JP2006283072A - マイクロビアやスルーホールをめっきする方法 - Google Patents
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Abstract
【効果】 (1)ブラインドマイクロビアの充填、(2)スルーホールの充填、(3)スルーホールめっきに関する驚異的な改善が認められた。
【選択図】 図2
Description
1)最大約2ASDであると推定される、適用可能な電流密度(発明者らの経験による);
2)適用可能な銅の表面厚さ;この方法は約15μmまでのCuに好適である。厚みがこれより厚くなると表面外観は平坦でなくなり、光沢のある部分と光沢のない部分が生ずる。15μmより厚いCu層の物理特性もまた影響を受ける。
3)アスペクト比が約1以下(幅より深さが大)のマイクロビアに対する不十分な充填;ここでは、しばしば内部に空隙や穴が観測される。
本発明により、ブラインドマイクロビアの充填の際に、空隙の発生を減らし、使用可能な電流密度を増加できることを確認した。スルーホールめっきの場合にも、改良効果が得られた。特にアスペクト比が高い厚板において、スルーホール内部の銅析出をより促進できることを確認した。
ビス(2−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩、
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩、
ビス(4−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩、
ビス(3−スルホ−2−ヒドロキシプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩、
3−(ベンゾチアゾリル−2−チオ)プロピルスルホン酸およびそのナトリウム塩、
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩、
N,N−ジメチルジチオカルバミン酸(−3−スルホプロピルエステル)およびそのナトリウム塩、
O−エチル−ジエチルカーボネート−S(−3スルホプロピルエステル)、
チオ尿素およびその誘導体、
の1種若しくは複数のから構成されるとよい。
カルボキシメチルセルロースおよびその誘導体、
ポリエチレングリコールおよびその誘導体、
ポリプロピレングリコールおよびその誘導体、
ポリエチレンおよびポリプロピレングリコールのブロックポリマー、
ポリビニールアルコールおよびその誘導体、
ノニルフェノールアルコキシレートおよびその誘導体、
デシルアルコールエトキシレートおよびその誘導体、
オクチルフェノールアルコキシレート、
アルコールアルコキシレート、
β−ナフトール−ポリエチレングリコールエーテルおよびその誘導体、
ポリグリセロールおよびその誘導体、
カルボン酸、
フルオルカルボン酸、
アミノ酸、
脂肪族スルホン酸および芳香族スルホン酸、
アミン、ポリアミンおよびそれらの誘導体。
アルキルアミドおよびその誘導体、
ベンジルアミドおよびその誘導体、
アクリルアミドおよびその誘導体、
ポリアクリルアミド、
トリフェニルメタン染料およびそのアミノおよびヒドロキシ誘導体、
チオフラビン、
ポリビニルアミン、
サフラニンおよびそのポリマー誘導体。
1.従来のDCめっきおよび溶解性陽極によるブラインドマイクロビアの充填(試験1)
幅125μm、深さ55μmのブラインドマイクロビアを有するパネルを試験ラインで、表1に示す工程にしたがってめっきする。
実施例1と同じ一連の処理を実施する。唯一の違いは、めっき工程8で光沢剤の濃度を変化させたことであり、a)光沢剤なしの実験と、b)0.05ml/lの少量の光沢剤を添加した実験を行った。また、比較のために、1枚のパネルに、c)従来のめっき方法で0.05ml/lの光沢剤を使用してめっきを行った。パネルを目視により検査し、断面により充填の状態を観察した。
スルーホールを充填するためには、電気めっき工程を二つに分けることが必要である。最初の工程では、極めて強いリバースパルス電流を通電して、スルーホール中心部の銅析出を加速する。そして、両方向から成長するめっき層がスルーホール中心部で結合することを促す。結果として残った二つのブラインドマイクロビアホールを、次工程の電気めっきで充填する。図2にスルーホールを電気めっきで充填する機構を示す。スルーホール(直径0.15mm)を有するパネル(0.1mm厚)を表4に示す工程にしたがって処理した。
1)表4に記述した1〜9の全ての工程を含むプロセス、
2)表4に記述した工程の中で、3と7の工程を含まないプロセス、
3)表4に記述した工程の中で、3の工程を含まないプロセス、
4)表4に記述した工程の中で、7の工程を含まないプロセス。
スルーホール(直径0.25mm)を有するパネル(3mm厚)を表6に示す工程にしたがって処理した。
1)表6に記述した工程の中で、第3工程を含まず、また第6工程に使用する光沢剤カパラシドの濃度が1.0ml/lであるプロセス、
2)表6に記述した工程の中で、第3工程を含まず、また第6工程に使用する光沢剤カパラシドの濃度が0.3ml/lであるプロセス、
3)表6に記述した工程の中で、第3工程において臭化物イオンを添加し、また第6工程に使用する光沢剤カパラシドの濃度が0.3ml/lであるプロセス、
4)表6に記述した工程の中で、第3工程において塩化物イオンを添加し、また第6工程に使用する光沢剤カパラシドの濃度が0.3ml/lであるプロセス。
スローイングパワー=100%×(スルーホール中心部のめっき膜厚/表層のめっき膜厚)
Claims (17)
- マイクロビアやスルーホールをめっきする方法であって、少なくともコンディショニング工程と電気めっき工程を有し、前記コンディショニング工程では、基材を浸漬すべき、少なくとも1種の光沢剤成分、および塩化物および/または臭化物を含有する溶液が用いられ、前記電気めっき工程での電解液は、少なくとも1種のキャリアーおよび/またはレベラーを含有することを特徴とする方法。
- コンディショニング工程における光沢剤の濃度範囲が0.001〜100g/l、好ましくは10〜1000mg/lであり、
ビス(2−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
ビス(4−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
ビス(3−スルホ−2−ヒドロキシプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
3−(ベンゾチアゾリル−2−チオ)プロピルスルホン酸およびそのナトリウム塩;
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
N,N−ジメチルジチオカルバミン酸(−3−スルホプロピルエステル)およびそのナトリウム塩;
O−エチル−ジエチルカーボネート−S(−3スルホプロピルエステル);
チオ尿素およびその誘導体
の群から選択された物質がその構成成分であることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - コンディショニング工程における塩化物または臭化物の濃度が5〜50000mg/l、好ましくは25〜250mg/lであることを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- コンディショニング工程における溶液はさらに硫酸を含有し、その濃度範囲が好ましくは0〜280g/lであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- コンディショニング工程における溶液はさらに、基材表面を清浄にして濡れ性を付与するために、非イオン性、陽イオン性若しくは陰イオン性の界面活性剤またはベタインのような濡れ・洗浄剤を含有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- コンディショニング工程における溶液はさらに、
カルボキシメチルセルロースおよびその誘導体;
ポリエチレングリコールおよびその誘導体;
ポリプロピレングリコールおよびその誘導体;
ポリエチレンおよびポリプロピレングリコールのブロックポリマー;
ポリビニールアルコールおよびその誘導体;
ノニルフェノールアルコキシレートおよびその誘導体;
デシルアルコールエトキシレートおよびその誘導体;
オクチルフェノールアルコキシレート;
アルコールアルコキシレート;
β−ナフトール−ポリエチレングリコールエーテルおよびその誘導体;
ポリグリセロールおよびその誘導体;
の群から選択される濡れ・洗浄剤を0.001〜10g/lの濃度範囲で含有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。 - コンディショニング工程における溶液はさらに、
アルキルアミドおよびその誘導体;
ベンジルアミドおよびその誘導体;
アクリルアミドおよびその誘導体;
ポリアクリルアミド;
トリフェニルメタン染料およびそのアミノおよびヒドロキシ誘導体;
チオフラビン;
ポリビニルアミン;
サフラニンおよびそのポリマー誘導体;
の群から選択される濡れ・レベリング成分を0.001〜1g/lの濃度範囲で含有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。 - 前記電気めっき工程での電解液は、測定可能な量の光沢剤を含有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- めっき工程における光沢剤の濃度範囲が0〜0.1g/lであり、
ビス(2−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
ビス(4−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
ビス(3−スルホ−2−ヒドロキシプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
3−(ベンゾチアゾリル−2−チオ)プロピルスルホン酸およびそのナトリウム塩;
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドおよびそのナトリウム塩;
N,N−ジメチルジチオカルバミン酸(−3−スルホプロピルエステル)およびそのナトリウム塩;
O−エチル−ジエチルカーボネート−S(−3スルホプロピルエステル);
チオ尿素およびその誘導体;
の群から選択された物質がその構成成分であることを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 電気めっき工程は、DCめっきまたはリバースパルスめっきによって行われることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 電気めっき工程は、不溶解性陽極を用いて行われることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 電気めっき工程は、さらにFe2+/Fe3+レドックス系(インパルスシステム)を用いて行われることを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 垂直式または水平式のコンベヤーめっき装置が使用されることを特徴とする請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- さらに、コンディショニング工程の前または後に、水洗および洗浄工程を行うことを特徴とする請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 充填性を高めるため、前記各工程を2回以上行うことを特徴とする請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法。
- コンディショニング工程において基材への光沢剤の吸着を塩化物および/または臭化物で促進する際に、基材にカソード電流を適用することを特徴とする請求項1〜15のいずれか一項に記載の方法。
- 基材がプリント回路基板であることを特徴とする請求項1〜16のいずれか一項に記載の方法。
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