JP2006314900A - 微粒子発生方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 微粒子化すべき物質を透明な基板の上に蒸着等により付着させ、基板に対して透明な波長のレーザーを基板側から照射して該付着させた物質を微粒子として放出することにより上記課題を解決することができる。
【選択図】 図1
Description
Z.Toth et al.Appl. Surface Science, 138-139, 130-134, (1999) H.Kroto, et.al.Nature, 318, p162, (1985)
2 蒸着膜
3 アブレーション領域
4 放出粒子
Claims (11)
- 微粒子発生方法であって、微粒子化すべき物質を透明な基板の上に付着させ、該基板に対して透明な波長のレーザーを基板側から照射することにより、該物質を微粒子として放出することを特徴とする微粒子発生方法。
- 上記レーザーは、パルスレーザーであることを特徴とする請求項1に記載の微粒子発生方法。
- 上記物質を細分化したことを特徴とする請求項1又は2に記載の微粒子発生方法。
- 上記レーザーのビームパターンを干渉、回折又は画像転送の手段により細分化し基板に照射することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の微粒子発生方法。
- 上記基板の形態をテープ状又は板状とし、連続的に供給することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の微粒子発生方法。
- 上記物質として金属を用いたことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の微粒子発生方法。
- 上記物質は、Al, Ti, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn, Zr, Mo, Ag, In, Sn, Ta, W, Ta, Pt, Au若しくは Pb又はそれらの酸化物であることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の微粒子発生方法。
- 請求項1から7に記載の微粒子発生方法により生成した微粒子群を他のパルスレーザーにより照射し、生成したプラズマを光源とすることを特徴とするプラズマ輻射光源。
- 微粒子発生装置であって、微粒子化すべき物質が付着した透明な基板、該付着した物質を剥離するための該基板に対して透明な波長のレーザー及び該レーザーを該基板側から照射する手段を有することを特徴とする微粒子発生装置。
- 輻射光源装置であって、パルスレーザー、請求項1から7の微粒子発生方法により微粒子を発生する装置、発生した微粒子群を他のパルスレーザーにより照射する手段、該照射により生成されたプラズマを光源とすることを特徴とする輻射光源装置。
- 上記光源から放射される輻射光を半導体リソグラフィー光源として利用することを特徴とする請求項10に記載の輻射光源装置。
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