JP2006269591A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
基板200を処理する処理ガスをプラズマ励起するため処理室201内に設けられた一対の電極323、324であって、少なくとも一方に基板が載置される一対の電極と、一対の電極へ高周波電力を供給する高周波電力供給手段308と、一対の電極を回転させる回転手段331と、回転手段により一対の電極が回転している間は一対の電極への高周波電力の供給を停止し、一対の電極の回転が停止している間に一対の電極に高周波電力を供給するように、少なくとも回転手段と高周波電力供給手段とを制御する制御部332とを備える。
【選択図】 図2
Description
基板を処理する空間を形成する処理室と、
前記処理室内に所望の処理ガスを供給するガス供給手段と、
前記処理室内の雰囲気を排気するガス排気手段と、
前記処理ガスをプラズマ励起するため前記処理室内に設けられた少なくとも一対の電極であって、前記一対の電極の少なくとも一方に基板が載置される前記一対の電極と、
前記一対の電極へ高周波電力を供給する高周波電力供給手段と、
前記処理室内で前記基板に対する処理を実行している間の所定の期間、前記一対の電極を回転させる回転手段と、を備え、
前記回転手段により前記一対の電極が回転している間は前記一対の電極への高周波電力の供給を停止し、前記一対の電極の回転が停止している間に前記一対の電極に高周波電力を供給するように、少なくとも前記回転手段と前記高周波電力供給手段とを制御する制御部をさらに備える基板処理装置が提供される。
本発明の好ましい実施例では、減圧下の反応室内に回転可能に多段に設けたサセプタ電極に複数の被処理基板を載置しプラズマを用いて一括処理する装置において、プラズマを生成する為の高周波電力をサセプタ電極の回転を停止した状態で供給し、被処理基板の処理を均一にするためにプラズマを生成しないプロセス時は被処理基板を回転する。
なお、カセット移載機114等の搬送動作は、搬送制御手段124により制御される。
101…筐体
105…カセットステージ
109…カセット棚
110…予備カセット棚
112…ウエハ移載機
113…移載エレベータ
114…カセット移載機
115…カセットエレベータ
116…炉口シャッタ
118…クリーンユニット
121…ボートエレベータ
122…昇降部材
123…移載棚
124…搬送制御手段
200…ウエハ
201…処理室
202…処理炉
217…ボート
219…シールキャップ
302…反応管
303…電極支柱A
304…電極支柱B
306…排気管
307…ポンプ
308…高周波電源
309…整合器
310…ガス導入ポート
311…ノズル
312…電極支柱受け
313…回転テーブル
314…ヒーター
315…回転軸
317…絶縁可動シール部
318…高周波電力供給フィーダ
319…プラズマ
320…インレットフランジ
323…サセプタ電極A
324…サセプタ電極B
326…磁気シール
327…絶縁ブロック
328…排気口
331…回転起動部
332…制御装置
Claims (1)
- 基板を処理する空間を形成する処理室と、
前記処理室内に所望の処理ガスを供給するガス供給手段と、
前記処理室内の雰囲気を排気するガス排気手段と、
前記処理ガスをプラズマ励起するため前記処理室内に設けられた少なくとも一対の電極であって、前記一対の電極の少なくとも一方に基板が載置される前記一対の電極と、
前記一対の電極へ高周波電力を供給する高周波電力供給手段と、
前記処理室内で前記基板に対する処理を実行している間の所定の期間、前記一対の電極を回転させる回転手段と、を備え、
前記回転手段により前記一対の電極が回転している間は前記一対の電極への高周波電力の供給を停止し、前記一対の電極の回転が停止している間に前記一対の電極に高周波電力を供給するように、少なくとも前記回転手段と前記高周波電力供給手段とを制御する制御部をさらに備える基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005083290A JP2006269591A (ja) | 2005-03-23 | 2005-03-23 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005083290A JP2006269591A (ja) | 2005-03-23 | 2005-03-23 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006269591A true JP2006269591A (ja) | 2006-10-05 |
Family
ID=37205260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005083290A Pending JP2006269591A (ja) | 2005-03-23 | 2005-03-23 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006269591A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101362813B1 (ko) * | 2007-08-08 | 2014-02-14 | (주)소슬 | 플라즈마 처리 장치 |
KR101362811B1 (ko) | 2008-02-11 | 2014-02-14 | (주)소슬 | 배치식 기판 지지 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
JP2014510318A (ja) * | 2011-02-03 | 2014-04-24 | 株式会社リコー | アプリケーションを認証するためのシグネチャを生成する方法及びシステム |
-
2005
- 2005-03-23 JP JP2005083290A patent/JP2006269591A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101362813B1 (ko) * | 2007-08-08 | 2014-02-14 | (주)소슬 | 플라즈마 처리 장치 |
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