JP2006237402A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006237402A5 JP2006237402A5 JP2005051883A JP2005051883A JP2006237402A5 JP 2006237402 A5 JP2006237402 A5 JP 2006237402A5 JP 2005051883 A JP2005051883 A JP 2005051883A JP 2005051883 A JP2005051883 A JP 2005051883A JP 2006237402 A5 JP2006237402 A5 JP 2006237402A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- layer
- film circuit
- circuit portion
- substance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 7
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical group FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims 1
- -1 silver halide Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005051883A JP5153058B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 半導体装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005051883A JP5153058B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 半導体装置の作製方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006237402A JP2006237402A (ja) | 2006-09-07 |
JP2006237402A5 true JP2006237402A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2008-04-10 |
JP5153058B2 JP5153058B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=37044703
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005051883A Expired - Fee Related JP5153058B2 (ja) | 2005-02-25 | 2005-02-25 | 半導体装置の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5153058B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008109116A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-05-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 有機半導体素子、有機半導体素子の製造方法、有機トランジスタアレイ、およびディスプレイ |
TWI570900B (zh) * | 2006-09-29 | 2017-02-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置的製造方法 |
KR101169395B1 (ko) * | 2006-10-13 | 2012-07-30 | 삼성전자주식회사 | 상변화층의 표면처리공정을 포함하는 상변화 메모리 소자의제조방법 |
GB201112548D0 (en) * | 2011-07-21 | 2011-08-31 | Cambridge Display Tech Ltd | Method of forming a top-gate transistor |
CN114505208B (zh) * | 2022-04-19 | 2022-06-14 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种晶片用上蜡机 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3900068B2 (ja) * | 1996-09-19 | 2007-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 発光素子の製造方法 |
JP3738799B2 (ja) * | 1996-11-22 | 2006-01-25 | セイコーエプソン株式会社 | アクティブマトリクス基板の製造方法,アクティブマトリクス基板および液晶表示装置 |
JP4090743B2 (ja) * | 2001-01-18 | 2008-05-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置の作製方法 |
JP4054850B2 (ja) * | 2002-02-15 | 2008-03-05 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 有機エレクトロルミネッセンス露光装置の製造方法 |
JP4314557B2 (ja) * | 2002-09-12 | 2009-08-19 | セイコーエプソン株式会社 | 成膜方法、光学素子、半導体素子および電子機器、電気光学装置の製造方法、カラーフィルターの製造方法 |
JP4151420B2 (ja) * | 2003-01-23 | 2008-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | デバイスの製造方法 |
JP2004273367A (ja) * | 2003-03-11 | 2004-09-30 | Seiko Epson Corp | 導電性パターンの製造方法、電気光学装置及び電子機器 |
JP4588341B2 (ja) * | 2003-03-24 | 2010-12-01 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | Icカード |
JP2005013985A (ja) * | 2003-05-30 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | 膜パターン形成方法、デバイス及びその製造方法、電気光学装置、並びに電子機器、アクティブマトリクス基板の製造方法、アクティブマトリクス基板 |
JP2004363049A (ja) * | 2003-06-06 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法及び、有機エレクトロルミネッセンス表示装置並びに、有機エレクトロルミネッセンス表示装置を備える表示装置 |
-
2005
- 2005-02-25 JP JP2005051883A patent/JP5153058B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8609999B2 (en) | Circuit board, electronic device and method for manufacturing the same | |
CN102237325B (zh) | 填充用基材及使用了该基材的填充方法 | |
US10283629B2 (en) | Scalable process for the formation of self aligned, planar electrodes for devices employing one or two dimensional lattice structures | |
JP2007318106A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2008277798A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
US9627335B2 (en) | Method for processing a semiconductor workpiece and semiconductor workpiece | |
JP2011100991A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2017010971A (ja) | 電子装置及び電子装置の製造方法 | |
JP2016032090A (ja) | 基板及びその製造方法 | |
TW200816437A (en) | An electronics package with an integrated circuit device having post wafer fabrication integrated passive components | |
CN107275315A (zh) | 一种化合物半导体背金电容的结构及其制作方法 | |
JP3590283B2 (ja) | 静電型可動接点素子の製造方法 | |
JP2006237402A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2006135305A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
WO2010047402A1 (en) | Semiconductor apparatus and manufacturing method thereof | |
JP6305472B2 (ja) | 金属連結構造及びその製造方法 | |
TW200823580A (en) | Wiring laminated film and wiring circuit | |
JP2006032917A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2005228298A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
JP2007012031A5 (enrdf_load_stackoverflow) | ||
TW201015674A (en) | Package and fabricating method thereof | |
CN1953157B (zh) | 电子互连及其制造方法 | |
JP2004056143A5 (ja) | 剥離方法、及び半導体装置の作製方法 | |
TWI297513B (en) | Electrode and method for forming the same | |
JP3194419U (ja) | 基板 |