JP5947845B2 - 印刷用スクリーン版および該スクリーン版による太陽電池電極の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばスクリーン印刷に使用される印刷用スクリーン版と該スクリーン版を使用して太陽電池の電極を製造する製造方法に関する。

一般に、太陽電池用電極を形成する手法としては、スクリーン印刷等の方法が採用されている。スクリーン印刷に用いられる印刷用スクリーン版は、金属の糸や化学繊維を製網したメッシュ部材と呼ばれる基材を枠材に固定し、ペーストを透過させる部分以外を樹脂などで固めて成型して、被印刷物とする例えばバスバー電極、フィンガー電極のパターニングに使用する。

従来より使われている太陽電池用電極を形成する印刷用スクリーン版の一例は、線材を格子状に編んでなったメッシュ部材と、メッシュ部材を固定して配置した枠材とを備え、メッシュ部材は、ペーストを透過させるよう、形成されるバスバー電極に応じて図案化されたバスバー電極形成部と、形成されるフィンガー電極に応じて図案化されたフィンガー電極形成部とを有するものである（例えば、特許文献１参照）。

また、例えば図８〜１０に示されているように、細線１１１を格子状に交差させて両面貫通している多数の微細孔を有する多孔シートに編んでなったものを枠に固定したメッシュ部材１１と、メッシュ部材１１に固定されたマスク層１２とを備えているものもある。マスク層１２は、形成されるバスバー電極に応じてパターニングされており、第１の方向１３１に沿って延伸された中空部１２４をおいて互いに間隔をあけて並ぶように設けられた第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２と、それぞれ第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２とから離れて第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２とに連結せずに第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２との間に第１の方向１３１沿いに互いに間隔をあけて並ぶように形成された遮蔽区分１２５とを有し、第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２とはそれぞれ第１の方向１３１と直角の第２の方向１３２沿いに延伸された複数の線状開口１２３を有し、遮蔽区分１２５は、第２の方向１３２に沿って延伸されて長く形成され、第１の遮蔽部１２１側の第１の端１２６と第２の遮蔽部１２２側の第２の端１２７とを有する。基板にスクリーン印刷するとき、該基板の受光面に該印刷用スクリーン版を使用して導電性ペーストを塗布し、例えばスクリーン印刷する方向でもある第２の方向１３２に沿ってブレード部材１４で印刷用スクリーン版の導電性ペーストを削ると共に移動して、印刷用スクリーン版の中空部１２４と線状開口１２３を通過した導電性ペーストが受光面を覆う。そして、熱処理などを経てバスバー電極とバスバー電極を連結した複数のフィンガー電極とを形成する。このようにして太陽電池が製造される。次に複数の太陽電池を隣り合わせて並んで隣接したバスバー電極を直列接続するように帯状の導線（ｒｉｂｂｏｎ）で半田付けすることによって電池モジュールが製造される。

台湾登録実用新案第４２２１６３号公報明細書

従来の印刷用スクリーン版では、遮蔽区分１２５が形成されているので、形成されたバスバー電極は遮蔽区分１２５に応じて一部が窪むようになり、粗さが大きい凹凸構造を得ることができる。そのため、バスバー電極及び導線の接着を良好にすることができる。しかし、遮蔽区分１２５は第１の遮蔽部１２１と連結せずに配置されているため、ブレード部材１４が第１の遮蔽部１２１を通過した後第１の遮蔽部１２１と遮蔽区分１２５との間隔にて多少下がることがある。このため、ブレード部材１４が遮蔽区分１２５の第１の端１２６に押し当たってしまうので、遮蔽区分１２５が破損し、メッシュ部材１１から離れ落ち易い。これによって印刷用スクリーン版は長く使用できない問題点がある。

従来の印刷用スクリーン版は、他例として、図１１に示されているように、遮蔽区分１２５の第１の端１２６と第２の端１２７がそれぞれ第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２とに連結されているものがある。そのため、ブレード部材１４が第１の遮蔽部１２１を通過して下がらずそのまま遮蔽区分１２５を通過することができるので、第１の端１２６を押圧することがなくなる。しかし、遮蔽区分１２５が第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２の間に連結するように配置されると、メッシュ部材１１を通過する導電性ペーストの量が減るため、形成されたバスバー電極の一部が窪んだりして、導線と接触しないボイドを生じてしまうため、接着不良が発生し、断線し易くなり、太陽電池製品の信頼性が損なわれる問題点もある。

本発明は、長く使用でき、形成されるバスバー電極と導線の接着性を安定して高め、太陽電池製品の信頼性の向上を図ることができる印刷用スクリーン版と該印刷用スクリーン版による太陽電池電極の製造方法を提供することを目的とする。

以上の目的を達成するために、一の観点によれば、メッシュ部材と、前記メッシュ部材に固定されたマスク層とを備えているものであって、前記マスク層は、中空領域をあけて並ぶように設けられた第１の遮蔽部と第２の遮蔽部とを有する遮蔽領域と、前記第１の遮蔽部と前記第２の遮蔽部の間に前記中空領域に第１の方向に沿って間隔をあけて並ぶと共に前記第１の遮蔽部と連結されるように前記第１の方向と異なる方向である第２の方向に沿って延伸されて形成されており、前記第１の遮蔽部と連結された第１の固定端部と、前記第１の固定端部の反対側であって前記第２の遮蔽部に連結されずに前記第２の遮蔽部から離れた第１の自由端部とを有する複数の第１の遮蔽区分と、前記中空領域に前記第１の遮蔽区分と交錯して配置されるように互いに前記第１の方向に沿って間隔をあけて並ぶと共に、それぞれ前記第１の方向と直交すると共に前記第２の方向と逆向きである第３の方向に沿って前記第２の遮蔽部から前記第１の遮蔽部に向かって延伸されて形成され、前記第２の遮蔽部と連結された第２の固定端部と、前記第２の固定端部の反対側であって前記第１の遮蔽部に連結されずに前記第１の遮蔽部から離れた第２の自由端部とを有する複数の第２の遮蔽区分と、を有し、前記第１の方向沿いに隣接した前記第１の遮蔽区分同士の間に前記第２の遮蔽区分が延伸されて介在されるように、前記第１の自由端部と前記第２の自由端部とが交錯すると共に、前記第１の方向沿いに隣接した前記第１の自由端部同士の間に前記第２の自由端部が介在されて配置され、前記第１の遮蔽区分の前記第２の方向沿いの長さが、前記第２の遮蔽区分の前記第３の方向沿いの長さよりも小であることを特徴とする印刷用スクリーン版を提供する。

また、他の観点によれば、太陽電池製造用の基板を用意するステップと、前記基板の上に本発明に係る印刷用スクリーン版を設置するステップと、導電性ペーストを前記印刷用スクリーン版に塗布すると共に、ブレード部材を持って前記第２の方向に沿って前記導電性ペーストを削りながら移動し、前記導電性ペーストが前記印刷用スクリーン版を通過して、前記導電性ペーストが前記基板に被覆されて電極パターンが形成されるステップと、前記電極パターンを熱処理して電極を形成するステップとを有することを特徴とする太陽電池電極の製造方法をも提供する。

本発明に係る印刷用スクリーン版によれば、複数の第１の遮蔽区分と第２の遮蔽区分を配置していることによって、従来の印刷用スクリーン版による利点を持っていると共に従来の印刷用スクリーン版による欠点を改善することができる。従って、本発明に係る印刷用スクリーン版によれば電極が良好に製造されると共に、該電極と導線との接着を強固になるので、導線との接着性が安定して高まり、製品信頼性の向上を図ることができる。

本発明に係る印刷用スクリーン版の第１の実施形態を示す上面図。 図１の部分拡大図。 図２におけるＢ−Ｂ線での断面図。 本発明に係る印刷用スクリーン版を用いて製造された太陽電池電極の一例を示す図。 上記製造方法の一例を示すフローチャート。 本発明に係る印刷用スクリーン版を用いて印刷する状態を概略的に示す斜視図。 本発明に係る印刷用スクリーン版の他例を示す上面図。 従来の印刷用スクリーン版の一例を示す上面図。 図８におけるＡ−Ａ線での断面図。 従来例の印刷用スクリーン版を用いて印刷する状態を概略的に示す斜視図。 従来の印刷用スクリーン版の他例を示す上面図。

以下、本発明においていくつかの実施形態について図面を参照して説明する。なお、同一構成及び機能を有する構成要素については、同一番号を付してその説明を省略する。

(第１の実施形態)
本発明に係る印刷用スクリーン版は、太陽電池電極の製造にて用いられるものであり、図１〜３に示されているように、メッシュ部材２と、メッシュ部材２に固定されたマスク層３とを備えている。

この実施形態に使用されるメッシュ部材２は、細線２１を格子状に交差させて両面貫通している多数の微細孔を有する多孔シートに編んでなったものを枠（図示せず）に固定したものである。なお、細線２１が交差したところを結び目、両面貫通している微細孔を網目という。

マスク層３は、例えば高分子材料或いは金属材で作られてパターニングされたもので、遮蔽領域３１と、中空領域３２と、複数の第１の遮蔽区分３３と、複数の第２の遮蔽区分３４とを有する。

遮蔽領域３１は、間隔をおいて並ぶように設けられた第１の遮蔽部３１１と第２の遮蔽部３１２とを有する。第１の遮蔽部３１１と第２の遮蔽部３１２とはそれぞれ、第１の方向４１に沿って第１の方向４１と異なる第２の方向４２沿いに延伸される複数の線状開口３１３をあけて並ぶように配置されている。なお、この形態では、第１の方向４１と第２の方向４２とは直交し、第２の方向４２は本発明に係る印刷用スクリーン版を用いて印刷するときのスクリーン印刷方向として用いる。

中空領域３２は、第１の方向４１沿いに溝状の開口が延伸されて形成されており、第１の遮蔽部３１１と第２の遮蔽部３１２とは第２の方向４２沿いに中空領域３２をあけて並列されている。

複数の第１の遮蔽区分３３は、中空領域３２に配置されるように互いに第１の方向４１に沿って間隔をあけて並ぶと共に、それぞれ第２の方向４２に沿って第１の遮蔽部３１１から第２の遮蔽部３１２に向かって延伸されるように形成され、第１の遮蔽部３１１と連結された第１の固定端部３３１と、第１の固定端部３３１の反対側であって第２の遮蔽部３１２に連結されずに第２の遮蔽部３１２から離れた第１の自由端部３３２とを有する。なお、この形態では、第１の遮蔽区分３３は、例えば高分子材料或いは金属材で作られる。

複数の第２の遮蔽区分３４は、中空領域３２に第１の遮蔽区分３３と交錯して配置されるように互いに第１の方向４１に沿って間隔をあけて並ぶと共に、それぞれ第１の方向４１と直交すると共に第２の方向４２と逆向きである第３の方向４３に沿って第２の遮蔽部３１２から第１の遮蔽部３１１に向かって延伸されるように形成され、第２の遮蔽部３１２と連結された第２の固定端部３４１と、第１の遮蔽部３１１に連結されずに第１の遮蔽部３１１から離れた第２の自由端部３４２とを有する。なお、この形態では、第２の遮蔽区分３４は、例えば高分子材料或いは金属材で作られる。

第１の方向４１沿いに隣接した第１の遮蔽区分３３同士の間に第２の遮蔽区分３４が介在されるように、第１の自由端部３３２と第２の自由端部３４２とが交錯すると共に、第１の方向４１沿いに隣接した第１の自由端部３３２同士の間に第２の自由端部３４２が延伸されて介在されて配置されている。この形態では、印刷用スクリーン版を長く使用し、印刷スクリーン効果を上げるために、第１の遮蔽区分３３の第２の方向４２沿いの長さをＬ１、第２の遮蔽区分３４の第３の方向４３沿いの長さをＬ２としたとき、Ｌ１がＬ２よりも小であることが好ましい。また、Ｌ１としては、Ｌ１＜６００μｍであることが好ましく、５０〜４００μｍであることがより好ましい。また、隣接した第１の遮蔽区分３３同士の間に延伸されて介在された第２の遮蔽区分３４の延伸部分の長さをＬ３としたとき、Ｌ３≦２００μｍであると良い。

この形態では、本発明に係る印刷用スクリーン版において、図１に示されているように、遮蔽領域３１を第１の遮蔽領域、中空領域３２を第１の中空領域としたとき、マスク層３は更に、第１の遮蔽領域３１とは第２の方向４２に沿って第３の中空領域３５をあけて並ぶように設けられた第２の遮蔽領域３１´を有する。第３の中空領域３５には複数の第３の遮蔽区分３６と複数の第４の遮蔽区分３７とが配置されている。

第２の遮蔽領域３１´は、第１の遮蔽領域３１と同様に、第２の中空領域３２´をあけて並ぶ複数の第３の遮蔽部３１１´と複数の第４の遮蔽部３１２´を設けている。第２の中空領域３２´には複数の第５の遮蔽区分３３´と複数の第６の遮蔽区分３４´とが配置されている。第３の遮蔽部３１１´と第４の遮蔽部３１２´とは、第１の方向４１に沿って第２の方向４２沿いに延伸される複数の線状開口３１３をあけて並ぶように配置されている。第３の遮蔽部３１１´と第２の遮蔽部３１２は、第３の中空領域３５をあけて並ぶように配置されている。なお、第２の中空領域３２´と第３の中空領域３５とは、第１の中空領域３２と同様に形成され、第３の遮蔽区分３６、第４の遮蔽区分３７及び第５の遮蔽区分３３´、第６の遮蔽区分３４´は第１の遮蔽区分３３、第２の遮蔽区分３４と同様に設けられているので、詳しい説明を省く。

本発明に係る印刷用スクリーン版は、図４に示されているように、太陽電池５の電極５１を印刷するときに用いられるものである。太陽電池５は、電極５１の他に、光電変換のための基板５２を有し、電極５１は基板５２の表面に配置されている。電極５１は、一例として、バスバー電極５１１と、互いに間隔をあけて並ぶと共にバスバー電極５１１と連結して隣接したバスバー電極５１１を接続しているフィンガー電極５１２とを含んでいる。

次に、本発明に係る印刷用スクリーン版を用いて太陽電池の電極を形成する一例について、図１、図４〜６を参照して説明する。

ステップ６１では、太陽電池製造用の基板５２を用意する。図４に示されているように、この基板５２は、例えばシリコン基板で、基板５２の表面にエミッタ層が形成されている。エミッタ層が形成されたことによって、基板５２とエミッタ層との一方がｎ型半導体、他方がｐ型半導体としてｎ型とｐ型の半導体を接合したｐｎ接合構造をもつように構成され、光起電力効果の発生源とする。

ステップ６２では、本発明に係る印刷用スクリーン版を基板５２上に設置する。

ステップ６３では、導電性ペーストを塗布すると共にブレード部材７をもって掻き取り方向としての第２の方向４２に沿って導電性ペーストを削りながら移動し、導電性ペーストが印刷用スクリーン版を通過して導電性ペーストが基板５２に被覆される。導電性ペーストが印刷用スクリーン版の第１の中空領域３２と第２の中空領域３２´と第３の中空領域３５及び複数の線状開口３１３を通過して基板５２に被覆しながら電極パターンが形成される。このように、印刷用スクリーン版の第１の中空領域３２と第２の中空領域３２´と第３の中空領域３５とを通過して基板５２に被覆された導電性ペーストによってバスバー電極５１１が形成され、複数の線状開口３１３を通過して基板５２に被覆された導電性ペーストによってフィンガー電極５１２が形成される。なお、上記説明のように、ブレード部材７で掻き取る方向とは、スクリーン印刷工程におけるスクリーン印刷方向としての方向であり、即ち第２の方向４２がスクリーン印刷方向である。

ステップ６４では、導電性ペーストが所定部位に覆われて形成された電極パターンを熱処理して所定のパターンになったバスバー電極５１１とフィンガー電極５１２とを含む電極５１が得られる。より詳しく説明すると、電極パターンが形成された基板５２に対して例えばプレヒートでベークし、次に、プレヒートよりも高い温度で焼成（ｆｉｒｉｎｇ）の熱処理をより長く行って導電性ペーストを硬化させることによって電極５１が形成される。

本形態において、印刷用スクリーン版は、複数の第１の遮蔽区分３３が第１の遮蔽部３１１と繋がるように設けられ、且つ、複数の第１の遮蔽部３１１が第２の遮蔽部３１２の一部と対応するように設けられているので、対応部位におけるメッシュ部材２の細線２１がほぼ同一の高さに保たれる。このようにすると、ブレード部材７が第１の遮蔽部３１１から複数の第１の遮蔽区分３３に移動されたとき、上がったり下がったりすることなくほぼ同一高さで移動することができるため、ブレード部材７が第２の遮蔽区分３４の第１の遮蔽部３１１側の第２の自由端部３４２に当たることがなくなる。従って、第２の遮蔽区分３４の第２の自由端部３４２が、移動しているブレード部材７による押圧力を受けずに済み、第２の遮蔽区分３４が簡単に破損することがなくなるので、印刷用スクリーン版が長く使用できる。

以上のように、互いに間隔をおいて設けられた第１の遮蔽区分３３と第２の遮蔽区分３４によって導電性ペーストを適当に阻むことができるので、導電性ペーストの使用量を減らすことができ、且つ、導電性ペーストの使用量を減らしても、導線と安定して連結されるほどの表面粗さを有するバスバー電極５１１を印刷することができる。

また、第２の遮蔽区分３４の第２の自由端部３４２が第１の遮蔽部３１１に連結されずに隣接した第１の遮蔽区分３３の第１の自由端部３３２同士の間に差し込まれるように延伸されているので、第２の遮蔽区分３４及び第１の遮蔽部３１１の間の間隔にて、電極５１を形成する導電性ペーストを通過させることができる。従って、従来の第１の遮蔽部１２１と第２の遮蔽部１２２とを連結するように配置された遮蔽区分１２５によって、メッシュ部材１１を通過した導電性ペーストの量が少なくなる問題点を解消することができるので、形成されたバスバー電極の一部が窪んだりして、導線と接触しないボイドが発生する問題点もなくなる。これによって、導線との接着が強固になり、バスバー電極５１１の導電性をも高めることができるので、太陽電池製品の信頼性が向上することができる。

なお、本形態に係る印刷用スクリーン版において、それぞれ図１に示されている遮蔽領域３１と複数の第３の遮蔽区分３６と複数の第４の遮蔽区分３７及び複数の第５の遮蔽区分３３´と複数の第６の遮蔽区分３４´とによる作用効果は、第１の遮蔽区分３３と第２の遮蔽区分３４とによる作用効果と同じなので、詳しい説明を省く。また、太陽電池５の電極５１は、バスバー電極を１つだけ設けるようにすることもできるので、第２の中空領域３２´、第３の中空領域３５、複数の第５の遮蔽区分３３´、複数の第６の遮蔽区分３４´、第３の遮蔽区分３６、第４の遮蔽区分３７などを配置しなくてもよい。

また、上述したように、第１の遮蔽区分３３の第２の方向４２沿いの長さＬ１は６００μｍよりも小であることが好ましく、５０〜４００μｍであることがより好ましいが、これは、第１の遮蔽区分３３がメッシュ部材２とより安定した連結を形成する長さを有する場合、スクリーン印刷の際にブレード部材７が第１の遮蔽区分３３にて数回掻き取りながら移動しても、第１の遮蔽区分３３は、簡単に破損しない強度を備えているため簡単に脱落することがなくなり、印刷用スクリーン版が長く使用できるからである。その一方、Ｌ１が６００μｍよりも長いと、導電性ペーストの通過を阻んで、基板５２に被覆された導電性ペーストの量が足りなくなり、基板５２における電極５１が形成される部位にボイドができてしまうおそれがある。

また、上述したように、隣接した第１の遮蔽区分３３同士の間に介在された第２の遮蔽区分３４の延伸部分の長さＬ３は、Ｌ３≦２００μｍであることが好ましいが、これは、Ｌ３が２００μｍに等しい又はより短いと、導電性ペーストを阻む効果がよく、ブレード部材７による掻き取りに耐えられるので、第１の遮蔽区分３３又は第２の遮蔽区分３４が簡単に破損、脱落することがなくなるからである。

以上により、複数の第１の遮蔽区分３３と第２の遮蔽区分３４を配置していることによって、従来の印刷用スクリーン版による利点を持っていると共に従来の印刷用スクリーン版による欠点を改善することができる。更に、本発明に係る印刷用スクリーン版によれば、導線との接着が強固な上に、品質が良好に保たれることが可能な電極５１を印刷することができる。

（第２の実施形態）
図７は、他の実施形態に係る印刷用スクリーン版を示す上面図である。この実施形態では、第１の遮蔽部３１１と第２の遮蔽部３１２の間にある第１の中空領域３２に複数の第１の遮蔽ユニット３３０と複数の第２の遮蔽ユニット３４０とを配置している。

複数の第１の遮蔽ユニット３３０は、第１の方向４１沿いに間隔をあけて並ぶと共に第２の方向４２沿いに延伸されて形成されており、第２の方向４２沿いに間隔をあけて並ぶ第１の遮蔽区分３３を有する。この形態では、第１の遮蔽部３１１に最も近い第１の遮蔽区分３３が第１の遮蔽部３１１と連結され、第２の遮蔽部３１２に最も近い第１の遮蔽区分３３が第２の遮蔽部３１２と連結されている。

複数の第２の遮蔽ユニット３４０における一部と複数の第１の遮蔽ユニット３３０における一部とが第１の方向４１に沿って交錯して配置されている。また、第２の遮蔽ユニット３４０は、第１の遮蔽部３１１と連結されずに、第２の方向４２に沿って間隔をあけて並ぶ複数の第２の遮蔽区分３４を有する。第２の遮蔽区分３４はそれぞれ第２の方向沿いに互いに隣接した第１の遮蔽区分３３同士の間隔に対応して、第１の方向４１沿いに隣接した第１の遮蔽区分３３の間に差し込むように第２の方向４２沿いに延伸されて配置されている。

本実施形態において、印刷用スクリーン版は、複数の第１の遮蔽区分３３の一部によって第１の遮蔽部３１１と連結されているので、メッシュ部材２の細線の高さが異なる現象を軽減することができ、且つブレード部材７が第２の遮蔽区分３４或いは第１の遮蔽区分３３の第１の遮蔽部３１１側の端部に押し当たることを避けることができる。

なお、第１の遮蔽区分３３の一部が第１の遮蔽部３１１及び第２の遮蔽部３１２と連結され、第１の遮蔽区分３３の他部と第２の遮蔽区分３４とは第１の遮蔽部３１１又は第２の遮蔽部３１２に連結されていない上、第１の遮蔽区分３３及び第２の遮蔽区分３４とメッシュ部材２との連結力も限られているため、本実施形態に係る印刷用スクリーン版を使用してブレード部材７による掻き取りを数回行うと、第１の遮蔽部３１１又は第２の遮蔽部材３１２に連結されていない第１の遮蔽区分３３の他部と第２の遮蔽区分３４がメッシュ部材２から破損したりはずれたりする。このことから、第１の実施形態に係る印刷用スクリーン版（図１）は第２の実施形態に係る印刷用スクリーン版（図７）よりも長く使用できることが分かる。

本発明に係る印刷用スクリーン版は、太陽電池電極の製造に有用である。

２ メッシュ部材
２１ 細線
３ マスク層
３１ 第１の遮蔽領域
３１´ 第２の遮蔽領域
３１１ 第１の遮蔽部
３１２ 第２の遮蔽部
３１１´ 第３の遮蔽部
３１２´ 第４の遮蔽部
３１３ 線状開口
３２ （第１の）中空領域
３２´ 第２の中空領域
３５ 第３の中空領域
３３０ 第１の遮蔽ユニット
３４０ 第２の遮蔽ユニット
３３ 第１の遮蔽区分
３３１ 第１の固定端部
３３２ 第１の自由端部
３４ 第２の遮蔽区分
３４１ 第２の固定端部
３４２ 第２の自由端部
３６ 第３の遮蔽区分
３７ 第４の遮蔽区分
３３´ 第５の遮蔽区分
３４´ 第６の遮蔽区分
４１ 第１の方向
４２ 第２の方向（掻き取り方向）
４３ 第３の方向
５ 太陽電池
５１ 電極
５１１ バスバー電極
５１２ フィンガー電極
５２ 基板
６１〜６４ ステップ
７ ブレード部材
Ｌ１〜Ｌ３ 長さ

Claims (8)

1. メッシュ部材と、前記メッシュ部材に固定されたマスク層とを備えているものであって、
   前記マスク層は、
   中空領域をあけて並ぶように設けられた第１の遮蔽部と第２の遮蔽部とを有する遮蔽領域と、
   前記第１の遮蔽部と前記第２の遮蔽部の間に前記中空領域に第１の方向に沿って間隔をあけて並ぶと共に前記第１の遮蔽部と連結されるように前記第１の方向と異なる方向である第２の方向に沿って延伸されて形成されており、前記第１の遮蔽部と連結された第１の固定端部と、前記第１の固定端部の反対側であって前記第２の遮蔽部に連結されずに前記第２の遮蔽部から離れた第１の自由端部とを有する複数の第１の遮蔽区分と、
   前記中空領域に前記第１の遮蔽区分と交錯して配置されるように互いに前記第１の方向に沿って間隔をあけて並ぶと共に、それぞれ前記第１の方向と直交すると共に前記第２の方向と逆向きである第３の方向に沿って前記第２の遮蔽部から前記第１の遮蔽部に向かって延伸されて形成され、前記第２の遮蔽部と連結された第２の固定端部と、前記第２の固定端部の反対側であって前記第１の遮蔽部に連結されずに前記第１の遮蔽部から離れた第２の自由端部とを有する複数の第２の遮蔽区分と、を有し、
   前記第１の方向沿いに隣接した前記第１の遮蔽区分同士の間に前記第２の遮蔽区分が延伸されて介在されるように、前記第１の自由端部と前記第２の自由端部とが交錯すると共に、前記第１の方向沿いに隣接した前記第１の自由端部同士の間に前記第２の自由端部が介在されて配置され、
   前記第１の遮蔽区分の前記第２の方向沿いの長さが、前記第２の遮蔽区分の前記第３の方向沿いの長さよりも小であることを特徴とする印刷用スクリーン版。
2. 前記第１の遮蔽区分は、高分子材料或いは金属材で作られ、前記第２の遮蔽区分は、高分子材料或いは金属材で作られることを特徴とする請求項１に記載の印刷用スクリーン版。
3. 前記第１の遮蔽区分の前記第２の方向沿いの長さは、６００μｍよりも小であることを特徴とする請求項１に記載の印刷用スクリーン版。
4. 前記第１の遮蔽区分の前記第２の方向沿いの長さは、５０〜４００μｍであることを特徴とする請求項３に記載の印刷用スクリーン版。
5. 隣接した前記第１の遮蔽区分同士の間に延伸されて介在された前記第２の遮蔽区分の延伸部分の長さが２００μｍに等しいかより小であることを特徴とする請求項１に記載の印刷用スクリーン版。
6. 前記第１の遮蔽部と前記第２の遮蔽部とはそれぞれ、前記第１の方向に沿って前記第２の方向沿いに延伸される複数の線状開口をあけて並ぶように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の印刷用スクリーン版。
7. 前記第２の方向は、前記印刷用スクリーン版を用いて印刷するときのスクリーン印刷方向であることを特徴とする請求項１に記載の印刷用スクリーン版。
8. 太陽電池製造用の基板を用意するステップと、
   前記基板の上に請求項１〜６のいずれかの請求項に記載の印刷用スクリーン版を設置するステップと、
   導電性ペーストを前記印刷用スクリーン版に塗布すると共に、ブレード部材を持って前記第２の方向に沿って前記導電性ペーストを削りながら移動し、前記導電性ペーストが前記印刷用スクリーン版を通過して、前記導電性ペーストが前記基板に被覆されて電極パターンが形成されるステップと、
   前記電極パターンを熱処理して電極を形成するステップと
   を有することを特徴とする太陽電池電極の製造方法。

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