JP2020059889A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記真空室の前面に開口した開口部と、前記開口部を閉塞する扉と、前記真空室の上面に開口した基材の出し入れ口と、前記真空室内に水平な状態で前後方向に配され、前記出し入れ口から搬入された前記基材を抱きかかえて回転させ、前記出し入れ口から搬出するロールと、前記真空室内であって、前記ロールの外周に配された複数の成膜室と、それぞれの前記成膜室に配され、前記ロールの回転と共に走行する前記基材にそれぞれ成膜を行う成膜形成装置と、を有し、隣接する前記成膜室は、隔壁でそれぞれ隔てられ、それぞれの前記成膜室は、一対の隔壁と外壁によって囲まれ、前記成膜室を真空にする真空ポンプがそれぞれの前記外壁に設けられ、複数の前記成膜室の縦断面形状が同じ形状で、かつ、同じ大きさである、成膜装置である。
成膜装置1の構造について図1〜図3を参照して説明する。図1、図2に示すように、成膜装置1は、真空室10と移動台8を有している。
ロール18について図3〜図5を参照して説明する。
次に、上部室24と3個の成膜室26について図3と図5を参照して説明する。図3に示すように、真空室10の縦断面は多角形であり、各辺の外壁12の内側に上部室24と3個の成膜室26が設けられている。左上、右上の外壁12からロール18の前後回転軸20,22に向かって隔壁52が前後方向に設けられている。この隔壁52の左右方向の長さは、ロール18の外周部に至るまでである。左下、右下の外壁12からロール18の前後回転軸20,22に向かって隔壁53が前後方向に設けられている。図3に示すように、ロール18の下方にある成膜室26の両側にある一対の隔壁53は、他の隔壁52よりも短く、この位置にロール支持部材32の水平部38が配置される。すなわち、下方の成膜室26に関しては、隔壁53と水平部38によって、区画されている。
次に、扉14の構造について図4と図6を参照して説明する。ロール18は、左右一対のロール支持部材32によって片持ち状態にあり、前回転軸20は、前軸受30に回転自在に支持され、貫通孔28を貫通している。そのため、真空室10を真空にした場合に、扉14が前後方向に歪むと、片持ち状態のロール18の後部が下がることとなる。これを防止するため、本実施形態では、扉14は次の構造を有している。
ロール18の引き出し構造について図1〜図3、図5を参照して説明する。
成膜装置1の動作状態について説明する。
本実施形態によれば、真空室10から扉14を移動台8と共に引き出すと、ロール18、搬入ロール44,46と搬出ロール48,50が引き出されるため、それぞれの成膜室26の内周側が全て開口し、それぞれの成膜室26とロール18を簡単に清掃し、メンテナンスすることができる。
Claims (10)
- 真空室と、
前記真空室の前面に開口した開口部と、
前記開口部を閉塞する扉と、
前記真空室の上面に開口した基材の出し入れ口と、
前記真空室内に水平な状態で前後方向に配され、前記出し入れ口から搬入された前記基材を抱きかかえて回転させ、前記出し入れ口から搬出するロールと、
前記真空室内であって、前記ロールの外周に配された複数の成膜室と、
それぞれの前記成膜室に配され、前記ロールの回転と共に走行する前記基材にそれぞれ成膜を行う成膜形成装置と、
を有し、
隣接する前記成膜室は、隔壁でそれぞれ隔てられ、
それぞれの前記成膜室は、一対の隔壁と外壁によって囲まれ、
前記成膜室を真空にする真空ポンプがそれぞれの前記外壁に設けられ、
複数の前記成膜室の縦断面形状が同じ形状で、かつ、同じ大きさである、
成膜装置。 - 前記成膜室中の前記成膜形成装置が、一対の前記隔壁の中心に配され、
前記成膜形成装置からプロセスガスが吹き出され、前記真空ポンプによって吸い込まれる、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記ロールの前回転軸が前記扉に設けられた前軸受に回転自在に支持され、
前記扉からロール支持部材が後方に向かって設けられ、
前記ロール支持部材の後部に前記ロールの後回転軸を回転自在に支持する後軸受が設けられ、
前記扉に移動台が固定され、
前記移動台と共に前記扉と前記ロールを前後方向に移動させる移動手段が設けられ、
前記移動台には前記扉から突出した前回転軸を回転させるロールモータが設けられている、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記ロール支持部材は、少なくとも左右一対の水平部を有し、
左右一対の前記水平部の前端部が前記扉に固定され、
左右一対の前記水平部の後端部から左右一対の後支持部が設けられ、
左右一対の前記後支持部の後部に後面板が設けられ、
前記後面板に前記後軸受が設けられている、
請求項3に記載の成膜装置。 - 前記扉と前記後面板との間であって、前記ロールの上方に搬入ロールと搬出ロールが、回転自在に設けられている、
請求項4に記載の成膜装置。 - 前記搬入ロールと前記搬出ロールが配された空間は、一対の前記隔壁によって前記成膜室と隔てられている、
請求項5に記載の成膜装置。 - 左右一対の前記水平部が前記隔壁を兼ねている、
請求項5に記載の成膜装置。 - 前記成膜室を3個有する、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記成膜室を4個有する、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記成膜室を5個有する、
請求項1に記載の成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018191858A JP6959210B2 (ja) | 2018-10-10 | 2018-10-10 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2018191858A JP6959210B2 (ja) | 2018-10-10 | 2018-10-10 | 成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2020059889A true JP2020059889A (ja) | 2020-04-16 |
JP6959210B2 JP6959210B2 (ja) | 2021-11-02 |
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ID=70218813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018191858A Active JP6959210B2 (ja) | 2018-10-10 | 2018-10-10 | 成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6959210B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6070175A (ja) * | 1983-04-06 | 1985-04-20 | ジエネラル・エンジニアリング・ラドクリフ・リミテツド | 真空成膜方法および装置 |
JP2012222121A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置 |
JP2016176144A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-10-06 | フオン・アルデンネ・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | マグネトロン配列を備えたバンド状基層コーティング設備 |
-
2018
- 2018-10-10 JP JP2018191858A patent/JP6959210B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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JPS6070175A (ja) * | 1983-04-06 | 1985-04-20 | ジエネラル・エンジニアリング・ラドクリフ・リミテツド | 真空成膜方法および装置 |
JP2012222121A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Ulvac Japan Ltd | 成膜装置 |
JP2016176144A (ja) * | 2015-03-18 | 2016-10-06 | フオン・アルデンネ・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | マグネトロン配列を備えたバンド状基層コーティング設備 |
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JP6959210B2 (ja) | 2021-11-02 |
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