JP2006237161A - 真空成膜装置の搬送機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空成膜装置の移載室2において、ガラス基板GをキャリアCから取出トレイToへ移し換えるに際してキャリアCを上昇、下降させるが、その時にキャリアCを支持して搬送する搬送ローラ23が支障とならないように、移載室2の側壁2sを挿通される搬送ローラ23の回転軸31を大気側回転軸31aと真空側回転軸31bがそれぞれに設けたマグネットにより、大気側回転軸31aに属している真空隔壁38を介して、マグネットカップリングされたものとし、真空側回転軸31bに取り付けられてキャリアCの搬送位置にある搬送ローラ23を、カップリングを解除し真空側回転軸31bを大気側へ移動させることによって退避位置とする。
【選択図】 図4
Description
(従来例1)
このような真空成膜装置の搬送機構は、マグネットカップリングを機械的に解除し、かつ復帰させて、搬送ローラを搬送位置と退避位置との間で往復させることを可能にする。また、複数本の回転軸の真空側回転軸部をブラケットで束ねることにより、複数個の搬送ローラを同時に移動させることができる。
このような真空成膜装置の搬送機構は、両側壁の搬送ローラを退避位置として搬送ローラ間の間隔を広げることができ、基板の移し換えに際して、キャリアを支障なく上昇または下降させることができる。
真空側回転軸部に取り付けられた搬送ローラをキャリアやトレイの搬送位置から退避位置へ移動させることができる。
また各実施例においては、ガラス基板に成膜する場合の搬送機構を示したが、真空下において熱処理やプラズマエッチング等の処理を行う場合の搬送機構としても適用することが可能である。
また各実施例においては、ガラス基板に成膜する真空成膜装置における基板の搬送機構を示したが、基板はガラス以外のもの、例えば半導体基板や、ステンレス板等の金属板、プラスチック板であってもよい。
10・・・真空成膜装置、 23・・・搬送ローラ、 28・・・プーリ、
31・・・回転軸、 31a・・・大気側回転軸、 31b・・・真空側回転軸、
32a・・・軸受、 32b・・・軸受、 33・・・軸受ケーシング、
34・・・フランジ、 35・・・取付板、 36・・・スリーブ、
37・・・磁性部材、 38 ・・・真空隔壁、 42a・・・軸受、
42b・・・軸受 、 43・・・軸受ケーシング、 46・・・スリーブ、
47・・・磁性部材、 50・・・退避機構、 51・・・ブラケット、
52・・・磁気シール部、 53・・・連結ロッド、 54・・・作動板、
55・・・エアシリンダ、 60・・・キャリア・トレイ昇降機構 、
61・・・昇降軸、 70・・・ガラス基板昇降機構 、 71・・・昇降軸
73 昇降ピン、
C・・・キャリア、 G・・・ガラス基板、 M・・・永久磁石、
N・・・永久磁石、 Tc・・・仕込トレイ、 To・・・取出トレイ
Claims (4)
- 平板状の基板へ成膜する真空成膜装置の両側の側壁において大気側から真空側へ挿通される搬送ローラの回転軸が大気側回転軸部と真空側回転軸部とからなり、かつ前記大気側回転軸部と前記真空側回転軸部は、それぞれに設けられたマグネットにより、前記大気側回転軸部に気密に取り付けられた真空隔壁を介して、マグネットカップリングされた位置と 前記マグネットカップリングが解除された位置との二位置を取り得るようになっており、前記真空側回転軸部の真空側の端部には、大気側と前記真空成膜装置との間で前記基板を搬入し搬出するトレイ、または前記真空成膜装置内での前記基板の搬送に使用されるキャリアを支持して搬送する前記搬送ローラが取り付けられ、前記大気側回転軸部の大気側の端部には前記回転軸の回転用駆動機構が取り付けられている
ことを特徴とする真空成膜装置の搬送機構。 - 前記真空側回転軸部がブラケットに取り付けられており、前記ブラケットが前記側壁の大気側に設置されたエアシリンダによって前記側壁側へ牽引されることにより、前記マグネットカップリングが解除される位置となって前記真空側回転軸部に取り付けられた前記搬送ローラが前記トレイまたは前記キャリアの搬送位置から退避位置へ移動されて、両側の前記搬送ローラ間の間隔が広げられ、前記ブラケットが前記エアシリンダによって押し戻されることにより、前記搬送ローラが前記退避位置から前記搬送位置へ復帰される
ことを特徴とする請求項1に記載の真空成膜装置の搬送機構。 - 前記トレイから前記キャリアへの前記基板の移し換え、または前記キャリアから前記トレイへの前記基板の移し換えに際し、上昇または下降される前記キャリアの支障とならないように、前記搬送ローラが前記退避位置とされる
ことを特徴とする請求項2に記載の真空成膜装置の搬送機構。 - 平板状の基板へ成膜する真空成膜装置の両側の側壁において大気側から真空側へ挿通される搬送ローラの回転軸が大気側回転軸部と真空側回転軸部とからなり、かつ前記大気側回転軸部と前記真空側回転軸部は、それぞれに設けられたマグネットにより、前記大気側回転軸部に気密に取り付けられた真空隔壁を介して、複数のマグネットカップリングされる位置を取り得るようになっており、前記真空側回転軸部の真空側の端部には、大気側と前記真空成膜装置との間で前記基板を搬入し搬出するトレイ、または前記真空成膜装置内での前記基板の搬送に使用されるキャリアを支持して搬送する前記搬送ローラが取り付けられ、前記大気側回転軸部の大気側の端部には前記回転軸の回転用駆動機構が取り付けられている
ことを特徴とする真空成膜装置の搬送機構。
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