JP5401135B2 - 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム - Google Patents
荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5401135B2 JP5401135B2 JP2009067077A JP2009067077A JP5401135B2 JP 5401135 B2 JP5401135 B2 JP 5401135B2 JP 2009067077 A JP2009067077 A JP 2009067077A JP 2009067077 A JP2009067077 A JP 2009067077A JP 5401135 B2 JP5401135 B2 JP 5401135B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- proximity effect
- effect correction
- correction dose
- δcd
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
上記実施の形態1は、グローバルな領域のパターン分布が同じであるが、小領域のパターン分布が異なるため、エッチング後のパターンの寸法変動量ΔCD’が異なる場合に好適な態様について説明した。
本発明の実施の形態3では、グローバルな領域のパターン分布は同じであるが、この領域よりも小さい領域のパターン分布が異なるため、エッチング後の寸法変動量ΔCD’が異なり、さらに寸法感度a’が相互に異なる場合に好適な態様について説明する。本実施の形態3では、上記実施の形態1で説明したように第2の寸法変動量ΔCD’を求めると共に、上記実施の形態2で説明したように寸法感度a’を求める。
10、10a、10b 制御計算機
110 第1の寸法変動量算出部
112 近接効果補正照射量算出部
114 変化率算出部
116 第2の寸法変動量取得部
118 寸法感度取得部
119 寸法感度取得部
120 かぶり補正照射量算出部
122 ショットデータ生成部
124 補正照射量合成部
126 照射時間算出部
Claims (5)
- 試料の描画領域を第1の寸法でメッシュ状に分割して得られた第1の領域毎に、荷電粒子ビーム描画における近接効果を補正する近接効果補正照射量(DP)を算出する工程と、
前記描画領域を前記第1の寸法よりも大きい第2の寸法でメッシュ状に分割して得られた第2の領域毎に、ローディング効果によるパターンの第1の寸法変動量(ΔCD)を算出する工程と、
荷電粒子ビームの照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量に対する、この第1の領域から所定距離(dx)離れた領域の前記近接効果補正照射量の比率(dDP/dx)を算出する工程と、
前記照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量(DP)、前記比率(dDP/dx)及び前記照射位置を含む前記第2の領域の前記第1の寸法変動量(ΔCD)に応じて、前記第2の領域の第1の寸法変動量(ΔCD)と、この第2の領域に含まれる第1の領域内のパターン分布に起因する寸法変動量との和である第2の寸法変動量(ΔCD’)を取得する工程と、
前記取得した第2の寸法変動量(ΔCD’)を補正するローディング効果補正照射量(DL)と、前記照射位置を含む前記第1の領域の近接効果補正照射量(DP)とを合成する工程と、
前記合成した補正照射量に基づいて、前記荷電粒子ビームを照射する工程とを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。 - 試料の描画領域を第1の寸法でメッシュ状に分割して得られた第1の領域毎に、荷電粒子ビーム描画における近接効果を補正する近接効果補正照射量(DP)を算出する工程と、
前記描画領域を前記第1の寸法よりも大きい第2の寸法でメッシュ状に分割して得られた第2の領域毎に、ローディング効果によるパターンの寸法変動量(ΔCD)を算出する工程と、
荷電粒子ビームの照射位置を含む第1の領域の前記近接効果補正照射量に対する、この第1の領域から所定距離(dx)だけ離れた領域の前記近接効果補正照射量の比率(dDP/dx)を算出する工程と、
前記照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量(DP)及び前記比率(dDP/dx)に応じて、前記荷電粒子ビームの照射量を変化させて試料に描画されるパターンの寸法を測定したときの該照射量の変化量に対する寸法変動量を表す寸法感度(a’)を取得する工程と、
前記取得した寸法感度(a’)を用いて、前記照射位置を含む前記第2の領域の前記寸法変動量(ΔCD)を補正するローディング効果補正照射量(DL)と、前記照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量(DP)とを合成する工程と、
前記合成した補正照射量に基づいて、前記荷電粒子ビームを照射する工程とを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。 - 試料の描画領域を第1の寸法でメッシュ状に分割して得られた第1の領域毎に、荷電粒子ビーム描画における近接効果を補正する近接効果補正照射量(DP)を算出する工程と、
前記描画領域を前記第1の寸法よりも大きい第2の寸法でメッシュ状に分割して得られた第2の領域毎に、ローディング効果によるパターンの第1の寸法変動量(ΔCD)を算出する工程と、
荷電粒子ビームの照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量に対する、この第1の領域から所定距離(dx)離れた領域の前記近接効果補正照射量の比率(dDP/dx)を算出する工程と、
前記照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量(DP)、前記比率(dDP/dx)及び前記照射位置を含む前記第2の領域の前記第1の寸法変動量(ΔCD)に応じて、前記第2の領域の前記第1の寸法変動量(ΔCD)と、この第2の領域に含まれる第1の領域内のパターン分布に起因する寸法変動量との和である第2の寸法変動量(ΔCD’)を取得する工程と、
前記照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量(DP)及び前記比率(dDP/dx)に応じて、前記荷電粒子ビームの照射量を変化させて試料に描画されるパターンの寸法を測定したときの該照射量の変化量に対する寸法変動量を表す寸法感度(a’)を取得する工程と、
前記取得した寸法感度(a’)を用いて、前記取得した第2の寸法変動量(ΔCD’)を補正するローディング効果補正照射量(DL)と、前記照射位置を含む前記第1の領域の近接効果補正照射量(DP)とを合成する工程と、
前記合成した補正照射量に基づいて、前記荷電粒子ビームを照射する工程とを含むことを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。 - 荷電粒子ビーム描画における近接効果を補正する近接効果補正照射量(DP)を算出する近接効果補正照射量算出部と、
第1の領域のパターン分布に依存するローディング効果によるパターンの第1の寸法変動量(ΔCD)を算出する第1の寸法変動量算出部と、
荷電粒子ビームの照射位置を含む領域の前記近接効果補正照射量に対する、この領域から所定距離(dx)離れた領域の前記近接効果補正照射量の比率(dDP/dx)を算出する比率算出部と、
前記近接効果補正照射量(DP)、前記第1の寸法変動量(ΔCD)及び前記比率(d/dxDP)に応じて、前記第1の寸法変動量(ΔCD)と、前記第1の領域よりも小さい第2の領域のパターン分布に依存するローディング効果による寸法変動量との和である第2の寸法変動量(ΔCD’)を取得する第2の寸法変動量取得部と、
前記取得した第2の寸法変動量(ΔCD’)を補正するローディング効果補正照射量(DL)と、前記近接効果補正照射量(DP)とを合成する補正照射量合成部とを備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。 - 試料の描画領域を第1の寸法でメッシュ状に分割して得られた第1の領域毎に、荷電粒子ビーム描画における近接効果を補正する近接効果補正照射量(DP)を算出する手順と、
前記描画領域を前記第1の寸法よりも大きい第2の寸法でメッシュ状に分割して得られた第2の領域毎に、ローディング効果によるパターンの第1の寸法変動量(ΔCD)を算出する手順と、
荷電粒子ビームの照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量に対する、この第1の領域から所定距離(dx)離れた領域の前記近接効果補正照射量の比率(dDP/dx)を算出する手順と、
前記照射位置を含む前記第1の領域の前記近接効果補正照射量(DP)、前記比率(dDP/dx)及び前記照射位置を含む前記第2の領域の前記第1の寸法変動量(ΔCD)に応じて、前記第2の領域の第1の寸法変動量(ΔCD)と、この第2の領域に含まれる第1の領域内のパターン分布に依存するローディング効果によるパターンの寸法変動量との和である第2の寸法変動量(ΔCD’)を取得する手順と、取得した第2の寸法変動量(ΔCD’)を補正する補正照射量(DL)と、前記照射位置を含む前記第1の領域の近接効果補正照射量(DP)とを合成する手順と、
前記合成した補正照射量に基づいて、前記荷電粒子ビームを照射する手順とをコンピュータに実行させるためのプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009067077A JP5401135B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009067077A JP5401135B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010219449A JP2010219449A (ja) | 2010-09-30 |
JP5401135B2 true JP5401135B2 (ja) | 2014-01-29 |
Family
ID=42977933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009067077A Expired - Fee Related JP5401135B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5401135B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5570774B2 (ja) * | 2009-08-04 | 2014-08-13 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画装置および方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003019641A1 (en) * | 2001-08-23 | 2003-03-06 | Acm Research, Inc. | Dummy structures to reduce metal recess in electropolishing process |
JP4461806B2 (ja) * | 2004-01-06 | 2010-05-12 | 凸版印刷株式会社 | パターン描画装置及びパターン描画方法ならびにそのプログラム、フォトマスクとその製造方法および半導体集積回路とその製造方法 |
TW200909997A (en) * | 2004-07-09 | 2009-03-01 | Hoya Corp | Photomask blank, photomask manufacturing method and semiconductor device manufacturing method |
JP4976071B2 (ja) * | 2006-02-21 | 2012-07-18 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
-
2009
- 2009-03-18 JP JP2009067077A patent/JP5401135B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010219449A (ja) | 2010-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4976071B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | |
JP4476975B2 (ja) | 荷電粒子ビーム照射量演算方法、荷電粒子ビーム描画方法、プログラム及び荷電粒子ビーム描画装置 | |
JP5063071B2 (ja) | パタン作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | |
US8610091B2 (en) | Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method | |
KR100843918B1 (ko) | 리소그래피 장치, 빔 조사량 보정 방법, 및 빔 조사량 보정용 프로그램을 기록한 판독 가능한 기록 매체 | |
US10199200B2 (en) | Charged particle beam writing apparatus and charged particle beam writing method | |
KR100865021B1 (ko) | 하전 입자 빔 묘화 방법, 하전 입자 빔 묘화 장치의 지원장치, 묘화 데이터 작성 방법 및 프로그램을 기록한 판독가능한 기록 매체 | |
JP5616674B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP2007188950A (ja) | 偏向収差補正電圧の演算方法及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP2013089839A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP5731257B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP5443548B2 (ja) | パタン作成方法及び荷電粒子ビーム描画装置 | |
US20080265174A1 (en) | Charged particle beam writing apparatus and method | |
JP5401135B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム | |
JP5441806B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP5525902B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP2012069667A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 | |
JP6575455B2 (ja) | 荷電粒子ビーム描画方法及び荷電粒子ビーム描画装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130313 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130319 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131008 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131028 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5401135 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |