JP2005220434A - 真空室及び被覆ローラを備えた帯材被覆装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】案内ローラ及び被覆ローラの、閉鎖プレートに向いた側の端部が、支持部材16,17,19及び該支持部材に備えられた軸受を介してカバーに保持されており、真空室内の空間が被覆ローラの下側で支持部材によって制約されないようになっている。
【選択図】図1
Description
a)FPCB(“ flexible printed circuit boards”)のための銅表面:被覆の後にエッチング加工される導体路(パターン)の幅は、集積密度の増大に伴って次第に小さくなっている。これによって、1つのちり粒子でも1つの導体路を中断させてしまうことになる。
b)フレキシブルなIC:プリント回路を基板若しくはシート上に形成する方法は、例えば映像駆動部をフレキシブルなシート型ディスプレーのほかに直接に基板に配置するために用いられる。この場合に構成要素、例えばトランジスターの三次元の寸法はさらに小さくなっており、製造プロセス中の粒子排除に対する要求はさらに高まっている。
c)ディスプレー(AR, ARAS)のための反射防止層:反射防止処理されたディスプレーにおいては、被覆中に1つのちり粒子によって被われて反射防止処理されない領域は、極めて不都合に、例えば暗い画面中の明るい小さな斑点として作用することになる。
a)案内ローラ及び被覆ローラが、閉鎖プレートと逆の側の端部で背壁に支承されている。
b)案内ローラ及び被覆ローラが、閉鎖プレートと逆の側の端部で背壁の前の支持部材に支承されて、かつカバーに保持されている。
c)被覆ローラの下側及び側方のスペース(空間)が仕切壁によって少なくとも2つの部分室に仕切られており、仕切壁が被覆ローラに向いた側の端部にシール部材を備えており、シール部材の湾曲が被覆ローラの半径に適合されており、これによってシール部材と被覆ローラとの間に円弧状のシール間隙が形成されている。
d)シール部材が調節機構を介して各所属の仕切壁に結合されており、調節機構によってシール間隙が半径方向で可能な最小の値に調節されるようになっている。
e)真空室内に仕切壁によって被覆ローラの周囲(円周、即ち胴回り)に沿って少なくとも4つの部分室が形成されている。
f)最上位の両方の仕切壁が互いに、被覆ローラの軸線を基準として下方に向かって120度と180度との間の角度を成している。
g)胴板(周壁プレート)の、最上位の両方の仕切壁の下側を延在している周方向区分が、部分円筒の形状で形成されている。
h)最上位の両方の仕切壁の上側に位置する部分室内に、全体で4つの案内ローラが配置されている。
i)仕切壁が背壁と逆の側の端部に半径方向へ延びるシール条片を有しており、該シール条片に閉鎖プレートが接触されるようになっている。
j)シール条片が該シール条片の半径方向の中心線に対して平行に延びるエラストマ性のシールエッジを有しており、該シールエッジに閉鎖プレートが真空室の閉鎖に際して接触されるようになっている。
k)被覆ローラの、閉鎖プレートに向いた側の端面の前に、リングセクタ部材(円弧状に延びるプレート片)を不動に、即ち位置固定的に配置してあり、該リングセクタ部材が被覆ローラのための支持部材の下側の端部を円周の一部分にわたって取り囲んでいる。
l)被覆ローラが部分室内で被覆ローラ自体の端部を、同軸的に円弧状に曲げられたストリップ状の遮蔽部材によって取り囲まれており、該遮蔽部材が前記端部を、狭い間隙を置いて覆っていて、これによって被覆ローラを該被覆ローラの、帯材で被われない表面部分が被覆されないように遮蔽している。
m)前側の遮蔽部材がエラストマ性のシールエッジを有しており、該シールエッジに閉鎖プレートが真空室の閉鎖に際して接触されるようになっている
n)リングセクタ部材が両方の端縁部間で前側の遮蔽部材内を周方向に延びている。
o)帯材被覆装置の据え付け面からの全高さが最大で2.5メートルである。
p)真空室が被覆ローラの両側にそれぞれ1つの側室を有しており、該側室内に繰り出しロール若しくは巻き取りロールのための巻体軸ピン(ロール支持軸)並びに帯材のための案内ローラが配置されている。
q)側室が真空室として形成されていて、帯材の通過のためのスリット状の間隙を介して真空室の部分室に接続されている。
r)真空室のすべての部分室及び側室がそれぞれ固有の真空ポンプ(35)に接続されている。
s)側室の上側が真空室のカバーと少なくともほぼ同じ高さである。
図1は、1つの被覆室(被覆チャンバー)及び2つのロックゲート室を備えた真空装置を閉鎖壁が取り除かれて開いた状態で示す斜視図、図2は、3つの被覆源から成る被覆機構を組み付けられた閉鎖壁の概略的な斜視図、図3は、開かれた状態の帯材被覆装置の概略的な垂直断面図、図4は、1つの被覆室及び、帯材の繰り出しロール若しくは巻き取りロールの受容のための2つの側室を備えた真空装置の概略的な正面図であり、この場合、閉鎖壁は除いてあり、図5は、側室を被覆室に対してロックゲート室として形成してなる真空装置の概略的な正面図であり、この場合、閉鎖壁は除いてある。
Claims (20)
- 真空室(1)を備えた帯材被覆装置であって、真空室が背壁(18)と取り外し可能な少なくとも1つの閉鎖プレート(22)との間に胴板(20)及び平らなカバー(10)を有しており、真空室(1)内に少なくとも1つの案内ローラ(12,13,14,15)、1つの被覆ローラ(9)及び少なくとも1つの被覆源(39a,39b,39c)を配置してある形式のものにおいて、少なくとも1つの案内ローラ(12,13,14,15)及び被覆ローラ(9)の、閉鎖プレート(22)に向いた側の端部が、支持部材(16,17,19)及び該支持部材に備えられた軸受を介してカバー(10)に保持されており、真空室(1)内の空間が被覆ローラ(9)の下側で支持部材によって制約されないようになっていることを特徴とする、真空室及び被覆ローラを備えた帯材被覆装置。
- 少なくとも1つの案内ローラ(12,13,14,15)及び被覆ローラ(9)が閉鎖プレート(22)と逆の側の端部で背壁(18)に支承されている請求項1記載の帯材被覆装置。
- 少なくとも1つの案内ローラ(12,13,14,15)及び被覆ローラ(9)が閉鎖プレート(22)と逆の側の端部で背壁(18)の前の支持部材に支承されて、かつカバー(10)に保持されている請求項1記載の帯材被覆装置。
- 被覆ローラ(9)の下側及び側方の空間が仕切壁(6)によって少なくとも2つの部分室(3,4,5)に仕切られており、仕切壁(6)が被覆ローラ(9)に向いた側の端部にシール部材(7)を備えており、シール部材の湾曲が被覆ローラ(9)の半径に適合されており、シール部材(7)と被覆ローラ(9)との間に円弧状のシール間隙が形成されている請求項1記載の帯材被覆装置。
- シール部材(7)が調節機構(8)を介して所属の仕切壁(6)に結合されており、調節機構によってシール間隙が半径方向で可能な最小の値に調節されるようになっている請求項4記載の帯材被覆装置。
- 真空室(1)内に仕切壁(6)によって被覆ローラ(9)の周囲に沿って少なくとも4つの部分室(2,3,4,5)が形成されている請求項1記載の帯材被覆装置。
- 最上位の両方の仕切壁(6)が互いに、被覆ローラ(9)の軸(A)を基準として下方に向かって120度と180度との間の角度を成している請求項1から6のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
- 胴板(20)の、最上位の両方の仕切壁(6)の下側を延在している周方向区分が、部分円筒の形状で形成されている請求項1から7のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
- 最上位の両方の仕切壁(6)の上側に位置する部分室(2)内に4つの案内ローラ(12,13,14,15)が配置されている請求項8記載の帯材被覆装置。
- 仕切壁(6)が背壁(18)と逆の側の端部に半径方向へ延びるシール条片(23)を有しており、該シール条片に閉鎖プレート(22)が接触されるようになっている請求項1から9のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
- シール条片(23)が該シール条片の半径方向の中心線に対して平行に延びるエラストマ性のシールエッジを有しており、該シールエッジに閉鎖プレート(22)が真空室(1)の閉鎖に際して接触されるようになっている請求項10記載の帯材被覆装置。
- 被覆ローラ(9)の、閉鎖プレート(22)に向いた側の端面の前に、リングセクタ部材(47)を不動に配置してあり、該リングセクタ部材が被覆ローラ(9)のための支持部材(19)の下側の端部を円周の一部分にわたって取り囲んでいる請求項11記載の帯材被覆装置。
- 被覆ローラ(9)が部分室(3,4,5)内で端部を、同軸的に部分円筒状に曲げられたストリップ状の遮蔽部材(52)によって取り囲まれており、該遮蔽部材が前記端部を狭い間隙で覆っていて、被覆ローラ(9)を該被覆ローラの、帯材(45)で覆われない表面部分の被覆に対して遮蔽している請求項1から12のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
- 前側の遮蔽部材(52)がエラストマ性のシールエッジを有しており、該シールエッジに閉鎖プレート(22)が真空室(1)の閉鎖に際して接触されるようになっている請求項13記載の帯材被覆装置。
- リングセクタ部材(47)が両方の端端縁(47a)間で前側の遮蔽部材(52)内を周方向に延びている請求項13又は14記載の帯材被覆装置。
- 帯材被覆装置の据え付け面からの全高さが最大で2.5メートルである請求項1から15のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
- 真空室(1)が被覆ローラ(9)の両側にそれぞれ側室(25,26)を有しており、該側室内に繰り出しロール(44)若しくは巻き取りロール(46)のための巻体支持軸ピン(27,28)並びに帯材(45)のための案内ローラ(29,30,31,32)が配置されている請求項1から16のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
- 側室(25,26)が真空室として形成されていて、帯材(45)の通過のためのスリット状の間隙(33,34)を介して真空室(1)の部分室(2)に接続されている請求項11記載の帯材被覆装置。
- 真空室(1)のすべての部分室(2,3,4,5)及び側室(25,26)がそれぞれ固有の真空ポンプ(35)に接続されている請求項1から12のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
- 側室(25,26)の上側が真空室(1)のカバー(10)とほぼ同じ高さである請求項17から19のいずれか1項記載の帯材被覆装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014192514A1 (ja) * | 2013-05-31 | 2014-12-04 | 株式会社神戸製鋼所 | 成膜装置 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2449050C1 (ru) * | 2008-04-14 | 2012-04-27 | Улвак, Инк. | Установка вакуумного осаждения намоточного типа |
US9249502B2 (en) * | 2008-06-20 | 2016-02-02 | Sakti3, Inc. | Method for high volume manufacture of electrochemical cells using physical vapor deposition |
JP5241383B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2013-07-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 連続成膜装置 |
CN101684546B (zh) * | 2008-09-25 | 2012-05-23 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 软性基板镀膜治具 |
CN102177274B (zh) | 2008-10-08 | 2014-08-06 | Abcd技术有限公司 | 汽相沉积系统 |
EP2402481A1 (en) | 2010-06-29 | 2012-01-04 | Applied Materials, Inc. | Method and system for manufacturing a transparent body for use in a touch panel |
KR20170131709A (ko) | 2011-09-07 | 2017-11-29 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 터치 패널에서 사용하기 위한 투명 보디를 제조하는 방법 및 시스템 |
KR20180132975A (ko) | 2011-11-30 | 2018-12-12 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 폐쇄 루프 제어 |
DE102014115386B4 (de) | 2014-10-22 | 2018-08-23 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Vakuum-Substratbehandlungsanlage |
JP6823392B2 (ja) * | 2016-07-05 | 2021-02-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 絶縁膜を形成する方法 |
US20200406291A1 (en) * | 2017-02-28 | 2020-12-31 | Cidra Corporate Services Llc | Processes for coating reticulated foams |
CN110983285A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-10 | 广东腾胜科技创新有限公司 | 可多卷基材同时镀膜的真空卷绕镀膜设备 |
CN113019788B (zh) * | 2021-02-26 | 2022-06-28 | 机械工业第九设计研究院股份有限公司 | 一种可以在外部调节角度的风嘴 |
CN113441340B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-09-20 | 辽宁分子流科技有限公司 | 一种制备纳米银丝电极薄膜的卷对卷设备 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2925062A (en) * | 1953-05-15 | 1960-02-16 | Heraeus Gmbh W C | Coating apparatus |
EP0122092A3 (en) * | 1983-04-06 | 1985-07-10 | General Engineering Radcliffe Limited | Vacuum coating apparatus |
DE4207526C2 (de) | 1992-03-10 | 1995-07-13 | Leybold Ag | Hochvakuum-Beschichtungsanlage |
DE4207525C2 (de) * | 1992-03-10 | 1999-12-16 | Leybold Ag | Hochvakuum-Beschichtungsanlage |
DE4223568C1 (de) * | 1992-07-17 | 1993-11-18 | Leybold Ag | Verfahren zum Herstellen einer eine Al-Zn-Schicht aufweisenden Folienbahn, Vorrichtung zu seiner Durchführung und Folienbahn |
DE4308633C2 (de) * | 1993-03-18 | 2001-07-19 | Leybold Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung unbeschichteter Kunststoff-Folien |
SE509933C2 (sv) * | 1996-09-16 | 1999-03-22 | Scandinavian Solar Ab | Sätt och anordning att framställa ett spektralselektivt absorberande skikt till solkollektorer samt framställt skikt |
WO1999050472A1 (de) * | 1998-03-27 | 1999-10-07 | Empa Eidgenössische Materialprüfungs- Und Forschungsanstalt | Vakuumbandbeschichtungsanlage |
JP4245271B2 (ja) * | 2000-02-03 | 2009-03-25 | 富士通コンポーネント株式会社 | タッチパネル用導電膜付きフィルムの製造方法、製造装置、および製造されたフィルム |
DE10157186C1 (de) * | 2001-11-22 | 2003-01-16 | Ardenne Anlagentech Gmbh | Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von bandförmigen Material |
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