JP2020059912A - 成膜装置 - Google Patents
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
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- Advancing Webs (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
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Abstract
Description
成膜装置1の構造について図1〜図3を参照して説明する。図1、図2に示すように、成膜装置1は、真空室10と移動台8を有している。
ロール18について図3〜図5を参照して説明する。
次に、上部室24と3個の成膜室26について図3と図5を参照して説明する。図3に示すように、真空室10の縦断面は多角形であり、各辺の外壁12の内側に上部室24と3個の成膜室26が設けられている。左上、右上の外壁12からロール18の前後回転軸20,22に向かって隔壁52が前後方向に設けられている。この隔壁52の左右方向の長さは、ロール18の外周部に至るまでである。左下、右下の外壁12からロール18の前後回転軸20,22に向かって隔壁53が前後方向に設けられている。図3に示すように、ロール18の下方にある成膜室26の両側にある一対の隔壁53は、他の隔壁52よりも短く、この位置にロール支持部材32の水平部38が配置される。すなわち、下方の成膜室26に関しては、隔壁53と水平部38によって、区画されている。
次に、扉14の構造について図4と図6を参照して説明する。ロール18は、左右一対のロール支持部材32によって片持ち状態にあり、前回転軸20は、前軸受30に回転自在に支持され、貫通孔28を貫通している。そのため、真空室10を真空にした場合に、扉14が前後方向に歪むと、片持ち状態のロール18の後部が下がることとなる。これを防止するため、本実施形態では、扉14は次の構造を有している。
ロール18の引き出し構造について図1〜図3、図5を参照して説明する。
成膜装置1の動作状態について説明する。
本実施形態によれば、真空室10から扉14を移動台8と共に引き出すと、ロール18、搬入ロール44,46と搬出ロール48,50が引き出されるため、それぞれの成膜室26の内周側が全て開口し、それぞれの成膜室26とロール18を簡単に清掃し、メンテナンスすることができる。
Claims (10)
- 真空室と、
前記真空室の前面に開口した開口部と、
前記開口部を閉塞する扉と、
前記真空室の上面に開口した基材の出し入れ口と、
前記真空室内に水平な状態で前後方向に配され、前記出し入れ口から搬入された前記基材を抱きかかえて回転させ、前記出し入れ口から搬出するロールと、
前記真空室内であって、前記ロールの外周に配された複数の成膜室と、
それぞれの前記成膜室に配され、前記ロールの回転と共に走行する前記基材にそれぞれ成膜を行う成膜形成装置と、
を有し、
前記ロールの前回転軸が前記扉に設けられた前軸受に回転自在に支持され、
前記扉からロール支持部材が後方に向かって設けられ、
前記ロール支持部材の後部に前記ロールの後回転軸を回転自在に支持する後軸受が設けられ、
前記扉に移動台が設けられ、
前記移動台と共に前記扉と前記ロールとを、前後方向に移動させる移動手段が設けられ、
前記移動台には前記扉から突出した前記前回転軸を回転させるロールモータが設けられている、
成膜装置。 - 前記扉は、前扉板と、後扉板と、前記前扉板と前記後扉板の間に挟まれた空間を有し、
前記前扉板と前記空間と前記後扉板に開口し、前記前回転軸が貫通する貫通孔を有する、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記前扉板の前記貫通孔から突出した前記前回転軸を、前記前扉板に回転自在に支持する真空シール軸受が、前記扉に設けられている、
請求項2に記載の成膜装置。 - 前記前扉板と前記真空シール軸受とが、前後方向に伸縮自在な接続部材を介して接続されている、
請求項3に記載の成膜装置。 - 前記真空室が載置された水平面に左右一対のレールが前後方向に設けられ、
前記移動台が左右一対の前記レールを走行する、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記移動手段が、前記移動台に設けられている、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記ロール支持部材は、少なくとも左右一対の水平部を有し、
左右一対の前記水平部の前端部が前記扉にそれぞれ固定され、
左右一対の前記水平部の後端部から左右一対の後支持部がそれぞれ設けられ、
左右一対の前記後支持部の後部に後面板が設けられ、
前記後面板に前記後軸受が設けられている、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記扉と前記後面板との間であって、前記ロールの上方に搬入ロールと搬出ロールが、回転自在に設けられている、
請求項7に記載の成膜装置。 - 隣接する前記成膜室は、隔壁でそれぞれ隔てられている、
請求項8に記載の成膜装置。 - 左右一対の前記水平部が前記隔壁を兼ねている、
請求項9に記載の成膜装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018191856 | 2018-10-10 | ||
JP2018191856 | 2018-10-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020059912A true JP2020059912A (ja) | 2020-04-16 |
JP6909196B2 JP6909196B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=70219392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018202071A Active JP6909196B2 (ja) | 2018-10-10 | 2018-10-26 | 成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6909196B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60234971A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-11-21 | ジエネラル・エンジニアリング・ラドクリフ・リミテツド | 真空成膜装置 |
JPH04329834A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-18 | Kawasaki Steel Corp | 真空室内におけるストリップ搬送ロールの駆動装置 |
JP2006237161A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Ulvac Japan Ltd | 真空成膜装置の搬送機構 |
JP2006281085A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi Eng Co Ltd | 往復動機構を備えた真空装置 |
JP2011094188A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Kobe Steel Ltd | 真空ロール搬送処理装置 |
JP2014234523A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60234971A (ja) * | 1984-03-28 | 1985-11-21 | ジエネラル・エンジニアリング・ラドクリフ・リミテツド | 真空成膜装置 |
JPH04329834A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-18 | Kawasaki Steel Corp | 真空室内におけるストリップ搬送ロールの駆動装置 |
JP2006237161A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Ulvac Japan Ltd | 真空成膜装置の搬送機構 |
JP2006281085A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi Eng Co Ltd | 往復動機構を備えた真空装置 |
JP2011094188A (ja) * | 2009-10-29 | 2011-05-12 | Kobe Steel Ltd | 真空ロール搬送処理装置 |
JP2014234523A (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置 |
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JP6909196B2 (ja) | 2021-07-28 |
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