JP2006237396A - 露光データ生成装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 対象領域内に配置された複数のパターンをそれらの配置位置によって分類し、分類されたパターンを用いて各パターンの各辺に隣接するパターンを探索して、隣接パターン情報を取得する。次に、対象領域を階層的に分割してパターンを登録し、その情報を用いてパターン上の評価点における後方散乱強度を計算する。次に、隣接パターン情報と得られた後方散乱強度を用いて、評価点における前方散乱強度と後方散乱強度の和を評価し、パターンの辺の移動量を計算する。そして、その辺を移動量だけ移動させてパターンの図形を変更する。
【選択図】図2
Description
高加速電圧のプロジェクションタイプの露光方法では、収差やクーロン効果に起因するビームのボケにより、実効的な前方散乱の影響が広くなる。特に、スループットを向上させるために電流密度を上げると、ビームボケはより大きくなる。そのため、高加速電圧の露光装置であっても、隣接パターンからの前方散乱の重なりを無視することができなくなってきている。また、低加速電圧の露光方法においては、前方散乱の広がりが比較的大きいため、前方散乱同士が重なりやすい。このように、前方散乱同士の重なりを考慮することが重要になってきているが、隣接パターンの探索に時間がかかることが問題である。
本発明の第1の露光データ生成装置は、格納手段101、探索手段102、後方散乱強度計算手段103、移動量計算手段104、および補正手段105を備え、複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成する。
露光データ生成装置は、例えば、CPUやメモリを備えた情報処理装置を用いて構成される。また、本発明は、電子ビームおよびイオンビームを含む荷電粒子ビームによる露光に適用されるが、以下では電子ビームによる露光を例に取って説明する。
(1)A型
元の領域と同じ領域をサブ領域Aとする。
(2)V型
元の領域を横方向に一定間隔Dで分割し、複数の縦ストライプ型のサブ領域を生成する。この例では、左から順にV−0〜V−4の5つのサブ領域が生成される。
(3)H型
元の領域を縦方向に一定間隔Dで分割し、複数の横ストライプ型のサブ領域を生成する。この例では、下から順にH−0〜H−4の5つのサブ領域が生成される。
(4)L型
元の領域を縦横にそれぞれ一定間隔Dで格子状に分割し、複数のセル型のサブ領域を生成する。この例では、左からi番目かつ下からj番目のサブ領域をL−i−j(i,j=0,1,2,3,4)として、25個のサブ領域が生成される。
L型:L−1−1,L−1−2,L−1−3,L−2−1,L−2−2,L−2−3,L−3−1,L−3−2,L−3−3
H型:H−1,H−2,H−3
V型:V−1,V−2,V−3
A型:A
このようにして抽出された複数のサブ領域に属するパターンとパターンaの各辺の距離を比較し、その辺に最も近いパターンを選択することで、各辺に対する隣接パターンが決定される。
ステップ215では、各階層のサブ領域にそのサブ領域に含まれるパターンの面積密度を設定し、各パターンを最下層のサブ領域の境界で切断してそれらのサブ領域に登録する。
α31=ΣSi /A2
α32=ΣSj /A2
α33=ΣSk /A2
α34=ΣSl /A2 (3)
レベル3の他のサブ領域のパターン面積密度α11〜α14、α21〜α24、α31〜α34も同様にして計算される。こうして得られたレベル3のサブ領域のパターン面積密度から、レベル1および2の各階層のサブ領域のパターン面積密度は、以下のようにして計算される。
レベル2のサブ領域1211〜1214のパターン面積密度α1 〜α4 :
α1 =(α11+α12+α13+α14)/4
α2 =(α21+α22+α23+α24)/4
α3 =(α31+α32+α33+α34)/4
α4 =(α41+α42+α43+α44)/4 (4)
レベル1のサブ領域1201のパターン面積密度α:
α=(α1 +α2 +α3 +α4 )/4 (5)
なお、第3手順で用いられるパターンは、最初は未補正パターンであるが、補正の繰り返しにおける2回目以降の処理では前回補正されたパターンとなる。
(1)L/R<kの場合(RがLに比べて十分大きい場合)
面積密度マップ法により、サブ領域1402内のパターン群からの後方散乱強度を、大きさL×Lでサブ領域1402のパターン面積密度を有する矩形1404からの後方散乱強度で近似して計算する。
(2)L/R≧kの場合
サブ領域1402内にあるn+1番目の階層のサブ領域(2×2個)について、同様の評価を行う。もし、n番目の階層が最下層(n=N)であったならば、サブ領域1402に登録されている個々のパターン1411〜1413からの後方散乱強度を正確に計算する。
k=0.5+後方散乱長(μm)/50 (6)
第4手順において、露光データ生成装置は、ステップ213で取得された、未補正パターンの各辺に対応する隣接パターン情報と、ステップ216で計算された後方散乱強度Fb を用いてその辺の移動量を計算する(ステップ217)。
露光データ生成装置は、パターンのすべての辺に対して上述したサブルーチンにより移動量を計算した後、実際に辺を移動させてパターンの形状を変更する(ステップ218)。このとき、パターン形状を変更したことによって、周辺への後方散乱強度分布が変化するため、第3および第4手順を繰り返し実行して、最終的な補正済みデータ202を生成する。第3および第4手順は、あらかじめ決められた回数だけ繰り返してもよく、ユーザが指示するまで繰り返してもよい。
図17は、移動量計算処理のフローチャートである。図17において、第1式および第2式はそれぞれ上記(7)式および(8)式を指している。
|dx1 −dx1 ’|<ε かつ |dx2 −dx2 ’|<ε (12)
ここで、εは計算精度を表す定数であり、例えば、パターンの設計データのグリッドサイズの1/4の大きさがεとして用いられる。
xi+1 =xi −f(xi )/f’(xi ) (14)
そして、上述した計算精度εを用いて以下の条件が成り立つか否かをチェックする(ステップ1904)。
|xi+1 −xi |<ε (15)
(15)式の条件が成り立たなければ、iの値を1だけインクリメントして(ステップ1906)、ステップ1903以降の処理を繰り返す。そして、ステップ1904において(15)式の条件が成り立てば、xi+1 の値を根xの計算結果として保存し(ステップ1905)、処理を終了する。こうして得られたxの値がdx1 ’またはdx2 ’として用いられる。
f(b)f(c)<0 かつ |f(b)|<|f(c)| (17)
3点をこのように選択しておくことで、点2002のx座標値であるbを最初の推定値として、(16)式によりその改良値を求めることができる。
|x−b|<ε (18)
(18)式の条件が成り立たなければ、次に、xがbとcの間にあるか否かをチェックする(ステップ2106)。xがbとcの間になければ、aにbの値を設定し、bに(b+c)/2の値を設定して(ステップ2107)、ステップ2103以降の処理を繰り返す。一方、xがbとcの間にあれば、aにbの値を設定し、bにxの値を設定して(ステップ2108)、ステップ2103以降の処理を繰り返す。
ところで、図2のステップ215では、各階層の各サブ領域にパターン面積密度のみを設定しているが、設定される情報は、サブ領域内のパターン群の特徴を近似して表現できる情報であればよい。例えば、パターン面積密度に加えて、サブ領域内のパターン群の重心の情報を設定することもできる。
次に、図23に示すように、これらのパターン群を、大きさがサブ領域2301の大きさL×Lと同じで、中心を(xG ,yG )、面積密度をαとする矩形で近似する。αは次式で求められる。
(1)L/R<kの場合
面積密度マップ法により、サブ領域内のパターン群からの前方散乱強度と後方散乱強度を、近似的に計算する。
(2)L/R≧kの場合
サブ領域内にあるn+1番目の階層のサブ領域について評価を行う。もし、n番目の階層が最下層であったならば、サブ領域に登録されている個々のパターンからの前方散乱強度と後方散乱強度を正確に計算する。
次に、第2手順では、次式に基いて辺の移動量dxを計算し(ステップ2404)、辺を移動させてパターンの形状を変更する(ステップ2405)。
本実施形態の露光データ生成装置は、例えば、図25に示すような情報処理装置(コンピュータ)を用いて構成される。図25の情報処理装置は、CPU2501、メモリ2502、入力装置2503、出力装置2504、外部記憶装置2505、媒体駆動装置2506、ネットワーク接続装置2507を備え、それらはバス2508により互いに接続されている。
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納する格納手段と、
前記複数のパターンを前記対象領域内の配置位置によって分類し、分類されたパターンを用いて第1のパターンの辺に隣接する第2のパターンを探索し、該第1および第2のパターンの情報を前記格納手段に格納する探索手段と、
前記第1のパターン上の評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を計算する後方散乱強度計算手段と、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における該第1のパターンからの前方散乱強度と、前記第2のパターンからの前方散乱強度と、前記後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、前記第1および第2のパターンの情報と該後方散乱強度を用いて該第1のパターンの辺の移動量を計算する移動量計算手段と、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する補正手段と
を備えることを特徴とする露光データ生成装置。
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納する格納手段と、
前記対象領域を1番目の階層のサブ領域としてn番目の階層の各サブ領域がn+1番目の階層の複数のサブ領域に分割されるように、該対象領域を階層的に分割して、各階層のサブ領域の情報と最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報を前記格納手段に格納する分割手段と、
第1のパターン上の評価点から比較的遠い第2のパターンからの後方散乱強度を、該第2のパターンを含む比較的上位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算し、該評価点に比較的近い第3のパターンからの後方散乱強度を、該第3のパターンを含む比較的下位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算することで、該評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を求める後方散乱強度計算手段と、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における前方散乱強度と前記複数のパターンからの後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、該第1のパターンの辺の移動量を計算する移動量計算手段と、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する補正手段と
を備えることを特徴とする露光データ生成装置。
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段に格納し、
前記複数のパターンを前記対象領域内の配置位置によって分類し、
分類されたパターンを用いて第1のパターンの辺に隣接する第2のパターンを探索して、該第1および第2のパターンの情報を前記格納手段に格納し、
前記第1のパターン上の評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を計算し、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における該第1のパターンからの前方散乱強度と、前記第2のパターンからの前方散乱強度と、前記後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、前記第1および第2のパターンの情報と該後方散乱強度を用いて該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
(付記12) 複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成するコンピュータのためのプログラムであって、
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段に格納し、
前記対象領域を1番目の階層のサブ領域としてn番目の階層の各サブ領域がn+1番目の階層の複数のサブ領域に分割されるように、該対象領域を階層的に分割して、各階層のサブ領域の情報と最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報を前記格納手段に格納し、
第1のパターン上の評価点から比較的遠い第2のパターンからの後方散乱強度を、該第2のパターンを含む比較的上位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算し、該評価点に比較的近い第3のパターンからの後方散乱強度を、該第3のパターンを含む比較的下位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算することで、該評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を求め、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における前方散乱強度と前記複数のパターンからの後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
探索手段が、対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段から取り出し、該複数のパターンを該対象領域内の配置位置によって分類し、分類されたパターンを用いて第1のパターンの辺に隣接する第2のパターンを探索して、該第1および第2のパターンの情報を該格納手段に格納し、
後方散乱強度計算手段が、前記第1のパターン上の評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を計算し、
移動量計算手段が、前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における該第1のパターンからの前方散乱強度と、前記第2のパターンからの前方散乱強度と、前記後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、前記第1および第2のパターンの情報と該後方散乱強度を用いて該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
補正手段が、前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
ことを特徴とする露光データ生成方法。
分割手段が、対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段から取り出し、該対象領域を1番目の階層のサブ領域としてn番目の階層の各サブ領域がn+1番目の階層の複数のサブ領域に分割されるように、該対象領域を階層的に分割して、各階層のサブ領域の情報と最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報を該格納手段に格納し、
後方散乱強度計算手段が、第1のパターン上の評価点から比較的遠い第2のパターンからの後方散乱強度を、該第2のパターンを含む比較的上位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算し、該評価点に比較的近い第3のパターンからの後方散乱強度を、該第3のパターンを含む比較的下位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算することで、該評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を求め、
移動量計算手段が、前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における前方散乱強度と前記複数のパターンからの後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
補正手段が、前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
ことを特徴とする露光データ生成方法。
102 探索手段
103 後方散乱強度計算手段
104 移動量計算手段
105 補正手段
106 分割手段
107 露光データ
201 未補正データ
202 補正済みデータ
501 拡張領域
1201、1211、1212、1213、1214、1221、1222、1223、1224、1402、1501、2301 サブ領域
1231、1232、1233、1411、1412、1413、1601、1602、1611、1612 パターン
1401、1621、1622 評価点
1403 中心
1404、2302 矩形
1800、2005 曲線
1801、1802、1803、1804、2001、2002、2003、2004 点
2501 CPU
2502 メモリ
2503 入力装置
2504 出力装置
2505 外部記憶装置
2506 媒体駆動装置
2507 ネットワーク接続装置
2508 バス
2509 可搬記録媒体
2601 サーバ
2602 情報処理装置
2611 データベース
Claims (10)
- 複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成する露光データ生成装置であって、
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納する格納手段と、
前記複数のパターンを前記対象領域内の配置位置によって分類し、分類されたパターンを用いて第1のパターンの辺に隣接する第2のパターンを探索し、該第1および第2のパターンの情報を前記格納手段に格納する探索手段と、
前記第1のパターン上の評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を計算する後方散乱強度計算手段と、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における該第1のパターンからの前方散乱強度と、前記第2のパターンからの前方散乱強度と、前記後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、前記第1および第2のパターンの情報と該後方散乱強度を用いて該第1のパターンの辺の移動量を計算する移動量計算手段と、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する補正手段と
を備えることを特徴とする露光データ生成装置。 - 複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成する露光データ生成装置であって、
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納する格納手段と、
前記対象領域を1番目の階層のサブ領域としてn番目の階層の各サブ領域がn+1番目の階層の複数のサブ領域に分割されるように、該対象領域を階層的に分割して、各階層のサブ領域の情報と最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報を前記格納手段に格納する分割手段と、
第1のパターン上の評価点から比較的遠い第2のパターンからの後方散乱強度を、該第2のパターンを含む比較的上位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算し、該評価点に比較的近い第3のパターンからの後方散乱強度を、該第3のパターンを含む比較的下位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算することで、該評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を求める後方散乱強度計算手段と、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における前方散乱強度と前記複数のパターンからの後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、該第1のパターンの辺の移動量を計算する移動量計算手段と、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する補正手段と
を備えることを特徴とする露光データ生成装置。 - 複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成するコンピュータのためのプログラムであって、
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段に格納し、
前記複数のパターンを前記対象領域内の配置位置によって分類し、
分類されたパターンを用いて第1のパターンの辺に隣接する第2のパターンを探索して、該第1および第2のパターンの情報を前記格納手段に格納し、
前記第1のパターン上の評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を計算し、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における該第1のパターンからの前方散乱強度と、前記第2のパターンからの前方散乱強度と、前記後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、前記第1および第2のパターンの情報と該後方散乱強度を用いて該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 前記対象領域と同じ領域を表すサブ領域と、該対象領域を横方向に一定間隔で分割して得られる複数の縦長のサブ領域と、該対象領域を縦方向に一定間隔で分割して得られる複数の横長のサブ領域と、該対象領域を縦横に一定間隔で分割して得られる複数のセル型のサブ領域のうち、各パターンを内包する最小のサブ領域に該パターンを分類する処理を、前記コンピュータに実行させることを特徴とする請求項3記載のプログラム。
- 前記対象領域を1番目の階層のサブ領域としてn番目の階層の各サブ領域がn+1番目の階層の複数のサブ領域に分割されるように、該対象領域を階層的に分割して、各階層のサブ領域の情報と最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報を前記格納手段に格納し、前記評価点から比較的遠い第3のパターンからの後方散乱強度を、該第3のパターンを含む比較的上位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算し、該評価点に比較的近い第4のパターンからの後方散乱強度を、該第4のパターンを含む比較的下位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算することで、前記複数のパターンからの後方散乱強度を求める処理を、前記コンピュータに実行させることを特徴とする請求項3記載のプログラム。
- 各階層のサブ領域の情報として、該サブ領域のパターン面積密度を前記格納手段に格納し、前記最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報として、該サブ領域の境界で切断されたパターンの情報を前記格納手段に格納し、該サブ領域のパターン面積密度を用いて前記サブ領域からの後方散乱強度を求める処理を、前記コンピュータに実行させることを特徴とする請求項5記載のプログラム。
- 1番目の階層から始めて、n番目の階層におけるサブ領域の大きさLと、評価点と該サブ領域の間の距離Rとの比率L/Rをしきい値kと比較し、L/Rがkより小さければ、該サブ領域内に存在する1つ以上のパターンからの後方散乱強度をLと該サブ領域のパターン面積密度を用いて近似的に計算し、L/Rがk以上かつn番目の階層が最下層でなければ、n+1番目の階層においてn番目の階層と同様の比較を繰り返し、L/Rがk以上かつn番目の階層が最下層であれば、個々のパターンからの後方散乱強度を計算することで、前記複数のパターンからの後方散乱強度を求める処理を、前記コンピュータに実行させることを特徴とする請求項6記載のプログラム。
- 複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成するコンピュータのためのプログラムであって、
対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段に格納し、
前記対象領域を1番目の階層のサブ領域としてn番目の階層の各サブ領域がn+1番目の階層の複数のサブ領域に分割されるように、該対象領域を階層的に分割して、各階層のサブ領域の情報と最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報を前記格納手段に格納し、
第1のパターン上の評価点から比較的遠い第2のパターンからの後方散乱強度を、該第2のパターンを含む比較的上位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算し、該評価点に比較的近い第3のパターンからの後方散乱強度を、該第3のパターンを含む比較的下位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算することで、該評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を求め、
前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における前方散乱強度と前記複数のパターンからの後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
処理を前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。 - 複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成する露光データ生成方法であって、
探索手段が、対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段から取り出し、該複数のパターンを該対象領域内の配置位置によって分類し、分類されたパターンを用いて第1のパターンの辺に隣接する第2のパターンを探索して、該第1および第2のパターンの情報を該格納手段に格納し、
後方散乱強度計算手段が、前記第1のパターン上の評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を計算し、
移動量計算手段が、前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における該第1のパターンからの前方散乱強度と、前記第2のパターンからの前方散乱強度と、前記後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、前記第1および第2のパターンの情報と該後方散乱強度を用いて該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
補正手段が、前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
ことを特徴とする露光データ生成方法。 - 複数の辺からなる露光すべきパターンの図形情報を表す露光データを生成する露光データ生成方法であって、
分割手段が、対象領域内に配置された複数のパターンの位置および大きさの情報を含む補正前の露光データを格納手段から取り出し、該対象領域を1番目の階層のサブ領域としてn番目の階層の各サブ領域がn+1番目の階層の複数のサブ領域に分割されるように、該対象領域を階層的に分割して、各階層のサブ領域の情報と最下層の各サブ領域に含まれるパターンの情報を該格納手段に格納し、
後方散乱強度計算手段が、第1のパターン上の評価点から比較的遠い第2のパターンからの後方散乱強度を、該第2のパターンを含む比較的上位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算し、該評価点に比較的近い第3のパターンからの後方散乱強度を、該第3のパターンを含む比較的下位の階層のサブ領域からの後方散乱強度を用いて計算することで、該評価点における前記複数のパターンからの後方散乱強度を求め、
移動量計算手段が、前記第1のパターンの辺を移動させたときに、前記評価点における前方散乱強度と前記複数のパターンからの後方散乱強度の和が基準露光強度となるように、該第1のパターンの辺の移動量を計算し、
補正手段が、前記第1のパターンの辺を得られた移動量だけ移動させて、該第1のパターンの情報を補正する
ことを特徴とする露光データ生成方法。
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