JP2000306864A - 短冊ワークダイシング用フィルム取付フレーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ダイシング用フィルムの歩留まりの向上とその
フィルムの短冊ワーク非接着領域の減少化によって、製
品を安価にする。 【解決手段】 個別の半導体パッケージ１９を多数切り
出し可能な短冊ワーク１７支持用のダイシング用フィル
ム１５を張り渡す穴１２を設ける。そして、そのフィル
ム張り渡し穴１２を方形状にする。又、短冊ワークダイ
シング用フィルム取付フレーム１１の輪郭形状を方形状
にするとよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は個別の半導体パッケ
ージの切り出し対象となる短冊ワーク支持用のダイシン
グ用フィルムを張り渡して取り付ける短冊ワークダイシ
ング用フィルム取付フレームに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ダイサー（ダイシング装置）は主
に半導体ウェハーから多数のチップを分割する際の切断
用に使用されている。それ故、ワーク搬送に用いられる
フレームは半導体ウェハーの形状に合わせた円形状がベ
ースになっており、その中央部に設けるワーク支持用の
ダイシング用フィルム張り渡し穴も大きな円形穴になっ
ている。通常、このようなフレームにはステンレスを使
用し、ダイシング用フィルムには紫外線硬化型等の粘着
フィルムを使用する。そして、フレームのダイシング用
フィルム張り渡し穴の周囲にダイシング用フィルムの縁
部を接着して取り付け、そのフィルム中央部に短冊ワー
クを接着して支持させ切断をしている。

【０００３】又、最近では一括モールドにより多数の半
導体パッケージを一体成形し、その一体成形品から個別
の半導体パッケージを分割する加工法が採用されるよう
になったが、その分割の際にもダイサーが使用されてい
る。一般に、このような一体成形品には樹脂、半導体チ
ップ或いは方形状に切断した半導体ウェハー、ベース基
材等が含まれており、そのワーク形状は短冊状である。
なお、ベース基材には積層テープ、プリント基板、セラ
ミックス基板等が使用される。それ故、短冊ワーク支持
用に、図８に示すような半導体ウェハーダイシング用フ
ィルム取付フレーム１とダイシング用フィルム２とを用
いると、そのダイシング用フィルム２の中央部に半導体
ウェハーに替えて短冊ワーク３を接着して支持させ切断
を行なえる。なお、４はフレーム１のダイシング用フィ
ルム張り渡し穴、５はダイシング用フィルム２の縁部、
６は短冊ワーク３の切断位置を示す縦横線である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなダイシング用フィルム２は高価であるにもかかわら
ず、通常ロール状に巻いた一定幅の長尺フィルムの長手
方向に沿ってフィルム幅の長さに等しい正方形領域から
１枚ずつ順次切り抜いて形成するため、ダイシング用フ
ィルム２の歩留まりが非常に悪い。何故なら、ダイシン
グ用フィルム２の切り抜き後に、図９の斜線で示すよう
な長尺フィルムの大きな残骸７が発生する。なお、８は
ダイシング用フィルム２を切り抜いた穴である。又、図
１０に示すように短冊ワーク３の接着個所９はダイシン
グ用フィルム２の中央部のみであり、斜線で示す大きな
非接着領域１０が存在する。

【０００５】本発明はこのような従来の問題点に着目し
てなされたものであり、ダイシング用フィルムの歩留ま
り向上とそのフィルムの短冊ワーク非接着領域の減少化
によって、製品を安価にすることのできる短冊ワークダ
イシング用フィルム取付フレームを提供することを目的
とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による短冊ワークダイシング用フィルム取付
フレームには個別の半導体パッケージを多数切り出し可
能な短冊ワーク支持用のダイシング用フィルム張り渡し
穴を設ける。そして、上記ダイシング用フィルム張り渡
し穴を方形状にする。又、短冊ワークダイシング用フィ
ルム取付フレームの輪郭形状を方形状にするとよい。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、添付の図１〜７を参照し
て、本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明を適
用し輪郭形状を正方形状にした短冊ワークダイシング用
フィルム取付フレームの３枚の短冊ワーク支持状態を示
す平面図である。この短冊ワークダイシング用フィルム
取付フレーム１１は輪郭形状を正方形状にしたものであ
り、その中央部を大きく占めるように設けるダイシング
用フィルム張り渡し穴１２の形状も正方形状にする。し
かも、ダイシング用フィルム製作用の源フィルムである
例えば紫外線硬化型の接着剤が付いている長尺フィルム
の幅を基準にして、フレーム１１の一辺の長さをその長
尺フィルムの幅より少し長くし、ダイシング用フィルム
張り渡し穴１２の一辺の長さをその長尺フィルムの幅よ
り少し短くする。すると、図２に示す長尺フィルム１３
を長手方向に沿ってそのフィルム幅に等しい点線位置１
４で順次切断することにより、図３に示す正方形状のダ
イシング用フィルム１５を製作して用いることができ
る。当然、長尺フィルム１３には無駄となる部分がなく
て残骸が発生せず、ダイシング用フィルム１５の歩留ま
りが大幅に向上する。

【０００８】そこで、ダイシング用フィルム１５の縁部
１６を穴１２の周囲に接着して張り渡し、フレーム１１
にダイシング用フィルム１５を取り付ける。又、そのダ
イシング用フィルム１５の中央部に複数枚例えば３枚の
短冊ワーク１７（１７ａ、１７ｂ、１７ｃ）を並べて分
散配置しそれぞれ接着する。すると、各短冊ワーク１７
を囲むダイシング用フィルム１５の非接着領域が従来の
円形状のダイシング用フィルム２と比べはるかに小さく
なり、ダイシング用フィルム１５の無駄な不使用部分が
少なくなる。

【０００９】このようにして、フレーム１１に取り付け
たダイシング用フィルム１５に３枚の短冊ワーク１７を
支持させた後、ダイサーにより各ワーク１７の縦横線１
８の位置で切断する。すると、３枚の短冊ワーク１７か
ら個別の半導体パッケージ１９を多数切り出し、例えば
短冊ワーク１７毎に４００個切り出して、フレーム１１
の全体では一度に１２００個の半導体パッケージ１９を
製作できる。なお、切断はフレーム１１に張ったダイシ
ング用フィルム１５に３枚の短冊ワーク１７を乗せた状
態で行い、取り出しは次工程でそのフィルム１５を湾曲
した突部上に載せ、各半導体パッケージ１９間に隙間を
形成して取り出し易くした後に行う。

【００１０】上記実施の形態では短冊ワークダイシング
用フィルム取付フレーム１１の輪郭形状を正方形状に
し、更にその中央部に設けるダイシング用フィルム張り
渡し穴１２を正方形状にしたが、図４に示すように短冊
ワークダイシング用フィルム取付フレーム２０の輪郭形
状を長方形状にし、更にその中央部を大きく占めるよう
に設けるダイシング用フィルム張り渡し穴２１を長方形
状にすることができる。このような長方形状のフレーム
２０ではダイシング用フィルム製作用長尺フィルム幅を
基準にして、フレーム２０の短手辺の長さをその長尺フ
ィルムの幅の３分の１より少し長くし、ダイシング用フ
ィルム張り渡し穴２１の短手辺の長さをその長尺フィル
ムの幅の３分の１より少し短くする。又、フレーム２０
の長手辺の長さをその長尺フィルムの幅より少し長く
し、ダイシング用フィルム張り渡し穴２１の長手辺の長
さをその長尺フィルムの幅より少し短くする。

【００１１】すると、図５に示す長尺フィルム２２をそ
のフィルム幅の３分の１に等しい点線位置２３で長手方
向に沿って順次切断することにより、図６に示す長方形
状のダイシング用フィルム２４を製作して用いることが
できる。当然、長尺フィルム２２には無駄となる部分が
なくて残骸が発生せず、ダイシング用フィルム２４の歩
留まりが大幅に向上する。そこで、ダイシング用フィル
ム２４の縁部２５をフィルム張り渡し穴２１の周囲に接
着して張り渡し、フレーム２０にダイシング用フィルム
２４を取り付ける。又、そのダイシング用フィルム２４
の中央部に短冊ワーク２６を１枚配置して接着する。す
ると、ダイシング用フィルム２４の短冊ワーク２６を囲
む非接着領域が従来のダイシング用フィルム２と比べは
るかに小さくなり、ダイシング用フィルム２４の無駄な
不使用部分が少なくなる。

【００１２】このようにして、フレーム２０に取り付け
たダイシング用フィルム２４に１枚の短冊ワーク２６を
支持させた後、ダイサーにより短冊ワーク２６の縦横線
２７の位置で切断する。すると、１枚の短冊ワーク２６
より個別の半導体パッケージ２８をやはり４００個切り
出すことができる。なお、短冊ワークをダイシング用フ
ィルムに１枚支持させると、ダイシング用フィルムの短
手辺の長さを必要最小限にすることも可能になり、ロッ
ト枚数で長尺フィルムの長さを割りきれなくても無駄が
少なく、歩留まりが極めて良くなる。

【００１３】又、上記実施の形態では短冊ワークダイシ
ング用フィルム取付フレーム１１、２０の輪郭形状をい
ずれも方形状にし、更にその中央部に設けるダイシング
用フィルム張り渡し穴１２、２１をいずれも方形状にし
たが、図７に示すように短冊ワークダイシング用フィル
ム取付フレーム２９の輪郭形状を円形状にし、その中央
部に設けるダイシング用フィルム張り渡し穴３０を方形
状例えば長方形状にすることもできる。このような円形
状のフレーム２９を用いると、半導体ウェハーに使用し
たダイサーを用いて、短冊ワークの切断を行ない易くな
り、やはりダイシング用フィルムの歩留まりを大幅に向
上させることができる。又、ダイシング用フィルムの短
冊ワーク非接着による無駄な不使用部分も少なくなる。
なお、フレーム２９にはダイシング用フィルム張り渡し
穴３０の両側の対象位置に半円状の穴３１（３１ａ、３
１ｂ）をそれぞれ設け、フレーム２９を軽量化する。

【００１４】

【発明の効果】以上説明した本発明によれば請求項１記
載の発明ではダイシング用フィルム張り渡し穴を方形状
にすることにより、その穴に張り渡すダイシング用フィ
ルムを方形状にし、ダイシング用フィルムの歩留まりを
向上させることができる。又、ダイシング用フィルムの
短冊ワーク非接着領域を小さくすることによりそのダイ
シング用フィルムの無駄な不使用部分を少なくできる。
それ故、製品を安価にできる。しかも、短冊ワークダイ
シング用フィルム取付フレームの輪郭形状を円形状にす
ると、従来の半導体ウェハー用ダイサーをそのまま使用
できるため、新たなダイサーを必要とせず、装置への投
資を最小限にすることができる。

【００１５】又、請求項２記載の発明ではダイシング用
フィルム取付フレームの輪郭形状を方形状例えば正方形
状にし、そのダイシング用フィルム張り渡し穴も正方形
状にすることにより、従来１枚の円形状ダイシング用フ
ィルムを製作した源フィルムの幅と長さの等しい正方形
領域から１枚の正方形状ダイシング用フィルムを製作
し、その正方形状ダイシング用フィルムで３枚までの複
数枚の短冊ワークを支持して切断を行ない、個別の半導
体パッケージを従来より一層多数切り出すことができ
る。それ故、ダイシング用フィルムの歩留まりを向上さ
せることができ、更にそのフィルムの短冊ワーク非接着
領域を小さくすることによりそのダイシング用フィルム
の無駄な不使用部分を少なくして、製品を一層安価にで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用し輪郭形状を正方形状にした短冊
ワークダイシング用フィルム取付フレームの３枚の短冊
ワーク支持状態を示す平面図である。

【図２】同フレームに取り付ける正方形状のダイシング
用フィルム製作用長尺フィルムの切断位置を示す平面図
である。

【図３】同正方形状ダイシング用フィルムの平面図であ
る。

【図４】本発明を適用し輪郭形状を長方形状にした短冊
ワークダイシング用フィルム取付フレームの短冊ワーク
支持状態を示す平面図である。

【図５】同フレームに取り付ける長方形状のダイシング
用フィルム製作用長尺フィルムの切断位置を示す平面図
である。

【図６】同長方形状ダイシング用フィルムの平面図であ
る。

【図７】本発明を適用し輪郭形状を円形状にした短冊ワ
ークダイシング用フィルム取付フレームの平面図であ
る。

【図８】従来の輪郭形状を円形状にした短冊ワークダイ
シング用フィルム取付フレームの短冊ワーク支持状態を
示す平面図である。

【図９】同フレームに取り付ける円形状のダイシング用
フィルム製作用長尺フィルムの残骸を示す平面図であ
る。

【図１０】同円形状ダイシング用フィルムの短冊ワーク
接着位置を示す平面図である。

【符号の説明】

１１、２０、２９…ダイシング用フィルム取付フレーム
１２、２１、３０…ダイシング用フィルム張り渡し穴
１３、２２…長尺フィルム １４、２３…切断位置を
示す線 １５、２４…ダイシング用フィルム １７、２
６…短冊ワーク １８、２７…切断位置を示す縦横線 １９、２８…半導
体パッケージ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 個別の半導体パッケージを多数切り出し
   可能な短冊ワーク支持用のダイシング用フィルム張り渡
   し穴を設けた短冊ワークダイシング用フィルム取付フレ
   ームにおいて、上記ダイシング用フィルム張り渡し穴を
   方形状にすることを特徴とする短冊ワークダイシング用
   フィルム取付フレーム。
2. 【請求項２】 短冊ワークダイシング用フィルム取付フ
   レームの輪郭形状を方形状にすることを特徴とする請求
   項１記載の短冊ワークダイシング用フィルム取付フレー
   ム。