JP2006295103A - 波長可変レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 波長可変レーザを、利得を発生しうる利得導波路部1Aと、電流注入又は電圧印加によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部1Bとを光軸方向に交互に有する光導波路1と、光導波路の全長にわたって光導波路に沿って設けられる回折格子2とを備え、回折格子が、利得導波路部に対応する位置に設けられる利得用回折格子2Aと、波長制御導波路に対応する位置に設けられる波長制御用回折格子2Bとを有し、波長制御導波路部及び波長制御用回折格子を含むものとして波長制御領域11Bを構成し、利得導波路及び利得用回折格子を含むものとして利得領域11Aを構成し、波長制御導波路部に電流注入又は電圧印加を行なっていない状態で、波長制御領域のブラッグ波長が、利得領域のブラッグ波長に対して長波長側になるように構成する。
【選択図】 図1
Description
このような波長分割多重通信システムにおいて、柔軟かつ高度な通信システムを実現するために、広い波長範囲で高速に所望の波長を選択しうる波長可変レーザが強く求められている。
ここで、図17に示すように、3電極DBRレーザ100は、活性層部101と、位相制御部102と、光導波路に沿って回折格子103が形成されているDBR部104とを備え、これらの活性層部101,位相制御部102及びDBR部104は直列に配置されている。また、活性層部101,位相制御部102及びDBR部104には、独立して電流注入を行なうことができるように、それぞれ電極105,106,107が設けられている。さらに、これらの電極105,106,107が設けられている面の反対側の面には、接地電位に接続されている共通電極108が設けられている。そして、活性層部101には電極105を介して電流Iactが注入され、位相制御部102には電極106を介
して電流IPSが注入され、DBR部104には電極107を介して電流(波長制御電流)IDBRが注入されるようになっている。
例えば、非特許文献1には、波長可変レーザとしてDBRレーザを集積したものが提案されている。また、特許文献1には、波長可変レーザとしてTTG−DFBレーザを集積したものが提案されている。
例えば、波長可変レーザとして、上述の3電極DBRレーザ100やTTG−DFBレーザ110を集積させる場合、3電極DBRレーザ100やTTG−DFBレーザ110は、位相制御部102や波長制御導波路112への電流注入により発振波長を変化させることができるため、高速(例えば10ナノ秒以下)で波長を変化させることができる。
そこで、位相の制御を不要とするための技術として、分布反射領域に電流を注入するための電極の構成や活性導波路や位相を調節するための非活性導波路の長さを工夫することが提案されている(例えば特許文献2参照)。また、活性領域と非活性領域とを光の伝搬方向に沿って交互に周期的に繰り返し配置し、同じ周期で、回折格子が形成された領域と回折格子が形成されていない領域とを配置する構造が提案されている(例えば特許文献4参照)。
また、上述の特許文献4に記載された技術では、回折格子が形成されていない領域の位相状態を素子の作りこみだけで調整するのは困難である。また、位相制御が必要であり、制御が複雑である。
特に、アレイ集積型波長可変レーザの作製が容易になる。また、レーザ切替時の制御が簡単になり、高速に波長制御を行なえるようになる。
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態にかかる波長可変レーザについて、図1〜図10を参照しながら説明する。
つまり、図1に示すように、光導波路1の利得導波路部1Aの上面にはコンタクト層8Aを介して利得電極(P側電極)3Aが形成されており、下方には共通電極(N側電極)3Cが形成されており、利得導波路部1Aの活性層(利得層,導波路コア層)6に電流Iactを注入しうるようになっている。また、光導波路1の波長制御導波路部1Bの上面にはコンタクト層8Bを介して波長制御電極(P側電極)3Bが形成されており、下方には共通電極(N側電極)3Cが形成されており、波長制御導波路部1Bの波長制御層(導波路コア層,位相制御層)9に電流Ituneを注入しうるようになっている。
なお、利得導波路部1A、利得用回折格子2A、利得電極3A、共通電極3Cからなる領域を利得領域11Aといい、波長制御導波路部1B、波長制御用回折格子2B、波長制御電極3B、共通電極3Cからなる領域を波長制御領域11Bという。
ところで、本波長可変レーザでは、利得領域11Aのブラッグ波長は一定にし、波長制御領域11Bの波長制御導波路部1Bのコア層の屈折率を変化させ、波長制御領域11Bのブラッグ波長を変えることによって波長可変動作を行なう。
このため、波長制御導波路部1Bのコア層の屈折率を変化させた場合の本波長可変レーザのブラッグ波長(発振波長)λBraggは、利得領域11Aのブラッグ波長をλaとし、波長制御領域11Bのブラッグ波長をλtとし、屈折率を変化させる前(電流注入前)の波長制御領域11Bのブラッグ波長をλt0とし、波長制御導波路部1Bの等価屈折率の変化量をΔntとし、屈折率を変化させる前(電流注入前)の波長制御導波路部1Bの等価屈折率をntとして、次式(1)により表すことができる。
したがって、本波長可変レーザのブラッグ波長(発振波長)の変化量ΔλBraggは、次式(2)により表すことができる。
ΔλBragg=λt0・(Δnt/nt)/2・・・(2)
一方、共振縦モード波長(共振縦モードの位置)の変化の割合は、全共振器長に対する全波長制御導波路部1Bの長さ(複数の波長制御導波路部1Bの合計長さ)の割合分だけ(ここでは1/2)、波長制御導波路部1Bの等価屈折率の変化の割合よりも小さくなる。
Δλl=λ0・(Δnt/nt)/2・・・(3)
したがって、上記式(2),(3)から、λt0とλ0がほぼ同一になるように設定すれば、ブラッグ波長の変化量ΔλBraggが共振縦モード波長の変化量Δλlに一致することが分かる。このため、λt0とλ0がほぼ同一になるように設定すれば、波長制御導波路部1Bの屈折率を変化させるだけで(即ち、位相制御を行なうことなく、波長可変制御を行なうだけで)、モード跳びが生じないようにしながら、連続的に発振波長を変化させることが可能になる。なお、λt0とλ0は、通常、ほぼ一致しているが、完全に一致させたい場合はλ/4位相シフト部2C(図5参照)を設ければ良い。
つまり、まず、利得導波路部1Aに電流を注入し、波長制御導波路部1Bに電流を注入していない状態で、波長制御領域11Bの回折格子2による反射スペクトルのピーク(中心波長;ブラッグ波長)が、図3(A)中、符号Aで示すように、利得領域11Aの回折格子2による反射スペクトルのピーク(中心波長;ブラッグ波長)と一致する場合、波長制御領域11Bの回折格子2による反射スペクトルと利得領域11Aの回折格子2による反射スペクトルとを足し合わせた合計反射スペクトルは、図3(B)中、符号A′で示すようになり、その中心波長(ピーク;ブラッグ波長)が本波長可変レーザの発振波長となる。
一方、波長制御領域11Bのブラッグ波長を、利得領域11Aのブラッグ波長に対して短波長側にずらしていった場合に、モード跳びが生じることなく、連続的に単一モード発振が可能な連続波長可変領域が存在することがわかる。
このため、波長制御導波路部1Bに電流注入又は電圧印加を行なっていない状態で、波長制御領域11Bのブラッグ波長と、利得領域11Aのブラッグ波長とが一致するようにしたのでは、本波長可変レーザの全連続波長可変領域のうち半分しか利用していないことになる。
λaに対して長波長側になるように構成している。
ここでは、利得領域11A及び波長制御領域11Bが、波長制御導波路部1Bに電流注入又は電圧印加を行なっていない状態で、隣接する一対の利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bの合計長さ(一周期の長さ)をL(μm)とし、波長制御領域11Bのブラッグ波長λt(nm)と利得領域11Aのブラッグ波長λa(nm)との差をΔλ(=λt−λa)(nm)として、次式(4)を満たすように構成している。
つまり、利得領域11A及び波長制御領域11Bを、波長制御領域11Bのブラッグ波長λtと利得領域11Aのブラッグ波長λaとの差Δλの利得領域11Aのブラッグ波長λa(基準波長λrf)に対する割合(以下、ブラッグ波長差の割合という)Δλ/λa(Δλ/λrf)が、0よりも大きく、30/L(%)以下になるように構成している。
このように、波長制御領域11Bのブラッグ波長λtを、利得領域11Aのブラッグ波長λaに対して、意図的に長波長側にずらすことによって、本波長可変レーザにおける連続波長可変領域を有効に使うことができるようになる。また、この場合に、利得領域11A及び波長制御領域11Bが、上記式(4)を満たすように構成することで、モード跳びが生じないようにし、安定した単一モード発振を維持しながら、本波長可変レーザにおける連続波長可変領域を有効に使うことができるようになる。以下、詳細に説明する。
なお、図4中、発振波長λ1は実線Aで示し、モード間利得差Δαは実線Bで示している。また、ブラッグ波長差Δλの割合Δλ/λaの値がプラスの値である場合は、波長制御領域11Bのブラッグ波長λtが、利得領域11Aのブラッグ波長λaに対して、長波長側にずれていることを意味し、ブラッグ波長差の割合Δλ/λaの値がマイナスの値である場合は、波長制御領域11Bのブラッグ波長λtが、利得領域11Aのブラッグ波長λaに対して、短波長側にずれていることを意味する。
まい、レーザ発振が不安定になることがわかった。つまり、本波長可変レーザでは、波長制御領域11Bのブラッグ波長λtを、利得領域11Aのブラッグ波長λaに対して長波長側にずらした位置から短波長側にずらした位置まで変化させる場合、発振波長λ1は、図4中、実線Aで示すように、所定の範囲内で連続的に短波長側に変化していくことがわかった。
このため、安定した単一モード発振を維持しながら、波長可変動作を行なうためには、ブラッグ波長差の割合Δλ/λaを所定範囲内[1周期の長さを60μmとした場合には、例えば±0.5%以内(−0.5<Δλ/λa<+0.5);安定発振領域内]にする必要がある。
これに基づいて、一般化すると、安定した単一モード発振を維持しながら、波長可変動作を行なうためには、1周期の長さをL(μm)とした場合、ブラッグ波長差の割合Δλ/λaを±30/L(%)以内(−30/L≦Δλ/λa≦+30/L)にすれば良いことになる。
本実施形態では、図1に示すように、利得用回折格子2Aの周期と、波長制御用回折格子2Bの周期とが異なるように構成している。
これにより、波長制御導波路部1Bに電流注入又は電圧印加を行なっていない状態で、ブラッグ波長差の割合Δλ/λaが30/L(%)の範囲内(0<Δλ/λa≦+30/L)で、波長制御領域11Bのブラッグ波長λtを、利得領域11Aのブラッグ波長λaに対して、長波長側へずらすことができ、安定した単一モード発振を維持しながら、連続波長可変領域を有効に使えることになる。
まず、利得領域(活性領域)11Aは、例えばn型InP基板(半導体基板)上に、n型InPバッファ層、n型InGaAsP回折格子層、n型InPバッファ層、バンドギャップ波長が1.55μm帯になるように設計した1.55μm帯歪MQW層(Multiple Quantum Well;多重量子井戸層)+SCH(Separate Confinement Heterostructure;分離閉じ込めヘテロ構造)層、p型InPクラッド層、p型InGaAsPコンタクト層、p型InGaAsコンタクト層を順に積層した層構造になっている。
ここで、MQW活性層6を構成する1.55μm帯歪MQW層は、例えば、井戸層を、0.8%の圧縮ひずみを有する厚さ5.1nmのInGaAsP層とし、バリア層を、バンドギャップ波長が1.30μmになるように設計された厚さ10nmの無ひずみのInGaAsP層とし、井戸層の数を6層としている。なお、井戸層としてのInGaAsP層の組成は、MQW層の発光波長が1.55μm帯になるように調整している。
また、歪MQW層及びSCH層を含むMQW活性層6の厚さは、およそ200nmとしている。また、MQW活性層6の幅は1.6μmとしている。
一方、波長制御領域11Bは、例えばn型InP基板上に、n型InPバッファ層、n型InGaAsP回折格子層、n型InPバッファ層、1.30μm組成InGaAsP層(導波路コア層)、p型InPクラッド層、p型InGaAsPコンタクト層、p型InGaAsコンタクト層を順に積層した層構造になっている。
ここで、波長制御層9としては、バンドギャップが1.30μmになるように設計された厚さ200nmのInGaAsP層(1.30μm組成InGaAsP層)を用いている。また、波長制御層9の幅は、1.6μmとしている。
なお、回折格子層2は、n−InP層4上に回折格子層2を形成する材料からなる層を積層した後、この層を例えばドライエッチングなどの方法を用いて周期的に除去し、その上にn−InP層5を成長させることによって形成される。
特に、利得導波路部1A及び波長制御導波路部1Bの長さは、いずれも30μmとし、1周期の長さを60μmとしている。なお、素子長は例えば570μmとしている。ここでは、利得導波路部1Aが素子端面側に配置されるようにして、光出力が低下しないようにしている。但し、波長制御導波路部1Bを素子端面側に配置しても良い。
このように、本実施形態では、利得導波路部1Aと波長制御導波路部1Bとで等価屈折率が同じになるようにし、利得用回折格子2Aの周期と、波長制御用回折格子2Bの周期とが異なるようにしている。つまり、波長制御用回折格子2Bの周期が、利得用回折格子2Aの周期よりも長くなるようにしている。
λ/4位相シフト部2Cを設けないと、図6(A)に示すように、回折格子2による反射スペクトル[波長可変レーザの利得スペクトル;図6(A)中、実線Aで示す]の中心波長(ピーク;ブラッグ波長)で発振せず、その近傍の2つのモード[共振縦モード波長;図6(A)中、実線Bで示す]で発振する可能性がある。この場合、2つのモードのうち、長波側のモードで発振するか、短波側のモードで発振するかが分からないため、不安定になる。
したがって、本実施形態にかかる波長可変レーザによれば、容易に作製でき、簡単な制御で、比較的広い波長可変範囲が得られるようになるという利点がある。また、制御が簡単なため、高速に波長制御を行なえるようになる。特に、電流制御型波長可変レーザであるため、高速応答性に優れている。
図7中、実線Aで示すように、それぞれの回折格子での反射光の位相が合っていない場合には、発振スペクトルに複数のピークが見られ、発振が非常に不安定になっていることが分かる。
このような点を考慮すると、異なる周期を持った回折格子での反射光の位相が合うように、異なる周期を持った回折格子は、連続して設けずに所定の間隔をあけて設けるのが好ましい。つまり、例えば図9(又は図10)に示すように、隣り合う利得用回折格子2Aと波長制御用回折格子2Bにおいて、利得用回折格子2Aと波長制御用回折格子2Bとの間に境界領域30(又は30A)が形成されるように、利得用回折格子2Aに対して波長制御用回折格子2Bを所定間隔だけシフト(位相シフト)させて設けるのが好ましい。
図7中、実線Bで示すように、それぞれの回折格子での反射光の位相が合っている場合には、主な発振スペクトルのピークは1つだけであり、安定した単一モード発振が得られることが分かる。
なお、図8中、横軸は位相シフト量を示しており、一方の回折格子に対して他方の回折格子を1周期分だけ位相シフトさせた場合(即ち、異なる周期を持った回折格子間で位相がπだけずれている場合)を位相シフト量1.00として、横軸で示されている位置シフト量を最大値として、それぞれの境界領域にランダムに位相シフトが入っている条件で計算を行なった。
このことから、安定した単一モード発振を得るためには、それぞれの境界領域の位相シフト量を0.10(0.10π)以下にする必要がある。
つまり、上述の実施形態のように、利得用回折格子2Aの周期と、波長制御用回折格子2Bの周期とが異なるように構成する場合、図9に示すように、利得用回折格子2Aを含む利得領域11Aと波長制御用回折格子2Bを含む波長制御領域11Bとの間に、利得用回折格子2Aの周期と波長制御用回折格子2Bの周期の平均値の±10%以内の長さを有する境界領域30を設けるのが好ましい。なお、上述の実施形態では、利得領域11Aと波長制御領域11Bとを交互に設けるようにしているため、平均値の±10%以内の長さを有する境界領域を複数設けることになる。
例えば、利得領域11Aに形成されている利得用回折格子2Aの周期が240.00nmであり、波長制御領域11Bに形成されている波長制御用回折格子2Bの周期が240.12nmである場合、利得領域11Aと波長制御領域11Bとの間に設けられる境界領域30の長さは、利得用回折格子2Aの周期と波長制御用回折格子2Bの周期の平均値である240.06nmの±10%以内、即ち、216.05〜264.07nmの範囲内になるようにするのが好ましい。これにより、境界領域30での位相シフト量が±0.10π以下に抑えられ、位相が十分に合うようになり、安定した発振が可能となる。
なお、ここでは、境界領域30の長さが、利得用回折格子2Aの周期と波長制御用回折格子2Bの周期の平均値の±10%以内になるようにしているが、これに限られるものではない。例えば図10に示すように、境界領域30Aの長さが、利得用回折格子2Aの周期と波長制御用回折格子2Bの周期の平均値の±10%以内の値に、利得用回折格子2Aの周期と波長制御用回折格子2Bの周期の平均値を整数倍した値を足した値になるようにしても良い。
この場合、平均値である240.06nmは1周期π分に相当する長さであり、位相シフトがないのと等価であるため、上述の境界領域30の長さが平均値の±10%以内になるようにする場合と同様に、境界領域30Aでの位相シフト量が±0.10π以下に抑えられ、位相が十分に合うようになり、安定した発振が可能となる。
ここでは、異なる周期を持った回折格子2A,2Bを連続して設けずに、所定の間隔をあけて設けることで(位相シフトさせることで)、利得領域11Aと波長制御領域11Bとの間に、回折格子が設けられていない境界領域30,30Aを形成している。
なお、ここでは、境界領域30,30Aを、回折格子を有しない領域として構成しているが、これに限られるものではなく、回折格子を有する領域として構成しても良い。例えば、利得用回折格子2A及び波長制御用回折格子2Bのどちらとも異なる周期の回折格子を境界領域30,30Aに設けても良い。この場合、境界領域30,30Aの一部が凹部分となり、一部が凸部分となる。また、利得用回折格子2Aの周期から波長制御用回折格子2Bの周期へと回折格子の周期が段階的に変わっていくように、境界領域30,30Aに回折格子を設けても良い。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態にかかる波長可変レーザについて,図11を参照しながら説明する。
つまり、本実施形態では、図11に示すように、利得導波路部1Aのコア層の材料又は組成を調整することで、利得導波路部1Aの等価屈折率と、波長制御導波路部1BAの等価屈折率とが異なるようにしている。具体的には、波長制御導波路部1BAのコア層の屈折率が利得導波路部1Aのコア層の屈折率よりも大きくなるように、波長制御導波路部1BAのコア層の組成を調整している。なお、図11では、図1に示すものと同じものには同一の符号を付している。
具体的には、波長制御層9Aとして、バンドギャップ波長が1.40μmになるように設計されたInGaAsP層を用いている。なお、厚さや幅は上述の第1実施形態のものと同じにしている。これにより、波長制御導波路部1BAの等価屈折率を、利得導波路部1Aの等価屈折率に対して、0.5%程度大きくすることができる。
なお、その他の構成は、上述の第1実施形態のものと同じであるため、ここでは説明を省略する。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態にかかる波長可変レーザについて、図12を参照しながら説明する。
つまり、本実施形態では、図12に示すように、利得導波路部1Aのコア層の厚さと、波長制御導波路部1BBのコア層の厚さとが異なるように構成することで、利得導波路部1Aの等価屈折率と、波長制御導波路部1BBの等価屈折率とが異なるようにしている。具体的には、波長制御導波路部1BBの等価屈折率が利得導波路部1Aの等価屈折率よりも大きくなるように、波長制御導波路部1BBのコア層の厚さを厚くしている。なお、図12では、図1,図11に示すものと同じものには同一の符号を付している。
具体的には、波長制御層9Bとして、厚さ260nmのInGaAsP層を用いている。なお、バンドギャップ波長や幅は上述の第1実施形態のものと同じにしている。これにより、波長制御導波路部1BBの等価屈折率を、利得導波路部1Aの等価屈折率に対して、0.5%程度大きくすることができる。
なお、その他の構成は、上述の第1実施形態のものと同じであるため、ここでは説明を省略する。
[第4実施形態]
次に、本発明の第4実施形態にかかる波長可変レーザについて、図13,図14を参照しながら説明する。
つまり、本実施形態では、図13,図14に示すように、利得導波路部1Aのコア層の幅及び厚さと、波長制御導波路部1BCのコア層の幅及び厚さとが異なるように構成することで、利得導波路部1Aの等価屈折率と、波長制御導波路部1BCの等価屈折率とが異なるようにしている。具体的には、波長制御導波路部1BCの等価屈折率が、利得導波路部1Aの等価屈折率よりも大きくなるようにしている。なお、図13,図14では、図1,図11に示すものと同じものには同一の符号を付している。
具体的には、波長制御層9Cとして、幅1.8μm、厚さ250nmのInGaAsP層を用いている。なお、バンドギャップ波長は上述の第1実施形態のものと同じにしている。これにより、波長制御導波路部1BCの等価屈折率を、利得導波路部1Aの等価屈折率に対して、0.5%程度大きくすることができる。
なお、その他の構成は、上述の第1実施形態のものと同じであるため、ここでは説明を省略する。
[第5実施形態]
次に、本発明の第5実施形態にかかる波長可変レーザについて、図15を参照しながら説明する。
例えば、上述の第1実施形態の構成例において、実際に形成した波長制御導波路部1Bのコア層の厚さが、設計値の200nmから210nmにずれてしまった場合、等価屈折率は設計値よりも0.1%程度大きくなってしまうことになる。
この結果、波長制御領域11Bのブラッグ波長λtを、利得領域11Aのブラッグ波長λaに対して、長波長側へ0.5%ずらすことができ、安定した単一モード発振を維持しながら、連続波長可変領域を有効に使えることになる。
したがって、本実施形態にかかる波長可変レーザによれば、容易に作製でき、簡単な制御で、比較的広い波長可変範囲が得られるようになるという利点がある。また、制御が簡単なため、高速に波長制御を行なえるようになる。特に、電流制御型波長可変レーザであるため、高速応答性に優れている。
[第6実施形態]
次に、本発明の第6実施形態にかかる波長可変レーザについて、図16を参照しながら説明する。
つまり、本波長可変レーザは、図16に示すように、同一基板上に、異なる波長可変範囲を持つ複数(ここでは8つ)の波長可変レーザ20A〜20Hと、複数(ここでは8つ)の曲がり導波路21A〜21Hと、光合流器22と、光増幅器(半導体光増幅器)23とを備えるものとして構成される。
これらの波長可変レーザ20A〜20Hは、それぞれ、複数の曲がり導波路21A〜21H及び光合流器22を介して光増幅器23に接続されている。
なお、複数の曲がり導波路21A〜21H及び光合流器22は、波長可変レーザ20A〜20Hの波長制御領域と同様の層構造(上述の各実施形態参照)を持つものとして構成される。また、光増幅器23は、波長可変レーザ20A〜20Hの利得領域と同様の層構造(上述の各実施形態参照)を持つものとして構成される。
[その他]
上述の各実施形態では、利得導波路部1Aの長さと波長制御導波路部1Bの長さの比率を1:1にした場合を例に説明したが、利得導波路部1Aの長さと波長制御導波路部1Bの長さの比率は、これに限られるものではない。
ブラッグ波長λaに対して、長波長側へずらす場合の上限値が異なるものとなる。
具体的には、波長制御導波路部1Bの占める割合が大きくなるほど、連続波長可変幅は増えるため、長波長側へずらす場合の上限値を大きくすることができる。逆に、波長制御導波路部1Bの占める割合が小さくなるほど、連続波長可変幅は減るため、長波長側へずらす場合の上限値を小さくすることができる。
また、上述の各実施形態では、それぞれ、波長制御領域と利得領域とで、回折格子の周期、光導波路のコア層の組成、厚さ、あるいは厚さ及び幅を変えることによって、利得領域のブラッグ波長と波長制御領域のブラッグ波長の調整を行なっているが、もちろん、これらの実施形態のものを任意に組み合わせてブラッグ波長の調整を行なうこともできる。ブラッグ波長は、光導波路の等価屈折率と回折格子の周期の積に比例するので、この積が、ブラッグ波長差の割合Δλ/λaが所定の範囲内で、波長制御領域の方が利得領域よりも大きくなるようにすれば良い。
なお、本発明は、上述した各実施形態に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
利得を発生しうる利得導波路部と、電流注入又は電圧印加によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部とを光軸方向に交互に有する光導波路と、
前記光導波路の全長にわたって前記光導波路に沿って設けられる回折格子とを備え、
前記回折格子が、前記利得導波路部に対応する位置に設けられる利得用回折格子と、前記波長制御導波路に対応する位置に設けられる波長制御用回折格子とを有し、
前記波長制御導波路部及び前記波長制御用回折格子を含むものとして波長制御領域が構成され、
前記利得導波路及び前記利得用回折格子を含むものとして利得領域が構成され、
前記波長制御導波路部に電流注入又は電圧印加を行なっていない状態で、前記波長制御領域のブラッグ波長が、前記利得領域のブラッグ波長に対して長波長側になるように構成されることを特徴とする、波長可変レーザ。
前記利得用回折格子の周期と、前記波長制御用回折格子の周期とが異なるように構成されることを特徴とする、付記1記載の波長可変レーザ。
(付記3)
前記利得領域と前記波長制御領域との間に境界領域を備え、
前記境界領域の長さが、前記利得用回折格子の周期と前記波長制御用回折格子の周期の平均値の±10%以内、又は、前記平均値の±10%以内の値に前記平均値を整数倍した値を足した値になっていることを特徴とする、付記2記載の波長可変レーザ。
前記利得導波路部の等価屈折率と、前記波長制御導波路部の等価屈折率とが異なるように構成されることを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
(付記5)
前記利得導波路部のコア層の材料又は組成と、前記波長制御導波路部のコア層の材料又は組成とが異なるように構成されることを特徴とする、付記4記載の波長可変レーザ。
前記利得導波路部のコア層の厚さと、前記波長制御導波路部のコア層の厚さとが異なるように構成されることを特徴とする、付記4記載の波長可変レーザ。
(付記7)
前記利得導波路部のコア層の幅と、前記波長制御導波路部のコア層の幅とが異なるように構成されることを特徴とする、付記4記載の波長可変レーザ。
前記回折格子が、長手方向中心位置にλ/4位相シフト部を備えることを特徴とする、付記1〜7のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
(付記9)
前記回折格子が、前記光導波路の上側に形成されていることを特徴とする、付記1〜8のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
前記利得導波路部に電流注入を行なうための利得電極と、
前記波長制御導波路部に電流注入又は電圧印加を行なうための波長制御電極と、
前記利得電極と前記波長制御電極とが、それぞれ独立に設けられていることを特徴とする、付記1〜9のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
前記利得電極と前記波長制御電極とが、いずれもくし型電極であることを特徴とする、付記10記載の波長可変レーザ。
(付記12)
同一基板上に、異なる波長可変範囲を持つ複数の波長可変レーザを備えるアレイ集積型波長可変レーザであって、
前記複数の波長可変レーザが、いずれも、付記1〜11のいずれか1項に記載の波長可変レーザであることを特徴とする、アレイ集積型波長可変レーザ。
1A 利得導波路(活性導波路)
1B,1BA,1BB,1BC 波長制御導波路
2 回折格子(回折格子層)
2A 利得用回折格子
2B,2BA 波長制御用回折格子
2C λ/4位相シフト部
3A 利得電極(P側電極)
3B 波長制御電極(P側電極)
3C 共通電極(N側電極)
4 n−InP層
5 n−InP層
6 MQW活性層(利得層,活性層,導波路コア層)
7 p−InP層
8A,8B コンタクト層
9,9A,9B,9C 波長制御層(位相制御層)
10 SiO2膜
11A 利得領域(活性領域)
11B 波長制御領域
11C 分離領域
20A〜20H 波長可変レーザ
21A〜21H 曲がり導波路
22 光合流器
23 光増幅器
Claims (10)
- 利得を発生しうる利得導波路部と、電流注入又は電圧印加によって発振波長を制御しうる波長制御導波路部とを光軸方向に交互に有する光導波路と、
前記光導波路の全長にわたって前記光導波路に沿って設けられる回折格子とを備え、
前記回折格子が、前記利得導波路部に対応する位置に設けられる利得用回折格子と、前記波長制御導波路に対応する位置に設けられる波長制御用回折格子とを有し、
前記波長制御導波路部及び前記波長制御用回折格子を含むものとして波長制御領域が構成され、
前記利得導波路及び前記利得用回折格子を含むものとして利得領域が構成され、
前記波長制御導波路部に電流注入又は電圧印加を行なっていない状態で、前記波長制御領域のブラッグ波長が、前記利得領域のブラッグ波長に対して長波長側になるように構成されることを特徴とする、波長可変レーザ。 - 前記利得用回折格子の周期と、前記波長制御用回折格子の周期とが異なるように構成されることを特徴とする、請求項1記載の波長可変レーザ。
- 前記利得領域と前記波長制御領域との間に境界領域を備え、
前記境界領域の長さが、前記利得用回折格子の周期と前記波長制御用回折格子の周期の平均値の±10%以内、又は、前記平均値の±10%以内の値に前記平均値を整数倍した値を足した値になっていることを特徴とする、請求項2記載の波長可変レーザ。 - 前記利得導波路部のコア層の等価屈折率と、前記波長制御導波路部のコア層の等価屈折率とが異なるように構成されることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
- 前記利得導波路部のコア層の材料又は組成と、前記波長制御導波路部のコア層の材料又は組成とが異なるように構成されることを特徴とする、請求項4記載の波長可変レーザ。
- 前記利得導波路部のコア層の厚さと、前記波長制御導波路部のコア層の厚さとが異なるように構成されることを特徴とする、請求項4記載の波長可変レーザ。
- 前記利得導波路部のコア層の幅と、前記波長制御導波路部のコア層の幅とが異なるように構成されることを特徴とする、請求項4記載の波長可変レーザ。
- 前記回折格子が、長手方向中心位置にλ/4位相シフト部を備えることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
- 前記回折格子が、前記光導波路の上側に形成されていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の波長可変レーザ。
- 同一基板上に、異なる波長可変範囲を持つ複数の波長可変レーザを備えるアレイ集積型波長可変レーザであって、
前記複数の波長可変レーザが、いずれも、請求項1〜9のいずれか1項に記載の波長可変レーザであることを特徴とする、アレイ集積型波長可変レーザ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005197883A JP4469759B2 (ja) | 2005-03-17 | 2005-07-06 | 波長可変レーザ |
EP05256001.8A EP1703603B1 (en) | 2005-03-17 | 2005-09-27 | Tunable laser |
US11/235,250 US7366220B2 (en) | 2005-03-17 | 2005-09-27 | Tunable laser |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005077891 | 2005-03-17 | ||
JP2005197883A JP4469759B2 (ja) | 2005-03-17 | 2005-07-06 | 波長可変レーザ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006295103A true JP2006295103A (ja) | 2006-10-26 |
JP4469759B2 JP4469759B2 (ja) | 2010-05-26 |
Family
ID=37415306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005197883A Active JP4469759B2 (ja) | 2005-03-17 | 2005-07-06 | 波長可変レーザ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4469759B2 (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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