JP2006319253A - 電子部品実装体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2段以上の形状の凹部110を備える転写型100の凹部110に導電性材料140を充填する工程と、導電性材料140の硬化収縮により導電体160を形成し、凹部110に空間部170を形成する工程と、空間部170に第1の絶縁性樹脂180を充填する工程と、配線基板の接続端子と転写型100の凹部110とを位置合わせし、第1の絶縁性樹脂180が半硬化状態にする工程と、転写型100を剥離し、配線基板の導電体160が形成された面に第2の絶縁性樹脂を形成する工程と、導電体160と対向して、電子部品の電極端子を位置合わせし、導電体160で接続端子と電極端子を接続し、さらに第2の絶縁性樹脂を硬化する工程により電子部品実装体を作製する。
【選択図】図1
Description
図1と図2は、本発明の実施の形態1に係る電子部品実装体の製造方法を説明する工程断面図である。
以下に、図4を用いて、本発明の実施の形態2に係る電子部品実装体の製造方法について説明する。
以下に、図6を用いて、本発明の実施の形態3に係る電子部品実装体の製造方法について説明する。
110 凹部
120 導電体形成用孔
130 導電体保持用孔
140 導電性材料
150 スキージ
160 導電体
170 空間部
180 第1の絶縁性樹脂
190 転写型の中間構造体
200,400,700 配線基板
210,410,710 接続端子
220,320,520,720 第2の絶縁性樹脂
230,300,500,800 電子部品
240,310,510,810 電極端子
250,450,550,850 電子部品実装体
530,830 注入装置
540,840 隙間
820 導電層
Claims (13)
- 複数の接続端子が設けられている配線基板と、前記接続端子に対応して複数の電極端子が設けられている電子部品とを電気的に接続する電子部品実装体の製造方法であって、
複数の前記接続端子に対応する2段以上の形状の凹部を備える転写型の前記凹部に、導電性材料を充填する工程と、
前記導電性材料を加熱した後、硬化させることにより導電体を形成し、前記導電性材料の硬化収縮により前記凹部に空間部を形成する工程と、
前記空間部に第1の絶縁性樹脂を充填する工程と、
前記接続端子に対向して前記転写型の前記凹部を位置合わせして載置する工程と、
少なくとも前記第1の絶縁性樹脂が半硬化状態になる温度で加熱する工程と、
前記転写型を剥離する工程と、
前記配線基板の前記導電体が形成された面に第2の絶縁性樹脂を形成する工程と、
前記導電体と対向して、前記電子部品の前記電極端子を位置合わせする工程と、
前記導電体を介して、前記接続端子と前記電極端子を接続するとともに、前記第2の絶縁性樹脂を硬化する工程とを含むことを特徴とする電子部品実装体の製造方法。 - 複数の接続端子が設けられている配線基板と、前記接続端子に対応して複数の電極端子が設けられている電子部品とを電気的に接続する電子部品実装体の製造方法であって、
複数の前記電極端子に対応する2段以上の形状の凹部を備える転写型の前記凹部に、導電性材料を充填する工程と、
前記導電性材料を加熱した後、硬化させることにより導電体を形成し、前記導電性材料の硬化収縮により前記凹部に空間部を形成する工程と、
前記空間部に第1の絶縁性樹脂を充填する工程と、
前記電極端子に対向して前記転写型の前記凹部を位置合わせして載置する工程と、
少なくとも前記第1の絶縁性樹脂が半硬化状態になる温度で加熱する工程と、
前記転写型を剥離する工程と、
前記配線基板の前記電極端子が形成された面に第2の絶縁性樹脂を形成する工程と、
前記導電体と対向して、前記配線基板の前記接続端子を位置合わせする工程と、
前記導電体を介して、前記接続端子と前記電極端子を接続するとともに、前記第2の絶縁性樹脂を硬化する工程とを含むことを特徴とする電子部品実装体の製造方法。 - 複数の接続端子が設けられている配線基板と、前記接続端子に対応して複数の電極端子が設けられている電子部品とを電気的に接続する電子部品実装体の製造方法であって、
複数の前記接続端子に対応する2段以上の形状の凹部を備える転写型の前記凹部に、導電性材料を充填する工程と、
前記導電性材料を加熱した後、硬化させることにより導電体を形成し、前記導電性材料の硬化収縮により前記凹部に空間部を形成する工程と、
前記空間部に第1の絶縁性樹脂を充填する工程と、
前記接続端子に対向して前記転写型の前記凹部を位置合わせして載置する工程と、
少なくとも前記第1の絶縁性樹脂が半硬化状態になる温度で加熱する工程と、
前記転写型を剥離する工程と、
前記導電体と対向して、前記電子部品の前記電極端子を位置合わせする工程と、
前記導電体を介して、前記接続端子と前記電極端子を接続する工程と、
前記接続端子と前記電極端子の隙間に、第2の絶縁性樹脂を注入し、前記第2の絶縁性樹脂を硬化する工程とを含むことを特徴とする電子部品実装体の製造方法。 - 複数の接続端子が設けられている配線基板と、前記接続端子に対応して複数の電極端子が設けられている電子部品とを電気的に接続する電子部品実装体の製造方法であって、
複数の前記電極端子に対応する2段以上の形状の凹部を備える転写型の前記凹部に、導電性材料を充填する工程と、
前記導電性材料を加熱した後、硬化させることにより導電体を形成し、前記導電性材料の硬化収縮により前記凹部に空間部を形成する工程と、
前記空間部に第1の絶縁性樹脂を充填する工程と、
前記電極端子に対向して前記転写型の前記凹部を位置合わせして載置する工程と、
少なくとも前記第1の絶縁性樹脂が半硬化状態になる温度で加熱する工程と、
前記転写型を剥離する工程と、
前記導電体と対向して、前記配線基板の前記接続端子を位置合わせする工程と、
前記導電体を介して、前記接続端子と前記電極端子を接続する工程と、
前記接続端子と前記電極端子の隙間に、第2の絶縁性樹脂を注入し、前記第2の絶縁性樹脂を硬化する工程とを含むことを特徴とする電子部品実装体の製造方法。 - 前記凹部が、皿ビス形状であることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記接続端子と前記電極端子を接続する工程が、圧着、圧接または超音波接合であることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記接続端子と前記電極端子を接続する工程が、前記導電体の再溶融により行われることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記導電性材料が、はんだ粉またははんだペーストであることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記第1の絶縁性樹脂と前記第2の絶縁性樹脂が、熱硬化性樹脂からなることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記第1の絶縁性樹脂と前記第2の絶縁性樹脂が、同じ樹脂材料からなることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記第1の絶縁性樹脂および前記第2の絶縁性樹脂の少なくとも一方は、フラックスを含むことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記転写型が、低い弾性率および高い離型性を有する転写型樹脂であることを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載の電子部品実装体の製造方法。
- 前記転写型樹脂が、熱硬化性シリコーン樹脂であることを特徴とする請求項12に記載の電子部品実装体の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005142633A JP4479582B2 (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | 電子部品実装体の製造方法 |
PCT/JP2006/307916 WO2006112384A1 (ja) | 2005-04-15 | 2006-04-14 | 電子部品接続用突起電極とそれを用いた電子部品実装体およびそれらの製造方法 |
US11/883,801 US8033016B2 (en) | 2005-04-15 | 2006-04-14 | Method for manufacturing an electrode and electrode component mounted body |
CN2006800117409A CN101156238B (zh) | 2005-04-15 | 2006-04-14 | 电子零件连接用突起电极与电子零件安装体的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005142633A JP4479582B2 (ja) | 2005-05-16 | 2005-05-16 | 電子部品実装体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006319253A true JP2006319253A (ja) | 2006-11-24 |
JP4479582B2 JP4479582B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=37539627
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005142633A Active JP4479582B2 (ja) | 2005-04-15 | 2005-05-16 | 電子部品実装体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4479582B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009141949A1 (ja) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | パナソニック株式会社 | 実装構造体の製造方法、および実装構造体 |
JP2016096207A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | 株式会社フジクラ | 配線基板及びその製造方法 |
JP2019134085A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 三国電子有限会社 | 接続構造体および接続構造体の作製方法 |
US11735556B2 (en) | 2018-01-31 | 2023-08-22 | Mikuni Electron Corporation | Connection structure |
-
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- 2005-05-16 JP JP2005142633A patent/JP4479582B2/ja active Active
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WO2009141949A1 (ja) * | 2008-05-23 | 2009-11-26 | パナソニック株式会社 | 実装構造体の製造方法、および実装構造体 |
US8436253B2 (en) | 2008-05-23 | 2013-05-07 | Panasonic Corporation | Method of manufacturing mounting structure and mounting structure |
JP2016096207A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-05-26 | 株式会社フジクラ | 配線基板及びその製造方法 |
JP2019134085A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 三国電子有限会社 | 接続構造体および接続構造体の作製方法 |
JP7160302B2 (ja) | 2018-01-31 | 2022-10-25 | 三国電子有限会社 | 接続構造体および接続構造体の作製方法 |
US11735556B2 (en) | 2018-01-31 | 2023-08-22 | Mikuni Electron Corporation | Connection structure |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4479582B2 (ja) | 2010-06-09 |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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