JP2013171885A - 太陽電池セルおよびメタルマスク - Google Patents

Abstract

【課題】スクリーン印刷時に破損しにくい形状でパターンが形成されたメタルマスクによって電極形成が可能な太陽電池セルを得ること。
【解決手段】本発明は、第１面１ａ上にグリッド電極５とバス電極２とが形成された太陽電池セル１０であって、バス電極２は、第１の方向に沿って延びるように複数形成され、グリッド電極は、バス電極２と略垂直な方向に延びるとともにバス電極２間に設けられた複数の第１グリッド電極３と、バス電極２と略垂直な方向に延びるとともにバス電極２から第１面１ａの端部に向けて延びるように形成された複数の第２グリッド電極４とを有し、第１グリッド電極３と第２グリッド電極４とは、第１の方向において互いにずれた位置に形成される。
【選択図】図１

Description

本発明は、太陽電池セルおよびメタルマスクに関する。

結晶型太陽電池セルの受光面には、グリッド電極やバス電極といった電極が形成されている。このような電極の形成において、太陽電池の受光面積をより広くするとともに配線抵抗を下げないようにするために、グリッド電極を細く、厚く形成することが望まれる。また、結晶型太陽電池セルの一般的な形状として、グリッド電極とバス電極とが複数本ずつ受光面側に形成されている。また、グリッド電極から集電するためのバス電極が、グリッド電極と直交するように形成されているのが一般的であり、バス電極は通常２〜４本で構成されることが多い。

太陽電池セルの電極形成方法は、低コストで電極形成が可能なスクリーン印刷法を用いることが多い。スクリーン印刷法を用いた電極の形成には、大きく２種類の方法があり、１つは金属あるいは樹脂からなる細線により編みこまれたメッシュに感光性乳剤を塗布し写真製版により露光、現像してパターンが形成されたメッシュスクリーンを用いるもの、もう１つは、ＳＵＳなどの金属版にエッチングやレーザー加工によりパターンが形成されたメタルマスクを用いるものである。

メッシュスクリーンは、外力を加えると容易に伸びてマスクが変形したり、メッシュが障害になりペーストの吐出量が減少あるいは印刷パターンに断線や欠落が発生したり、厚膜化のために乳剤厚を厚くすることが困難であるなどの理由から、精度のよいパターンを得にくい場合がある。

一方、メタルマスクは、メッシュスクリーンに比べて厚膜化が容易であるが、バス電極とグリッド電極とで周囲に囲まれた部分、すなわち抜きパターンに囲まれた島型のパターンを形成することが困難である。そこで、グリッド電極用のマスクとバス電極用のマスクを分けて形成する方法が、例えば特許文献１に開示されている。

しかしながら、マスクを分けることで印刷回数が増加するなどの問題がある。そこで、特許文献２や特許文献３には、アディティブめっき法を用いて支持体部分を形成した後、これと重ね合わせるように複数のめっき層を形成して、抜きパターンに囲まれたマスクを形成する方法が開示されている。特許文献２に開示されているメタルマスクは、支持体の下は完全な空間になっており、ペーストのレオロジー変化によって、印刷後の電極に断線が生じにくくなっている。

特開２００９−２９５７１５号公報 特開昭６３−３０３７３７号公報 特開２００８−３０２５６７号公報

スクリーン印刷では、印刷処理時間の短縮化などを図るために、印刷面（太陽電池セルの受光面）とマスクとの間に所定の間隔を設けて印刷を行うギャップ印刷を行う場合がある。しかしながら、グリッド電極から集電するためのバス電極が、グリッド電極と直交するように形成されているような一般的な太陽電池セルでは、バス電極をグリッド電極が貫くような形状をしている。そのため、メタルマスクに形成されたパターンのうち、バス電極を形成するためのパターンとグリッド電極を形成するためのパターンとの接続部分で強度が不足しやすくなる。特に、ギャップ印刷では、メタルマスクが引き伸ばされやすく、上述した接続部分のうち最外端の接続部分でメタルマスクが破断しやすくなる。メタルマスクの破断を抑えるために、支持体の寸法を大きくしたり、支持体の厚みを増したりすれば、印刷ペーストが受光面側に回り込みにくくなり、バス電極に断線が生じやすくなる。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、スクリーン印刷時に破損しにくい形状でパターンが形成されたメタルマスクによって電極形成が可能な太陽電池セルを得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、第１面上にグリッド電極とバス電極とが形成された太陽電池セルであって、バス電極は、第１の方向に沿って延びるように複数形成され、グリッド電極は、バス電極と略垂直な方向に延びるとともにバス電極間に設けられた複数の第１グリッド電極と、バス電極と略垂直な方向に延びるとともにバス電極から第１面の端部に向けて延びるように形成された複数の第２グリッド電極とを有し、第１グリッド電極と第２グリッド電極とは、第１の方向において互いにずれた位置に形成されることを特徴とする。

本発明によれば、スクリーン印刷時に破損しにくい形状でパターンが形成されたメタルマスクによって電極形成が可能な太陽電池セルを得ることができるという効果を奏する。

図１は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。 図２は、図１に示す太陽電池セルの電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。 図３−１は、図２に示すＡ−Ａ線に沿った矢視断面図である。 図３−２は、図２に示すＢ−Ｂ線に沿った矢視断面図である。 図４は、本発明の実施の形態２にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。 図５は、図４に示す太陽電池セルの電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。 図６は、本発明の実施の形態３にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。 図７は、図６に示す太陽電池セルの電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。 図８は、本発明の実施の形態４にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。 図９は、図８に示す太陽電池セルの電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。 図１０は、本発明の実施の形態５にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。 図１１は、図１０に示す太陽電池セルの電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。 図１２は、比較例としての太陽電池セルの平面図である。

以下に、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルおよびメタルマスクを図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。

実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。図２は、図１に示す太陽電池セルの電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。図３−１は、図２に示すＡ−Ａ線に沿った矢視断面図である。図３−２は、図２に示すＢ−Ｂ線に沿った矢視断面図である。

太陽電池セル１０は、半導体基板１の受光面（第１面）１ａにバス電極２とグリッド電極５が形成されて構成される。バス電極２とグリッド電極５とは、後に詳説するメタルマスクを用いて、導電性材料が混入されたペースト材料（電極材料）を受光面１ａにスクリーン印刷することで形成される。導電性材料は、例えば銀である。より具体的には、銀を６０−９５％含有し、残りをバインダーと呼ばれる樹脂および溶剤を用いた混合物をペースト材料として用いることができる。

バス電極２は、グリッド電極５に跨って形成されて、グリッド電極５から集電するための電極である。バス電極２は、第１の方向（矢印Ｐに示す方向）に沿って延びるように複数本形成される。なお、本実施の形態では２本形成されている。

グリッド電極５は、半導体基板１の光電変換部領域で生成された光生成キャリアを集電するための電極である。グリッド電極５は、バス電極２と略垂直な第２の方向（矢印Ｑに示す方向）に延びるように複数本形成される。グリッド電極５は、第１グリッド電極３と第２グリッド電極４とを有して構成される。

第１グリッド電極３は、バス電極２間に設けられる。第２グリッド電極４は、バス電極２から半導体基板１の端部に向けて延びるように複数本形成される。第２電極は、第１グリッド電極３とバス電極２とを挟んだ両側に形成される。第１グリッド電極３とバス電極２とを挟んだ両側に形成された第２グリッド電極４同士は、同じピッチで形成されるとともに、第１の方向におけるずれもほとんどないように形成される。

第１グリッド電極３も、第２グリッド電極４と同じピッチで形成される。第１グリッド電極３と第２グリッド電極４は、第１の方向において互いにずれた位置に形成される。本実施の形態１では、第１グリッド電極３が、第２グリッド電極４の第２の方向に沿った延長線同士の略中間となる位置に形成される。すなわち、第１グリッド電極３は、第２グリッド電極４よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

第１グリッド電極３と第２グリッド電極４とを上述したような配置で形成することで、これらをスクリーン印刷で形成するためのメタルマスクの強度向上を図ることができる。次に、このメタルマスクについて詳細に説明する。

メタルマスク１７は、板状の形状を呈する板状部２１に複数の開口が形成されて構成される。板状部２１の表面２１ａ（一方の面）を半導体基板１の受光面１ａに対向させた状態で、その裏面（他方の面）２１ｂ側から、スキージ（図示せず）を押し付けて、開口を通してペースト材料を受光面１ａ上に供給することで、メタルマスク１７を用いたスクリーン印刷が行われる。特に、板状部２１の表面２１ａと半導体基板１の受光面１ａとの間に所定の間隔を設けて行うスクリーン印刷をギャップ印刷と呼ぶ。

メタルマスク１７には、ペースト材料を通過させる開口として、溝２２、貫通孔２３、第１開口２４、第２開口２５が形成されている。溝２２および貫通孔２３を通過したペースト材料が主になってバス電極２が形成される。また、第１開口２４を通過したペースト材料が主になって第１グリッド電極３が形成される。また、第２開口２５を通過したペースト材料が主になって第２グリッド電極４が形成される。

溝２２は、平面視においてバス電極２と略同じ形状を呈しており、第１の方向に沿って延びるように板状部２１の表面２１ａに形成されている。貫通孔２３は、溝２２の底面に複数形成されている。貫通孔２３は、溝２２の底面を貫通するように形成されている。貫通孔２３は、平面視において六角形形状を呈しており、溝２２の底面はハニカム構造となっている。貫通孔２３を通過したペースト材料は、溝２２に侵入することで、溝２２の形状に倣って、バス電極２の形状で印刷される。

第１開口２４は、平面視において第１グリッド電極３と略同じ形状を呈しており、板状部２１を表面２１ａ側から裏面２１ｂ側に貫通するオープン開口となっている。第１開口２４は、溝２２とつながるように形成されている。溝２２の底面は、上述したように複数の貫通孔２３が形成されたハニカム構造となっているので、溝２２と第１開口２４とに囲まれた領域（抜きパターンに囲まれた島パターン）の脱落を防ぐ支持体として機能する。

第２開口２５は、平面視において第２グリッド電極４と略同じ形状を呈しており、板状部２１を表面２１ａ側から裏面２１ｂ側に貫通するオープン開口となっている。第２開口２５は、溝２２とつながるように形成されている。

第１グリッド電極３を形成するための第１開口２４と、第２グリッド電極４を形成するための第２開口２５とは、第１の方向において互いにずれた位置に形成される。本実施の形態１では、第１グリッド電極３および第２グリッド電極４と同様に、第２開口２５の第２の方向に沿った延長線同士の略中間となる位置に第１開口２４が形成される。すなわち、第１開口２４は、第２開口２５よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

メタルマスク１７は、例えば、支持体としての溝２２の底面形状が１００μｍピッチのハニカム構造である。また、支持体の太さ（貫通孔２３同士の間隔）は４０μｍ、溝２２の底面の厚さは４０μｍ、板状部２１の板厚は７０μｍである。

このようなメタルマスク１７を用いたスクリーン印刷を以下の印刷機条件で行った。その印刷条件は、ウレタン性のスキージ（図示せず）を速度５０〜３００［ｍｍ／ｓ］で動作させ、被印刷体である太陽電池セル（Ｓｉ基板に各種機能膜を形成）とマスクの間隔が０．５〜２［ｍｍ］のギャップを設け、マスクに対し５〜１０ｋｇｆの押し付け圧（印圧）でスキージを押し付けるものである。その結果、バス電極２のパターン欠落がなく、グリッド電極５とバス電極２とを一括して形成できた。

図１２は、比較例としての太陽電池セル６０の平面図である。比較例としての太陽電池セル６０では、第１グリッド電極３００と第２グリッド電極３１０とが第２の方向に沿った直線上に並ぶように形成されている。したがって、比較例としての太陽電池セル６０に電極を形成するためのメタルマスク（図示せず）も、第１グリッド電極３００と第２グリッド電極３１０を形成するための開口が直線的に形成される。そのため、バス電極を形成するための開口とグリッド電極を形成するための開口との接続部分も直線上に並ぶ。特に、最外端に設けられた接続部分に、応力や変形が加わりやすくなり、この接続部分が破損しやすくなる。また、スクリーン印刷時に第１の方向に沿って引張力が加えられた場合に、応力や変形がより加わりやすくなる。

一方、本実施の形態１では、第１開口２４（第１グリッド電極３）と第２開口２５（第２グリッド電極４）とが第２の方向に沿って半ピッチずれた位置に形成されているので、第１開口２４と第２開口２５との接続部分も直線上に並ばずに千鳥状に配置される。そのため、スクリーン印刷時の応力や変形が分散されやすくなり、メタルマスク１７の耐久性の向上を図ることができる。

実施の形態２．
図４は、本発明の実施の形態２にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態２にかかる太陽電池セル２０では、第２グリッド電極４が、第１グリッド電極３よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

図５は、図４に示す太陽電池セル２０の電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。電極形成に用いられるメタルマスク２７も同様に、第２開口２５が、第１開口２４よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

本実施の形態２でも、上記実施の形態１と同様に、第１開口２４（第１グリッド電極３）と第２開口２５（第２グリッド電極４）とが第２の方向に沿って半ピッチずれた位置に形成されているので、第１開口２４と第２開口２５との接続部分も直線上に並ばずに千鳥状に配置される。そため、スクリーン印刷時の応力や変形が分散されやすくなり、メタルマスク２７の耐久性の向上を図ることができる。

実施の形態３．
図６は、本発明の実施の形態３にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態３にかかる太陽電池セル３０では、第１グリッド電極３のうち第１の方向に沿った最外端に形成された第１グリッド電極３ａのみが、第２グリッド電極４よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

図７は、図６に示す太陽電池セル３０の電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。電極形成に用いられるメタルマスク３７も同様に、第１開口２４のうち第１の方向に沿った最外端に形成された第１開口２４ａのみが、第２開口２５よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

このように、すべての第１開口２４（第１グリッド電極３）をずらさない場合であっても、最外端の第１開口２４ａ（第１グリッド電極３ａ）をずらすことで、負荷が加わりやすい最外端で応力や変形を軽減させて、メタルマスク３７の耐久性の向上を図ることができる。具体的には第１開口２４ａと溝２２との接続部分と、第２開口２５と溝２２との接続部分が第２の方向に沿って直線上に並ばずに千鳥状に配置されるので、最外端での接続部分に加わる応力や変形を軽減させることができる。

また、本実施の形態では、１本のバス電極２に接続される第１グリッド電極３の本数と第２グリッド電極４の本数とを等しくすることができる。換言すれば、比較例で示す構成の太陽電池セル６０から第１グリッド電極３の本数を減らさずに済むと言える。そのため、集電効率の低下を抑えることができる。

なお、ずらして配置される第１開口２４（第１グリッド電極３）は、最外端のものに限られず、例えば最外端から所定本数分の第１開口２４（第１グリッド電極３）をずらして配置してもよい。

実施の形態４．
図８は、本発明の実施の形態４にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態４にかかる太陽電池セル４０では、第２グリッド電極４のうち第１の方向に沿った最外端に形成された第２グリッド電極４ａのみが、第１グリッド電極３よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

図９は、図８に示す太陽電池セルの電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。電極形成に用いられるメタルマスク４７も同様に、第２開口２５のうち第１の方向に沿った最外端に形成された第２開口２５ａのみが、第１開口２４よりも第１の方向に沿って内側に半ピッチずれた位置に形成されている。

このように、すべての第２開口２５（第２グリッド電極４）をずらさない場合であっても、最外端の第２開口２５ａ（第２グリッド電極４ａ）をずらすことで、負荷が加わりやすい最外端で、応力や変形を軽減させて、メタルマスク４７の耐久性の向上を図ることができる。具体的には第１開口２４と溝２２との接続部分と、第２開口２５ａと溝２２との接続部分が第２の方向に沿って直線上に並ばずに千鳥状に配置されるので、最外端での接続部分に加わる応力や変形を軽減させることができる。

また、本実施の形態では、１本のバス電極２に接続される第１グリッド電極３の本数と第２グリッド電極４の本数とを等しくすることができる。換言すれば、比較例で示す構成の太陽電池セル６０から第２グリッド電極４の本数を減らさずに済むと言える。そのため、集電効率の低下を抑えることができる。

なお、ずらして配置される第２開口２５（第２グリッド電極４）は、最外端のものに限られず、例えば最外端から所定本数分の第２開口２５（第２グリッド電極４）をずらして配置してもよい。

実施の形態５．
図１０は、本発明の実施の形態５にかかる太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。なお、上記実施の形態と同様の構成については、同様の符号を付して詳細な説明を省略する。本実施の形態５にかかる太陽電池セル５０では、第１グリッド電極３の位置に応じて、そのずれ量を変化させている。

具体的には、第１の方向に沿った半導体基板１の一端１ｂ側からｉ本目の第１グリッド電極３の、一端１ｂ側からｉ本目の第２グリッド電極４に対する第１の方向におけるずれ量Ｘｉは、Ｘｉ＝Ｐ／２×｛１−２×（ｉ−１）／（ｎ−１）で算出される。

ただし、Ｐ：前記第２グリッド電極４同士のピッチ、ｎ：第１グリッド電極３および第２グリッド電極４が第１の方向に沿って設けられた本数、ｉ＝１，２，３・・・ｎとなる。また、ずれ量Ｘｉの値が正であれば、一端１ｂから他端１ｃに向かう方向に第１グリッド電極３をずらし、ずれ量Ｘｉの値が負であれば、他端１ｃから一端１ｂに向かう方向に第１グリッド電極３をずらす。

このようにずれ量を算出することで、図１０に示すように、最外端では第１グリッド電極３が半ピッチすれ、中心部に向かうにしたがってずれ量が小さくなっている。

図１１は、図１０に示す太陽電池セル５０の電極形成に用いられるメタルマスクの平面図である。電極形成に用いられるメタルマスク５７も同様に、第１の方向に沿った板状部２１の一端２１ｃ側からｉ本目の第１開口２４の、一端２１ｃ側からｉ本目の第２開口２４に対する第１の方向におけるずれ量Ｙｉは、Ｙｉ＝Ｐ／２×｛１−２×（ｉ−１）／（ｎ−１）で算出される。

ただし、Ｐ：第２開口２５同士のピッチ、ｎ：第１開口２４および第２開口２５が第１の方向に沿って設けられた本数、ｉ＝１，２，３・・・ｎとなる。また、ずれ量Ｙｉの値が正であれば、一端２１ｃから他端２１ｄに向かう方向に第１開口２４をずらし、ずれ量Ｙｉの値が負であれば、他端２１ｄから一端２１ｃに向かう方向に第１開口２４をずらす。

実施の形態３や実施の形態４では、第１の方向に沿った最外端でグリッド電極５同士が近接するため、グリッド電極５と溝２２との接続部分が近接して、その周辺に応力や変形が集中してしまう可能性がある。

一方、本実施の形態５では、平均的に第１開口２４（第１グリッド電極３）をずらしているので、メタルマスク５７の一部で第１開口２４同士が近接するのを防ぐことができる。そのため、メタルマスク５７の一部で応力や変形が集中するのを抑えて、メタルマスク５７の耐久性の向上を図ることができる。

また、本実施の形態では、１本のバス電極２に接続される第１グリッド電極３の本数と第２グリッド電極４の本数とを等しくすることができる。換言すれば、比較例で示す構成の太陽電池セル６０から第２グリッド電極４の本数を減らさずに済むと言える。そのため、集電効率の低下を抑えることができる。

なお、上記数式で算出される値によって、第１グリッド電極３や第１開口２４ではなく、第２グリッド電極４や第２開口２５をずらしても構わない。

以上のように、本発明にかかる太陽電池セルは、スクリーン印刷によって受光面に電極が形成される太陽電池セルに有用である。

１ 半導体基板
１ａ 受光面（第１面）
１ｂ 一端
１ｃ 他端
２ バス電極
３，３ａ 第１グリッド電極
４，４ａ 第２グリッド電極
５ グリッド電極
１０，２０，３０，４０，５０，６０ 太陽電池セル
１７，２７，３７，４７，５７ メタルマスク
２１ 板状部
２１ａ 表面（一方の面）
２１ｂ 裏面（他方の面）
２１ｃ 一端
２１ｄ 他端
２２ 溝
２３ 貫通孔
２４，２４ａ 第１開口
２５，２５ａ 第２開口

Claims (12)

1. 第１面上にグリッド電極とバス電極とが形成された太陽電池セルであって、
   前記バス電極は、第１の方向に沿って延びるように複数形成され、
   前記グリッド電極は、前記バス電極と略垂直な方向に延びるとともに前記バス電極間に設けられた複数の第１グリッド電極と、前記バス電極と略垂直な方向に延びるとともに前記バス電極から前記第１面の端部に向けて延びるように形成された複数の第２グリッド電極とを有し、
   前記第１グリッド電極と前記第２グリッド電極とは、前記第１の方向において互いにずれた位置に形成されることを特徴とする太陽電池セル。
2. 前記第１グリッド電極は、前記第２グリッド電極の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池セル。
3. 前記第１グリッド電極のうち前記第１の方向に沿った最外端に形成された第１グリッド電極が、前記第２グリッド電極の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項２に記載の太陽電池セル。
4. 前記第２グリッド電極は、前記第１グリッド電極の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池セル。
5. 前記第２グリッド電極のうち前記第１の方向に沿った最外端に形成された第２グリッド電極が、前記第１グリッド電極の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項４に記載の太陽電池セル。
6. 前記第１の方向に沿った一端側からｉ本目の前記第１グリッド電極の、前記一端側からｉ本目の前記第２グリッド電極に対する前記第１の方向におけるずれ量Ｘｉは、
   Ｘｉ＝Ｐ／２×｛１−２×（ｉ−１）／（ｎ−１）
   ただし、
   Ｐ：前記第２グリッド電極同士のピッチ
   ｎ：前記第１グリッド電極および前記第２グリッド電極が前記第１の方向に沿って設けられた本数
   ｉ＝１，２，３・・・ｎ
   であることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池セル。
7. グリッド電極とバス電極とを太陽電池セルにスクリーン印刷で形成するためのメタルマスクであって、
   板状の形状を呈する板状部と、
   第１の方向に沿って延びるように前記板状部の一方の面側に形成された複数の溝と、
   前記溝の底面に形成されて前記一方の面の裏面側である他方の面側に貫通する複数の貫通孔と、
   前記溝につながるように形成されて、前記第１の方向と略垂直に延びるとともに前記板状部を貫通する開口と、を備え、
   前記開口は、複数の前記溝同士の間に設けられた複数の第１開口と、前記溝から前記板状部の端部に向けて延びるように形成された複数の第２開口とを有し、
   前記第１開口と前記第２開口とは、前記第１の方向において互いにずれた位置に形成され、
   前記溝と貫通孔とによって前記バス電極が形成され、
   前記開口によって前記グリッド電極が形成されることを特徴とするメタルマスク。
8. 前記第１開口は、前記第２開口の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項７に記載のメタルマスク。
9. 前記第１開口のうち前記第１の方向に沿った最外端に形成された第１開口が、前記第２開口の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項８に記載のメタルマスク。
10. 前記第２開口は、前記第１開口の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項７に記載のメタルマスク。
11. 前記第２開口のうち前記第１の方向に沿った最外端に形成された第２開口が、前記第１開口の延長線同士の略中間となる位置に形成されることを特徴とする請求項１０に記載のメタルマスク。
12. 前記第１の方向に沿った一端側からｉ本目の前記第１開口の、前記一端側からｉ本目の前記第２開口に対する前記第１の方向におけるずれ量Ｙｉは、
    Ｙｉ＝Ｐ／２×｛１−２×（ｉ−１）／（ｎ−１）
    ただし、
    Ｐ：前記第２開口同士のピッチ
    ｎ：前記第１開口および前記第２開口が前記第１の方向に沿って設けられた本数
    ｉ＝１，２，３・・・ｎ
    であることを特徴とする請求項７に記載のメタルマスク。

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