JPH1029891A - 可動部材による仕切りの密閉横断装置 - Google Patents
可動部材による仕切りの密閉横断装置Info
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- JPH1029891A JPH1029891A JP9085197A JP8519797A JPH1029891A JP H1029891 A JPH1029891 A JP H1029891A JP 9085197 A JP9085197 A JP 9085197A JP 8519797 A JP8519797 A JP 8519797A JP H1029891 A JPH1029891 A JP H1029891A
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16J15/00—Sealings
- F16J15/50—Sealings between relatively-movable members, by means of a sealing without relatively-moving surfaces, e.g. fluid-tight sealings for transmitting motion through a wall
- F16J15/52—Sealings between relatively-movable members, by means of a sealing without relatively-moving surfaces, e.g. fluid-tight sealings for transmitting motion through a wall by means of sealing bellows or diaphragms
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- Y10T403/451—Rigid sleeve encompasses flexible bushing
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明の目的は、密閉した仕切りを介して、
前記仕切りの封止を維持しつつも同時に起こる複雑な機
械的運動の伝達を可能にする装置を提供することであ
る。 【解決手段】 本発明は、仕切りまたは隔壁の可動部材
による密閉した横断をなすための装置に関する。この目
的は、当該部材による仕切りの横断軸及び当該部材の変
位方向に直角を呈する回転軸を中心に回転するよう仕切
りに取り付けられ、その内部に前記部材が挿通する少な
くとも１つの外郭体またはスリーブと、部材により密着
して横切られかつ前記部材とともに前記変位方向におけ
るその変位に対して移動可能なプレートと、プレートと
スリーブとの密着結合及びスリーブと仕切りとの密着結
合をなす第１及び第２の密閉膜と、を有する装置を利用
して達成される。
前記仕切りの封止を維持しつつも同時に起こる複雑な機
械的運動の伝達を可能にする装置を提供することであ
る。 【解決手段】 本発明は、仕切りまたは隔壁の可動部材
による密閉した横断をなすための装置に関する。この目
的は、当該部材による仕切りの横断軸及び当該部材の変
位方向に直角を呈する回転軸を中心に回転するよう仕切
りに取り付けられ、その内部に前記部材が挿通する少な
くとも１つの外郭体またはスリーブと、部材により密着
して横切られかつ前記部材とともに前記変位方向におけ
るその変位に対して移動可能なプレートと、プレートと
スリーブとの密着結合及びスリーブと仕切りとの密着結
合をなす第１及び第２の密閉膜と、を有する装置を利用
して達成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、囲い（或いはエ
ンクロージャ）の中へその外側に生じた運動を伝達する
ような部材によって、前記囲いの封鎖を維持しつつも仕
切りまたは隔壁の密閉した横断（交差）をなす装置に関
する。
ンクロージャ）の中へその外側に生じた運動を伝達する
ような部材によって、前記囲いの封鎖を維持しつつも仕
切りまたは隔壁の密閉した横断（交差）をなす装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】密閉されたエンクロージャにおいては、
実行されなければならないある幾つかの動作があり、こ
れには雰囲気、温度及び圧力の如き動作状態を制御しま
たは監視することが可能でなければならない。これらの
動作は、手動操作の処理を必要とすることがあり、モー
タによって制御される適切な手段の存在を要求するもの
である。しかしながら、このようなモータを必ずしもエ
ンクロージャの内部に設置できるとは限らず、これは特
に、その占める場所、それが生み出す汚れ、及び／また
は前記モータの動作に対する当該動作状態の不適性のた
めである。
実行されなければならないある幾つかの動作があり、こ
れには雰囲気、温度及び圧力の如き動作状態を制御しま
たは監視することが可能でなければならない。これらの
動作は、手動操作の処理を必要とすることがあり、モー
タによって制御される適切な手段の存在を要求するもの
である。しかしながら、このようなモータを必ずしもエ
ンクロージャの内部に設置できるとは限らず、これは特
に、その占める場所、それが生み出す汚れ、及び／また
は前記モータの動作に対する当該動作状態の不適性のた
めである。
【０００３】例えば、ＥＰ−Ａ−６５３ ５０４に記述
されている単結晶質または多結晶質の部品の生産処理
は、密封したエンクロージャの中で行われる必要がある
が、これは高い温度を必要とし、生産される部品の酸化
や汚染を回避するために雰囲気を制御することを要求し
ているからである。その上、この処理は、かかる部品に
幾らか複雑な形状を施すよう、前記部品の引き抜き方向
に直角な少なくとも１つの平行移動を当該部品になさし
めるように、その製造中において、かかる単結晶質また
は多結晶質の部品の手操作を要求するものである。
されている単結晶質または多結晶質の部品の生産処理
は、密封したエンクロージャの中で行われる必要がある
が、これは高い温度を必要とし、生産される部品の酸化
や汚染を回避するために雰囲気を制御することを要求し
ているからである。その上、この処理は、かかる部品に
幾らか複雑な形状を施すよう、前記部品の引き抜き方向
に直角な少なくとも１つの平行移動を当該部品になさし
めるように、その製造中において、かかる単結晶質また
は多結晶質の部品の手操作を要求するものである。
【０００４】したがって、ここでの問題は、密閉したエ
ンクロージャの内部へ、そのエンクロージャの外側に配
置されたモータにより発生した運動を、当該エンクロー
ジャの閉じ込め及び封止に配慮しつつ伝達することであ
る。先行技術として、ＦＲ−Ａ−２ ７０７ １８０
は、塗料の撹拌機械のための撹拌機カバーを記述してい
る。このカバーは、撹拌するスピンドル（心棒）上に典
型的な封止蛇腹（ベローズ）が設けられており、かかる
スピンドルの回転移動を可能としている。
ンクロージャの内部へ、そのエンクロージャの外側に配
置されたモータにより発生した運動を、当該エンクロー
ジャの閉じ込め及び封止に配慮しつつ伝達することであ
る。先行技術として、ＦＲ−Ａ−２ ７０７ １８０
は、塗料の撹拌機械のための撹拌機カバーを記述してい
る。このカバーは、撹拌するスピンドル（心棒）上に典
型的な封止蛇腹（ベローズ）が設けられており、かかる
スピンドルの回転移動を可能としている。
【０００５】文献“Les Techniques d l'Ingenieur”(G
enie Mecanique B5 II 5421-1/6.11)においては、動的
結合のための封止を可撓性の金属部材を利用して達成し
ており、かかる部材は、容易に変形可能であり、その可
動及び固定表面の各々に溶接または半田づけされたもの
である。この文献は、溶接されたディスク及び起伏する
金属の蛇腹部を具備する金属蛇腹の使い方を記述してい
る。
enie Mecanique B5 II 5421-1/6.11)においては、動的
結合のための封止を可撓性の金属部材を利用して達成し
ており、かかる部材は、容易に変形可能であり、その可
動及び固定表面の各々に溶接または半田づけされたもの
である。この文献は、溶接されたディスク及び起伏する
金属の蛇腹部を具備する金属蛇腹の使い方を記述してい
る。
【０００６】文献“Les Techniques d l'Ingenieur”(G
enie Mecanique B5 II 5421-9/7.12)においては、非磁
性かつ薄い密閉エンクロージャの外側のモータの駆動シ
ャフトに一体化された一方の磁気部品が当該密閉エンク
ロージャ内の駆動シャフトに一体化されたもう片方の磁
気部品を駆動する、という磁気的な伝達を用いた装置に
よって封止を達成している。
enie Mecanique B5 II 5421-9/7.12)においては、非磁
性かつ薄い密閉エンクロージャの外側のモータの駆動シ
ャフトに一体化された一方の磁気部品が当該密閉エンク
ロージャ内の駆動シャフトに一体化されたもう片方の磁
気部品を駆動する、という磁気的な伝達を用いた装置に
よって封止を達成している。
【０００７】しかしながら、これらの装置の実際の設計
の結果としては、かかる装置が、シャフトの回転運動や
前記部材による密閉仕切りの交差（横断）方向における
その部材の平行運動のような、単純な機械的運動を密閉
仕切りを介して伝達することしかできない。故に、これ
らの装置は、密閉した仕切りを介しての同時かつ複雑な
機械的運動を伝達することができないのである。
の結果としては、かかる装置が、シャフトの回転運動や
前記部材による密閉仕切りの交差（横断）方向における
その部材の平行運動のような、単純な機械的運動を密閉
仕切りを介して伝達することしかできない。故に、これ
らの装置は、密閉した仕切りを介しての同時かつ複雑な
機械的運動を伝達することができないのである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
説明に参酌される問題を解決することのできる、仕切り
の密着した横断をなす新規な装置を提供することであ
る。
説明に参酌される問題を解決することのできる、仕切り
の密着した横断をなす新規な装置を提供することであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この新規な装置は、可動
部材による仕切りの横断軸と直角をなす少なくとも１つ
の変位方向において、前記可動部材により仕切りの密着
した横断をなすため装置であって、当該部材による仕切
りの横断軸及び前記部材の変位方向と直角をなす回転軸
を中心にして回転するように仕切りに取り付けられ、そ
の内部に当該部材が挿通する少なくとも１つのスリーブ
と、当該部材により密着して横切られかつ前記部材とと
もに前記変位方向におけるその変位に対して移動可能な
プレートと、第１及び第２の密閉膜と、を有し、第１の
密閉膜は、スリーブの第１の端部を仕切りに密着して結
合し、第２の密閉膜は、スリーブの第２の端部をプレー
トに密着して結合することを特徴としている。
部材による仕切りの横断軸と直角をなす少なくとも１つ
の変位方向において、前記可動部材により仕切りの密着
した横断をなすため装置であって、当該部材による仕切
りの横断軸及び前記部材の変位方向と直角をなす回転軸
を中心にして回転するように仕切りに取り付けられ、そ
の内部に当該部材が挿通する少なくとも１つのスリーブ
と、当該部材により密着して横切られかつ前記部材とと
もに前記変位方向におけるその変位に対して移動可能な
プレートと、第１及び第２の密閉膜と、を有し、第１の
密閉膜は、スリーブの第１の端部を仕切りに密着して結
合し、第２の密閉膜は、スリーブの第２の端部をプレー
トに密着して結合することを特徴としている。
【００１０】かかる部材が、前記部材による仕切りの横
断軸に直角を呈する複数の変位方向において移動可能で
ある場合には、この装置は、縦続的に配列されてかつ当
該部材により横切られた第１及び第２のスリーブと、第
１のスリーブ及び第２のスリーブの各近接端部の間に挿
入された密着結合手段とを有し、かかる第１のスリーブ
は、第１の軸を中心に回転するよう仕切りに取り付けら
れかつ第１の密閉膜によって仕切りと密着して結合さ
れ、かかる第２のスリーブは、第２の軸を中心に回転す
るよう取り付けられかつ第２の密閉膜によってプレート
と密着して結合され、当該第１及び第２の軸は、互いに
直角を呈しかつ該部材による仕切りの横断軸と直角を呈
している。
断軸に直角を呈する複数の変位方向において移動可能で
ある場合には、この装置は、縦続的に配列されてかつ当
該部材により横切られた第１及び第２のスリーブと、第
１のスリーブ及び第２のスリーブの各近接端部の間に挿
入された密着結合手段とを有し、かかる第１のスリーブ
は、第１の軸を中心に回転するよう仕切りに取り付けら
れかつ第１の密閉膜によって仕切りと密着して結合さ
れ、かかる第２のスリーブは、第２の軸を中心に回転す
るよう取り付けられかつ第２の密閉膜によってプレート
と密着して結合され、当該第１及び第２の軸は、互いに
直角を呈しかつ該部材による仕切りの横断軸と直角を呈
している。
【００１１】変形例によれば、かかる密着結合手段は、
第３の密閉膜によって第１のスリーブの第２の端部と密
着して結合される第１の端部と、第４の密閉膜によって
第２のスリーブの第１の端部と密着して結合される第２
の端部とを具備する第３のスリーブを有している。もう
１つの変形例によれば、第１のスリーブ及び第２のスリ
ーブが、異なる直径を有するとともに、密着結合手段
が、第１のスリーブ及び第２のスリーブの近接端部を結
合する第５の密閉膜を有している。
第３の密閉膜によって第１のスリーブの第２の端部と密
着して結合される第１の端部と、第４の密閉膜によって
第２のスリーブの第１の端部と密着して結合される第２
の端部とを具備する第３のスリーブを有している。もう
１つの変形例によれば、第１のスリーブ及び第２のスリ
ーブが、異なる直径を有するとともに、密着結合手段
が、第１のスリーブ及び第２のスリーブの近接端部を結
合する第５の密閉膜を有している。
【００１２】かかる前記密閉膜は、弾性質の膜であるの
が好ましい。かかる部材はまた、その仕切り横断軸を中
心にして回転移動をなすこと及び／または前記横断軸に
したがう平行移動が可能である。そして封またはガスケ
ットが当該部材とプレートとの間に挿入される。結晶の
引き込みに対する本発明の第１の応用例においては、か
かる部材が引き込みスピンドルとなる。
が好ましい。かかる部材はまた、その仕切り横断軸を中
心にして回転移動をなすこと及び／または前記横断軸に
したがう平行移動が可能である。そして封またはガスケ
ットが当該部材とプレートとの間に挿入される。結晶の
引き込みに対する本発明の第１の応用例においては、か
かる部材が引き込みスピンドルとなる。
【００１３】結晶の引き込みに対する本発明の第２の応
用例においては、かかる部材が容器（るつぼ）に結合さ
れる。本発明の特徴や効果は、例示されかつ限定されな
い以下の実施例を、添付の図面を参照して考慮すること
により得られる。
用例においては、かかる部材が容器（るつぼ）に結合さ
れる。本発明の特徴や効果は、例示されかつ限定されな
い以下の実施例を、添付の図面を参照して考慮すること
により得られる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施例は、図１及
び図２に示される。密閉仕切りまたは隔壁８は、密閉し
た筺体部（エンクロージャ）を形成しており、前記密閉
仕切りは、部材１０によって開口部２において完全に横
切られている。
び図２に示される。密閉仕切りまたは隔壁８は、密閉し
た筺体部（エンクロージャ）を形成しており、前記密閉
仕切りは、部材１０によって開口部２において完全に横
切られている。
【００１５】この部材１０は、その仕切り横断軸に直角
な変位方向Ｄ１（図２）において、さらに仕切り横断方
向Ｄ３において、またさらにその横断軸を中心とする回
転方向Ｄ４において移動自在となっている。仕切り８を
介した可動部材１０の通路は、本発明による装置１によ
って封鎖される。前記装置１について、符号４は、部材
１０の回りに装備された円筒状の外郭またはスリーブを
指している。スリーブ４の第１の端部は、仕切り部８に
一体化された支持部６上の軸Ａ１を中心に回動するよう
に取り付けられており、かかる軸Ａ１は、可動部材によ
る仕切りの横断軸及び上記方向Ｄ１に直交するものであ
る。
な変位方向Ｄ１（図２）において、さらに仕切り横断方
向Ｄ３において、またさらにその横断軸を中心とする回
転方向Ｄ４において移動自在となっている。仕切り８を
介した可動部材１０の通路は、本発明による装置１によ
って封鎖される。前記装置１について、符号４は、部材
１０の回りに装備された円筒状の外郭またはスリーブを
指している。スリーブ４の第１の端部は、仕切り部８に
一体化された支持部６上の軸Ａ１を中心に回動するよう
に取り付けられており、かかる軸Ａ１は、可動部材によ
る仕切りの横断軸及び上記方向Ｄ１に直交するものであ
る。
【００１６】スリーブ４の第２の端部は、可動プレート
１２に結合されており、かかるプレートは部材１０によ
って密接にして横切られ、これにより、かかる部材１０
は、方向Ｄ４においてその軸を中心に回転することがで
きしかも方向Ｄ３においてその軸に沿って自在に移動可
能となっている。このプレート１２は、部材１０を横方
向に、すなわち当該可動部材による仕切りの横断軸に直
交する変位方向Ｄ１に移動させる必要があるときに、そ
の部材１０を駆動する。
１２に結合されており、かかるプレートは部材１０によ
って密接にして横切られ、これにより、かかる部材１０
は、方向Ｄ４においてその軸を中心に回転することがで
きしかも方向Ｄ３においてその軸に沿って自在に移動可
能となっている。このプレート１２は、部材１０を横方
向に、すなわち当該可動部材による仕切りの横断軸に直
交する変位方向Ｄ１に移動させる必要があるときに、そ
の部材１０を駆動する。
【００１７】プレート１２と可動部材１０との間の封止
は、Ｏ状環材３０によりなされる。スリーブ４は、その
第１及び第２の端部双方において、外向きフランジ（外
側突縁）１８を有する。仕切り８もまた、通路２の回り
でかつスリーブ４へ方向づけられた外向きフランジ２０
を有している。スリーブ４の第１の端部は、仕切り８の
フランジ２０をスリーブ４の第１の端部のフランジ１８
に結合する第１の密閉膜１４によって当該仕切りと緊密
に結合されている。スリーブ４の第２の端部は、プレー
ト１２のフランジ２２を当該スリーブの第２の端部のフ
ランジ１８に結合する第２の密閉膜１６によってプレー
ト１２に結合されている。
は、Ｏ状環材３０によりなされる。スリーブ４は、その
第１及び第２の端部双方において、外向きフランジ（外
側突縁）１８を有する。仕切り８もまた、通路２の回り
でかつスリーブ４へ方向づけられた外向きフランジ２０
を有している。スリーブ４の第１の端部は、仕切り８の
フランジ２０をスリーブ４の第１の端部のフランジ１８
に結合する第１の密閉膜１４によって当該仕切りと緊密
に結合されている。スリーブ４の第２の端部は、プレー
ト１２のフランジ２２を当該スリーブの第２の端部のフ
ランジ１８に結合する第２の密閉膜１６によってプレー
ト１２に結合されている。
【００１８】図３は、スリーブ４における第２の端部の
フランジ１８とプレート１２のフランジ２２との間にお
いて密閉膜１６によってなされる緊密結合を、より詳細
に示したものである。この例においては、ボルト２８に
よってフランジ全体に取り付けられる密閉膜１６の良好
な保持作用が確実となるように、フランジ１８及び２２
のそれぞれ軸受け表面（支持表面）２４及び２６が機械
加工されている。フランジ２０と１８との間における密
閉膜１４によってなされる緊密な結合も、同様な方法で
遂行される。
フランジ１８とプレート１２のフランジ２２との間にお
いて密閉膜１６によってなされる緊密結合を、より詳細
に示したものである。この例においては、ボルト２８に
よってフランジ全体に取り付けられる密閉膜１６の良好
な保持作用が確実となるように、フランジ１８及び２２
のそれぞれ軸受け表面（支持表面）２４及び２６が機械
加工されている。フランジ２０と１８との間における密
閉膜１４によってなされる緊密な結合も、同様な方法で
遂行される。
【００１９】本発明によるこの第１実施例の装置におい
ては、これらフランジは同一平面になく、密閉膜は上反
りになっている。これは他の形状にすることも可能であ
る。例えば、かかる密閉膜は、平坦とすることができ、
これにより該フランジは同じ高さとなるがこの構成では
全体的な柔軟性が低下することとなる。真空状態下にお
いて動作しなければならないシステムにとって、かかる
密閉膜の厚みや表面は、通常の材料抵抗及び強度に係る
手法に基づいて計算される。従って、エンクロージャが
真空状態下にあるときには、当該膜が、印加される気圧
に耐える必要がある。
ては、これらフランジは同一平面になく、密閉膜は上反
りになっている。これは他の形状にすることも可能であ
る。例えば、かかる密閉膜は、平坦とすることができ、
これにより該フランジは同じ高さとなるがこの構成では
全体的な柔軟性が低下することとなる。真空状態下にお
いて動作しなければならないシステムにとって、かかる
密閉膜の厚みや表面は、通常の材料抵抗及び強度に係る
手法に基づいて計算される。従って、エンクロージャが
真空状態下にあるときには、当該膜が、印加される気圧
に耐える必要がある。
【００２０】この例ににおいて用いられる密閉膜は、真
空気密のエラストマー質の（或いは弾性の）膜である。
かかるエラストマー質の膜は、機械加工及び化学製品の
安定性が高いという利点を持つものである。しかし、そ
の他の種類の密閉膜の使用を除外するものではない。本
発明のこの実施例においては、プレート１２は部材１０
を支持し、図示せぬモータは、前記部材の変位を制御す
る（回転移動Ｄ４，軸Ｄ３に沿う平行移動及び方向Ｄ１
における平行移動）。
空気密のエラストマー質の（或いは弾性の）膜である。
かかるエラストマー質の膜は、機械加工及び化学製品の
安定性が高いという利点を持つものである。しかし、そ
の他の種類の密閉膜の使用を除外するものではない。本
発明のこの実施例においては、プレート１２は部材１０
を支持し、図示せぬモータは、前記部材の変位を制御す
る（回転移動Ｄ４，軸Ｄ３に沿う平行移動及び方向Ｄ１
における平行移動）。
【００２１】例えば、方向Ｄ１における変位は、モー
タ，エンドレス・スクリュー，及び図示せぬ案内レール
が稼働した状態で行うことができる。図２は、図１の装
置１に対して直角を呈する断面図を示すものであるが、
プレート１２は変位方向Ｄ１に移動した状態にある。図
２において、このプレート１２は、左から右へ変位し、
移動部材１０を駆動しているが、これと同時に、エラス
トマー質の膜によって軸Ａ１を中心にスリーブ４を回動
させている。
タ，エンドレス・スクリュー，及び図示せぬ案内レール
が稼働した状態で行うことができる。図２は、図１の装
置１に対して直角を呈する断面図を示すものであるが、
プレート１２は変位方向Ｄ１に移動した状態にある。図
２において、このプレート１２は、左から右へ変位し、
移動部材１０を駆動しているが、これと同時に、エラス
トマー質の膜によって軸Ａ１を中心にスリーブ４を回動
させている。
【００２２】かかるプレート１２は、その移動限界のと
ころで示されている。つまり、この可動部材は、スリー
ブ４の第１の端部に対して当接状態にある。膜１４及び
１６は、プレート１２の変位に関してかつ軸Ａ１を中心
とした当該スリーブの回転をもって変形し、本システム
の封鎖を保っているのである。例えば、図１と図２との
ポジション間における当該装置の変位は、内径２０ｃｍ
でかつ長さが３３ｃｍのスリーブの場合、可動部材によ
る仕切りの横断軸に直角な方向において８ｃｍだけ当該
可動部材が変位したことに相当する。
ころで示されている。つまり、この可動部材は、スリー
ブ４の第１の端部に対して当接状態にある。膜１４及び
１６は、プレート１２の変位に関してかつ軸Ａ１を中心
とした当該スリーブの回転をもって変形し、本システム
の封鎖を保っているのである。例えば、図１と図２との
ポジション間における当該装置の変位は、内径２０ｃｍ
でかつ長さが３３ｃｍのスリーブの場合、可動部材によ
る仕切りの横断軸に直角な方向において８ｃｍだけ当該
可動部材が変位したことに相当する。
【００２３】本発明のこの第１実施例は、密閉仕切りを
横切りながら、しかも当該エンクロージャの必要な封止
を考慮しつつ、（当該部材による仕切りの横断軸に直角
な）変位方向Ｄ１，軸Ｄ３に沿う平行移動，及び回転方
向Ｄ４における部材１０の移動を許容している。図４
は、本発明による第２の実施例の装置を示している。
横切りながら、しかも当該エンクロージャの必要な封止
を考慮しつつ、（当該部材による仕切りの横断軸に直角
な）変位方向Ｄ１，軸Ｄ３に沿う平行移動，及び回転方
向Ｄ４における部材１０の移動を許容している。図４
は、本発明による第２の実施例の装置を示している。
【００２４】この、より複雑に構成された装置１´は、
プレート１２の変位を第１の変位方向Ｄ１と第２の変位
方向Ｄ２とにおいて同時に可能としており、かかるＤ１
はＤ２と直角をなし、またＤ１とＤ２とは部材１０によ
る仕切りの横断軸に直交している。Ｄ１及びＤ２に従う
プレート１２の直交する変位は、例えば通常の、２つの
モータを有する図示せぬ変位テーブルＸ−Ｙによって確
立される。
プレート１２の変位を第１の変位方向Ｄ１と第２の変位
方向Ｄ２とにおいて同時に可能としており、かかるＤ１
はＤ２と直角をなし、またＤ１とＤ２とは部材１０によ
る仕切りの横断軸に直交している。Ｄ１及びＤ２に従う
プレート１２の直交する変位は、例えば通常の、２つの
モータを有する図示せぬ変位テーブルＸ−Ｙによって確
立される。
【００２５】図４において分かるように、部材１０が横
断し、スリーブ４が軸Ａ１を中心に回転し、そして支持
部６がエンクロージャ８に一体化しかつ前記軸Ａ１を支
えている。また、エラストマー質の膜１４が、かかるエ
ンクロージャのフランジ２０をスリーブ４に堅く結合す
るとともに、エラストマー質の膜１６が、プレート１２
と堅く結合されていることも分かる。
断し、スリーブ４が軸Ａ１を中心に回転し、そして支持
部６がエンクロージャ８に一体化しかつ前記軸Ａ１を支
えている。また、エラストマー質の膜１４が、かかるエ
ンクロージャのフランジ２０をスリーブ４に堅く結合す
るとともに、エラストマー質の膜１６が、プレート１２
と堅く結合されていることも分かる。
【００２６】以上に参照された部品には第２のスリーブ
３２が追加され、その第１の端部は、軸Ａ２を中心に回
転するようプレート１２に一体化された図示せぬ支持部
に取り付けられる。かかる第２のスリーブ３２の回転軸
Ａ２は、第１のスリーブ４の回転軸Ａ１と当該仕切りの
部材１０による横断軸とに直交している。スリーブ４及
び３２は、縦に（端と端がつながるように）並べて配置
され、部材１０によって完全に挿通される。スリーブ３
２の第１の端部は、エラストマー質の膜１６によってプ
レート１２と密着結合される。この例において、スリー
ブ４及び３２は、同一の直径を有する。
３２が追加され、その第１の端部は、軸Ａ２を中心に回
転するようプレート１２に一体化された図示せぬ支持部
に取り付けられる。かかる第２のスリーブ３２の回転軸
Ａ２は、第１のスリーブ４の回転軸Ａ１と当該仕切りの
部材１０による横断軸とに直交している。スリーブ４及
び３２は、縦に（端と端がつながるように）並べて配置
され、部材１０によって完全に挿通される。スリーブ３
２の第１の端部は、エラストマー質の膜１６によってプ
レート１２と密着結合される。この例において、スリー
ブ４及び３２は、同一の直径を有する。
【００２７】密着結合手段３８は、第１のスリーブ４と
第２のスリーブ３２との各近接端部間に挟まれる。この
示されている変更例においては、前記密着結合手段が、
その各端部においてフランジの施された第３のスリーブ
４０を有する。前記第３のスリーブ４０の直径は、スリ
ーブ４及び３２の直径を上回るものとなっている。スリ
ーブ４０の第１の端部は、図３を参照して説明されたも
のと同様の手段によって、スリーブ４及び４０のフラン
ジにエラストマー質の膜３４を固着することによりスリ
ーブ４の第２の端部へ緊密に結合される。スリーブ４０
の第２の端部は、同様の方法にて、エラストマー質の膜
３６を固定することによりスリーブ３２の第２の端部と
結合される。
第２のスリーブ３２との各近接端部間に挟まれる。この
示されている変更例においては、前記密着結合手段が、
その各端部においてフランジの施された第３のスリーブ
４０を有する。前記第３のスリーブ４０の直径は、スリ
ーブ４及び３２の直径を上回るものとなっている。スリ
ーブ４０の第１の端部は、図３を参照して説明されたも
のと同様の手段によって、スリーブ４及び４０のフラン
ジにエラストマー質の膜３４を固着することによりスリ
ーブ４の第２の端部へ緊密に結合される。スリーブ４０
の第２の端部は、同様の方法にて、エラストマー質の膜
３６を固定することによりスリーブ３２の第２の端部と
結合される。
【００２８】本発明による、この第２の実施例の装置に
おいて、方向Ｄ１における部材１０の変位は、スリーブ
４に従い、その方向Ｄ２における変位はスリーブ３２に
従う。かかる４つの被膜１４，１６，３４及び３６は、
変位Ｄ１及びＤ２、すなわちスリーブ４及び３２の各軸
Ａ１及びＡ２を中心とする回転による変形を分担してい
る。
おいて、方向Ｄ１における部材１０の変位は、スリーブ
４に従い、その方向Ｄ２における変位はスリーブ３２に
従う。かかる４つの被膜１４，１６，３４及び３６は、
変位Ｄ１及びＤ２、すなわちスリーブ４及び３２の各軸
Ａ１及びＡ２を中心とする回転による変形を分担してい
る。
【００２９】この第２実施例の、可動部材による仕切り
の密閉横断のための装置は、密閉エンクロージャ内部へ
の、全ての方向における前記エンクロージャの外部でつ
くられた運動の伝達を、かかるエンクロージャの密閉を
配慮しながらも可能としている。図５は、本発明による
第２の実施例の装置の改変例を示している。図５におい
て、符号４２及び４４は、縦続的に並べて配置されかつ
完全に可動部材１０によって横断された、異なる直径を
持つ２つの円筒形スリーブを指し示している。またここ
でも分かるように、密着結合手段３８が本例においては
図３の手段により２つのスリーブ４４及び４２の各近接
端部を直接的に密着結合する単一のエラストマー質の膜
４６によって構成されることを除き、図４の全ての要素
を見い出すことができる。
の密閉横断のための装置は、密閉エンクロージャ内部へ
の、全ての方向における前記エンクロージャの外部でつ
くられた運動の伝達を、かかるエンクロージャの密閉を
配慮しながらも可能としている。図５は、本発明による
第２の実施例の装置の改変例を示している。図５におい
て、符号４２及び４４は、縦続的に並べて配置されかつ
完全に可動部材１０によって横断された、異なる直径を
持つ２つの円筒形スリーブを指し示している。またここ
でも分かるように、密着結合手段３８が本例においては
図３の手段により２つのスリーブ４４及び４２の各近接
端部を直接的に密着結合する単一のエラストマー質の膜
４６によって構成されることを除き、図４の全ての要素
を見い出すことができる。
【００３０】図６は、結晶の引き抜きに対する本発明に
よる第２実施例の装置の応用を示す概略的な透視図であ
る。この図６においては、図４において説明された装置
１´の要素を全て見い出すことができ、また、可動部材
１０は、結晶引き込みスピンドル（主軸）である。本発
明による装置の応用は、ＥＰ−Ａ−６５３ ５０４から
明確に推断することができる。この文献は、単結晶質ま
たは多結晶質の部品の製造のための処理を記述してお
り、かかる処理は、ノズルを介して引き込むことによっ
て溶融材料の槽からその一部を形成し、核に付されたノ
ズルの外へ通過した溶融材料の結晶化をなすことからな
る。この文献において説明されている処理は、単結晶ま
たは多結晶質の部品の製造中において、ノズル及び／ま
たは結晶化核を、その引き込み方向に直角な面に沿った
少なくとも１つの平行移動に従わせるための備えが施さ
れている。
よる第２実施例の装置の応用を示す概略的な透視図であ
る。この図６においては、図４において説明された装置
１´の要素を全て見い出すことができ、また、可動部材
１０は、結晶引き込みスピンドル（主軸）である。本発
明による装置の応用は、ＥＰ−Ａ−６５３ ５０４から
明確に推断することができる。この文献は、単結晶質ま
たは多結晶質の部品の製造のための処理を記述してお
り、かかる処理は、ノズルを介して引き込むことによっ
て溶融材料の槽からその一部を形成し、核に付されたノ
ズルの外へ通過した溶融材料の結晶化をなすことからな
る。この文献において説明されている処理は、単結晶ま
たは多結晶質の部品の製造中において、ノズル及び／ま
たは結晶化核を、その引き込み方向に直角な面に沿った
少なくとも１つの平行移動に従わせるための備えが施さ
れている。
【００３１】図６において、溶融材料５０は、るつぼ
（或いは容器）に入れられ、メニスカス５６を形成する
ようノズル５４を通じて上昇し、核５８に凝結する。か
かる核は、引き込み方向Ｄ３において引き込みスピンド
ル１０によって駆動され、固体−液体の境界面６０は、
当該ノズルの上方に位置づけられている。形成された単
結晶または多結晶は、リファレンス６２を携えることと
なる。
（或いは容器）に入れられ、メニスカス５６を形成する
ようノズル５４を通じて上昇し、核５８に凝結する。か
かる核は、引き込み方向Ｄ３において引き込みスピンド
ル１０によって駆動され、固体−液体の境界面６０は、
当該ノズルの上方に位置づけられている。形成された単
結晶または多結晶は、リファレンス６２を携えることと
なる。
【００３２】従って、本発明による装置１´は、形成さ
れる結晶の純度及び同質性にとって欠くことのできない
当該エンクロージャの密封を尊重しつつも、複雑な形状
の結晶質部品を得るように、引き込み中において方向Ｄ
１，Ｄ２及びＤ３における引き込みスピンドル１０の変
位を可能としている。前記スピンドルの核の中央に配さ
れた軸を中心とする回転移動Ｄ４に、引き込みスピンド
ルを従わせることによって、軸に関して対称的な形状が
得られる。
れる結晶の純度及び同質性にとって欠くことのできない
当該エンクロージャの密封を尊重しつつも、複雑な形状
の結晶質部品を得るように、引き込み中において方向Ｄ
１，Ｄ２及びＤ３における引き込みスピンドル１０の変
位を可能としている。前記スピンドルの核の中央に配さ
れた軸を中心とする回転移動Ｄ４に、引き込みスピンド
ルを従わせることによって、軸に関して対称的な形状が
得られる。
【００３３】本発明による装置の結果として、部材１０
の変位モータは、密閉エンクロージャの外側に配置され
る。本発明による装置の使用によって得られるその他の
利点は、エンクロージャの解放である。この結晶引き込
み処理は、気体の吸い込みや制御，加熱，熱遮蔽，デー
タの獲得と検査，並びに手動操作及びその結果の視覚的
監視のような、動作状態を測定しかつ調整するための幾
つかの手段に組み合わされる。かかるエンクロージャの
解放は、制限される状態下におけるこのような手動操作
には極めて有益なものである。
の変位モータは、密閉エンクロージャの外側に配置され
る。本発明による装置の使用によって得られるその他の
利点は、エンクロージャの解放である。この結晶引き込
み処理は、気体の吸い込みや制御，加熱，熱遮蔽，デー
タの獲得と検査，並びに手動操作及びその結果の視覚的
監視のような、動作状態を測定しかつ調整するための幾
つかの手段に組み合わされる。かかるエンクロージャの
解放は、制限される状態下におけるこのような手動操作
には極めて有益なものである。
【００３４】図７は、本発明による装置１´の、結晶引
き込みへの他の応用例を示している。この応用において
は、図４に関して述べた装置が使用される。但し、装置
１´は、仕切り８により形成される封鎖エンクロージャ
の下に配置され、可動部材１０は、るつぼ７２を支え
る。溶融材料７０は、可動のるつぼ７２に入れられ、ノ
ズル７４を通じてメニスカス７６を形成するよう引き上
げられるとともに、固定された核７８上に凝固する。従
って本図に示された装置１´は、引き込みの間、方向Ｄ
１，Ｄ２，Ｄ３及びＤ４の変位をるつぼ７２に許容し、
複雑な形状の結晶質部品を得ることができるのである。
き込みへの他の応用例を示している。この応用において
は、図４に関して述べた装置が使用される。但し、装置
１´は、仕切り８により形成される封鎖エンクロージャ
の下に配置され、可動部材１０は、るつぼ７２を支え
る。溶融材料７０は、可動のるつぼ７２に入れられ、ノ
ズル７４を通じてメニスカス７６を形成するよう引き上
げられるとともに、固定された核７８上に凝固する。従
って本図に示された装置１´は、引き込みの間、方向Ｄ
１，Ｄ２，Ｄ３及びＤ４の変位をるつぼ７２に許容し、
複雑な形状の結晶質部品を得ることができるのである。
【００３５】結晶の引き込みに際しての、るつぼ及び引
き込みスピンドルへ加わる運動の分配を、他の異なる形
態にすることは、除外されるものではない。従って、例
えば、密閉仕切り横断方向における平行移動の他にも回
転運動を該引き込みスピンドルに加えることを、るつぼ
に組み合わされた当該部材による当該密閉仕切り横断方
向に直角な運動Ｄ１及びＤ２を当該るつぼに付与可能と
しながらも行うことができるのである。この例におい
て、本発明による装置１´は、図７に示された形態で位
置づけられる。
き込みスピンドルへ加わる運動の分配を、他の異なる形
態にすることは、除外されるものではない。従って、例
えば、密閉仕切り横断方向における平行移動の他にも回
転運動を該引き込みスピンドルに加えることを、るつぼ
に組み合わされた当該部材による当該密閉仕切り横断方
向に直角な運動Ｄ１及びＤ２を当該るつぼに付与可能と
しながらも行うことができるのである。この例におい
て、本発明による装置１´は、図７に示された形態で位
置づけられる。
【００３６】この装置は、密閉エンクロージャを介して
運動の伝達をなさんとする処理に関連のあるものであ
る。かかるエンクロージャの直立壁部及び底部の全て
は、他の機能、すなわち空にしたり、熱源の通路とした
り、観察や支持並びに変位をなしたりすることを果たす
のにも利用可能であることは以前のままである。
運動の伝達をなさんとする処理に関連のあるものであ
る。かかるエンクロージャの直立壁部及び底部の全て
は、他の機能、すなわち空にしたり、熱源の通路とした
り、観察や支持並びに変位をなしたりすることを果たす
のにも利用可能であることは以前のままである。
【００３７】
【発明の効果】本発明の装置は、以上のような構成から
なるので、密閉した仕切りを介して、前記仕切りの封止
を維持しつつも同時に起こる複雑な機械的運動の伝達を
可能にする。
なるので、密閉した仕切りを介して、前記仕切りの封止
を維持しつつも同時に起こる複雑な機械的運動の伝達を
可能にする。
【図１】本発明の第１の実施例を示す、部材による仕切
りの密閉横断装置の非変形状態における断面図である。
りの密閉横断装置の非変形状態における断面図である。
【図２】本発明の第１の実施例を示す、部材による仕切
りの密閉横断装置の変形状態における断面図１Ａに直角
をなす断面図である。
りの密閉横断装置の変形状態における断面図１Ａに直角
をなす断面図である。
【図３】図１Ａ及び図２における装置の密閉膜の１つを
固定する方法の一例を示す拡大断面図である。
固定する方法の一例を示す拡大断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示す装置の断面図であ
る。
る。
【図５】本発明の第２の実施例の変形例を示す装置の縦
断面図である。
断面図である。
【図６】当該部材が結晶引き込みスピンドルである場合
における結晶の引き込みに対する本発明による第２実施
例の装置の応用例を示す概略的透視図である。
における結晶の引き込みに対する本発明による第２実施
例の装置の応用例を示す概略的透視図である。
【図７】当該部材がるつぼに結合されている場合におけ
る結晶の引き込みに対する本発明による第２実施例の装
置の応用例を示す概略的透視図である。
る結晶の引き込みに対する本発明による第２実施例の装
置の応用例を示す概略的透視図である。
【符号の説明】 １，１´ 装置 ２ 開口部（通路） ４ 円筒形外郭体（スリーブ） ６ 支持部 ８ 仕切り（隔壁） １０ 可動部材 １２ プレート １４，１６ 密閉膜 １８，２０，２２ 外向きフランジ ２４，２６ 軸受け表面 ２８ ボルト ３０ Ｏ状環材（フランジ） ３２ 第２のスリーブ ３４，３６ 密閉膜 ３８ 密着結合手段 ４０，４２，４４ スリーブ ４６ 密閉膜 ５０ 溶融材料 ５４ ノズル ５８ 核 ６０ 固体−液体境界面 ７０ 溶融材料 ７２ るつぼ ７４ ノズル ７８ 核
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジャン−フィリプ・ナボ フランス国 サン−エグレヴ，リュ・デ ュ・リフ・トロンチャード ９ (72)発明者 ベルナール・ワレス フランス国 ポイサ，リュ・デュ・ラシャ イス 17
Claims (10)
- 【請求項１】 可動部材（１０）による仕切り（８）の
横断軸と直角をなす少なくとも１つの変位方向におい
て、前記可動部材（１０）により仕切り（８）の密閉し
た横断をなすための装置であって、 当該部材による仕切りの横断軸及び前記部材の変位方向
と直角をなす回転軸を中心にして回転するように仕切り
（８）に取り付けられ、その内部に当該部材が挿通する
少なくとも１つのスリーブ（４）と、 部材（１０）によって密着して横切られかつ前記部材と
ともに前記変位方向におけるその変位に対して移動可能
なプレート（１２）と、 第１及び第２の密閉膜（１４，１６）とを有し、 第１の膜（１４）は、スリーブ（４）の第１の端部を仕
切り（８）に密着して結合し、第２の膜（１６）は、ス
リーブ（４）の第２の端部をプレート（１２）に密着し
て結合することを特徴とする装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の装置であって、前記部
材は、前記部材による仕切りの横断軸に直角を呈する複
数の変位方向に移動可能であり、 前記装置は、 縦続的に配列されてかつ前記部材により横切られた第１
及び第２のスリーブ（４，３２）と、 第１のスリーブ（４）及び第２のスリーブ（３２）の近
接端部間に挿入された密着結合手段（３８）とを有し、 前記第１のスリーブ（４）は、第１の軸を中心に回転す
るよう仕切り（８）に取り付けられかつ第１の密閉膜
（１４）によって仕切り（８）と密着して結合され、前
記第２のスリーブ（３２）は、第２の軸を中心に回転す
るよう取り付けられかつ第２の密閉膜（１６）によって
プレート（１２）と密着して結合され、前記第１及び第
２の軸は、互いに直角を呈しかつ前記部材による仕切り
の横断軸と直角を呈している、ことを特徴とする装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の装置であって、 前記密着結合手段（３８）は、第３の密閉膜（３４）に
よって第１のスリーブ（４）の第２の端部と密着して結
合される第１の端部と、第４の密閉膜（３６）によって
第２のスリーブ（３２）の第１の端部と密着して結合さ
れる第２の端部とを具備する第３のスリーブ（４０）を
具備していることを特徴とする装置。 - 【請求項４】 請求項２に記載の装置であって、第１の
スリーブ（４２）及び第２のスリーブ（４４）は、異な
る直径を有し、これに伴い前記密着結合手段は、第１の
スリーブ（４２）及び第２のスリーブ（４４）の近接端
部を結合する第５の密閉膜（４６）を有することを特徴
とする装置。 - 【請求項５】 請求項３及び４のうちいずれか１つに記
載の装置であって、前記密閉膜は、弾性質の膜であるこ
とを特徴とする装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の装置であって、前記部
材は、その仕切り横断軸を中心にして回転移動をなすこ
とを特徴とする装置。 - 【請求項７】 請求項６に記載の装置であって、前記部
材は、前記部材による当該仕切りの横断軸の方向におけ
る平行移動Ｄ３をなすことを特徴とする装置。 - 【請求項８】 請求項７に記載の装置であって、少なく
とも１つの変位方向におけるプレート（１２）の変位を
制御する手段を有することを特徴とする装置。 - 【請求項９】 請求項８に記載の装置であって、結晶の
引き抜きに適用される前記装置とともに、前記部材（１
０）は、引き抜き芯棒であることを特徴とする装置。 - 【請求項１０】 請求項９に記載の装置であって、前記
装置は、結晶の引き抜きに適用され、前記部材（１０）
は、容器に結合されていることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR96-04169 | 1996-04-03 | ||
| FR9604169A FR2747173B1 (fr) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | Dispositif de traversee etanche d'une cloison par un organe mobile |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1029891A true JPH1029891A (ja) | 1998-02-03 |
| JP4010593B2 JP4010593B2 (ja) | 2007-11-21 |
Family
ID=9490857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08519797A Expired - Fee Related JP4010593B2 (ja) | 1996-04-03 | 1997-04-03 | 可動部材による仕切りの密閉横断装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5879098A (ja) |
| EP (1) | EP0800029B1 (ja) |
| JP (1) | JP4010593B2 (ja) |
| AT (1) | ATE193929T1 (ja) |
| DE (1) | DE69702280T2 (ja) |
| FR (1) | FR2747173B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006281085A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Hitachi Eng Co Ltd | 往復動機構を備えた真空装置 |
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| DE10162780C1 (de) * | 2001-04-25 | 2002-11-21 | Schlick Roto Jet Maschb Gmbh | Arbeitskammersystem |
| DE102005007948B4 (de) * | 2005-02-22 | 2007-01-18 | Warema Renkhoff Gmbh | Thermisch isolierte Durchführung für bewegliche Antriebselemente durch Gebäudeaußenhüllen und Verfahren zu deren Herstellung |
| FR2927910B1 (fr) * | 2008-02-27 | 2011-06-17 | Centre Nat Rech Scient | Procede de cristallogenese d'un materiau electriquement conducteur a l'etat fondu. |
| CN103255477B (zh) * | 2012-02-17 | 2016-10-19 | 江苏中电振华晶体技术有限公司 | 一种成型蓝宝石晶体的生长方法及设备 |
| CN102703980B (zh) * | 2012-06-01 | 2015-08-19 | 鸿福晶体科技(安徽)有限公司 | 生长具有一定曲率的半球状蓝宝石晶体的方法 |
| CN104088012B (zh) * | 2014-07-31 | 2016-09-07 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种直接生长蓝宝石整流罩的设备 |
| US11754142B2 (en) * | 2021-05-26 | 2023-09-12 | Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. | Low displacement, fail safe, all attitude, universal isolator |
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