JP2006281085A - 往復動機構を備えた真空装置 - Google Patents
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Abstract
簡単な構成で、真空容器外部に固定されている往復動の駆動装置の軸心と真空容器に収納された遮へい体に取り付けられた対象物を駆動する駆動軸との軸心を一致させることができ、信頼性の高い往復動機構を備えた真空装置を提供する。
【解決手段】
真空装置は、真空容器の外部で、駆動装置の軸心と駆動軸の軸心とが軸心合せを行う位置決め機構によって位置決めされ、かつ気密に取り付けた第1の真空フランジと、該真空フランジ上方にあって駆動軸が固定される2の真空フランジと、第1の真空フランジと第2の真空フランジとの間に設けられて駆動軸の往復のストローク中あるいは回転中の気密を保持し、真空容器の外部に設けられた第1のベローズと、真空容器と第1の真空フランジの間に軸心合せに伴なって生じる軸心方向に対して直角方向の力を吸収する第2のベローズとを有して構成される。
【選択図】 図1
Description
前記真空容器の外部で、前記駆動装置の軸心と前記駆動軸の軸心とが軸心合せを行う位置決め機構によって位置決めされ、かつ気密に前記遮へい体に取り付けた第1の真空フランジと、該真空フランジ上方にあって前記駆動軸が固定され、かつ前記駆動装置によって往復動方向に駆動される2の真空フランジと、第1の真空フランジと第2の真空フランジとの間に設けられて前記駆動軸の往復のストローク中あるいは回転中の気密を保持し、前記真空容器の外部に設けられた第1のベローズと、前記真空容器と第1の真空フランジの間に前記軸心合せによって生じた軸心方向に対して直角方向の力を吸収する第2のベローズとを有して構成する往復動機構を備えた真空装置を提供する。
真空容器の外部で、駆動装置の軸心と駆動軸の軸心とが軸心合せを行う位置決め機構によって位置決めされ、かつ気密に前記遮へい体に取り付けた第1の真空フランジと、該真空フランジ上方にあって駆動軸が固定され、かつ駆動軸装置によって往復動方向に駆動される2の真空フランジと、第1の真空フランジと第2の真空フランジとの間に設けられて駆動軸の往復のストローク中あるいは回転中の気密を保持し、真空容器の外部に設けられた第1のベローズと、真空容器と第1の真空フランジの間に前記軸心合せによって生じた軸心方向に対して直角方向の力を吸収する第2のベローズとを有し、真空容器に対して傾斜して設けられる第3の真空フランジと、この第3の真空フランジの上面に傾斜して配設される第4の真空フランジを有し、第2のべローズは該第4の真空フランジと第3の真空フランジを介して真空容器に配設されるようにして構成される。
真空容器2の外部で、駆動装置9の軸心と駆動軸6の軸心との軸心合せを行う位置決め機構16によって位置決めされ、かつ遮へい体3に気密に取り付けた第1の真空フランジ14と、該真空フランジ上方にあって駆動軸6が固定される第2の真空フランジ11と、第1の真空フランジ14と第2の真空フランジ11との間に設けられて駆動軸6の往復のストローク中あるいは回転中の気密を保持し、真空容器2の外部に設けられた第1のベローズ12と、真空容器2と第1の真空フランジ14の間に軸心合せによって生じた軸心方向に対して直角方向の力を吸収する第2のベローズとを有して往復動機構を備えた真空装置100が構成される。
Claims (4)
- 対象物を内部に配設する真空容器と、該真空容器内に配設した遮へい体と、該遮へい体を貫通し、一方端が前記対象物に連結された駆動軸と、該駆動軸の他方端が連結され、前記真空容器の外部に配置され、前記駆動軸を往復動駆動する駆動装置と、を備えた真空装置において、
前記真空容器の外部で、前記駆動装置の軸心と前記駆動軸の軸心とが軸心合せを行う位置決め機構によって位置決めされ、かつ気密に前記遮へい体に取り付けた第1の真空フランジと、該真空フランジ上方にあって前記駆動軸が固定され、かつ前記駆動装置によって往復動方向に駆動される2の真空フランジと、第1の真空フランジと第2の真空フランジとの間に設けられて前記駆動軸の往復のストローク中あるいは回転中の気密を保持し、前記真空容器の外部に設けられた第1のベローズと、前記真空容器と第1の真空フランジの間に設けられて前記軸心合せによって生じた軸心方向に対して直角方向の力を吸収する第2のベローズとを有して構成すること
を特徴とする往復動機構を備えた真空装置。 - 請求項1において、前記真空容器に対して傾斜して設けられる第3の真空フランジと、この第3の真空フランジの上面に傾斜して配設される第4の真空フランジを有し、第2のべローズは該第4の真空フランジと第3の真空フランジを介して前記真空容器に配設されることを特徴とする往復動機構を備えた真空装置。
- 請求項1または2において、前記駆動軸は往復駆動する往復動駆動軸と該往復動駆動軸に平行に配設された回転駆動軸とからなり、前記往復駆動軸は第2の真空フランジに固定され、前記回転駆動軸は第2の真空フランジを貫通することを特徴とする往復動機構を備えた真空装置。
- 請求項3において、前記往復動駆動軸を円筒に構成し、該往復動駆動軸と前記回転駆動軸を同軸に配設したことを特徴とする往復動機構を備えた真空装置。
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