JP2011201321A

JP2011201321A - マスク

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Publication number: JP2011201321A
Application number: JP2011154059A
Authority: JP
Inventors: Masaichi Aizawa; 政一相沢; Masanori Nakamura; 昌敬中村
Original assignee: Bon Mark Co Ltd
Current assignee: Bon Mark Co Ltd
Priority date: 2011-07-12
Filing date: 2011-07-12
Publication date: 2011-10-13
Anticipated expiration: 2028-07-16
Also published as: JP5395850B2

Abstract

【課題】強度の高いメッシュで、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布できるメッシュを用いて製造されたマスクを得る。
【解決手段】矩形領域の中央部に菱形の孔が形成され、矩形領域の端部に菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が形成されたメッシュを有するマスクであって、矩形領域の角を除く端部に、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成され、矩形領域の角に、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成され、ホームベース状の五角形の孔は線対称の形状となるように配置されており、ダイヤモンド状の五角形の孔は矩形領域の対角線上に対となるように配置される。
【選択図】図１

Description

本発明は、マスクに関する。

めっきにより形成され、印刷パターン開口を有する層と、めっきにより形成され、メッシュパターン開口を有する層とが積層された２層構造のマスクがある。特に、２層構造のマスクにおいて、印刷パターン開口の縁と重なる部分に、メッシュパターン開口を形成する網が鋭角でつながらないようにしたマスクがある（特許文献１参照）。これにより、印刷時に、印刷パターン開口の縁と重なる部分に形成されたメッシュパターン開口にインクペーストが詰まり固まってしまうことを防止している。また、ハニカム構造状に複数の孔が形成されたメッシュがある（特許文献２参照）。

特開２００６−３４７０９９号公報特開平８−５２９５１号公報

従来のメッシュには、メッシュ形成領域の端部に形成された孔の形状、サイズを他の部分（他の端部）に形成された孔の形状、サイズとの関係から制御して製造されたものはない。そのため、従来のメッシュでは、端部におけるインクペーストの透過量は、他の部分におけるインクペーストの透過量とは異なる。したがって、例えば、従来のメッシュを用いたマスクで印刷を行った場合、メッシュが形成された部分の端部に、他の部分と均一にインクペーストを塗布することができない。
また、メッシュ形成領域の端部におけるインクペーストの透過量を制御するため、端部に形成された孔の形状を、他の部分に形成された孔との規則性を無視して変形すると、メッシュの強度が低下する虞がある。

本発明は、強度の高いメッシュであって、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布することを可能とするメッシュを用いて製造されたマスクを提供することを目的とする。

この発明に係るマスクは、所定の矩形領域の中央部には正方形を４５度傾けた図形の菱形の孔が規則的に形成され、矩形領域の端部（周辺部）には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、矩形領域の角（四隅）を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とする。

また、矩形領域の中央部に形成された菱形の孔の面積と矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔の面積とを互いに同一面積とし、矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔の面積を菱形の孔及びホームベース状の五角形の孔の面積よりも小さくしたことを特徴とする。

また、この発明に係る２層構造マスクは、所定の矩形領域の中央部には正方形を４５度傾けた図形の菱形の孔が規則的に形成され、矩形領域の端部（周辺部）には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられ印刷開口を有する印刷パターン層を備えた２層構造マスクであって、印刷パターン開口用のメッシュを有する層は、矩形領域の角（四隅）を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とする。

本発明に係るマスクは、矩形領域の中央部には同一形状の菱形の孔が規則的に形成されており、中央部に均一にインクペーストを塗布することができる。また、本発明に係るマスクは、矩形領域の角を除く端部には対向する端部に形成された五角形の孔と対称形状の五角形の孔が形成されており、対向する端部間で均一にインクペーストを塗布することができる。さらに、本発明に係るマスクは、端部まで規則的に孔が形成されているため、強度が弱い部分がない。

実施の形態１に係るメッシュ３の開口形状を示す図。実施の形態１に係るメッシュパターン作成装置１００の機能を示す機能ブロック図。実施の形態１に係るメッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャート。菱形の幅の計算の説明図。菱形を並べる処理の説明図。端部に形成された多角形と隣の菱形とを併合する処理の説明図。図形の面積を調整する処理の説明図。リブ１４の幅を調整する処理の説明図。菱形を並べる処理の他の例の説明図。菱形を移動する処理の説明図。印刷パターン開口５１部分にメッシュを有する１層構造のマスクを製造する処理の説明図。印刷パターン開口５１部分にメッシュを有する１層構造のマスクを示す図。メッシュを有する層と、印刷パターン開口５１を有する樹脂層とを有する２層構造のマスクを製造する処理の説明図。メッシュを有する層と、印刷パターン開口５１を有する金属層とを有する２層構造のメタルマスクを製造する処理の説明図。メッシュパターン作成装置１００のハードウェア構成の一例を示す図。

実施の形態１．
この実施の形態では、所定の矩形領域１０に辺の長さ（幅）Ｓ５が同一の複数の菱形（正規形状の図形の一例）の孔３１が形成されたメッシュ３について説明する。

図１は、この実施の形態に係るメッシュ３の開口形状を示す図である。
図１に示すように、この実施の形態に係るメッシュ３は、指定されたＸ×Ｙの矩形領域１０に、複数の辺の長さ（幅）Ｓ５が同一の菱形の孔３１が規則的に形成されている。矩形領域１０の中央部には菱形の孔３１が形成され、矩形領域１０の端部（周辺部）には菱形の孔３１を形成する菱形の一部の辺と矩形領域１０を成す辺の一部とにより多角形（変形形状の図形の一例）の孔３２，３３が形成されている。矩形領域１０の角（四隅）を除く端部には、矩形領域１０を成す辺の一部を一辺とする五角形の孔３２が形成されている。矩形領域１０の角には、矩形領域１０を成す２つの辺の一部を一辺とする五角形の孔３３が形成されている。各孔３１，３２，３３の間には所定の幅のリブ１４が形成されている。
矩形領域１０の端部に形成された多角形の孔３２，３３は、対向する端部に形成された多角形の孔３２，３３と線対称の形状である。特に、矩形領域１０の角を除く縦方向の端部に形成された五角形の孔３２の開口面積は、菱形の孔３１の開口面積と同一である。
以上のように、この実施の形態に係るメッシュ３は、矩形領域１０の中央部には複数の同一の菱形の孔３１が形成されているため、矩形領域１０の中央部全体に均一にインクペーストを塗布することができる。また、矩形領域１０の角を除く縦方向の端部には、菱形の孔３１と同一開口面積の五角形の孔３２が形成されているため、矩形領域１０の中央部とともに均一にインクペーストを塗布することができる。
また、この実施の形態に係るメッシュ３は、規則的に孔が形成されているため強度が高い。

次に、この実施の形態に係るメッシュ３のメッシュパターンデータの作成方法について説明する。
図２は、メッシュパターンデータを作成するメッシュパターン作成装置１００の機能を示す機能ブロック図である。図３は、メッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャートである。
メッシュパターン作成装置１００は、データ入力部１０１、計算部１０２、敷詰部１０３、併合部１０４、調整部１０５、データ生成部１０６を備える。メッシュパターン作成装置１００は以下のように動作することで、メッシュパターンデータを作成する。
＜Ｓ３１：データ入力ステップ＞
データ入力部１０１は、矩形領域１０の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）と、菱形の孔３１の最低サイズと、リブ１４の幅と、加工限界値とを入力データとして入力して記憶装置に記憶する。
なお、以下の説明では、菱形を正方形を４５度傾けた図形とする。そして、菱形の孔３１のサイズは菱形の一辺の長さ（図１のＳ４）で表す。ここでは、菱形を正方形を４５度傾けた図形としたため、入力された菱形の一辺の長さＳ４から菱形の幅（対角線の長さ，図１のＳ５）を計算することができる。つまり、入力された一辺の長さＳ４の約１．４１倍が菱形の幅Ｓ５となる。
また、菱形の孔３１の最低サイズを入力せず、単位面積（例えば、１インチ）当たりに形成したい孔の最大数（メッシュ数）を入力してもよい。この場合、入力されたメッシュ数とリブ１４の幅とから、菱形の孔３１の最低サイズ（一辺の長さＳ４）を計算することができる。
＜Ｓ３２：計算ステップ＞
計算部１０２は、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら矩形領域１０の縦方向に並べると丁度収まる所定の菱形の幅Ｓ５であって、指定された幅以上で指定された幅に最も近い菱形の幅Ｓ５を処理装置により計算する。
つまり、図４に示すように、計算部１０２は、矩形領域１０の上の端部を成す辺に接する菱形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら同じ幅の菱形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺に接する菱形で終わる菱形の幅Ｓ５を計算する。特に、計算部１０２は、データ入力ステップで入力された菱形の幅以上で入力された幅に最も近い幅Ｓ５を計算する。
＜Ｓ３３：敷詰ステップ＞
敷詰部１０３は、計算ステップで計算した幅の菱形を矩形領域１０を覆うように間にリブ１４を挟みながら処理装置により規則的に並べる。
例えば、図５に示すように矩形領域１０の左右中央から順に多角形と菱形とを並べる。つまり、まず、図５（ａ）に示すように、矩形領域１０の左右の中心と、菱形の左右の中心とが一致するように、計算ステップで計算した幅Ｓ５の菱形の列であって、縦方向に丁度収まる菱形の列を並べる。縦方向に丁度収まる菱形の列とは、矩形領域１０の上の端部を成す辺に接する幅Ｓ５の菱形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら幅Ｓ５の菱形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺に接する幅Ｓ５菱形で終わる列である。次に、図５（ｂ）に示すように、三角形を両端に有する列を、先に並べた菱形の列の左右両隣に指定された幅のリブ１４を間に挟んで並べる。三角形を両端に有する列とは、矩形領域１０の上の端部を成す辺の一部を一辺とする縦方向の幅が幅Ｓ５の１／２からリブ１４の幅Ｌの１／２を引いた幅である三角形から始まって、指定された幅のリブ１４を間に挟みながら幅Ｓ５の菱形を並べて、矩形領域１０の下の端部を成す辺を一辺とする縦方向の幅が幅Ｓ５の１／２からリブ１４の幅Ｌの１／２を引いた幅であるの三角形で終わる列である。そして、図５（ｃ）に示すように、矩形領域１０全体を覆うまで、菱形の列と三角形を両端に有する列とを交互に並べる。
＜Ｓ３４：併合ステップ＞
併合部１０４は、矩形領域１０の横方向の端部に形成された多角形が加工限界値未満の場合には、多角形と隣接する菱形又は台形と多角形とを処理装置により併合する。
例えば、図６に示すように、横方向の端部に形成された多角形をその隣の菱形及び多角形（三角形）と併合する。つまり、図６（ａ）に示すように、横方向の端部に形成された多角形が小さく、加工限界値未満の場合、まず横方向の端部に形成された多角形を削除する。次に、その隣の菱形及び多角形（三角形）の縦方向の頂点から矩形領域１０の縦方向の端部を成す辺と平行な辺を矩形領域１０の横方向の端部まで伸ばす。そして、図６（ｂ）に示すように、上記隣の菱形及び多角形（三角形）の辺と矩形領域１０の横方向の端部を成す辺とから大きい多角形（五角形及び台形）を形成する。
なお、図６では、横方向の端部に形成された多角形の隣の列は、菱形及び多角形（三角形）からなる列であった。しかし、上記隣の列は、菱形のみが形成された列の場合もある。この場合も上記と同様に、まず横方向の端部に形成された多角形を削除する。次に、その隣の菱形の縦方向の頂点から矩形領域１０の縦方向の端部を成す辺と平行な辺を矩形領域１０の横方向の端部まで伸ばす。そして、上記隣の菱形の辺と矩形領域１０の横方向の端部を成す辺とから大きい多角形（五角形）を形成すればよい。
＜Ｓ３５：面積調整ステップ＞
調整部１０５は、横方向の端部を除く縦方向の端部に形成された多角形（三角形）の面積が、菱形の面積と同一の面積となるように処理装置により調整する。
例えば、図７（ａ）に示す状態であった場合に、図７（ｂ）に示すように、縦方向の端部に形成された菱形の横方向の端点から矩形領域１０の縦方向の端部へ垂線を引き、五角形を形成する。次に、図７（ｃ）に示すように、各菱形と横方向の端部の五角形とを縦方向に伸長する。さらに、菱形と五角形とが伸長された分だけ、縦方向の端部に形成された五角形を縮小する。そして、縮小された五角形の面積を拡大された菱形の面積と同一にする。
＜Ｓ３６：リブ調整ステップ＞
調整部１０５は、さらに、五角形と五角形の間に形成された幅の広いリブ１４を、データ入力ステップで指定された幅のリブ１４に処理装置により調整する。
図８（ａ）に示すように、五角形と五角形の間に形成されたリブ１４の幅Ｌ８は、菱形と菱形、又は菱形と五角形との間に形成されたリブ１４の幅Ｌ７（指定されたリブ１４の幅）よりも広い。そこで、図８（ｂ）に示すように、調整部１０５は、五角形の面積を広げることにより、五角形と五角形の間に形成されたリブ１４の幅Ｌ７を指定されたリブ１４の幅Ｌ７にする。また、端部に形成された五角形の面積を広げたため、端部に形成された五角形は、菱形と同一面積でなくなってしまう。そこで、菱形を拡大するとともに、端部に形成された五角形を縮小して、角を除く、端部に形成された五角形の面積を菱形と同一面積にする。
＜Ｓ３７：データ生成ステップ＞
データ生成部１０６は、併合ステップ（Ｓ３４）及びリブ調整ステップ（Ｓ３６）で調整した菱形と五角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成して記憶装置に記憶する。
このメッシュパターンデータに基づき、メッシュ３を製造することで、図１に示すようなメッシュ３を製造することができる。メッシュ３の製造方法については後の実施の形態において説明する。

上記説明において、敷詰ステップ（Ｓ３３）では、横方向の中央から順に多角形と菱形とを並べた。しかし、図９に示すように、矩形領域１０の端（図９では左端）から順に菱形を並べてもよい。まず、図９（ａ）に示すように、矩形領域１０の左の端部に、計算ステップ（Ｓ３２）で計算した菱形と同一面積の五角形であって、縦方向の幅が計算ステップで計算した幅Ｓ５である五角形を中央部に有し、縦方向の幅が幅Ｓ５の１／２からリブ１４の幅Ｌの１／２を引いた幅である台形を両端部に有する列を並べる。次に、図９（ｂ）に示すように、先に並べた列の隣に、菱形の列をリブ１４を間に挟んで並べる。次に、図９（ｃ）に示すように、上記菱形の列の隣に、三角形を両端に有する列をリブ１４を間に挟んで並べる。そして、図９（ｄ）に示すように、三角形を両端に有する列と、菱形の列とを交互にリブ１４を間に挟んで並べる処理を、矩形領域１０全体を覆うまで続ける。
このように、左側から順に菱形を並べた場合、横方向の端部に形成された多角形が線対称の形状にならない場合がある。この場合には、調整部１０５は、矩形領域１０を成す辺と敷詰ステップで並べた菱形の一部の辺とから構成された多角形が、対向する端部の多角形と対称となるように処理装置により調整する形状調整ステップを敷詰ステップ（Ｓ３３）又は併合ステップ（Ｓ３４）の後に実行する。
例えば、図１０に示すように、調整部１０５は、菱形と多角形とを横方向へずらすことにより、横方向に形成された多角形を線対称となるように調整する。つまり、図１０（ａ）に示すように、敷詰ステップで並べられた横方向の端部の多角形が非対称であるとする。すなわち、図１０（ａ）では、左の端部の多角形の方が、右の端部の多角形よりも小さい。そこで、菱形と多角形とを右へずらす。そして、図１０（ｂ）に示すように、横方向の端部の多角形が線対称とする。

なお、敷詰ステップ（Ｓ３３）での菱形の敷き詰め方法は、上述した方法に限られず、どのような方法であっても構わない。しかし、上述した方法でない場合には、横方向の端部だけでなく、縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない可能性がある。縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない場合には、敷詰ステップ（Ｓ３３）又は併合ステップ（Ｓ３４）の後で線対称となるように調整する必要がある。

また、上記説明では、１つの矩形領域に、その矩形領域に合ったメッシュパターンを生成することを説明した。しかし、データ入力ステップ（Ｓ３１）で複数の矩形領域を有する領域データ（例えば、ガーバーデータ）を入力し、計算ステップ（Ｓ３２）以下の処理（メッシュパターン生成ステップ）で、領域データが有する複数の矩形領域の各矩形領域について、その矩形領域に合った（適した）メッシュパターンデータを生成するとしてもよい。ここで、矩形領域の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）は、矩形領域毎に異なっていてもよい。
なお、領域データは、各矩形領域の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）と、各矩形領域の位置（例えば、中心の座標）との情報を有する。つまり、データ入力ステップ（Ｓ３１）でデータ入力部１０１は、領域データが入力されれば、領域データから各矩形領域の縦方向、横方向の幅（Ｘ，Ｙの長さ）を取得することができる。また、データ生成ステップ（Ｓ３７）でデータ生成部１０６は、各矩形領域の位置の情報に基づき、各矩形領域を配置することができる。つまり、データ生成部１０６は、所定の位置に配置した複数の矩形領域の各矩形領域について、その矩形領域に合ったメッシュパターンデータを生成することができる。データ生成部１０６は、例えば、各矩形領域が印刷パターンを示す場合には、複数の印刷パターン開口の各印刷パターン開口部分について、その印刷パターン開口部分に合ったメッシュパターンデータを生成することができる。

実施の形態２．
この実施の形態では、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示すメッシュパターンを印刷パターン開口５１部分に有するマスク５０を製造する方法について説明する。また、製造したメッシュの層と、印刷パターン開口を有する層とを有する２層構造のマスクを製造する方法について説明する。

まず、図１１に基づき、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示す菱形構造等のメッシュパターンを印刷パターン開口５１部分に有するマスク５０を製造する方法について説明する。
初めに、図１１（ａ）に示すように、基材４１を準備する。基材４１の材質は例えばＳＵＳ（ステンレス鋼，ＳｔａｉｎｌｅｓｓＵｓｅｄＳｔｅｅｌ）、鉄板、アルミニウム等の導電性基材を用いる事ができる。または、導電性皮膜が形成された非導電性基材でもよく、例えば、ガラスにＮｉ，Ｃｒ、ＩＴＯ（ＩｎｄｉｕｍＴｉｎＯｘｉｄｅ）膜等の導電性物質を蒸着した基材でもよい。そして、図１１（ｂ）に示すように、基材４１上にレジスト４２をラミネートする。
次に、印刷パターン開口５１部分に、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータを紫外線レーザーを照射する直描機に入力する。そして、メッシュパターンデータが示すメッシュパターンを直描機を用いてレジスト４２に直接描画する。つまり、メッシュパターンデータが示すメッシュパターン部分を露光する。そして、現像する。すると、図１１（ｃ）に示すように、メッシュパターンに対応する開口となる位置にのみレジスト４２が残る。
次に、図１１（ｄ）に示すように、レジスト４２が形成された領域を除いて、基材４１の上にメッシュパターン形状の金属層４３をニッケル等のめっきにより形成する。つまり、メッシュパターンに対応する開口となる位置に残されたレジスト４２以外の部分に金属層４３を形成するため、金属層４３はメッシュパターンに対応する開口を有することになる。
そして、図１１（ｅ）に示すように、レジスト４２を剥離し、金属層４３を基材４１から剥がす。これにより、印刷パターン開口５１部分にリブ１４を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有するマスク５０が金属層４３により形成される。つまり、印刷パターン開口５１部分に、図１に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するマスク５０が製造される。
なお、上記説明では、直描機を用いてレジスト４２を露光した。しかし、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示すメッシュパターンを有するパターンフィルムを作成して、作成したパターンフィルム、ガラス活版等を用いてレジスト４２を露光してもよい。
また、複数の矩形領域を有する領域データを入力してメッシュパターンデータを生成した場合、複数の矩形領域の各矩形領域を印刷パターン開口５１として、印刷パターン開口５１部分に、図１に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するマスク５０を製造することができる。つまり、複数の印刷パターン開口５１を有するマスク５０であって、各印刷パターン開口５１部分にメッシュを有するマスク５０を製造する場合には、予め各印刷パターン開口５１を矩形領域とした領域データを入力としてメッシュパターンデータを生成すれば、各印刷パターン開口５１部分に、その印刷パターン開口５１に合ったメッシュパターンを有するマスク５０を製造することができる。

図１２は、印刷パターン開口５１部分に、図１１に基づき説明した製造方法により製造されたメッシュを備えるマスク５０を示す図である。図１２（ａ）は、マスク５０の断面図（図１２（ｂ）のＡ−Ａ’断面図）であり、印刷パターン開口５１部分には本来メッシュパターンが形成をされている訳であるが形状が複雑になるため、図示を省略してある。図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＤ方向から見た図である。図１２（ｃ）は、図３６（ｂ）の複数の印刷パターン開口５１のうちのある１つの印刷パターン開口５１部分に形成されたメッシュの一例を示す図である。
マスク５０には、複数の印刷パターン開口５１が形成されている。各印刷パターン開口５１には、図１２（ｃ）に示すように、図１１に基づき説明した製造方法により製造されたメッシュが形成されている。つまり、印刷パターン開口５１それぞれに、図１に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するメッシュが形成されている。
マスク５０の厚さ（板厚）が薄い場合、印刷パターン開口５１に強度がなく、印刷パターン開口５１部分から破損する虞がある。そこで、上述したように、印刷パターン部分にメッシュを持たせ、印刷パターン部分の強度を高めている。特に、上記実施の形態で説明したメッシュパターンは、ハニカム構造状等に規則的に孔が形成されているためメッシュの強度が高い。そのため、上記実施の形態で説明したメッシュパターンのメッシュを印刷パターン部分に形成することにより、マスク５０の印刷パターン部分の強度も特に高くなる。なお、図１２では、印刷パターンを矩形で示しているが、印刷パターンは完全な矩形でなくてもよい。つまり、角の部分に丸みを持った略矩形であってもよい。角の部分に丸みを持たせることにより、印刷パターンの角部分に負荷が集中し、角部分から破損することを防止できる。

次に、図１３に基づき、メッシュを有する複数の印刷パターン開口５１が形成された層（マスク５０）と、メッシュが形成された印刷パターン開口５１に重なるように形成されたメッシュ無しの印刷開口４９を有する樹脂層とを有する２層構造のマスクを製造する方法について説明する。図１３（ａ）は、マスク５０の断面図であり、印刷パターン開口５１部分には本来メッシュパターンが形成をされている訳であるが形状が複雑になるため、図示を省略してある。
図１３（ａ）、図１３（ｂ）に示すように、製造したメッシュ（金属層４３）を有する層（マスク５０）を紗張りする。図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＥ方向から見た図である。スクリーン枠４５に取り付けられた開口のある紗４６の開口内周囲にマスク５０の外周囲が接着剤等でワーク側（印刷面側）に取り付けられ、紗４６の張力によりマスク５０が外方向（スクリーン枠４５方向）へ張られた状態とする。図１３（ｂ）において、紗４６とマスク５０とはのりしろ４７部分で接着されている。すなわち、マスク５０をコンビネーション４４（紗張りされた枠）に接合する。
次に、図１３（ｃ）に示すように、コンビネーション４４に接合したマスク５０に感光性樹脂４８を塗布して乾燥又は硬化する。次に、印刷パターンを直描機を用いて、乾燥又は硬化した感光性樹脂４８に描画する。この場合もパターンフィルムを用いて露光してもよい。そして、現像すると、図１３（ｄ）に示すように、乾燥又は硬化した感光性樹脂４８にメッシュ無しの印刷開口４９が形成される。なお、印刷開口４９は、マスク５０のメッシュが形成された印刷パターン開口５１部分に重なるように形成する。
これにより、印刷パターン開口５１部分にリブ１４を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有する層（マスク５０）と、マスク５０の上面にメッシュ無しの印刷開口４９を有する樹脂層４８とを備える２層構造のマスクが製造される。つまり、図１に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有する印刷パターン開口５１を有する層（マスク５０）と、印刷開口４９を有する樹脂層４８とを有する２層構造のマスクが製造される。
なお、マスク５０を紗張りする場合、マスク５０を紗４６のワーク側ではなく、図１３（ｅ）に示すようにマスク５０をインク側（スキージ側）に接着し、紗４６の内周囲をマスク５０と感光性樹脂４８とで挟んでも構わない。

マスクの製造工程において、メッシュが紗張りされる。紗張りされるとメッシュには外方向へ引っ張る力が加わる。ここで、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータから製造されたメッシュは、メッシュパターンがハニカム構造状等に規則的に形成されているため、引っ張る力に対する強度が強い。したがって、紗張りされた場合であっても、メッシュが破れることがない。

次に、図１４に基づき、メッシュを有する複数の印刷パターン開口５１が形成された層（マスク５０）と、メッシュ無しの印刷開口４９を有する金属層とを有する２層構造のメタルマスクを製造する方法について説明する。
まず、図１１（ａ）から（ｄ）までに示すように、レジスト４２が形成された領域を除いて、基材４１の上にメッシュパターン形状の金属層４３をニッケル等のめっきにより形成する。続いて、図１４（ａ）に示すように、レジスト４２を剥離する。次に、図１４（ｂ）に示すように、製造したメッシュ（金属層４３）を有する層（マスク５０）の上にレジスト５２を形成する。次に、印刷パターンを直描機を用いて、レジスト５２に描画する。この場合もパターンフィルムを用いて露光してもよい。そして、現像すると、図１４（ｃ）に示すように、レジスト５２が印刷開口４９となる部分に形成される。次に、図１４（ｄ）に示すように、レジスト５２が形成された部分を除き、マスク５０の上に、金属層５３を形成する。そして、図１４（ｅ）に示すように、レジスト５２を剥離し、基材から剥がす。
これにより、印刷パターン開口５１部分にリブ１４を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有する複数の印刷パターン開口５１を有する層と、メッシュ無しの印刷開口４９を有する金属層５３とを有する２層構造のメタルマスクが製造される。つまり、図１に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有する印刷パターン開口５１を有する層（マスク５０）と、メッシュ無しの印刷開口４９を有する金属層５３とを有する２層構造のメタルマスクが製造される。
なお、印刷開口４９は、マスク５０のメッシュが形成された印刷パターン開口５１部分に重なるように形成する。
また、上記マスクの製造方法は一例であり、他の方法によりマスクを製造してもよい。

以上で説明したメッシュやマスクは、スクリーン印刷用のメッシュやマスクだけでなく、ボール搭載用のマスク、バンプ形成用のマスク、篩等に用いることができる。

つまり、以上の実施の形態に係るメッシュは、所定の領域の中央部において、規則的に配列された同一形状の正規孔（菱形の孔）と、上記所定の領域内の周辺部において、上記正規孔と形状が異なるが同一面積の変形孔（端部に形成された多角形の孔）とを備えることを特徴とする。
言い換えると、以上の実施の形態に係るメッシュは、所定の領域の中央部において、同一形状の正規孔（菱形の孔）を規則的に配列する正規孔形成部（正規孔を形成するリブ１４）と、上記所定の領域内の周辺部において、上記正規孔と形状が異なるが同一面積の変形孔を形成する変形孔形成部（変形孔を形成するリブ１４）とを備えることを特徴とする。

また、以上の実施の形態に係るメッシュは、所定の領域に複数の孔を有するメッシュが形成されたメッシュにおいて、上記所定の領域の辺を辺の一部とする孔と、
上記所定の領域の辺を辺の一部としない孔との面積が同一であることを特徴とする。

次に、上記実施の形態におけるメッシュパターン作成装置１００のハードウェア構成について説明する。
図１５は、メッシュパターン作成装置１００のハードウェア構成の一例を示す図である。
図１５に示すように、メッシュパターン作成装置１００は、プログラムを実行するＣＰＵ９１１（Ｃｅｎｔｒａｌ・Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ・Ｕｎｉｔ、中央処理装置、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、プロセッサともいう）を備えている。ＣＰＵ９１１は、バス９１２を介してＲＯＭ９１３、ＲＡＭ９１４、ＬＣＤ９０１（ＬｉｑｕｉｄＣｒｙｓｔａｌＤｉｓｐｌａｙ）、キーボード９０２（Ｋ／Ｂ）、通信ボード９１５、磁気ディスク装置９２０と接続され、これらのハードウェアデバイスを制御する。磁気ディスク装置９２０の代わりに、光ディスク装置、メモリカード読み書き装置などの記憶装置でもよい。

ＲＯＭ９１３、磁気ディスク装置９２０は、不揮発性メモリの一例である。ＲＡＭ９１４は、揮発性メモリの一例である。ＲＯＭ９１３とＲＡＭ９１４と磁気ディスク装置９２０とは、記憶装置（メモリ）の一例である。また、キーボード９０２、通信ボード９１５は、入力装置の一例である。また、通信ボード９１５は、通信装置の一例である。さらに、ＬＣＤ９０１は、表示装置の一例である。

磁気ディスク装置９２０又はＲＯＭ９１３などには、オペレーティングシステム９２１（ＯＳ）、ウィンドウシステム９２２、プログラム群９２３、ファイル群９２４が記憶されている。プログラム群９２３のプログラムは、ＣＰＵ９１１、オペレーティングシステム９２１、ウィンドウシステム９２２により実行される。

プログラム群９２３には、上記の説明において「データ入力部１０１」、「計算部１０２」、「敷詰部１０３」、「併合部１０４」、「調整部１０５」、「データ生成部１０６」、「変形部１０７」、「補助孔形成部１０８」等として説明した機能を実行するソフトウェアやプログラムやその他のプログラムが記憶されている。プログラムは、ＣＰＵ９１１により読み出され実行される。
ファイル群９２４には、上記の説明において「矩形領域１０の縦方向、横方向の幅」、「菱形の孔３１の最低サイズ」、「リブ１４の幅」、「加工限界値」等の情報やデータや信号値や変数値やパラメータが、「ファイル」や「データベース」の各項目として記憶される。「ファイル」や「データベース」は、ディスクやメモリなどの記録媒体に記憶される。ディスクやメモリなどの記憶媒体に記憶された情報やデータや信号値や変数値やパラメータは、読み書き回路を介してＣＰＵ９１１によりメインメモリやキャッシュメモリに読み出され、抽出・検索・参照・比較・演算・計算・処理・出力・印刷・表示などのＣＰＵ９１１の動作に用いられる。抽出・検索・参照・比較・演算・計算・処理・出力・印刷・表示のＣＰＵ９１１の動作の間、情報やデータや信号値や変数値やパラメータは、メインメモリやキャッシュメモリやバッファメモリに一時的に記憶される。
また、上記の説明におけるフローチャートの矢印の部分は主としてデータや信号の入出力を示し、データや信号値は、ＲＡＭ９１４のメモリ、その他光ディスク等の記録媒体に記録される。また、データや信号は、バス９１２や信号線やケーブルその他の伝送媒体によりオンライン伝送される。

また、上記の説明において「〜部」として説明するものは、「〜回路」、「〜装置」、「〜機器」、「〜手段」、「〜機能」であってもよく、また、「〜ステップ」、「〜手順」、「〜処理」であってもよい。また、「〜装置」として説明するものは、「〜回路」、「〜装置」、「〜機器」、「〜手段」、「〜機能」であってもよく、また、「〜ステップ」、「〜手順」、「〜処理」であってもよい。さらに、「〜処理」として説明するものは「〜ステップ」であっても構わない。すなわち、「〜部」として説明するものは、ＲＯＭ９１３に記憶されたファームウェアで実現されていても構わない。或いは、ソフトウェアのみ、或いは、素子・デバイス・基板・配線などのハードウェアのみ、或いは、ソフトウェアとハードウェアとの組み合わせ、さらには、ファームウェアとの組み合わせで実施されても構わない。ファームウェアとソフトウェアは、プログラムとして、ＲＯＭ９１３等の記録媒体に記憶される。プログラムはＣＰＵ９１１により読み出され、ＣＰＵ９１１により実行される。すなわち、プログラムは、上記で述べた「〜部」としてコンピュータ等を機能させるものである。あるいは、上記で述べた「〜部」の手順や方法をコンピュータ等に実行させるものである。

３メッシュ、１０矩形領域、１４リブ、１５第１の列、１６第２の列、３１菱形の孔、３２，３３五角形の孔、４１基材、４２，５２レジスト、４３，５３金属層、４４コンビネーション、４５スクリーン枠、４６紗、４７のりしろ、４８感光性樹脂、５０マスク、５１印刷パターン開口、１００メッシュパターン作成装置、１０１データ入力部、１０２計算部、１０３敷詰部、１０４併合部、１０５調整部、１０６データ生成部、１０７変形部、１０８補助孔形成部。

Claims

所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部（周辺部）には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されマスク。
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、ホームベース状の下側の三角形の高さとホームベース状の上側の長方形の高さとの比率を２：１としたことを特徴とする請求項１記載のマスク。
所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部（周辺部）には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とするマスク。
所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部（周辺部）には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されており、
前記矩形領域の中央部に形成された菱形の孔の面積と前記矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔の面積とを互いに同一面積とし、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔の面積を前記菱形の孔及び前記ホームベース状の五角形の孔の面積よりも小さくしたことを特徴とするマスク。
所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部（周辺部）には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられ印刷開口を有する印刷パターン層を備えた２層構造マスクであって、
前記印刷パターン開口用のメッシュを有する層は、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とする２層構造マスク。
所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部（周辺部）には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられ印刷開口を有する印刷パターン層を備えた２層構造マスクであって、
前記印刷パターン開口用のメッシュを有する層は、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す２つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、
前記矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されており、
前記矩形領域の中央部に形成された菱形の孔の面積と前記矩形領域の角（四隅）を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔の面積とを互いに同一面積とし、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔の面積を前記菱形の孔及び前記ホームベース状の五角形の孔の面積よりも小さくしたことを特徴とする２層構造マスク。
所定の矩形領域の中央部に規則的に形成される菱形は、正方形を４５度傾けた図形の菱形としたことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれかに記載のマスク又は２層構造マスク。