JP2008186902A - 光半導体素子、及びその製造方法 - Google Patents
光半導体素子、及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明によれば、本InGaAsP層のInP基板との格子不整合度εを、+0.1%≦ε≦+0.4%の範囲内に設定することにより、非混和性を低下させ、欠陥の発生を抑制して良好な素子特性を実現する事ができる。
【選択図】図1
Description
ここで、InGaAsP層のInP基板からの格子不整合度ε(%)を下記の式で定義する。
ε(%)= [{(InGaAsPの格子定数) ― (InP基板の格子定数)}/ (InP基板の格子定数)]x100
導波路層に用いられるInGaAsP層の場合、数100nm以上の厚さが必要である。典型的には200〜500nmである。そこで、格子不整合転位の発生を防ぐ為、通常InP基板に格子整合する条件で形成する。その際のεの値としては、典型的に-0.05%≦ε≦+0.05%の範囲内に設定される。InP基板とInGaAsP層の熱膨張係数の違いを考慮すると、やや−歪側に設定するのが好ましい。
よって、本発明の目的は、特に再成長により形成するInGaAsP導波路層の欠陥の発生を抑制し、それにより、良好な素子特性を有する集積型光半導体素子を提供することにある。
n-InP基板102上に、InGaAsPから成る10周期の1.55μm帯多重量子井戸活性層109を形成した。次に、ホト工程によって、必要な部分に絶縁体マスクを形成した。これをマスクにして、ドライエッチングとウエットエッチングにより不要部分を除去した。続いて、膜厚300nmの組成波長1.4μmのInGaAsP導波路層103、InPスペーサ層104、組成波長1.15μmInGaAsP回折格子層105を形成した。InGaAsP導波路層103の歪量は+0.1%に設定したため、欠陥の発生は無く、表面状態は良好であった。続いて、回折格子層105の形状を加工し、絶縁体マスクを除去した後に、全体をp-InPクラッド層106で埋込み、最後にp+-InGaAsコンタクト層107を形成した。その後、コンタクト層の一部を除去して素子分離し、メサエッチング、基板研磨後に、電極101、108を形成し、へき開後、両端面に反射膜を形成して素子として完成した。完成した素子のしきい値電流は10mA、波長可変幅は6nmと良好な値を示した。
102…n-InP基板、
103…InGaAsP導波路層、
104…InPスペーサ層、
105…InGaAsP回折格子層、
106…p-InPクラッド層、
107…p+-InGaAsコンタクト層、
108…p側電極、
109…InGaAsP多重量子井戸活性層、
201…n側電極、
202…n-InP基板、
203…InGaAlAs多重量子井戸活性層、
204…InPスペーサ層、
205…InGaAsP回折格子層、
206…p-InPクラッド層、
207…p+-InGaAsコンタクト層、
208…p側電極、
209…InGaAsP導波路層、
210…InGaAlAs量子井戸層、
301…n-InP基板、
302…InGaAsP多重量子井戸活性層、
303…絶縁体マスク、
304…InGaAsP導波路層、
305…p-InPスペーサ層、
306…InGaAsP回折格子層、
307…p-InPクラッド層、
308…p+-InGaAsコンタクト層、
701…n側電極、
702…n-InP基板、
703…n-InPクラッド層、
704…InGaAsP導波路層、
705…p-InPクラッド層、
706…p側電極、
707…p+-InGaAsコンタクト層、
708…InGaAlAs多重量子井戸活性層。
Claims (4)
- InP基板上に設けられた光を発生する活性層と、
前記InP基板上に前記活性層と光軸を揃えて設けられ、組成波長が1.3μmから1.5μmの範囲にあるInGaAsP層を含む半導体層を具備してなり、前記光を伝播させる光導波路層と、を有し、
前記InGaAsP層は、前記InP基板に対する格子不整合度(ε)が+0.1%以上となるようにInGaAsPの各元素組成が調整され、且つ、前記InGaAsP層の膜厚の上限値は、0.1%以上となる前記格子不整合度(ε)から算出される格子不整合転位が発生しない臨界膜厚範囲内にあることを特徴とする光半導体素子。 - 前記InGaAsP層の組成波長は、1.4±0.01μmであり、前記InGaAsP層の膜厚は、150nm以上であり、前記InGaAsP層の前記InP基板に対する格子不整合度(ε)は、+0.1%以上で+0.4%以下の範囲内にあることを特徴とする請求項1記載の光半導体素子。
- InP基板上に第1の光導波路層を形成する工程と、
前記第1の光導波路層の一部に選択的に第1のマスクを形成する工程と、
前記第1のマスクが形成されていない第1の光導波路層の領域をエッチングにより除去し前記InP基板の表面を露出する工程と、
前記エッチングにより露出した前記InP基板上に、組成波長が1.3μmから1.5μmの範囲内のInGaAsPを結晶成長させ第2の光導波路層を形成する工程と、を有し
前記第2の導波路層の膜厚の上限値は、前記第2の導波路層の前記InP基板に対する格子不整合度(ε)を+0.1%以上に設定した場合、前記格子不整合度(ε)から算出される格子不整合転位が発生しない膜厚範囲内であることを特徴とする光半導体素子の製造方法。 - 前記第2の光導波路層の組成波長は、1.4±0.01μmであり、その膜厚は150nm以上であり、前記InP基板に対する格子不整合度(ε)は、+0.1%以上+0.4%以下の範囲内であることを特徴とする請求項3記載の光半導体素子の製造方法。
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