印刷された多結晶シリコン基板を、180℃で乾燥した後、750℃でアルミニウムペーストを焼成して裏面電極を形成するとともに、この裏面電極に隣接した裏面電界層を形成した。印刷直後に測定したアルミニウムペースト印刷質量が適正量より不足しているものの多くは多結晶シリコン基板が露出しており、適正量より過剰のものの多くは裏面電極の剥離が生じていた。また、いずれのものについても、裏面電極および裏面電界層の形成不良が認められた。
次に、引き続いて,受光面に銀ペーストを一般的なスクリーン印刷方法により印刷した後、650℃で焼成して、主電極と副電極とにより形成される魚骨型の形状を有する受光面電極を形成して、太陽電池を得た。
上記のようにして得られた太陽電池について、AM1.5、100mW/cm2のソーラーシミュレータを用い、25℃の雰囲気下においてエネルギー変換効率の測定を行なった。結果を図7に示す。図7に示すように、バイアス角度αが15°≦α≦30°のときに、エネルギー変換効率が14%以上と非常に良好な特性が得られ,この結果は,印刷直後のアルミニウムペースト印刷質量の評価や,乾燥および焼成後の裏面電極の形成状態の評価と一致した。
(実施例2)
本実施例の太陽電池の製造においては、被印刷基板としてリボン法により製造された厚さが約380μm、大きさが125mm×125mm、比抵抗が1.5Ω・cmであるp型多結晶シリコン基板を用いた。この多結晶シリコン基板の一方の主面は、凸部と凹部との高低差が0.1mmの四角錐状の凹凸面が形成されている。この四角錘の底面の一辺の長さは1.5mmである。したがって、この多結晶シリコン基板の一方の主面となる凹凸面は、凹部と凸部の高低差が0.1mmで、規則的な凹部を形成する線のピッチPaが1.5mmである。また、この多結晶シリコン基板の他方の主面は平坦な面である。
本実施例の太陽電池の製造においては、被印刷基板としてリボン法により製造された厚さが約380μm、大きさが125mm×125mm、比抵抗が1.5Ω・cmであるp型多結晶シリコン基板を用いた。この多結晶シリコン基板の一方の主面は、凸部と凹部との高低差が0.1mmの四角錐状の凹凸面が形成されている。この四角錘の底面の一辺の長さは1.5mmである。したがって、この多結晶シリコン基板の一方の主面となる凹凸面は、凹部と凸部の高低差が0.1mmで、規則的な凹部を形成する線のピッチPaが1.5mmである。また、この多結晶シリコン基板の他方の主面は平坦な面である。
まず、この多結晶シリコン基板をフッ酸と硝酸との混合液を用いてエッチング洗浄し、次に、NaOH水溶液とイソプロパノールとの混合液を用いて液温約90℃でアルカリエッチングを行ない、基板表面に高さ数μmの微小ピラミッドを形成した。続いて、太陽電池の受光面となるこの基板の他の主面にPOCl3を含む窒素ガスを吹き付けて、酸素を含む雰囲気中850℃で熱処理することにより、受光面側のn型半導体層を形成した。さらに、このn型半導体層上に、プラズマCVD法により、反射防止膜として窒化シリコン膜を形成した。
次に、n型半導体層および反射防止膜を形成した基板の凹凸面の規則的な凹部を形成する線とスクリーンマスクを形成する線材とのなすバイアス角度αが25°となるように、凹凸面上にスクリーンマスクを配置して、太陽電池の裏面となる上記凹凸面上にアルミニウムペーストを印刷した。本実施例においては、スクリーンマスクを形成する線材のピッチPbに対する規則的な凹部を形成する線のピッチPaの比Pa/Pbを変更させて上記のスクリーン印刷を行なった。ここで、上記アルミニウムペーストは、導電物質としてのアルミニウムを70質量%含み、さらに基板への印刷を可能とするための樹脂および溶剤を含む。ここで、上記のスクリーン印刷により基板の凹凸面上に形成されたアルミニウムペーストのペースト層は、基板外周より2mm内側に入った121mm×121mmの矩形であった。
このとき、基板の凹凸面上に印刷された直後のアルミニウムペースト印刷質量は、図8に示すようになった。予備検討により本実施例において適正なアルミニウムペースト印刷質量は約1.5gであることが知られており、図8に示すように、本実施例において、上記ピッチ比Pa/Pbを5<Pa/Pb<40としたときに、アルミニウムペースト印刷質量がほぼ適正であったのに対し、Pa/Pb≦5のときはアルミニウムペースト印刷質量が不足し、Pa/Pb≧40のときはアルミニウムペースト印刷質量が過剰となった。
次に、アルミニウムーストが印刷された多結晶シリコン基板を、180℃で乾燥した後、750℃でアルミニウムペーストを焼成して裏面電極を形成するとともに、この裏面電極に隣接した裏面電界層を形成した。印刷直後に測定したアルミニウムペースト印刷質量が適正量より不足しているものの多くは多結晶シリコン基板が露出しており、適正量より過剰のものの多くは裏面電極の剥離が生じていた。また、いずれのものについても、裏面電極および裏面電界層の形成不良が認められた。
引き続いて,5<Pa/Pb<40°の範囲でアルミニウムペーストが印刷された多結晶基板のみについて、基板の受光面に銀ペーストを一般的なスクリーン印刷方法により印刷し,650℃で焼成して,主電極と副電極とにより形成される魚骨型の形状を有する受光面電極を形成して,太陽電池を得た。このとき、基板の規則的な凹部を形成する線とスクリーンマスクを形成する線材とのなすバイアス角度αを25°として、本発明のスクリーン印刷法により、銀ペーストの印刷を行なった。
上記のようにして得られた太陽電池について、AM1.5、100mW/cm2のソーラーシミュレータを用い,25℃の雰囲気下において太陽電池のエネルギー変換効率の測定を行なった。本実施例における太陽電池のエネルギー変換効率の平均は14.5%、フィルファクターの平均は0.763と良好であった。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明でなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。
L1,L2,L3,Lk,M1,M2,M3,Mk 規則的な凹部を形成する線、X10,X20,X30,Xk,Y10,Y20,Y30,Yk スクリーンマスクを形成する線材、202,302,402 凸部頂部、203,303,403 凹部、203L,203M 線、204,304,404 稜線、205,305,405,505 被印刷基板、314,414,514 ペースト層、506 ペースト材料、507 スキージ、511 スクリーンマスク、512 スクリーン紗、513 感光性乳剤。
Claims (5)
- 規則的な凹凸部が形成されている凹凸面を有する被印刷基板にペースト材料を塗布するスクリーン印刷法であって、
規則的な凹部を形成する線とスクリーンマスクを形成する線材とが一致しないように前記被印刷基板の前記凹凸面上に前記スクリーンマスクを配置して、前記凹凸面上にペースト材料を印刷することを特徴とするスクリーン印刷方法。 - 前記規則的な凹部を形成する線と前記スクリーンマスクを形成する線材とのなすバイアス角度αが15°≦α≦30°となるように前記被印刷基板の前記凹凸面上に前記スクリーンマスクを配置することを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷方法。
- 前記スクリーンマスクを形成する線材のピッチPbに対する前記規則的な凹部を形成する線のピッチPaの比Pa/Pbが、5<Pa/Pb<40を満たすことを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷方法。
- 前記被印刷基板の前記凹凸面における凸部と凹部との高低差tが、0.05mm≦t≦0.3mmであることを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷方法。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載のスクリーン印刷方法を用いて製造された太陽電池であって、
前記被印刷基板の前記凹凸面に追従してペースト層が均一な厚さで形成されていることを特徴とする太陽電池。
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JP2005039044A Pending JP2006224370A (ja) | 2005-02-16 | 2005-02-16 | スクリーン印刷方法およびその方法を用いて製造された太陽電池 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102529467A (zh) * | 2010-12-02 | 2012-07-04 | 应用材料意大利有限公司 | 用于印刷基板的方法 |
CN108773219A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-11-09 | 中建材浚鑫科技有限公司 | 一种新型无网结网版印刷工艺 |
WO2021206056A1 (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 株式会社カネカ | 半導体素子および半導体素子の製造方法 |
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JP2001223172A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-08-17 | Sharp Corp | シート製造方法、シート、シート製造装置および太陽電池 |
-
2005
- 2005-02-16 JP JP2005039044A patent/JP2006224370A/ja active Pending
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