JP5874067B2 - 印刷用スクリーン版と、該スクリーン版による太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る印刷用スクリーン版は、太陽電池の製造において用いられるものである。第1の実施形態に係る印刷用スクリーン版は、図1〜3に示されているように、メッシュ部材11と、メッシュ部材11に固定されたマスク層12とを備えている。
図6と図7は、本発明に係る印刷用スクリーン版1の第2の実施形態を概略的に示している。この実施形態に係る印刷用スクリーン版1は、第1のパターンユニット20を有する他、更に第1のパターンユニット20と連結した第2のパターンユニット24を有する。
11 メッシュ部材
111 細線
12 マスク層
20 第1のパターンユニット
21 線状開口
22 中央領域
221 中央開口
222 中央ブロック部
223 中央連結開口
23 外側領域
231 外側開口
232 外側ブロック部
233 外側連結開口
24 第2のパターンユニット
241 フィンガー状開口
3 基板
31 受光面
32 エミッタ層
33 バスバー電極
34 フィンガー電極
35 裏面
36 裏面電極
7 ブレード部材
81 第1の方向
82 第2の方向
83 掻き取り方向
91〜97 ステップ
L1〜L14、L13’ 長さ
Claims (11)
- メッシュ部材と、前記メッシュ部材に固定されたマスク層とを備え、前記マスク層は、第1のパターンユニットを有し、
前記第1のパターンユニットは、第1の方向に沿って延伸されており互いに隔てて形成された2つの線状開口と、2つの前記線状開口の間に配置された中央領域と、2つの前記線状開口の前記中央領域から離れた側にそれぞれ配置された2つの外側領域と、を有し、
前記中央領域は、前記第1の方向に沿って互いに隔てて並ぶと共に、前記第1の方向と直角の第2の方向に沿って2つの前記線状開口を繋いで延伸されるように形成された複数の中央開口と、それぞれ隣り合う前記中央開口の間に配置された複数の中央ブロック部と、を有し、
2つの前記外側領域のそれぞれは、2つの前記線状開口における一方より前記中央領域から離れて延伸されると共に、前記第1の方向に沿って隔てて並ぶように形成された複数の外側開口と、それぞれ隣り合う前記外側開口の間に配置された外側ブロック部とを有し、
各前記外側領域における前記外側開口の当該外側領域全体に対する正投影面積率を、前記中央領域における前記中央開口の当該中央領域全体に対する正投影面積率よりも小さく形成したことを特徴とする印刷用スクリーン版。 - 前記外側開口はそれぞれ、2つの前記線状開口における一方より前記第2の方向に沿って前記中央領域から離れて延伸されるように形成され、
前記外側開口のそれぞれの前記第2の方向沿いの長さが150〜250μmであることを特徴とする請求項1に記載の印刷用スクリーン版。 - 前記外側開口のそれぞれの前記第1の方向沿いの長さが20〜40μm、
前記外側ブロック部のそれぞれの前記第1の方向沿いの長さが20〜30μmであることを特徴とする請求項1に記載の印刷用スクリーン版。 - 前記線状開口のそれぞれの前記第2の方向沿いの長さが100〜200μmであることを特徴とする請求項1に記載の印刷用スクリーン版。
- 前記中央開口のそれぞれの前記第2の方向沿いの長さが700〜900μmであることを特徴とする請求項1に記載の印刷用スクリーン版。
- 前記中央開口のそれぞれの前記第1の方向沿いの長さが60〜120μm、
前記中央ブロック部のそれぞれの前記第1の方向沿いの長さが20〜30μmであることを特徴とする請求項1に記載の印刷用スクリーン版。 - 前記マスク層は更に、前記第1のパターンユニットを接続するように配置された第2のパターンユニットを有し、
前記第2のパターンユニットは、前記第1の方向に沿って互いに隔てて並ぶと共に、前記第1のパターンユニットと連結されると共に前記中央領域から離れて前記第2の方向に沿って延伸されるように設けられた複数のフィンガー状開口を有し、
前記フィンガー状開口のそれぞれの前記第1の方向沿いの長さが、前記第1のパターンユニットの前記第2の方向沿いの長さよりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の印刷用スクリーン版。 - 前記中央領域は更に、前記第1の方向に沿って互いに隔てて並ぶと共に、それぞれ前記第2の方向に沿って2つの前記線状開口を繋ぐように延伸されて形成された複数の中央連結開口を有し、
複数の前記中央開口の一部と複数の前記中央ブロック部の一部とを中央セットとしたとき、前記中央セットが隣り合う複数の前記中央連結開口の間に配置され、
前記外側領域のそれぞれは更に、前記第1の方向に沿って互いに隔てて並ぶと共に、それぞれが複数の前記フィンガー状開口における1つと複数の前記線状開口における1つとを繋ぐように形成された複数の外側連結開口を有し、
複数の前記外側開口の一部と複数の前記外側ブロック部の一部とを外側セットとしたとき、前記外側セットが隣り合う複数の前記外側連結開口の間に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の印刷用スクリーン版。 - 前記中央連結開口のそれぞれの前記第1の方向沿いの長さが150〜250μm、
前記外側連結開口のそれぞれの前記第1の方向沿いの長さが100〜300μm、
前記外側連結開口のそれぞれの前記第2の方向沿いの長さが150〜250μmであることを特徴とする請求項8に記載の印刷用スクリーン版。 - 受光面と該受光面と背中合わせの裏面とを有する基板を用意するステップと、
前記受光面にエミッタ層を形成するステップと、
請求項1〜6におけるいずれかの一項に記載の印刷用スクリーン版を用いて前記受光面に導電性ペーストを塗布し、前記導電性ペーストを前記印刷用スクリーン版の第1のパターンユニットにおける線状開口、中央開口及び外側開口を介して前記受光面に被覆してバスバー電極を形成するステップと、
前記受光面に複数のフィンガー電極を形成するステップと、
前記裏面に裏面電極を形成するステップと
を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 受光面と該受光面と背中合わせの裏面とを有する基板を用意するステップと、
前記受光面にエミッタ層を形成するステップと、
請求項7〜9におけるいずれかの一項に記載の印刷用スクリーン版を用いて前記受光面に導電性ペーストを塗布し、前記導電性ペーストを前記印刷用スクリーン版の第1のパターンユニットにおける線状開口、中央開口、外側開口及び第2のパターンユニットにおけるフィンガー状開口を介して前記受光面に被覆してバスバー電極と前記バスバー電極を繋いだ複数のフィンガー電極とを形成するステップと、
前記裏面に裏面電極を形成するステップと
を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。
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