JP2006246510A - 表面波装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面波基板上に第1,第2のバスバー22,23と、第1及び/または第2のバスバー22,23に電気的に接続された複数本の電極指とを有するIDT21が形成されており、第1,第2のバスバー22,23が、反射係数が小さい格子領域を有する、表面波装置。
【選択図】図17
Description
リアライズ社、橋本研也著「弾性表面波(SAW)デバイスシミュレーション技術入門」第145頁〜第153頁
第1の実施例では、前述した表1に従って、上記表面波装置11を作製した。ここで、IDTの開口幅は10λとした。第1の実施例の特徴は、入力側IDT及び出力側IDT13,14のバスバーの幅が開口幅の17〜45%とされていることにある。その他の点については、表1に示した条件で構成された表面波装置と同様とされている。
第2の実施例では、表面波装置11において、入力側IDT13のバスバー幅が、ある1つのモードの応答が極小付近となるバスバー幅とされており、出力側IDT14のバスバー幅が、他のモードの応答が極小付近となるバスバー幅とされる。このように、IDT13のバスバー幅とIDT14のバスバー幅とを異ならせることにより、2つのモードを抑制することができる。
第3の実施例では、第1,第2の実施例よりも高次モードをより効果的に抑圧することができる。第3の実施例では、第2の実施例の条件に加えて、さらに、より一層高次のモードを抑圧するために、IDT13,14のうちの一方のIDTのバスバー幅が、より高次のモードをカットオフし得るバスバー幅以下とされる。
第4の実施例は、本発明の実施例であり、上述したエネルギー蓄積効果を生じさせず、かつバスバー領域における反射を抑制するようにIDTを構成したことに特徴を有する。
以下に、本発明の具体的な実施例としての実験例1〜3を説明する。
以下の構成を除いては表1の条件に従って前述した第4の実施例の表面波装置1を作製した。入力側IDT及び出力側IDTは同一とした。IDTの開口幅は10λとし、IDTに近接させて表面波伝搬方向に直交する方向の寸法が3λであり、格子配置周期が表面波伝搬方向において2λであり、格子のデューティー比が0.5である格子領域22a,23aをバスバーに形成した。なお、バスバー22,23において、格子領域の外側には、表面波伝搬方向と直交する方向である幅方向寸法が2λの金属膜領域22b,23bを形成した。また、ZnO薄膜の表面波伝搬方向と直交する方向の寸法、すなわち幅方向寸法は18λとした。従って、バスバーの幅は4λである。圧電基板の幅方向寸法は70λである。ZnO薄膜は図1の一点鎖線Baで囲まれた領域を覆っており、ZnO薄膜の外側端縁は、バスバーの外側端縁と内側端縁との間に位置している。
以下の構成を除いては表1の条件に従って本発明の実施例としての表面波装置1を作製した。実験例2では、入力側IDTと出力側IDTのバスバー幅を異ならせた。
以下の構成を除いては表2の条件に従って、本発明の実施例としての表面波装置1を作製した。入力側IDT及び出力側IDTは同じように構成した。IDTの開口幅は15λとし、IDTに近接させて表面波伝搬方向に直交する方向の寸法が5λであり、格子配置周期が表面波伝搬方向において2λであり、格子のデューティー比が0.5である格子領域22a,23aをバスバーに形成した。なお、バスバー22,23において、格子領域の外側には、表面波伝搬方向と直交する方向である幅方向寸法が2λの金属膜領域22b,23bを形成した。また、ZnO薄膜の表面波伝搬方向と直交する方向の寸法、すなわち幅方向寸法は40λとした。圧電基板の幅方向寸法は140λである。ZnO薄膜は図1の一点鎖線Bで囲まれた領域を被覆している。
2,3…第1,第2のバスバー
4,5…第1,第2の電極指
6,7…ダミー電極
11…表面波装置
12…表面波基板としての圧電基板
13,14…第1,第2のバスバー
21…IDT
22,23…第1,第2のバスバー
22a,23a…格子領域
22b,23b…金属膜領域
24,25…第1,第2の電極指
Claims (8)
- 表面波基板と、前記表面波基板上に形成された導波路形成用電極とを備え、前記導波路形成用電極が、表面波伝搬方向に延び、互いに隔てられた第1,第2のバスバーと、第1及び/または第2のバスバーに電気的に接続された複数本の電極指とを有し、
前記第1,第2のバスバーが、反射係数が小さい格子領域を有する、表面波装置。 - 前記格子領域の音速が、第1,第2のバスバー間のグレーティング領域及び該バスバーにおける格子領域以外の領域の音速よりも速いことを特徴とする、請求項1に記載の表面波装置。
- 前記格子領域が、第1,第2のバスバー間のグレーティング領域に連なるように配置されている、請求項1または2に記載の表面波装置。
- 前記導波路形成用電極における電極指の表面波伝搬方向の配置周期に対し、前記格子領域の表面波伝搬方向に平行な配置周期が5%以上ずれていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の表面波装置。
- 前記導波路形成用電極がIDTである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の表面波装置。
- 前記導波路形成用電極が反射器である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の表面波装置。
- 前記IDTとして、入力側IDTと、入力側IDTに対して表面波伝搬方向に隔てられた出力側IDTとを有する、請求項5に記載の表面波装置。
- トランスバーサル型表面波フィルタである、請求項1〜7のいずれか1項に記載の表面波装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006104196A JP4345768B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | 表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006104196A JP4345768B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | 表面波装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001384931A Division JP3818148B2 (ja) | 2001-12-18 | 2001-12-18 | 表面波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006246510A true JP2006246510A (ja) | 2006-09-14 |
JP4345768B2 JP4345768B2 (ja) | 2009-10-14 |
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ID=37052340
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006104196A Expired - Lifetime JP4345768B2 (ja) | 2006-04-05 | 2006-04-05 | 表面波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4345768B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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WO2023286704A1 (ja) * | 2021-07-16 | 2023-01-19 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置、フィルタ、分波器及び通信装置 |
CN116436433A (zh) * | 2023-06-12 | 2023-07-14 | 广州市艾佛光通科技有限公司 | 一种声表面波谐振器及声表面波滤波器 |
-
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US9350320B2 (en) | 2011-03-28 | 2016-05-24 | Kyocera Corporation | Acoustic wave element and acoustic wave device using same |
JP2017228945A (ja) * | 2016-06-22 | 2017-12-28 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
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CN116436433A (zh) * | 2023-06-12 | 2023-07-14 | 广州市艾佛光通科技有限公司 | 一种声表面波谐振器及声表面波滤波器 |
CN116436433B (zh) * | 2023-06-12 | 2023-09-05 | 广州市艾佛光通科技有限公司 | 一种声表面波谐振器及声表面波滤波器 |
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JP4345768B2 (ja) | 2009-10-14 |
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A977 | Report on retrieval |
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