JP2012020881A - 基盤処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基盤を処理するための基盤処理装置であって、室壁1によって画成される装置室並びに、装置室の内部に少なくとも一つの基盤処理装置および、搬送方向において相前後して設けられる、基盤の縦置きまたは横置きの搬送のための搬送ローラー3の配置を備える搬送装置を有している基盤処理装置において、直接相前後して設けられる搬送ローラー3の、少なくとも第一のグループにおいて、各搬送ローラー3が、独自の駆動装置6を備えている。
【選択図】図1
Description
2 開口部
3 搬送ローラー
4 搬送ローラー支承部
5 クラッチ
6 駆動装置
7 ローター軸
8 ローター
9 分離要素
10 ステータコイル
11 支承部ハウジング
12 ローター支承部
13 外部ハウジング
14 くぼみ部
Claims (10)
- 基盤を処理するための基盤処理装置であって、室壁(1)によって画成される装置室並びに、装置室の内部に少なくとも一つの基盤処理装置および、搬送方向において相前後して設けられる、基盤の縦置きまたは横置きの搬送のための搬送ローラー(3)の配置を備える搬送装置を有している基盤処理装置において、
直接相前後して設けられる搬送ローラー(3)の、少なくとも第一のグループにおいて、各搬送ローラー(3)が、独自の駆動装置(6)を備えていることを特徴とする基盤処理装置。 - 搬送ローラー(3)の第一のグループの駆動装置(6)が、搬送ローラーの第二のグループの一または複数の駆動装置から独立して駆動可能であることを特徴とする請求項1に記載の基盤処理装置。
- 搬送ローラー(3)の第一のグループの駆動装置(6)が、独自に駆動可能であることを特徴とする請求項1または2に記載の基盤処理装置。
- 搬送ローラー(3)の第一のグループの駆動装置(6)が、装置室の内部に設けられることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基盤処理装置。
- 搬送ローラー(3)の第一のグループの駆動装置(6)が、装置室の外部に設けられており、そしてトルクが回転実施部を通して各搬送ローラー(3)に伝達されることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基盤処理装置。
- 駆動装置(6)のローター(7)が、装置室内を支配している圧力状況の中に置かれ、ステータ(10)が、装置室を支配している圧力状況の外に置かれることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の基盤処理装置。
- 駆動装置(6)が、駆動装置(6)のローター(8)とステータ(1)を気密に互いに分離する分離要素(9)を備え、この分離要素が、装置室の室壁(1)とガス密に接続されていることを特徴とする請求項6に記載の基盤処理装置。
- 分離要素(9)が、室壁(1)から外に向かって延在していることを特徴とする請求項7に記載の基盤処理装置。
- 分離要素(9)が、室壁(1)から内に向かって延在していることを特徴とする請求項7に記載の基盤処理装置。
- 分離要素(9)が、くぼみ部(14)を備えており、このくぼみ部の中に、ローター(8)が少なくとも部分的に入り込むことを特徴とする請求項9に記載の基盤処理装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010031245.2 | 2010-07-12 | ||
DE201010031245 DE102010031245B4 (de) | 2010-07-12 | 2010-07-12 | Substratbehandlungsanlage |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012020881A true JP2012020881A (ja) | 2012-02-02 |
Family
ID=45372656
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011152687A Pending JP2012020881A (ja) | 2010-07-12 | 2011-07-11 | 基盤処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8851274B2 (ja) |
JP (1) | JP2012020881A (ja) |
DE (1) | DE102010031245B4 (ja) |
LV (1) | LV14503B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2010
- 2010-07-12 DE DE201010031245 patent/DE102010031245B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-06 LV LVP-11-94A patent/LV14503B/lv unknown
- 2011-07-11 JP JP2011152687A patent/JP2012020881A/ja active Pending
- 2011-07-12 US US13/180,944 patent/US8851274B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
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---|---|
DE102010031245A8 (de) | 2012-04-12 |
US20120006656A1 (en) | 2012-01-12 |
LV14503A (lv) | 2012-04-20 |
DE102010031245B4 (de) | 2013-04-11 |
DE102010031245A1 (de) | 2012-01-12 |
US8851274B2 (en) | 2014-10-07 |
LV14503B (lv) | 2012-09-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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