JPH04156266A - 非接触型トルク伝達装置 - Google Patents
非接触型トルク伝達装置Info
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- JPH04156266A JPH04156266A JP27929290A JP27929290A JPH04156266A JP H04156266 A JPH04156266 A JP H04156266A JP 27929290 A JP27929290 A JP 27929290A JP 27929290 A JP27929290 A JP 27929290A JP H04156266 A JPH04156266 A JP H04156266A
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- torque coupling
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- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 99
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 99
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 99
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 20
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
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- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、磁力により非接触でトルクを伝達する非接触
型トルク伝達装置に係り、特に、1個の駆動モータで駆
動側磁気トルクカップリングの前進・後進およびその回
転を制御できる新規な非接触型トルク伝達装置に関する
。
型トルク伝達装置に係り、特に、1個の駆動モータで駆
動側磁気トルクカップリングの前進・後進およびその回
転を制御できる新規な非接触型トルク伝達装置に関する
。
[従来の技術]
一般に、非接触型のトルク伝達装置として、駆動側磁気
トルクカップリングを従動側磁気トルクカップリングに
近接させてこれらの磁力により非接触でトルクを伝達す
ると共に、これらのカップリングを離間させてトルクの
伝達を解除するものが知られている。この種の非接触型
トルク伝達装置には、駆動側磁気トルクカップリングを
従動側磁気トルクカップリングに近接離間移動させるた
めの第一モータと、駆動側磁気トルクカップリングを回
転駆動させるための第二モータとの2個のモータが備え
られている。
トルクカップリングを従動側磁気トルクカップリングに
近接させてこれらの磁力により非接触でトルクを伝達す
ると共に、これらのカップリングを離間させてトルクの
伝達を解除するものが知られている。この種の非接触型
トルク伝達装置には、駆動側磁気トルクカップリングを
従動側磁気トルクカップリングに近接離間移動させるた
めの第一モータと、駆動側磁気トルクカップリングを回
転駆動させるための第二モータとの2個のモータが備え
られている。
近年、宇宙空間において、このような装置を用いた様々
な実験を行おうとする計画が発案されている。
な実験を行おうとする計画が発案されている。
[発明が解決しようとする課M]
しかし、上述したようにトルクの伝達・切離しのために
2個のモータを備えることは、装置全体の重量が重くな
り、且つモータの消費電力が増大するという事態を招く
、これは、この装置を宇宙空間に打ち上げることを考慮
すると致命的な欠点となる。
2個のモータを備えることは、装置全体の重量が重くな
り、且つモータの消費電力が増大するという事態を招く
、これは、この装置を宇宙空間に打ち上げることを考慮
すると致命的な欠点となる。
以上の事情を考慮して創案された本発明の目的は、1個
の駆動モータで駆動側磁気トルクカップリングの前進・
後進およびその回転を制御でき、装置の軽量化と低電力
化とを図った非接触型トルク伝達装置を提供するもので
ある。
の駆動モータで駆動側磁気トルクカップリングの前進・
後進およびその回転を制御でき、装置の軽量化と低電力
化とを図った非接触型トルク伝達装置を提供するもので
ある。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するため本発明は、駆動モータ側に連結
される駆動側磁気トルクカップリングと機器側に連結さ
れる従動側磁気トルクカップリングとを近接させてその
磁力によりトルクを伝達する非接触型トルク伝達装置に
おいて、駆動モータの回転軸に刻設されたネジと、これ
に螺合された駆動fIIII気トルク力トルクカップリ
ングップリングの自転を規制して上記回転軸の正逆回転
でこのカップリングをネジに沿って前後進させると共に
、その前進時、駆動側磁気トルクカップリングが従動側
磁気トルクカップリングに近接した際に、駆動側磁気ト
ルクカップリングの自転規制を解除する自転規制ON−
OFF手段と、上記回転軸の先端部に設けられ、駆動側
磁気トルクカップリングのunを規制して回転軸と駆動
側磁気トルクカップリングとを一体回転させるストッパ
と、を備えたことから構成されている。
される駆動側磁気トルクカップリングと機器側に連結さ
れる従動側磁気トルクカップリングとを近接させてその
磁力によりトルクを伝達する非接触型トルク伝達装置に
おいて、駆動モータの回転軸に刻設されたネジと、これ
に螺合された駆動fIIII気トルク力トルクカップリ
ングップリングの自転を規制して上記回転軸の正逆回転
でこのカップリングをネジに沿って前後進させると共に
、その前進時、駆動側磁気トルクカップリングが従動側
磁気トルクカップリングに近接した際に、駆動側磁気ト
ルクカップリングの自転規制を解除する自転規制ON−
OFF手段と、上記回転軸の先端部に設けられ、駆動側
磁気トルクカップリングのunを規制して回転軸と駆動
側磁気トルクカップリングとを一体回転させるストッパ
と、を備えたことから構成されている。
[作 用コ
上記構成によれば、トルクを伝達する場合には駆動モー
タを正回転させる。すると、駆動モータの回転軸のネジ
に螺合された駆動側磁気トルクカップリングは、自転規
制ON−OFF手段によって自転が規制され、回転軸の
ネジに沿って従動側磁気トルクカップリング側へ前進す
る。
タを正回転させる。すると、駆動モータの回転軸のネジ
に螺合された駆動側磁気トルクカップリングは、自転規
制ON−OFF手段によって自転が規制され、回転軸の
ネジに沿って従動側磁気トルクカップリング側へ前進す
る。
そして、その前進時、この駆動側磁気トルクカップリン
グが従動側磁気トルクカップリングに近接した際、上記
自転規制ON−OFF手段は、駆動側磁気トルクカップ
リングの自転規制を解除する。
グが従動側磁気トルクカップリングに近接した際、上記
自転規制ON−OFF手段は、駆動側磁気トルクカップ
リングの自転規制を解除する。
その後、この駆動側磁気トルクカップリングは、上記回
転軸の先端部に設けられたストッパにより前進が規制さ
れて回転軸と一体的に回転する。
転軸の先端部に設けられたストッパにより前進が規制さ
れて回転軸と一体的に回転する。
この結果、駆動側磁気トルクカップリングから従動側磁
気トルクカップリングへ磁力により非接触でトルクが伝
達される。
気トルクカップリングへ磁力により非接触でトルクが伝
達される。
トルクの伝達を解除する場合には駆動モータを逆回転さ
せる。すると、上記駆動側磁気トルクカップリングは、
自転規制ON−OFF手段によって自転が規制されて回
転軸のネジに沿って後進し、従動側磁気トルクカップリ
ングから離間する。これにより、トルクの伝達が解除さ
れる。
せる。すると、上記駆動側磁気トルクカップリングは、
自転規制ON−OFF手段によって自転が規制されて回
転軸のネジに沿って後進し、従動側磁気トルクカップリ
ングから離間する。これにより、トルクの伝達が解除さ
れる。
[実施例]
以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第1図に、宇宙空間に打ち上げられる宇宙実験・観測フ
リーフライヤー(SFU)に搭載される非接触型トルク
伝達装置1を示す0図示するように、この非接触型トル
ク伝達装置1は、駆動モータ2r!Iiに連結される駆
動側磁気トルクカップリング3と機器側に連結される従
動側磁気トルクカップリング4との磁力により、非接触
でトルクを伝達するようになっている。
リーフライヤー(SFU)に搭載される非接触型トルク
伝達装置1を示す0図示するように、この非接触型トル
ク伝達装置1は、駆動モータ2r!Iiに連結される駆
動側磁気トルクカップリング3と機器側に連結される従
動側磁気トルクカップリング4との磁力により、非接触
でトルクを伝達するようになっている。
上記駆動側磁気トルクカップリング3は、駆動モータ2
の回転軸5に刻設されたネジ6(右ネジ)に螺合されて
いる。このネジ6は、回転軸5に刻設されなオネジのネ
ジ渭と駆動rpJm気トルクカップリング3に刻設され
たメネジのネジ渭とを対向させてできるコイル状の空間
に鋼球をいれた所謂ボールネジからなっている。このボ
ールネジは、オネジ−メネジ間のフリクションを低減し
、効率を高めるために採用されている。
の回転軸5に刻設されたネジ6(右ネジ)に螺合されて
いる。このネジ6は、回転軸5に刻設されなオネジのネ
ジ渭と駆動rpJm気トルクカップリング3に刻設され
たメネジのネジ渭とを対向させてできるコイル状の空間
に鋼球をいれた所謂ボールネジからなっている。このボ
ールネジは、オネジ−メネジ間のフリクションを低減し
、効率を高めるために採用されている。
また、この駆動側磁気トルクカップリング3は、ベアリ
ング7を介して支持フレーム8に支持されており、上記
回転軸5のネジ6に螺合しつつ回転軸5まわりに回転自
在となっている。このベアリング7は、駆動側磁気トル
クカップリング3に固定されたインナーレース9と、支
持フレーム$のキー10と係合されたアウターレース1
1と、これらインナーレース9とアウターレース11と
の間に設けられたベアリングボール12とからなってい
る。上記キー10は、支持フレーム8の内側に、回転軸
5と並行に形成されている。よって、このキー10に係
合するアウターレース11は、回転軸5と並行に移動す
ることになる。
ング7を介して支持フレーム8に支持されており、上記
回転軸5のネジ6に螺合しつつ回転軸5まわりに回転自
在となっている。このベアリング7は、駆動側磁気トル
クカップリング3に固定されたインナーレース9と、支
持フレーム$のキー10と係合されたアウターレース1
1と、これらインナーレース9とアウターレース11と
の間に設けられたベアリングボール12とからなってい
る。上記キー10は、支持フレーム8の内側に、回転軸
5と並行に形成されている。よって、このキー10に係
合するアウターレース11は、回転軸5と並行に移動す
ることになる。
上記インナーレース9とアウターレース11との闇には
、ベアリング7を図中右方向からみたとき、インナーレ
ース9の右回転を防止して左回転のみを許容するワンウ
ェイクラッチ13が設けられている。すなわち、インナ
ーレース9は、アウターレース11に対する右回転が防
止され左回転・のみが可能となっている。
、ベアリング7を図中右方向からみたとき、インナーレ
ース9の右回転を防止して左回転のみを許容するワンウ
ェイクラッチ13が設けられている。すなわち、インナ
ーレース9は、アウターレース11に対する右回転が防
止され左回転・のみが可能となっている。
この構成によれば、第1図に示す状態から駆動モータ2
で回転軸5を矢印14で示すように右回転させると、回
転軸5のネジ6に螺合された駆動側磁気トルクカップリ
ング3が、オネジとメネジとの間のフリクションにより
上記右回転に連れ回ろうとするものの、ワンウェイクラ
ッチ13が駆動側磁気トルクカップリング3の右回転を
規制しているため、駆動側磁気トルクカップリング3は
、自転(連れ回り)することなく回転軸5のネジ6に螺
合しつつ上記キー10に沿って図中右方向に移動する。
で回転軸5を矢印14で示すように右回転させると、回
転軸5のネジ6に螺合された駆動側磁気トルクカップリ
ング3が、オネジとメネジとの間のフリクションにより
上記右回転に連れ回ろうとするものの、ワンウェイクラ
ッチ13が駆動側磁気トルクカップリング3の右回転を
規制しているため、駆動側磁気トルクカップリング3は
、自転(連れ回り)することなく回転軸5のネジ6に螺
合しつつ上記キー10に沿って図中右方向に移動する。
この結果、第2図に示すように、駆動側磁気トルクカッ
プリング3は、従動側磁気トルクカップリング4から離
間し、駆動モータ2から機器へのトルクの伝達が解除さ
れる。
プリング3は、従動側磁気トルクカップリング4から離
間し、駆動モータ2から機器へのトルクの伝達が解除さ
れる。
このとき、駆動側磁気トルクカップリング3は、支持フ
レーム8の内側に設けられたボールプランジャ15によ
って、その自転(右・左回転とも)が規制されるように
なっている。すなわち、第4図に示すように、駆動側磁
気トルクカップリング3の外周部にカップリング3の回
転方向と直角方向にスプライン溝16が形成されており
、支持フレーム8の内側に上記スプライン溝16と係合
して駆動側磁気トルクカップリング3の回転を規制する
ボールプランジャ15が設けられている。
レーム8の内側に設けられたボールプランジャ15によ
って、その自転(右・左回転とも)が規制されるように
なっている。すなわち、第4図に示すように、駆動側磁
気トルクカップリング3の外周部にカップリング3の回
転方向と直角方向にスプライン溝16が形成されており
、支持フレーム8の内側に上記スプライン溝16と係合
して駆動側磁気トルクカップリング3の回転を規制する
ボールプランジャ15が設けられている。
上記ボールプランジャ15は、第3図に示すように、上
記スプライン溝16に係合するボール17と、このボー
ル17をスプライン溝16側に付勢するコイルバネ18
と、によりされて構成されている。また、このボールプ
ランジャ15は、第4図に示すように、支持フレーム8
の内側に1204間隔で3カ所設けられている。
記スプライン溝16に係合するボール17と、このボー
ル17をスプライン溝16側に付勢するコイルバネ18
と、によりされて構成されている。また、このボールプ
ランジャ15は、第4図に示すように、支持フレーム8
の内側に1204間隔で3カ所設けられている。
この構成によれば、第2図に示す状態から駆動モータ2
で回転軸5を矢印19で示すように左回転させると、回
転軸5のネジ6に螺合された駆動側磁気トルクカップリ
ング3が、上記左回転に連れ回ろうとするものの、ボー
ルプランジャ15がスプライン溝16に係合して駆動側
磁気トルクカップリング3の回転(右・左回転とも)を
規制しているため、駆動側磁気トルクカップリング3は
自転することなく回転軸5のネジ6に螺合しつつ上記キ
ー10に沿って図中左方向に移動する。この回転軸5の
左回転時、ワンウェイクラッチ13は、上述したように
駆動側磁気トルクカップリング3の左回転を許容する。
で回転軸5を矢印19で示すように左回転させると、回
転軸5のネジ6に螺合された駆動側磁気トルクカップリ
ング3が、上記左回転に連れ回ろうとするものの、ボー
ルプランジャ15がスプライン溝16に係合して駆動側
磁気トルクカップリング3の回転(右・左回転とも)を
規制しているため、駆動側磁気トルクカップリング3は
自転することなく回転軸5のネジ6に螺合しつつ上記キ
ー10に沿って図中左方向に移動する。この回転軸5の
左回転時、ワンウェイクラッチ13は、上述したように
駆動側磁気トルクカップリング3の左回転を許容する。
ところで、上記スプライン溝16は、所定長さ1だけ設
けられており、第1図に示すように、駆動側磁気トルク
カップリング3が従動側磁気トルクカップリング4に近
接した際に、スプライン溝16がおわり、スプライン溝
16とボールプランジャ15との係合が解除され、駆動
側磁気トルクカップリング3の自転規制が解除されるよ
うになっている。
けられており、第1図に示すように、駆動側磁気トルク
カップリング3が従動側磁気トルクカップリング4に近
接した際に、スプライン溝16がおわり、スプライン溝
16とボールプランジャ15との係合が解除され、駆動
側磁気トルクカップリング3の自転規制が解除されるよ
うになっている。
その後、駆動側磁気トルクカップリング3は、従動側磁
気トルクカップリング4に充分近接していることから、
従動011a気トルクカツプリング4と磁気的に引き合
って、その自転が規制される。
気トルクカップリング4に充分近接していることから、
従動011a気トルクカツプリング4と磁気的に引き合
って、その自転が規制される。
よって、駆動側磁気トルクカップリング3は、回転軸5
の左回転により、さらに図中左方向に移動する。
の左回転により、さらに図中左方向に移動する。
この駆動側磁気トルクカップリング3の移動を従動側磁
気トルクカップリング4の直前で止めるために、第1図
および第2図に示すように、上記回転軸5の先端部に、
駆動側磁気トルクカップリング3の前進を規制して回転
軸5と駆動側磁気トルクカップリング3とを一体回転さ
せるストッパ20が設けられている。
気トルクカップリング4の直前で止めるために、第1図
および第2図に示すように、上記回転軸5の先端部に、
駆動側磁気トルクカップリング3の前進を規制して回転
軸5と駆動側磁気トルクカップリング3とを一体回転さ
せるストッパ20が設けられている。
この構成によれば、回転軸5の左回転による駆動側磁気
トルクカップリング3の移動は、駆動側磁気トルクカッ
プリング3がこのストッパ20に当たるまで続き、スト
ッパ20に当たった後は駆動側磁気トルクカップリング
3が二重ナツトのようにストッパ20にくいこみ、駆動
側磁気トルクカップリング3と回転軸5とが一体的に同
期回転する。
トルクカップリング3の移動は、駆動側磁気トルクカッ
プリング3がこのストッパ20に当たるまで続き、スト
ッパ20に当たった後は駆動側磁気トルクカップリング
3が二重ナツトのようにストッパ20にくいこみ、駆動
側磁気トルクカップリング3と回転軸5とが一体的に同
期回転する。
この際、上記ワンウェイクラッチ13は、’r −10
に係合したアウターレース11に対するインナーレース
9の左回転を許し、駆動側磁気トルク力・ツブリング3
の左回転を許容する。
に係合したアウターレース11に対するインナーレース
9の左回転を許し、駆動側磁気トルク力・ツブリング3
の左回転を許容する。
この結果、第1図に示すように、駆動側磁気トルクカッ
プリング3の左回転トルクは、従動側磁気トルクカップ
リング4へ、磁力により非接触で伝達される。
プリング3の左回転トルクは、従動側磁気トルクカップ
リング4へ、磁力により非接触で伝達される。
以上説明したように、トルクを伝達する場合には、駆動
モータ2により回転軸5を左回転させる。
モータ2により回転軸5を左回転させる。
すると、第2図に示す状態の駆動側磁気トルクカップリ
ング3は、ボールプランジャ15がスプライン溝16係
合することにより自転が規制され、図中左方向に前進す
る。そして、駆動側磁気トルクカップリング3が従動@
磁気トルクカップリング4に近接すると、ボールプラン
ジャ15の係合が外れ、駆動側磁気トルクカップリング
3の自転規制が解除される。その後、駆動側磁気トルク
カップリング3は、第1図に示すように、上記回転軸5
の先端部に設けられたストッパ20により前進が規制さ
れて回転軸5と一体的に回転する。この結果、駆動側磁
気トルクカップリング3から従動側磁気トルクカップリ
ング4へ磁力により非接触でトルクが伝達される。
ング3は、ボールプランジャ15がスプライン溝16係
合することにより自転が規制され、図中左方向に前進す
る。そして、駆動側磁気トルクカップリング3が従動@
磁気トルクカップリング4に近接すると、ボールプラン
ジャ15の係合が外れ、駆動側磁気トルクカップリング
3の自転規制が解除される。その後、駆動側磁気トルク
カップリング3は、第1図に示すように、上記回転軸5
の先端部に設けられたストッパ20により前進が規制さ
れて回転軸5と一体的に回転する。この結果、駆動側磁
気トルクカップリング3から従動側磁気トルクカップリ
ング4へ磁力により非接触でトルクが伝達される。
トルクの伝達を解除する場合には、駆動モータ2を右回
転させる。すると、第1図に示す状態の駆動側磁気トル
クカップリング3は、ワンウェイクラッチ13により自
転が規制され、図中右方向に後進し、第2図に示すよう
に、従動側磁気トルクカップリング4から離間する。こ
れにより、トルクの伝達が解除される。このとき、後進
の途中から、駆動側磁気トルクカップリング3のスプラ
イン溝16と支持フレーム8のボールプランジャ15と
が係合し、これによっても駆動側磁気トルクカップリン
グ3の自転が規制されることになる。
転させる。すると、第1図に示す状態の駆動側磁気トル
クカップリング3は、ワンウェイクラッチ13により自
転が規制され、図中右方向に後進し、第2図に示すよう
に、従動側磁気トルクカップリング4から離間する。こ
れにより、トルクの伝達が解除される。このとき、後進
の途中から、駆動側磁気トルクカップリング3のスプラ
イン溝16と支持フレーム8のボールプランジャ15と
が係合し、これによっても駆動側磁気トルクカップリン
グ3の自転が規制されることになる。
このように、上記非接触型トルク伝達装M1によれば、
1個の駆動モータ2で駆動側磁気トルクカップリング3
の前進・後進およびその回転を制御でき、従来のように
2@の駆動モータで上記制御を行う技術と比較すると、
装置の軽量化と低電力化とを大幅に推進することができ
る。
1個の駆動モータ2で駆動側磁気トルクカップリング3
の前進・後進およびその回転を制御でき、従来のように
2@の駆動モータで上記制御を行う技術と比較すると、
装置の軽量化と低電力化とを大幅に推進することができ
る。
よって、この非接触型トルク伝達装置1は、宇宙空間に
打ち上げられる宇宙実験・観測フリーフライヤー(SF
U)に搭載する非接触型トルク伝達装置として好適なも
のとなる。
打ち上げられる宇宙実験・観測フリーフライヤー(SF
U)に搭載する非接触型トルク伝達装置として好適なも
のとなる。
なお、本実施例にあっては、ワンウェイクラッチ13.
ボールプランジャ15およびスプライン溝16が、特許
請求の範囲中の自転規制ON−OFF手段に相当するこ
とになる。
ボールプランジャ15およびスプライン溝16が、特許
請求の範囲中の自転規制ON−OFF手段に相当するこ
とになる。
[発明の効果コ
以上説明したように本発明に係る非接触型トルク伝達装
置によれば、1個の駆動モータで駆動側磁気トルクカッ
プリングの前進・後進およびその回転を制御でき、装置
の軽量化と低電力化とを大幅に推進できるという優れた
効果を発揮することができる。
置によれば、1個の駆動モータで駆動側磁気トルクカッ
プリングの前進・後進およびその回転を制御でき、装置
の軽量化と低電力化とを大幅に推進できるという優れた
効果を発揮することができる。
第1図は本発明の一実施例を表す非接触型トルク伝達装
置のトルク伝達時の側断面図、第2図は上記非接触型ト
ルク伝達装置のトルク切離時の側断面図、第3図は第1
図および第2図中に示すボールプランジャの概略図、第
4図は第2図のIV−IV線矢視図である。
置のトルク伝達時の側断面図、第2図は上記非接触型ト
ルク伝達装置のトルク切離時の側断面図、第3図は第1
図および第2図中に示すボールプランジャの概略図、第
4図は第2図のIV−IV線矢視図である。
Claims (1)
- 1、駆動モータ側に連結される駆動側磁気トルクカップ
リングと機器側に連結される従動側磁気トルクカップリ
ングとを近接させてその磁力によりトルクを伝達する非
接触型トルク伝達装置において、駆動モータの回転軸に
刻設されたネジと、これに螺合された駆動側磁気トルク
カップリングと、該カップリングの自転を規制して上記
回転軸の正逆回転でこのカップリングをネジに沿って前
後進させると共に、その前進時、駆動側磁気トルクカッ
プリングが従動側磁気トルクカップリングに近接した際
に、駆動側磁気トルクカップリングの自転規制を解除す
る自転規制ON−OFF手段と、上記回転軸の先端部に
設けられ、駆動側磁気トルクカップリングの前進を規制
して回転軸と駆動側磁気トルクカップリングとを一体回
転させるストッパとを備えたことを特徴とする非接触型
トルク伝達装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27929290A JP2836234B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 非接触型トルク伝達装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27929290A JP2836234B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 非接触型トルク伝達装置 |
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JP2005273754A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Tai-Her Yang | 二元性カップリング及びその応用装置 |
JP2006237161A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Ulvac Japan Ltd | 真空成膜装置の搬送機構 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP27929290A patent/JP2836234B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005273754A (ja) * | 2004-03-24 | 2005-10-06 | Tai-Her Yang | 二元性カップリング及びその応用装置 |
JP2006237161A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Ulvac Japan Ltd | 真空成膜装置の搬送機構 |
JP4582450B2 (ja) * | 2005-02-23 | 2010-11-17 | 株式会社アルバック | 真空成膜装置の搬送機構 |
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JP2836234B2 (ja) | 1998-12-14 |
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