JP2006216945A - 薄いルテニウムスペーサおよび強磁場熱処理を用いた反平行固定磁化層を有するセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固定磁化層43を有するセンサは、純粋なルテニウムまたはルテニウム合金のスペーサを有するGMRセンサまたはTMRセンサである。スペーサの厚さは、0.8nm未満、好ましくは0.1〜0.6nmである。スペーサはまた、1.5テスラ以上、好ましくは5テスラよりも大きい磁場中で熱処理される。固定磁化層の固定磁場を、約1.3テスラの比較的低い磁場中で熱処理される厚さ0.8nmのルテニウムスペーサを用いる標準的なAP固定GMRセンサおよびTMRセンサの固定磁場の3倍よりも大きくすることで、固定磁化層43の反平行結合強度を増大させることができる。
【選択図】図3
Description
41…バッファ層、
42…反強磁性層、
43…固定磁化層(合成強磁性構造)、
44…非磁性導電層、
45…自由磁化層、
46…スピンフィルタ、
47…保護層、
111…ドライブ、
113…ベース、
115…ディスク、
117…中央ドライブハブ、
119…コントローラ、
121…アクチュエータ、
123…旋回アセンブリ、
125…パラレルアクチュエータアーム、
127…サスペンション、
129…スライダ、
133…ボイスコイル、
134…ボイスコイルモータ磁気アセンブリ。
Claims (22)
- (a)0.8nm未満の厚さを有するルテニウムスペーサを準備するステップと、
(b)前記ルテニウムスペーサを有するセンサを形成するステップと、
(c)前記ルテニウムスペーサを1.5テスラ以上の磁場中で熱処理するステップと、
を含むことを特徴とするセンサの結合強度を増大させる方法。 - 前記センサが反平行固定磁化層を有するセンサであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記センサが、GMRセンサおよびTMRセンサから成る群から選択されることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記ルテニウムスペーサがルテニウム合金であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記ルテニウムスペーサが純粋なルテニウムであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記ルテニウムスペーサの厚さが0.1〜0.6nmであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記磁場が5テスラよりも大きいことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記磁場が5〜10テスラであることを特徴とする請求項1記載の方法。
- (a)0.8nm未満の厚さを有するルテニウムスペーサを準備するステップと、
(b)前記ルテニウムスペーサを備える反平行固定磁化層を有するセンサを形成するステップと、
(c)前記ルテニウムスペーサを1.5テスラ以上の磁場中で熱処理するステップと、
を含むことを特徴とする反平行固定磁化層を有するセンサの反平行結合強度を増大させる方法。 - 前記反平行固定磁化層を有するセンサが、GMRセンサおよびTMRセンサから成る群から選択されることを特徴とする請求項9記載の方法。
- 前記ルテニウムスペーサがルテニウム合金であることを特徴とする請求項9記載の方法。
- 前記ルテニウムスペーサが純粋なルテニウムであることを特徴とする請求項9記載の方法。
- 前記ルテニウムスペーサの厚さが0.1〜0.6nmであることを特徴とする請求項9記載の方法。
- 前記磁場が5テスラよりも大きいことを特徴とする請求項9記載の方法。
- 前記磁場が5〜10テスラであることを特徴とする請求項9記載の方法。
- 磁気ディスクと、
0.8nm未満の厚さで、1.5テスラ以上の磁場による熱処理を受けたルテニウムスペーサを備える反平行固定磁化層を有するセンサを有し、前記ディスクからデータを読取りまた該ディスクにデータを書込むためのヘッドを有するアクチュエータと、
を有することを特徴とするハードディスクドライブ。 - 前記反平行固定磁化層を有するセンサが、GMRセンサおよびTMRセンサから成る群から選択されることを特徴とする請求項16記載のハードディスクドライブ。
- 前記ルテニウムスペーサがルテニウム合金であることを特徴とする請求項16記載のハードディスクドライブ。
- 前記ルテニウムスペーサが純粋なルテニウムであることを特徴とする請求項16記載のハードディスクドライブ。
- 前記ルテニウムスペーサの厚さが0.1〜0.6nmであることを特徴とする請求項16記載のハードディスクドライブ。
- 前記磁場が5テスラよりも大きいことを特徴とする請求項16記載のハードディスクドライブ。
- 前記磁場が5〜10テスラであることを特徴とする請求項16記載のハードディスクドライブ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/048,406 US7408747B2 (en) | 2005-02-01 | 2005-02-01 | Enhanced anti-parallel-pinned sensor using thin ruthenium spacer and high magnetic field annealing |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006216945A true JP2006216945A (ja) | 2006-08-17 |
JP2006216945A5 JP2006216945A5 (ja) | 2009-02-05 |
Family
ID=36424595
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006018412A Pending JP2006216945A (ja) | 2005-02-01 | 2006-01-27 | 薄いルテニウムスペーサおよび強磁場熱処理を用いた反平行固定磁化層を有するセンサ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7408747B2 (ja) |
EP (1) | EP1688923A3 (ja) |
JP (1) | JP2006216945A (ja) |
KR (1) | KR20060088482A (ja) |
CN (1) | CN100378804C (ja) |
SG (1) | SG124377A1 (ja) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7494927B2 (en) | 2000-05-15 | 2009-02-24 | Asm International N.V. | Method of growing electrical conductors |
US8025922B2 (en) | 2005-03-15 | 2011-09-27 | Asm International N.V. | Enhanced deposition of noble metals |
US7666773B2 (en) | 2005-03-15 | 2010-02-23 | Asm International N.V. | Selective deposition of noble metal thin films |
US7435484B2 (en) * | 2006-09-01 | 2008-10-14 | Asm Japan K.K. | Ruthenium thin film-formed structure |
KR101544198B1 (ko) | 2007-10-17 | 2015-08-12 | 한국에이에스엠지니텍 주식회사 | 루테늄 막 형성 방법 |
US7655564B2 (en) | 2007-12-12 | 2010-02-02 | Asm Japan, K.K. | Method for forming Ta-Ru liner layer for Cu wiring |
US7799674B2 (en) | 2008-02-19 | 2010-09-21 | Asm Japan K.K. | Ruthenium alloy film for copper interconnects |
US8084104B2 (en) | 2008-08-29 | 2011-12-27 | Asm Japan K.K. | Atomic composition controlled ruthenium alloy film formed by plasma-enhanced atomic layer deposition |
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-
2005
- 2005-02-01 US US11/048,406 patent/US7408747B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-01-03 EP EP06000077A patent/EP1688923A3/en not_active Withdrawn
- 2006-01-13 CN CNB2006100051812A patent/CN100378804C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-01-19 SG SG200600376A patent/SG124377A1/en unknown
- 2006-01-20 KR KR1020060006404A patent/KR20060088482A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-01-27 JP JP2006018412A patent/JP2006216945A/ja active Pending
-
2008
- 2008-07-11 US US12/172,134 patent/US7848064B2/en not_active Expired - Fee Related
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---|---|
EP1688923A3 (en) | 2007-11-07 |
US20080285182A1 (en) | 2008-11-20 |
SG124377A1 (en) | 2006-08-30 |
EP1688923A2 (en) | 2006-08-09 |
US7848064B2 (en) | 2010-12-07 |
CN100378804C (zh) | 2008-04-02 |
CN1815561A (zh) | 2006-08-09 |
US20060171083A1 (en) | 2006-08-03 |
US7408747B2 (en) | 2008-08-05 |
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