JP2006302981A - マルチスポット型面発光レーザおよびその駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 VCSEL1は、基板上に、第1組のメサ10、12、14、16と、第2組のメサ20、22、24、26を含み、第1組および第2組のメサは、基板上の基準点Cに関し回転対称に配置されている。第1組のメサ10〜16は、配線層18によって相互に接続され、かつ電極パッド40に接続される。第2組のメサ20〜26は、配線層28によって相互に接続され、かつ電極パッド42に接続される。第1組のメサ10〜16と第2組のメサ20〜26は、それぞれ独立に駆動可能である。
【選択図】 図1
Description
さらに本発明は、高出力でありかつ単峰性のビームプロファイルを得ることができるマルチスポット型の面発光型半導体レーザを提供することを目的とする。
さらに本発明は、低コスト、小型化が可能なマルチスポット型の面発光型半導体レーザを光源に含む装置を提供する目的とする。
さらに本発明は、寿命を改善することができるマルチスポット型の面発光型半導体レーザを光源に含む装置を提供することを目的とする。
10、12、14、16:第1組のメサ
10a、12a、14a、16a:出射開口
20、22、24、26:第2組のメサ
20a、22a、24a、26a:出射開口
30、32、34、36:第3組のメサ
18、28、38:配線層
40、42、44:電極パッド
50:駆動制御回路
51、52、53:駆動信号
100:n−GaAs基板
102:バッファ層
103:下部DBRミラー層
107:活性領域
108:上部DBRミラー層
109:コンタクト層
110:AlAs層(電流狭窄層)
111:酸化領域
112:酸化アパーチャ
113:層間絶縁膜
114:コンタクトホール
115−1、115−2:p側電極層
117:n側電極
Claims (23)
- 基板上に、第1導電型の第1の半導体ミラー層、第1の半導体ミラー層上の電流狭窄層、第1の半導体ミラー層上の活性領域、活性領域上の第2導電型の第2の半導体ミラー層、第2の半導体ミラー層上の複数の出射開口部、複数の出射開口部へ電流を注入する配線層を含み、複数の出射開口部からレーザ光を出射可能な面発光型半導体レーザであって、
複数の出射開口部の各々は、基板上の基準点から等しい距離に位置し、
配線層は、少なくとも第1の配線層と第2の配線層を含み、第1の配線層は、複数の出射開口部の中から選択された第1組の出射開口部に電流を注入し、第2の配線層は、複数の出射開口部の中から選択された第2組の出射開口部に電流を注入する、面発光型半導体レーザ - 第1組の出射開口部と第2組の出射開口部は、基準点に関して回転対称の位置にある、請求項1に記載の面発光型半導体レーザ。
- 複数の出射開口部は、基板上に形成された複数のメサ頂部にそれぞれ形成され、第1の配線層は、選択された第1組のメサに形成された電極層に電気的に接続され、第2の配線層は、選択された第2組のメサに形成された電極層に電気的に接続されている、請求項1または2に記載の面発光型半導体レーザ。
- 第1の配線層および第2の配線層には、それぞれ第1の駆動電流と第2の駆動電流が供給される、請求項1ないし3いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 第1の駆動電流および第2の駆動電流は、第1の配線層および第2の配線層に同時に供給される、請求項4に記載の面発光型半導体レーザ。
- 第1の駆動電流および第2の駆動電流は、交互に第1の配線層および第2の配線層に供給される、請求項4に記載の面発光型半導体レーザ。
- 第1の駆動電流および第2の駆動電流は、独立して第1の配線層および第2の配線層に供給される、請求項4に記載の面発光型半導体レーザ。
- 請求項1ないし7いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザが形成された半導体チップと、半導体チップ上の第1および第2の配線層に第1および第2の駆動電流を供給可能な駆動回路とを含むモジュール。
- モジュールはさらに、半導体チップの複数の出射開口部から出射されるレーザ光の少なくとも1つを監視するための受光素子を含む、請求項7に記載のモジュール。
- 駆動回路は、受光素子からの出力結果に応じて、第1の駆動電流または第2の駆動電流を第1の配線層または第2の配線層に供給する、請求項9に記載のモジュール。
- 請求項8ないし10に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信装置。
- 請求項8ないし10に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送装置。
- 請求項8ないし10に記載されたモジュールと、モジュールから発せられたレーザ光を送信する送信手段とを備えた、光送信システム。
- 請求項8ないし10に記載されたモジュールと、モジュールから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送システム。
- 基板上の基準点に関して回転対称に配置された複数の出射開口部を含み、各出射開口部へ駆動電流を供給することで各出射開口部からレーザ光を出射可能なマルチスポット型の面発光型半導体レーザの駆動方法であって、
複数の出射開口部の中から選択された第1組の出射開口部と複数の出射開口部の中から選択された第2組の出射開口部に独立して駆動電流を供給する、駆動方法。 - 第1組の出射開口部および第2の出射開口部に交互に第1の駆動電流および第2の駆動電流が供給される、請求項15に記載の駆動方法。
- 駆動方法はさらに、駆動電流の供給前にバイアス電流を印加するステップを含む、請求項15または16に記載の駆動方法。
- 基板上の基準点に関して回転対称に配置された複数の出射開口部を含み、各出射開口部へ駆動電流を供給することで各出射開口部からレーザ光を出射可能なマルチスポット型の面発光型半導体レーザの駆動方法であって、
複数の出射開口部の中から選択された第1組の出射開口部と複数の出射開口部の中から選択された第2組の出射開口部の駆動時間が均等となるように駆動電流を供給する、駆動方法。 - 基板上の基準点に関して回転対称に配置された複数の出射開口部を含み、各出射開口部へ駆動電流を供給することで各出射開口部からレーザ光を出射可能なマルチスポット型の面発光型半導体レーザの駆動方法であって、
複数の出射開口部の中から選択された第1組の出射開口部から出射されるレーザ光の状態を監視し、
監視結果に基づき、複数の出射開口部の中から選択された第2組の出射開口部に駆動電流を供給し、第1組の出射開口部への駆動電流の供給を停止する、駆動方法。 - 基板上の基準点に関して回転対称に配置された複数の出射開口部を含み、各出射開口部へ駆動電流を供給することで各出射開口部からレーザ光を出射可能なマルチスポット型の面発光型半導体レーザの駆動方法であって、
複数の出射開口部の中から選択された少なくとも3組以上の出射開口部に対して、それぞれ独立して駆動電流を供給する、駆動方法。 - 複数の出射開口部の各組に対して、順番に各駆動電流が供給される、請求項20に記載の駆動方法。
- 駆動方法はさらに、駆動電流の供給前にバイアス電流を印加するステップを含む、請求項20または21に記載の駆動方法。
- 基板上の基準点に関して回転対称に配置された複数の出射開口部を含み、各出射開口部へ駆動電流を供給することで各出射開口部からレーザ光を出射可能なマルチスポット型の面発光型半導体レーザの駆動方法であって、
複数の出射開口部の中から選択された少なくとも3組以上の出射開口部に対して、各組の駆動時間が均等となるように駆動電流を供給する、駆動方法。
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