JP2004085126A - 真空熱処理炉 - Google Patents
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Abstract
【課題】炉内の処理ガスの流速分布が不均一な場合でも被処理品の処理ムラを充分小さくすることができる。
【解決手段】真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、炉内で被処理品Mを載せて昇降ロッド6により上下動可能な架台61を設ける。熱処理時には駆動シャフト72によって昇降ロッド6を上下動させて反応室CR内で架台61を周期的に上下動させる。同時に昇降ロッド6をモータ64によって回転させる。
【選択図】 図1
【解決手段】真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、炉内で被処理品Mを載せて昇降ロッド6により上下動可能な架台61を設ける。熱処理時には駆動シャフト72によって昇降ロッド6を上下動させて反応室CR内で架台61を周期的に上下動させる。同時に昇降ロッド6をモータ64によって回転させる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は真空浸炭炉等の真空熱処理炉において、被処理品の処理ムラを小さくすることができる真空熱処理炉の構造改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
真空浸炭炉において被処理品の浸炭ムラを小さくするために処理ガスの炉内流速分布を均一化することが求められている。このために従来は被処理品を挟んだ上下位置あるいは左右位置に対向するようにガス導入ノズルと真空排気ノズルを設けて処理ガスの平行流を形成するようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、133Pa〜13.3kPa程度の低圧下においても炉内で対流を生じることによってガス流速が特に上下方向で異なるようになり、また、炉内に装入された被処理品の存在自体がガス流を乱して、処理ガスの炉内流速分布を均一化することは至難であり、浸炭ムラ等の処理ムラを充分に小さくすることができないという問題があった。
【0004】
そこで本発明はこのような課題を解決するもので、炉内の処理ガスの流速分布が不均一な場合でも被処理品の処理ムラを充分小さくすることが可能な真空熱処理炉を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本第1発明では、真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、炉内に、被処理品(M)を載せて上下動可能な架台(61)を設けるとともに、熱処理時に架台(61)を周期的に上下動させる上下駆動手段(72)を設ける。
【0006】
本第1発明において、処理ガスのガス流が対流等によって炉内各部で均一とはならない場合でも、架台上の被処理品は炉内で周期的にその高さが変化させられるから、被処理品に対する処理ガスの作用が均一化されて浸炭ムラの発生が最小限に抑えられる。
【0007】
本第2発明では、真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、炉内に、被処理品(M)を載せて水平面内で回転可能な架台(61)を設けるとともに、熱処理時に架台(61)を回転させる回転駆動手段(64)を設ける。
【0008】
本第2発明において、処理ガスのガス流が被処理品の存在等によって炉内各部で均一とはならない場合でも、架台上の被処理品は炉内で水平方向の向きが周期的に変化させられるから、被処理品に対する処理ガスの作用が均一化されて浸炭ムラの発生が最小限に抑えられる。
【0009】
本第3発明では、上記架台(61)を支持するロッド(6)を筒状として、当該ロッド(6)の内部を、処理ガスを炉内へ供給し、又は炉内を真空排気する気体流通路(66)とする。本第3発明においては、ロッド内の気体流通路を利用して炉内への処理ガスの供給又は炉内からの真空排気を行うから、他の処理ガス供給部又は真空排気部と併せて被処理品に対してさらに一様なガス流を作用させることができる。また、他の処理ガス供給部又は真空排気部を省略することもできる。
【0010】
なお、上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1には真空熱処理炉の一例として連続式真空浸炭炉の浸炭処理部の垂直断面図を示す。浸炭処理部では炉内は下半のガス冷却室1と上半の浸炭処理室2に区画されており、両室1,2は仕切壁3に形成された開口31で連通するとともに、水平方向へ移動して開口31を閉鎖する気密扉4によって連通が遮断される。ガス冷却室1にはその側壁に連結されたダクト11,12によって冷却ガスが循環させられる。また、ガス冷却室1内には搬送ローラ13が設けられ、左右の搬送ローラ13は間隔をおいて紙面垂直方向へ多数配設されている。これら搬送ローラ13間に架設された台枠14上のトレー15に被処理品Mを載置して、前処理部からガス冷却室1内に被処理品Mを搬入するとともに、浸炭処理後の被処理品Mをガス冷却室1から後処理部へ搬出する。なお、被処理品Mが歯車のようなものである場合には、トレー15上に複数立設された支持棒に歯車の中心穴を挿通して積層するようにする。
【0012】
浸炭処理室2内にはカーボン製の断熱壁21で囲まれた矩形箱状の反応室CRが設けられており、反応室CRは上記開口31に対応した底壁部分に開口22が形成されるとともに、当該開口22は、左右から水平移動させられるカーボン製の断熱扉23,24によって閉鎖される。反応室CR内にはその側壁内周に沿って上中下の3位置にヒータ25,26,27が設けられ、これらヒータ25〜27の内側位置に処理ガス供給体28が設けられている。この処理ガス供給体28には上下左右方向へ間隔をおいて多数のガス供給口281が形成されている。
【0013】
浸炭処理室2の頂壁から反応室CRの頂壁を上下に貫通して、反応室CRの中央に真空排気装置(図略)から至る排気パイプ5の先端部51が位置しており、当該先端部51の外周には多数の排気口511が形成されている。これにより、反応室CR内の外周部に位置する処理ガス供給体28のガス供給口281から供給された処理ガスは、反応室CRの中央方向へ向かって流れて排気パイプ5の排気口511から排気される。
【0014】
ガス冷却室1の底壁を貫通して上下動可能に昇降ロッド6が設けられており、その上端は被処理品Mを載置するための架台61となっている。昇降ロッド6の下端部62はスライダ71の先端に回転可能に支持されている。スライダ71の基端711は内周に雌ねじを形成した直立姿勢の筒状となっており、上記基端711に、外周に雄ねじを形成した駆動シャフト72が貫設されている。駆動シャフト72は図略のモータによって回転駆動され、駆動シャフト72の正逆回転に伴ってスライド71およびこれに支持された昇降ロッド6が上昇又は下降させられる。
【0015】
台枠14上のトレー15に載せられてガス冷却室1内に搬入された被処理品Mは、昇降ロッド6が台枠14内を上方へ通過する過程で台枠14上から架台61上へ移載され、開放された開口31,22内を経て反応室CR内へ装入される(図1に示す状態)。この状態で、排気パイプ5の先端部51は被処理品Mの中央部の間隙空間内へ相対的に進入する。昇降ロッド6が貫通している開口22は、被処理品Mを反応室CR内へ装入した状態で断熱扉23,24によって閉鎖される。なお、浸炭処理終了後は断熱扉23,24が開放されて昇降ロッド6が下降し、下降途中で架台61上の被処理品Mがガス冷却室1内の台枠14上へ移載される。
【0016】
昇降ロッド6にはスライダ71により支持された下端62近くの外周に歯車63が装着されており、当該歯車63は昇降ロッド6が上昇端に至った図1に示す状態で、炉体側に設けたモータ64の出力軸に装着された歯車65に噛合している。なお、これら歯車63,65の噛合は昇降ロッド6が一定範囲で上下動しても外れないようになっている。
【0017】
このような構造の真空浸炭炉において、浸炭処理をする場合には排気口511より浸炭処理室2内を真空引きするとともにヒータ25〜27に通電して反応室CR内の被処理品Mを加熱し、併せてエチレンガス等の処理ガスを外周のガス供給口281から中央に位置する排気口511へと流通させる。この時、処理ガスのガス流は反応室CR内での対流や被処理品Mの存在によって乱されて、その流速分布は室内各部で均一とはならない。ここにおいて、本実施形態ではモータによって駆動シャフト72を正逆転させて昇降ロッド6を一定範囲で上下動させるとともに、モータ64によって昇降ロッド6を軸回りに回転させる。これにより、架台62上の被処理品Mは反応室CR内で周期的にその高さが変化するとともに、その水平方向の向きも周期的に変化させられる。この結果、処理ガスの流速分布が上下方向や水平方向で不均一であっても、被処理品Mに対する処理ガスの作用が均一化されて浸炭ムラの発生は最小限に抑えられる。
【0018】
本実施形態において、流速分布が垂直面内でそれほど不均一でない場合には昇降ロッド6を上下動させる必要は特にない。また、流速分布が水平面内でそれほど不均一でない場合には昇降ロッド6を回転させる必要は特にない。昇降ロッド6の回転は一定方向への連続回転に代えて、一定周期あるいは一定角度で正逆転を切り替えるようにしても良い。
【0019】
(第2実施形態)
本実施形態においては、図2に示すように昇降ロッド6を筒状としてその内部を気体流通路66としてある。そして、昇降ロッド6の図略の下端はフレキシブルホースによって炉体側に設けた処理ガス供給パイプに接続されている。一方、昇降ロッド6先端の架台61は拡径した角形筒状となって(図3,図4)気体流通路66に連通するとともに、その開口部には平面視で同心円状の(図4)内下方から外上方へ傾斜する整流板67が設けられている。なお、この場合、トレー15の板面には適宜位置にこれを上下に貫通する通気孔151が設けられる。他の構造は第1実施形態と同様であり、同一部分には同一符号を付す。
【0020】
このような構造により、外方のガス供給口281から内方の排気口511へ向かう水平のガス流に加えて、昇降ロッド6の先端架台61から排気口511へ向かう上下方向の新たなガス流が生じて、被処理品Mにさらに一様に処理ガスが作用するようになり、被処理品Mの処理ムラの発生が防止される。
【0021】
なお、本実施形態で、昇降ロッド6の下端をフレキシブルホースによって炉体側の真空排気装置に接続して、ガス供給口281から反応室CR内に供給された処理ガスを、排気パイプ5の排気口511と共に昇降ロッド6の気体流通路66から排気するようにもできる。この場合、排気パイプ5を省略しても良い。また、本実施形態におけるガス供給口281を排気口とし、排気口511をガス供給口としても良い。この場合も昇降ロッド6内の気体流通路66は処理ガスの供給、あるいは排気のいずれにも使用できる。
【0022】
上記各実施形態では連続式真空浸炭炉に本発明を適用した場合について説明したが、バッチ式の真空浸炭炉、あるいは他の真空熱処理炉にも適用することができる。
【0023】
【発明の効果】
以上のように本発明の真空熱処理炉によれば、炉内の処理ガスの流速分布が均一にならない場合でも、処理品の被処理ムラを充分小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における、連続式真空浸炭炉の浸炭処理部の垂直断面図である。
【図2】本発明の第2実施形態における、浸炭処理室の垂直断面図である。
【図3】昇降ロッドの先端部の拡大断面図である。
【図4】昇降ロッドの先端部の平面図である。
【符号の説明】
2…浸炭処理室、6…昇降ロッド、61…架台、64…モータ、66…気体流通路、72…駆動シャフト、M…被処理品。
【発明の属する技術分野】
本発明は真空浸炭炉等の真空熱処理炉において、被処理品の処理ムラを小さくすることができる真空熱処理炉の構造改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
真空浸炭炉において被処理品の浸炭ムラを小さくするために処理ガスの炉内流速分布を均一化することが求められている。このために従来は被処理品を挟んだ上下位置あるいは左右位置に対向するようにガス導入ノズルと真空排気ノズルを設けて処理ガスの平行流を形成するようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、133Pa〜13.3kPa程度の低圧下においても炉内で対流を生じることによってガス流速が特に上下方向で異なるようになり、また、炉内に装入された被処理品の存在自体がガス流を乱して、処理ガスの炉内流速分布を均一化することは至難であり、浸炭ムラ等の処理ムラを充分に小さくすることができないという問題があった。
【0004】
そこで本発明はこのような課題を解決するもので、炉内の処理ガスの流速分布が不均一な場合でも被処理品の処理ムラを充分小さくすることが可能な真空熱処理炉を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本第1発明では、真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、炉内に、被処理品(M)を載せて上下動可能な架台(61)を設けるとともに、熱処理時に架台(61)を周期的に上下動させる上下駆動手段(72)を設ける。
【0006】
本第1発明において、処理ガスのガス流が対流等によって炉内各部で均一とはならない場合でも、架台上の被処理品は炉内で周期的にその高さが変化させられるから、被処理品に対する処理ガスの作用が均一化されて浸炭ムラの発生が最小限に抑えられる。
【0007】
本第2発明では、真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、炉内に、被処理品(M)を載せて水平面内で回転可能な架台(61)を設けるとともに、熱処理時に架台(61)を回転させる回転駆動手段(64)を設ける。
【0008】
本第2発明において、処理ガスのガス流が被処理品の存在等によって炉内各部で均一とはならない場合でも、架台上の被処理品は炉内で水平方向の向きが周期的に変化させられるから、被処理品に対する処理ガスの作用が均一化されて浸炭ムラの発生が最小限に抑えられる。
【0009】
本第3発明では、上記架台(61)を支持するロッド(6)を筒状として、当該ロッド(6)の内部を、処理ガスを炉内へ供給し、又は炉内を真空排気する気体流通路(66)とする。本第3発明においては、ロッド内の気体流通路を利用して炉内への処理ガスの供給又は炉内からの真空排気を行うから、他の処理ガス供給部又は真空排気部と併せて被処理品に対してさらに一様なガス流を作用させることができる。また、他の処理ガス供給部又は真空排気部を省略することもできる。
【0010】
なお、上記カッコ内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1には真空熱処理炉の一例として連続式真空浸炭炉の浸炭処理部の垂直断面図を示す。浸炭処理部では炉内は下半のガス冷却室1と上半の浸炭処理室2に区画されており、両室1,2は仕切壁3に形成された開口31で連通するとともに、水平方向へ移動して開口31を閉鎖する気密扉4によって連通が遮断される。ガス冷却室1にはその側壁に連結されたダクト11,12によって冷却ガスが循環させられる。また、ガス冷却室1内には搬送ローラ13が設けられ、左右の搬送ローラ13は間隔をおいて紙面垂直方向へ多数配設されている。これら搬送ローラ13間に架設された台枠14上のトレー15に被処理品Mを載置して、前処理部からガス冷却室1内に被処理品Mを搬入するとともに、浸炭処理後の被処理品Mをガス冷却室1から後処理部へ搬出する。なお、被処理品Mが歯車のようなものである場合には、トレー15上に複数立設された支持棒に歯車の中心穴を挿通して積層するようにする。
【0012】
浸炭処理室2内にはカーボン製の断熱壁21で囲まれた矩形箱状の反応室CRが設けられており、反応室CRは上記開口31に対応した底壁部分に開口22が形成されるとともに、当該開口22は、左右から水平移動させられるカーボン製の断熱扉23,24によって閉鎖される。反応室CR内にはその側壁内周に沿って上中下の3位置にヒータ25,26,27が設けられ、これらヒータ25〜27の内側位置に処理ガス供給体28が設けられている。この処理ガス供給体28には上下左右方向へ間隔をおいて多数のガス供給口281が形成されている。
【0013】
浸炭処理室2の頂壁から反応室CRの頂壁を上下に貫通して、反応室CRの中央に真空排気装置(図略)から至る排気パイプ5の先端部51が位置しており、当該先端部51の外周には多数の排気口511が形成されている。これにより、反応室CR内の外周部に位置する処理ガス供給体28のガス供給口281から供給された処理ガスは、反応室CRの中央方向へ向かって流れて排気パイプ5の排気口511から排気される。
【0014】
ガス冷却室1の底壁を貫通して上下動可能に昇降ロッド6が設けられており、その上端は被処理品Mを載置するための架台61となっている。昇降ロッド6の下端部62はスライダ71の先端に回転可能に支持されている。スライダ71の基端711は内周に雌ねじを形成した直立姿勢の筒状となっており、上記基端711に、外周に雄ねじを形成した駆動シャフト72が貫設されている。駆動シャフト72は図略のモータによって回転駆動され、駆動シャフト72の正逆回転に伴ってスライド71およびこれに支持された昇降ロッド6が上昇又は下降させられる。
【0015】
台枠14上のトレー15に載せられてガス冷却室1内に搬入された被処理品Mは、昇降ロッド6が台枠14内を上方へ通過する過程で台枠14上から架台61上へ移載され、開放された開口31,22内を経て反応室CR内へ装入される(図1に示す状態)。この状態で、排気パイプ5の先端部51は被処理品Mの中央部の間隙空間内へ相対的に進入する。昇降ロッド6が貫通している開口22は、被処理品Mを反応室CR内へ装入した状態で断熱扉23,24によって閉鎖される。なお、浸炭処理終了後は断熱扉23,24が開放されて昇降ロッド6が下降し、下降途中で架台61上の被処理品Mがガス冷却室1内の台枠14上へ移載される。
【0016】
昇降ロッド6にはスライダ71により支持された下端62近くの外周に歯車63が装着されており、当該歯車63は昇降ロッド6が上昇端に至った図1に示す状態で、炉体側に設けたモータ64の出力軸に装着された歯車65に噛合している。なお、これら歯車63,65の噛合は昇降ロッド6が一定範囲で上下動しても外れないようになっている。
【0017】
このような構造の真空浸炭炉において、浸炭処理をする場合には排気口511より浸炭処理室2内を真空引きするとともにヒータ25〜27に通電して反応室CR内の被処理品Mを加熱し、併せてエチレンガス等の処理ガスを外周のガス供給口281から中央に位置する排気口511へと流通させる。この時、処理ガスのガス流は反応室CR内での対流や被処理品Mの存在によって乱されて、その流速分布は室内各部で均一とはならない。ここにおいて、本実施形態ではモータによって駆動シャフト72を正逆転させて昇降ロッド6を一定範囲で上下動させるとともに、モータ64によって昇降ロッド6を軸回りに回転させる。これにより、架台62上の被処理品Mは反応室CR内で周期的にその高さが変化するとともに、その水平方向の向きも周期的に変化させられる。この結果、処理ガスの流速分布が上下方向や水平方向で不均一であっても、被処理品Mに対する処理ガスの作用が均一化されて浸炭ムラの発生は最小限に抑えられる。
【0018】
本実施形態において、流速分布が垂直面内でそれほど不均一でない場合には昇降ロッド6を上下動させる必要は特にない。また、流速分布が水平面内でそれほど不均一でない場合には昇降ロッド6を回転させる必要は特にない。昇降ロッド6の回転は一定方向への連続回転に代えて、一定周期あるいは一定角度で正逆転を切り替えるようにしても良い。
【0019】
(第2実施形態)
本実施形態においては、図2に示すように昇降ロッド6を筒状としてその内部を気体流通路66としてある。そして、昇降ロッド6の図略の下端はフレキシブルホースによって炉体側に設けた処理ガス供給パイプに接続されている。一方、昇降ロッド6先端の架台61は拡径した角形筒状となって(図3,図4)気体流通路66に連通するとともに、その開口部には平面視で同心円状の(図4)内下方から外上方へ傾斜する整流板67が設けられている。なお、この場合、トレー15の板面には適宜位置にこれを上下に貫通する通気孔151が設けられる。他の構造は第1実施形態と同様であり、同一部分には同一符号を付す。
【0020】
このような構造により、外方のガス供給口281から内方の排気口511へ向かう水平のガス流に加えて、昇降ロッド6の先端架台61から排気口511へ向かう上下方向の新たなガス流が生じて、被処理品Mにさらに一様に処理ガスが作用するようになり、被処理品Mの処理ムラの発生が防止される。
【0021】
なお、本実施形態で、昇降ロッド6の下端をフレキシブルホースによって炉体側の真空排気装置に接続して、ガス供給口281から反応室CR内に供給された処理ガスを、排気パイプ5の排気口511と共に昇降ロッド6の気体流通路66から排気するようにもできる。この場合、排気パイプ5を省略しても良い。また、本実施形態におけるガス供給口281を排気口とし、排気口511をガス供給口としても良い。この場合も昇降ロッド6内の気体流通路66は処理ガスの供給、あるいは排気のいずれにも使用できる。
【0022】
上記各実施形態では連続式真空浸炭炉に本発明を適用した場合について説明したが、バッチ式の真空浸炭炉、あるいは他の真空熱処理炉にも適用することができる。
【0023】
【発明の効果】
以上のように本発明の真空熱処理炉によれば、炉内の処理ガスの流速分布が均一にならない場合でも、処理品の被処理ムラを充分小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態における、連続式真空浸炭炉の浸炭処理部の垂直断面図である。
【図2】本発明の第2実施形態における、浸炭処理室の垂直断面図である。
【図3】昇降ロッドの先端部の拡大断面図である。
【図4】昇降ロッドの先端部の平面図である。
【符号の説明】
2…浸炭処理室、6…昇降ロッド、61…架台、64…モータ、66…気体流通路、72…駆動シャフト、M…被処理品。
Claims (3)
- 真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、前記炉内に、前記被処理品を載せて上下動可能な架台を設けるとともに、熱処理時に前記架台を周期的に上下動させる上下駆動手段を設けたことを特徴とする真空熱処理炉。
- 真空排気した炉内に処理ガスを導入して被処理品を熱処理する真空熱処理炉において、前記炉内に、前記被処理品を載せて水平面内で回転可能な架台を設けるとともに、熱処理時に前記架台を回転させる回転駆動手段を設けたことを特徴とする真空熱処理炉。
- 前記架台を支持するロッドを筒状として、当該ロッドの内部を、処理ガスを炉内へ供給し、又は炉内を真空排気する気体流通路とした請求項1又は2に記載の真空熱処理炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002248750A JP2004085126A (ja) | 2002-08-28 | 2002-08-28 | 真空熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002248750A JP2004085126A (ja) | 2002-08-28 | 2002-08-28 | 真空熱処理炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004085126A true JP2004085126A (ja) | 2004-03-18 |
Family
ID=32056051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002248750A Pending JP2004085126A (ja) | 2002-08-28 | 2002-08-28 | 真空熱処理炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004085126A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101957141A (zh) * | 2010-10-27 | 2011-01-26 | 中冶南方(武汉)威仕工业炉有限公司 | 外机热处理炉坯料装卸装置 |
JP2013024486A (ja) * | 2011-07-22 | 2013-02-04 | Ipsen Co Ltd | 金属半製品の熱処理のための縦型真空炉 |
CN108148980A (zh) * | 2018-03-16 | 2018-06-12 | 江苏石川岛丰东真空技术有限公司 | 均压负载装置和回火炉 |
CN109059537A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-12-21 | 熊仲民 | 一种炉底可活动型的立式烧结炉 |
EP3708695A4 (en) * | 2017-11-08 | 2020-12-23 | Denso Corporation | GAS CARBURIZING DEVICE AND GAS CARBURIZING METHOD |
-
2002
- 2002-08-28 JP JP2002248750A patent/JP2004085126A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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