JP2006186296A - ワーク支持枠体、ワーク洗浄乾燥装置及び切断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切断後のワーク支持枠体2を水平姿勢から垂直姿勢に変えて洗浄乾燥室16へ搬入搬出するワーク移送機構と、ワーク移送機構によりワーク支持枠体2が収納された洗浄乾燥室16を閉止して、当該ワーク支持枠体2を垂直姿勢で固定したまま洗浄ノズル29及び乾燥ノズル30を移動しながらワークWの洗浄乾燥を行う洗浄乾燥機構を具備した。
【選択図】図2
Description
また、切断後のワークの洗浄乾燥装置は、ワークをチャックテーブルに吸着したまま回転させて、ワークの上方に揺動可能に設けられたノズルより洗浄液を噴射して洗浄し乾燥する装置が提案されている(特許文献2参照)。
更に切断装置は、切断部と洗浄乾燥部とが平面的にレイアウトされるため、設置面積が大きく、装置が大型になり易い。また、ワークの搬送路が長くなるため工程間のサイクルタイムが長くなり生産性が低下する。
即ち、リング状の枠体に粘着テープを貼り付けることによりワークを粘着支持するワーク支持枠体において、矩形状に形成された枠体の対角線方向に沿って矩形孔が形成され、該矩形孔を囲む仕切り枠に沿って粘着テープが粘着されることを特徴とする。
ワーク移送機構は、ワーク切断後のワーク支持枠体を水平姿勢で位置決めしたまま垂直姿勢へ姿勢変更可能な第1のガイドレールと、垂直姿勢の第1のガイドレールからワーク支持枠体を垂直姿勢のまま洗浄乾燥室内へ案内及び保持する第2のガイドレールと、垂直姿勢の第1のガイドレールから第2のガイドレールへワーク支持枠体の下端を受けたまま移動するガイドヘッドを具備することを特徴とする。
また、第1のガイドレールは、ワーク支持枠体を水平姿勢で載置可能な第1の位置と、ワーク支持枠体を両側から挟持して位置決めする第2の位置と、ワーク支持枠体の平面部をガイドしつつ長手方向への移動を許容する第3の位置へ開閉移動することを特徴とする。
更に、ガイドヘッドは、洗浄ノズル及び乾燥ノズルと一体に設けられていることを特徴とする。
また、第1のガイドレールが水平姿勢から垂直姿勢に姿勢変更する際に、閉止された洗浄乾燥室の開閉扉を開放して第1のガイドレールと第2のガイドレールが連通し、第1のガイドレールが水平姿勢に戻ると開閉扉を閉止することを特徴とする。
第2のガイドレールは断面コ字状に形成され、垂直姿勢でワーク支持枠体の自重による移動を阻止する係止部が形成されていることを特徴とする。
洗浄乾燥機構は、洗浄乾燥室内で第2のガイドレールに垂直姿勢のままガイドされたワーク支持枠体を、第2のガイドレールごと移動させる駆動源と、ワーク貼付け面とは反対側の粘着テープ面を吸着保持する吸着ヘッドと、吸着ヘッドに吸着保持されたワークに対向させて垂直方向へ移動しながら洗浄液を噴射して洗浄する洗浄ノズルと、エアーブローにより乾燥する乾燥ノズルを備えたことを特徴とする。
また、洗浄乾燥室内には、洗浄乾燥後に室外へ搬出されるワークの両面を乾燥するためのエア吹出し部が開閉扉の近傍に設けられていることを特徴とする。
また、ワーク供給部から第1のガイドレールへ引き出されたワーク支持枠体を保持し回転テーブルへ搬送し、切断後のワーク支持枠体を回転テーブルから第1のガイドレールへ搬送する搬送手段を複数備え、第1のガイドレールからワーク支持枠体を回転テーブルへ搬送する動作と、回転テーブルから切断後のワーク支持枠体を第1のガイドレールへ搬送する動作を並行することを特徴とする。
また、ワーク支持枠体を保持する第1、第2の搬送手段が、装置上部に併設された第1、第2の搬送レールに沿って第1のガイドレールと回転テーブルとの間を各々往復動可能に設けられることを特徴とする。
垂直姿勢の第1のガイドレールから第2のガイドレールへワーク支持枠体の下端をガイドヘッドが受けたまま移動するだけで洗浄乾燥室へワークを搬入でき、ガイドヘッドにより押し上げるだけで洗浄乾燥室からワークを搬出できるので、洗浄乾燥室への搬入搬出機構が簡略になる。また、上下方向に移動できるガイドヘッドが洗浄ノズル及び乾燥ノズルと一体に設けられ多機能化することにより、省スペースで洗浄乾燥機構及び搬入搬出機構を兼用して小型化を促進できる。
第1のガイドレールが水平姿勢と垂直姿勢とで姿勢変更する際に、閉止された洗浄乾燥室の開閉扉を開閉させるので、開閉扉の開閉機構を別途設ける必要がなく部品点数を減らすことができる。また、洗浄乾燥室がワーク搬入搬出時のみに開閉するので、洗浄液が漏れ出すおそれはないため、洗浄乾燥中に次のワークの切断動作を並行することができる。
また、ワーク支持枠体を保持する第1、第2の搬送手段が、装置上部に並設された第1、第2の搬送レールに沿って第1のガイドレールと回転テーブルとの間を各々往復動可能に設けられるので、第1、第2の搬送装置を所定位置へ退避させることで装置前面から切断部までの距離が短く、作業スペースが十分確保できるため、切断ブレードを交換するなどのメンテナンスを行う作業がし易くなる。
先ず、切断装置の概略構成について、図1を参照して説明する。
図1において、ワーク供給部1には、ワーク支持枠体2を複数収納する供給マガジン3が公知のエレベータ機構4により昇降可能に設けられている。ワーク支持枠体2には粘着テープ(例えばUVテープ)が矩形孔を閉止するように貼着した当該粘着テープにワークWが粘着支持されている。
尚、切断動作と洗浄乾燥動作を並行することなく、ワーク供給部1からワーク支持枠体2を取出ステージPへ取出し、第1のガイドレール17による位置決め、ワーク支持枠体2を取出ステージPから吸着位置Qへ搬送、ワーク支持枠体2を回転テーブル5に吸着したまま切断位置Rへ移動、ワークWを切断、ワーク支持枠体2を吸着位置Qから取出ステージPへ搬送、ワーク洗浄乾燥装置12によるワークWの洗浄乾燥、ワーク支持枠体2のワーク供給部1への収納までの一連の作業を順次行うこともできる。
本発明に係るワーク洗浄乾燥装置においては、図7及び図10に示すワーク支持枠体の他に各種サイズ又は様々な外形の支持枠を使用することができるが、以下では一例として図7を参照して説明する。
ワーク支持枠体2は、本実施形態においては、1辺の長さが276mmの矩形状の枠体が用いられる。この枠体矩形孔に粘着テープ(例えばUVテープ)13を貼り付けることによりワークWを粘着支持する。矩形状に形成された枠体の対角線方向に沿って矩形状の孔14aが形成されている。この矩形状の孔14aを囲む仕切り枠15に沿ってテープ粘着面が形成される。尚、仕切り枠15と外枠に囲まれた部分はダミー孔14bになっており枠体の軽量化が図られている。このように、矩形状枠体の対角線方向に沿って矩形孔14aを形成することで、ワーク支持枠体2の外形を大きくすることなく従来に比べて矩形状のワークWの長さサイズが大きなものまで支持することができる。例えば、最大外径276mmの矩形状枠体においては、幅75mm長さ210mmから、幅75mm長さ250mmまでのワークWを粘着支持することができ、更に多数個取りが可能となる。また、矩形孔14aを囲む仕切り枠15に沿って部分的にテープ貼付け面が形成されるため高価な粘着テープ13の無駄を抑えて生産コストを低減することができる。また、図7の支持枠体は方形であるため、後述する第2のガイドレール22に収納される際、図10の支持枠体(リングフレーム)に比べて第2のガイドレール22に接するガイド部が長く、安定してスライドガイドできること及び吸着ヘッド26への吸着も安定する利点がある。
図2において、ワーク洗浄乾燥装置12には、切断後のワーク支持枠体2を水平姿勢から垂直姿勢に変えて洗浄乾燥室16へ搬入搬出するワーク移送機構が設けられている。また、ワーク支持枠体2が収納された洗浄乾燥室16を閉止して、当該ワーク支持枠体2を垂直姿勢で固定したまま洗浄ノズル及び乾燥ノズルを移動させてワークWの洗浄乾燥を行う洗浄乾燥機構を具備している。以下、これらの機構について具体的に説明する。
図4(a)は、取出ステージP部分の拡大図である(図1及び図2参照)。この取出ステージPには切断後のワーク支持枠体2が載置され、取出ステージPから洗浄乾燥後のワーク支持枠体2が供給マガジン3へ収納されるようになっている。第1のガイドレール17は、基台19上の両側に開閉可能に設けられる。第1のガイドレール17は、切断後のワーク支持枠体2を水平姿勢で位置決めしたまま回転軸20を中心に90度回転して垂直姿勢へ姿勢変更可能になっている。図2において、基台19には後述する回転用シリンダ(エアシリンダ)21のシリンダロッドが連繋しており、回転用シリンダ21を作動させると、第1のガイドレール17が基台19と共に90度回転して垂直姿勢へ姿勢変更するようになっている。第1のガイドレール17には、垂直姿勢時にワーク支持枠体2の落下を防ぐ係止部17aが設けられている。
第1の搬送装置41(第1の搬送手段)は、供給マガジン3から基台19へ引き出されたワーク支持枠体2を保持し、第1の搬送レール43に沿って当該ワーク支持枠体2を回転テーブル5へ搬送する。また、第2の搬送装置42(第2の搬送手段)は切断後のワーク支持枠体2を保持し、第2の搬送レール44に沿って回転テーブル5から基台19へ搬送する。
第1、第2の搬送装置41、42としては、ワーク支持枠体2の上面を吸着する吸着ハンドを備えた搬送装置が用いられる。第1の搬送装置41が第1のガイドレール17からワーク支持枠体2を回転テーブル5へ搬送する動作と、第2の搬送装置42が回転テーブル5から切断後のワーク支持枠体2を基台19へ搬送する動作が並行する。図3において、第1、第2の搬送装置41、42は上下方向へ移動可能に設けられており、ワーク支持枠体2の搬送が逆向きに行われても干渉することはない。本実施形態においては、第1、第2の搬送装置41、42は交互に同じ動作を行う。第1の搬送レール43及び第2の搬送レール44を装置上部に並設することにより、第1、第2の搬送装置41、42を所定位置へ退避させることで装置前面から切断部6までの距離が短く、作業スペースを十分確保できるため、切断ブレード7a、7b(図1参照)を交換するなどのメンテナンスを行う作業がし易くなる。
図9Iにおいて、洗浄乾燥動作が終了すると、洗浄ヘッド31は一旦第2のガイドレール22の下方(矢印方向)へ移動して待機する。次に、図9Jにおいて、回転用シリンダ21を作動させてシリンダロッドを矢印方向へ伸長させて基台19が回転軸20を中心に90度回転して水平姿勢から垂直姿勢へ姿勢変更する。このとき、基台19の回転に伴ってローラ19aは洗浄乾燥室16の開閉扉35の当接部38に当接して押動するので、開閉扉35がバネ37の引っ張り力に抗して開放される。
1 ワーク供給部
2 ワーク支持枠体
3 供給マガジン
4 エレベータ機構
5 回転テーブル
6 切断部
7a、7b 切断ブレード
8a、8b スピンドル部
9a、9b 移動体
10 移動レール
11 吸気口
12 ワーク洗浄乾燥装置
13 粘着テープ
14a 矩形孔
14b ダミー孔
15 仕切り枠
16 洗浄乾燥室
17 第1のガイドレール
17a,27a 枠体係止部
18 チャックハンド
19 基台
19a ローラ
20 回転軸
21 回転用シリンダ
22 第2のガイドレール
24 支持板
25 シャフト
26 吸着ヘッド
26a 吸着面
26b 吸引孔
28 ガイドヘッド
29 洗浄ノズル
30 乾燥ノズル
31 洗浄ヘッド
32 ベルトチェーン
33 プーリ
34 ベルト駆動モータ
35 開閉扉
36 エア吹出し部
37 バネ
38 当接部
39 排水口
40 排気口
41 第1の搬送装置
42 第2の搬送装置
43 第1の搬送レール
44 第2の搬送レール
Claims (12)
- リング状の枠体に粘着テープを貼り付けることによりワークを粘着支持するワーク支持枠体において、
矩形状に形成された枠体の対角線方向に沿って矩形孔が形成され、該矩形孔を囲む仕切り枠に沿って粘着テープが粘着されることを特徴とするワーク支持枠体。 - ワーク支持枠体に粘着した粘着テープに粘着支持されたまま切断されるワークの洗浄乾燥を行うワーク洗浄乾燥装置において、
切断後のワーク支持枠体を水平姿勢から垂直姿勢に変えて洗浄乾燥室へ搬入搬出するワーク移送機構と、
ワーク移送機構によりワーク支持枠体が収納された洗浄乾燥室を閉止して、当該ワーク支持枠体を垂直姿勢で固定したまま洗浄乾燥ノズルを移動しながらワークの洗浄乾燥を行う洗浄乾燥機構を具備したことを特徴とするワーク洗浄乾燥装置。 - ワーク移送機構は、
ワーク切断後のワーク支持枠体を水平姿勢で位置決めしたまま垂直姿勢へ姿勢変更可能な第1のガイドレールと、
垂直姿勢の第1のガイドレールからワーク支持枠体を垂直姿勢のまま洗浄乾燥室内へ案内する第2のガイドレールと、
垂直姿勢の第1のガイドレールから第2のガイドレールへワーク支持枠体の下端を受けたまま移動するガイドヘッドを具備することを特徴とする請求項2記載のワーク洗浄乾燥装置。 - 第1のガイドレールは、ワーク支持枠体を水平姿勢で載置可能な第1の位置と、ワーク支持枠体を両側から挟持して位置決めする第2の位置と、ワーク支持枠体の平面部をガイドしつつ長手方向への移動を許容する第3の位置へ開閉移動することを特徴とする請求項3記載のワーク洗浄乾燥装置。
- ガイドヘッドは、洗浄ノズル及び乾燥ノズルと一体に設けられていることを特徴とする請求項3記載のワーク洗浄乾燥装置。
- 第1のガイドレールが水平姿勢から垂直姿勢に姿勢変更する際に、閉止された洗浄乾燥室の開閉扉を開放して第1のガイドレールと第2のガイドレールが連通し、第1のガイドレールが水平姿勢に戻ると開閉扉を閉止することを特徴とする請求項3記載のワーク洗浄乾燥装置。
- 第2のガイドレールは断面コ字状に形成され、垂直姿勢でワーク支持枠体の自重による移動を阻止する係止部が形成されていることを特徴とする請求項3記載のワーク洗浄乾燥装置。
- 洗浄乾燥機構は、
洗浄乾燥室内で第2のガイドレールに垂直姿勢のままガイドされたワーク支持枠体を、第2のガイドレールごと移動させる駆動源と、
ワーク貼付け面とは反対側の粘着テープ面を吸着保持する吸着ヘッドと、
吸着ヘッドに吸着保持されたワークに対向させて垂直方向へ移動しながら洗浄液を噴射して洗浄する洗浄ノズルとエアーブローにより乾燥する乾燥ノズルを備えたことを特徴とする請求項2記載のワーク洗浄乾燥装置。 - 洗浄乾燥室内には、洗浄乾燥後に室外へ搬出されるワークの両面を乾燥するためのエア吹出し部が開閉扉の近傍に設けられていることを特徴とする請求項8記載のワーク洗浄乾燥装置。
- ワーク支持枠体に貼着した粘着テープにワークが粘着支持された当該ワーク支持枠体を収納するワーク供給部と、
ワーク供給部から供給されたワーク支持枠体を回転テーブルに固定したままワークを切断する切断部と、
切断後のワーク支持枠体に支持されたワークを洗浄乾燥する請求項2乃至請求項9のいずれか1項に記載のワーク洗浄乾燥装置を備え、
ワーク供給部から供給されるワーク支持枠体が切断部へ搬送されて切断が行われ、ワーク洗浄乾装置による洗浄乾燥後のワーク支持枠体が再度ワーク供給部へ収納されることを特徴とする切断装置。 - ワーク供給部から第1のガイドレールへ引き出されたワーク支持枠体を保持し回転テーブルへ搬送し、切断後のワーク支持枠体を回転テーブルから第1のガイドレールへ搬送する搬送手段を複数備え、
第1のガイドレールからワーク支持枠体を回転テーブルへ搬送する動作と、回転テーブルから切断後のワーク支持枠体を第1のガイドレールへ搬送する動作を並行することを特徴とする請求項10記載の切断装置。 - ワーク支持枠体を保持する第1、第2の搬送手段が、装置上部に併設された第1、第2の搬送レールに沿って第1のガイドレールと回転テーブルとの間を各々往復動可能に設けられることを特徴とする請求項11記載の切断装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005112083A JP4580806B2 (ja) | 2004-11-30 | 2005-04-08 | ワーク支持枠体、ワーク洗浄乾燥装置及び切断装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004346553 | 2004-11-30 | ||
JP2005112083A JP4580806B2 (ja) | 2004-11-30 | 2005-04-08 | ワーク支持枠体、ワーク洗浄乾燥装置及び切断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006186296A true JP2006186296A (ja) | 2006-07-13 |
JP4580806B2 JP4580806B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005112083A Expired - Fee Related JP4580806B2 (ja) | 2004-11-30 | 2005-04-08 | ワーク支持枠体、ワーク洗浄乾燥装置及び切断装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4580806B2 (ja) |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4580806B2 (ja) | 2010-11-17 |
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---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080123 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100330 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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