JP2006179144A - Icの高速試験方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明はICの高速試験方法及び装置に関し,複数種類のメモリICに対する試験を効率化すると共に高速な素子に対して正確な試験を実行することができることを目的とする。
【解決手段】試験装置本体で試験のためのパターンを生成して,試験装置本体とコネクタを介して接続されたソケット基板に入力する。ソケット基板においてパターン信号の波形を逓倍し,逓倍により高速化した信号を選択切替えられるスクランブル部を介して試験対象のICの端子と接続するよう構成する。
【選択図】図1
【解決手段】試験装置本体で試験のためのパターンを生成して,試験装置本体とコネクタを介して接続されたソケット基板に入力する。ソケット基板においてパターン信号の波形を逓倍し,逓倍により高速化した信号を選択切替えられるスクランブル部を介して試験対象のICの端子と接続するよう構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は,高速で動作するメモリIC等のICの高速試験方法及び装置に関する。
図7は従来のメモリIC等の品質を試験するための装置構成,図8は従来の装置構成の内部構成を示す図である。図7において,80はプログラムに従って試験パターン等の各種の信号を発生すると共に被試験装置から出力された信号について判定を行う機構を備えた試験装置本体,80aはコントロール部,81はソケット基板と接続するためのコネクタ(雌形),82はソケット基板に設けられたコネクタ(雄形),83は各ICに対応したソケット用基板であり,この例はAという型のメモリICに対応したA用ソケット基板とする。84はA用ソケット,85はA用ソケット84に搭載したAのメモリICである。この中の,コネクタ82,A用ソケット基板83及びA用ソケット84は,A用ソケットアダプタと呼ばれる。
図8は図7に示す従来の装置構成の内部を示す。図中,80aは上記図7の同一符号と同じコントール部,80bは試験のためのデータ信号を発生するパターン発生部,80cは試験の対象となるIC(被試験IC)を駆動するための各種のタイミング信号(クロック信号,ストローブ信号等)を発生するタイミング信号発生部,80dは基準クロック発生部,80eは被試験ICに適応した波形を生成する波形生成部,80fは被試験ICからの出力信号(読み出し信号)を判定(出力予定のデータと一致したかを判定)するデータ判定部である。
メモリICの品質を試験する場合,図7に示すように,メモリICの種別(端子の形状,構造,各端子の仕様(信号の種類等),メモリ容量,速度等)に適合するための複数の種類のソケットアダプタ(図7の符号82〜84で構成)を用意する必要がある。図7にはA用ソケットアダプタの他にB用ソケットアダプタ,C用ソケットアダプタが示されている。
試験を行う場合,図8に示すように,コントロール部80aからの制御によりパターン発生部80bから試験パターン(書き込みのデータ信号等)を発生し,タイミング発生部80cから各種のタイミング信号(書き込みや読み出し動作のための信号)を発生し,波形生成部80eでこれらの信号を受け取ると共に基準クロック発生部80dからの基準クロックに従って各種の信号を発生する。信号の種類としては,RAS(Row Address Strobe: ローアドレスストローブ),CAS(Column Address Strobe: カラムアドレスストローブ),WE(Write Enable:書き込みイネーブル),アドレス,データ,複数種のクロック等がある。波形生成部80eから出力した信号は,図7に示すコネクタ81及びコネクタ82を通ってA用ソケット基板83,ソケット84を介してAのメモリIC85に供給される。
このようにAのメモリICについて,試験対象ICを交換して順次に試験を行い,試験対象ICを他の異なるBのメモリICについての試験を行う場合は,各メモリICの仕様に対応したソケット基板を変える必要があるため,図7に示すようにB用ソケットアダプタを設けて使用する必要があり,CのメモリICについての試験はC用ソケットアダプタを使用する必要がある。
一方,試験対象となるメモリICの動作速度が向上して,試験を実施する場合にも高速の信号により動作させて,性能をチェックする必要がある。ところが,図8に示す試験装置本体80において,パターン発生部80bやタイミング発生部80cの信号に基づいて波形生成部80eから出力された各信号は,図7に示すようにコネクタ81,コネクタ82,A用ソケット基板83,A用ソケット84を通ってAのメモリICに供給され,AのメモリIC85から出力された信号(読み出しデータ信号等)は,入力信号の経路とは逆の経路を通ってデータ判定部(図8の80f)に入力される。この場合,信号の速度が高速であるため,例えば,150Mbps程度になると,コネクタや,装置等の複数の素子を通過するために信号の劣化が激しく,生成時とは大きく歪んだ波形となって正確な試験を行うことができなくなるという問題があった。
従来の半導体素子評価装置の測定評価ボードとして,測定評価ボードを基本回路であるコモンボードと,測定する特定のカテゴリーに応じコモンボード上面に着脱されるデジタル回路を有するスペシャルボードとで構成し,測定する特性のカテゴリに応じた別のスペシャルボードを装着して測定評価するように構成することで,測定評価対象の半導体素子毎に測定評価ボード全体を開発する必要をなくす技術が開示されている(特許文献1参照)。しかし,この特許文献1には,測定する特性のカテゴリに対応して設けるスペシャルボードの内部構成について開示されてないため,具体的な回路構成を特徴とするものではない。
特開平10−31054号公報
上記の図7,図8に示す従来の構成によれば,異なる種類のメモリIC等の試験を行う場合に各種類に応じたソケットアダプタを設ける必要があるだけでなく,メモリICの速度の高速化に対して,複数のコネクタ等の回路を通過することによる信号波形が歪む等の問題があった。また,特許文献1の技術によっても,高速のメモリIC等の素子を測定評価するための手段を備えるものではない。
本発明は複数種類のメモリICに対する試験を効率化すると共に高速な素子に対して正確な試験を実行することができるメモリIC等のICの高速試験方法及び装置を提供することを目的とする。
図1は本発明の原理構成を示す図である。図中,1は試験装置本体,1aは各種の試験のための信号をプログラムに従って発生する機能を備える本体回路,2は本体回路1aととソケット基板3を接続するコネクタ,3は特定のIC用のソケット基板,3aは入力信号の波形を逓倍(信号長を短縮)する波形逓倍部,3bは高速信号の波形生成機能と読み出し信号の判定(正誤)機能を備える高速信号処理部,3cは複数種のメモリIC毎に異なる配置を備える複数の入出力端子を共通に設けられた高速信号処理部3bの入出力端子の配列に変換するスクランブル部,4は試験の対象となるICを搭載するICソケット,4aは試験の対象となるICである。
ICの試験を行う場合,ICソケット4に試験対象となるIC4aをセットする。ICソケット4は試験対象となるICの種類に対応して異なる構造(例えば,電極の個数や構造等)を備えるため,このICソケット4はICの種類に対応して異なるものを用意する。IC用のソケット基板3のスクランブル部3cは高速信号処理部3bの多数の入出力用の信号端子(その配置は固定)をICの種類に応じて異なる配置を取るICソケット4の多数の信号端子との間の接続を選択的に切替える。このスクランブル部3cの接続切替は試験装置本体1側からの指令により行われる。試験は本体回路1aに対し試験対象のICの選択,テストパターンの選択等の設定をすると,対応するプログラムに従って決められた速度(周波数)の各種の信号パターンが発生し,正常か否かを判別するための信号(例えば,IC4aがメモリの場合に,書き込んだ後の読み出し信号が正しいかをチェックするための信号)も発生する。これらの信号は,コネクタ2を介してソケット基板3の波形逓倍部3aに供給されると,信号の周波数(信号長)が逓倍(n倍:n≧2)されて,高速信号となって高速信号処理部3bに供給される。高速信号処理部3bにおいて,高速の信号波形が成整されてスクランブル部3cを介してICソケット4の試験対象のIC4aに供給されて,IC4aにおいて入力された高速信号による試験動作が実行される。IC4aから出力された信号(例えば,読み出しデータ信号等)は高速信号処理部3bの判定機能により正しいか判別され,判別結果は試験装置本体1の本体回路1aに供給される。
本発明により,高速試験(例えば,200MHzや400MHz以上)が実現可能となり,試験対象となるICメモリ等の速度が向上してもその速度に準拠した機能試験を行うことができる。
また,高速パターンを発生する波形逓倍部や高速信号処理部を備えるソケット基板を交換することで試験の高速化に対処することができる。
更に,従来のソケットアダプタの方法と基本構成が同じであるため,品種毎に高速化のための専用試験機を開発する必要がなく,コストダウンを図ることができる。
図2は実施例の内部構成を示す。図中,1,2,3,4の各符号は上記図1の符号と同じものを表し,試験装置本体1内の10〜14は図1の本体回路1aを構成し,10はプログラムによる試験の信号を発生し,試験結果である判定結果を発生するコントロール部である。11はコントロール部10の制御によりパターンを発生するパターン発生部,12はコントロール部10の制御によりタイミング信号を発生するタイミング発生部,13は波形生成部,14は試験装置本体1に内蔵する基準クロック(例えば,50MHz)を発生する基準クロック発生部である。また,2aは試験装置本体1に設けられた雄型コネクタ,2bはソケット基板3に設けられた雌型コネクタである。3は試験の対象であるIC用のソケット基板であり,この例は試験対象のICがメモリIC(符号40で表す)である場合について説明する。ソケット基板3内の30は試験装置本体1の波形生成部13から出力された波形を逓倍(例えば,4倍)する波形逓倍部(図1の3aに対応),31は波形逓倍部30で逓倍された波形を整形する波形調整部,32はメモリIC40から読み出しを行った時に,読み出されたデータと,波形調整部31から供給される期待値(正しいデータ)とを比較して読み出しが正常か異常かを判別するデータ判定部である。
33はICソケット4の多数の入出力信号の端子(ピン)を波形調整部31及びデータ判定部32の各入出力信号の端子と相互に接続するスイッチング機構を備えたスクランブル部,4は試験対象となるICが交換可能にセットされるICソケット,40は試験対象となるメモリICである。
図3,図4はメモリIC試験のための信号波形の例であり,図3は試験装置本体で発生する信号波形,図4はソケット基板で発生する信号波形を示す。なお,この例のメモリICはSDRAM(Synchronous Randum Access Memory) であるものとする。
図2のコントロール部10は,試験対象ICの選択,テストの種類に対応したテストパターンの選択等の設定に応じ,対応するプログラムの制御によりパターン発生部11から図3の(1) のa〜eに示すような波形が生成される。ここで,aのRAS(ローアドレスストローブ),bのCAS(カラムアドレスストローブ),cのWE(書き込みイネーブル),dのADDRESS(アドレス),eのDIN(データイン:書き込みデータ)である。これらの信号は波形生成部13に入力して,タイミング発生部12からのRAS,CAS,WE,ADDRESS及びDINのそれぞれに対応するクロックCLK1の立上りエッジとCLK2の立上りエッジにより波形整形を行う。すなわち,図3の(2) に示すa1のRASCLK1とa2のRASCLK2の立上りによりa3に示すRASが生成される。この時,RASCLK1は2.5nsだけローレベルになる。また,b1,b2に示すCASCLK1,CASCLK2によりb3に示すCASの波形が生成される。同様に,c1,c2からc3に示すWEがの波形が生成され,d1,d2に示すADDRESS ROW のCLK1,CLK2とd3,d4に示すADDRESS COLUMNのCLK1,CLK2からd5に示すADDRESS(ROW,COLUMN) の波形が生成され,e1,e2に示すDINのCLK1,CLK2からe3に示すDINの波形が生成される。なお,この波形の生成は従来の技術と同じである。
上記図3により生成された波形のRAS(図3のa3),CAS(同b3),WE(同c3),ADDRESS(同d5),DIN(同e3)の各信号及びクロック(CLK)がICソケット4に供給されると,波形逓倍部(図2の30)で4逓倍されて図4の(1) に示す波形が出力される。この波形は,aのCLK(クロック)の信号波形は周期が5nsとなり,図4のbのRAS,cのCAS,dのWE,eのADDRESS及びfのDINも,それぞれローレベルの期間が2.5nsであり,上記図3に示す信号の周波数である20nsの1/4である。この図4の(1) の波形の信号は波形調整部(図2の31)に供給されると,RASとCAS間を基準クロックに同期して,この例では試験対象のメモリICの規格に合わせて1クロック間隔をあけるよう調整される。この波形調整により図4の(2) のa1,b1,c1,d1,e1,f1に示すような波形が生成される。
波形調整部31からの信号はスクランブル部33を通ってICソケット4に装着されたメモリIC40に入力され,メモリIC40に対してデータ(DIN)を書き込むか,書き込んだデータを読み出すよう駆動する。メモリIC40にデータを書き込んだ後,読み出し動作をした場合,データ判定部32においてメモリIC40からの読み出しデータと,波形調整部31から出力された期待値データ(図4のf1に示すデータ入力DINにより与えられる)とを比較して,メモリIC40が正常に動作したか判別し,判別結果は試験装置本体1のコントロール部10に供給される。
図5はスクランブル部の構成例を示す。図中,33はスクランブル部,I1 〜Im は試験装置本体1の波形生成部(図2の13)から出力されて,試験対象のメモリICへ入力するための各種の信号が供給される入力端子を表し,O1 〜On は試験対象のメモリICから出力された各種の信号を試験装置本体1へ送出するための出力端子を表す。S1 〜Sm+n は試験対象のメモリICと接続する端子であり,メモリICへ入力する信号が発生する入力端子とメモリICから出力された信号が発生する出力端子の両方が含まれている。330は複数の入力端子I1 〜Im からの入力信号により駆動されるドライバ,331は試験対象のメモリICから出力された信号を受け取って増幅するレシーバである。332−1〜332−mは試験装置本体1側からの入力信号が供給される入力端子I1 〜Im の信号をメモリIC側の端子S1 〜S(m+n)の中のメモリICの規格により決まる各入力端子と接続するよう切替える選択スイッチ,332−(m+1)〜332−(m+n)は試験対象のメモリICから発生した出力信号が発生する端子(端子S1 〜Sm+n の中のメモリICの規格により決まる端子)を試験装置本体1への出力信号を発生する端子O1 〜On と接続するための選択スイッチである。
図5のスクランブル部の例では,試験装置本体1側からの入力信号の端子I1 と接続する選択スイッチ332−1は端子S2と接続するよう切替えられ,入力信号の端子I2 のと接続する選択スイッチ332−2は端子S1と接続するよう切替えられ,他の各選択スイッチもそれぞれ切替えられる。各選択スイッチは半導体回路により構成され,試験装置本体1から試験対象のICの規格に対応して供給される制御信号により選択状態が切替えられる。
図6は本発明による試験装置本体とソケット基板の組み合わせの構成例を示す。図6の(1) はICの種類Aのための構成,(2) はICの種類Bのための構成である。図中,1は試験装置本体で,内部の構成は図示省略されているが,図2の試験装置本体1内に示す,コントロール部10,パターン発生部11,タイミング発生部12,波形生成部13,基準クロック発生部14を含む基本回路を備えている。3はソケット基板であり,30aは上記図2に示す波形逓倍回路30,波形調整部31,データ判定部32を含む高速生成回路であり,33はスクランブル部(ピンスクランブルという場合もある),4はソケットであり,図6の(1) の場合はAという種類のICが試験対象としてセットされ,(2) の場合はBという種類のICが試験対象としてセットされている。(1) と(2) の試験装置は,試験装置本体1の基本回路から低速な信号をソケット基板3(スペシャルボード)へ転送した後,波形逓倍回路を含む高速生成回路30aで高速化して,ICソケット4に搭載している試験対象のICの試験測定を行う。この場合,(1) と(2) の試験装置本体1の構成及びソケット基板3の中の高速生成回路30aとスクランブル部33は同じ構成を備え,スクランブル部33内の多数のスイッチ(図5の選択スイッチ)は試験装置本体1から,試験対象のICに応じた制御信号により切替えられる。従って,ICの種類(ピンの構造等が相違する)に対応して,ICソケット4を交換すればよく,高速生成回路30a,スクランブル部33は共通の回路を使用することができ,コストダウンが実現できる。
上記図6の(1) に示すAという種類のICの例として,品種がSSRAMとメモリICで,メモリ容量が8Mビットとし,(2) に示すBという種類のICの例として,品種がSDRAMというメモリICで,メモリ容量が128Mビットとすると,端子配列は2つの品種で全く異なる。また,他の種類のICの例として,DDR(Double Data Rate) SDRAMという,クロック信号の立上りと立下り時の両方でデータの読み書きを行う高速のメモリICを試験する場合も,上記のAやBとは異なる端子配列であるが,ICソケット4を交換することで対応することができる。
(付記1) ICの高速試験方法において,試験装置本体で試験のためのパターンを生成して,前記試験装置本体とコネクタを介して接続されたソケット基板に入力し,前記ソケット基板において前記パターン信号の波形を逓倍し,逓倍により高速化した信号をスクランブル部を介して試験対象のICの各端子と接続することを特徴とするICの高速試験方法。
(付記2) 品種選択,テストパターン選択をすることにより試験パターンを生成する本体回路を含む試験装置本体と,前記試験装置本体とコネクタを介して接続されたソケット基板とを備えたICの高速試験装置において,前記ソケット基板に前記試験装置本体からの試験パターンの信号波形を逓倍する波形逓倍部と,前記波形逓倍部により生成された高速波形を整形すると共に試験対象のICからの出力について判定を行う高速信号処理部と,前記高速信号処理部の多数の信号端子のそれぞれを試験対象のICが搭載されるICソケットの対応する各端子と選択接続するスクランブル部とを備え,前記ICソケットに試験対象となるICをセットして高速試験を行うことを特徴とするICの高速試験装置。
(付記3) 付記2において,前記スクランブル部は前記高速信号処理部の各端子とICソケットの各端子の間を接続する多数の選択スイッチにより構成され,前記選択スイッチは,前記試験装置本体の本体回路から試験対象のICの規格に対応した制御信号により切替えることを特徴とするICの高速試験装置。
(付記4) 付記2において,前記ICソケットにセットされたICからの出力信号を受け取ると前記試験装置本体から出力されたデータに基づいて生成された期待値と比較するデータ判定部を備え,前記データ判定部の出力を試験装置本体へ出力することを特徴とするICの高速試験装置。
(付記5) 付記2において,前記ソケット基板の波形逓倍部,高速信号処理部及びスクランブル部は試験の対象となる各種のICに対して共通の構成とし,前記ICソケットだけ試験の対象となるICの種別に応じた構成のソケットに交換して試験を行うことを特徴とするICの高速試験装置。
1 試験装置本体
1a 本体回路
2 コネクタ
3 ソケット基板
3a 波形逓倍部
3b 高速信号処理部
3c スクランブル部
4 ICソケット
4a 試験の対象となるIC
1a 本体回路
2 コネクタ
3 ソケット基板
3a 波形逓倍部
3b 高速信号処理部
3c スクランブル部
4 ICソケット
4a 試験の対象となるIC
Claims (3)
- ICの高速試験方法において,
試験装置本体で試験のためのパターンを生成して,前記試験装置本体とコネクタを介して接続されたソケット基板に入力し,
前記ソケット基板において前記パターン信号の波形を逓倍し,逓倍により高速化した信号を選択切替えされるスクランブル部を介して試験対象のICの端子と接続することを特徴とするICの高速試験方法。 - 品種選択,テストパターン選択をすることにより試験パターンを生成する本体回路を含む試験装置本体と,前記試験装置本体とコネクタを介して接続されたソケット基板とを備えたICの高速試験装置において,
前記ソケット基板に前記試験装置本体からの試験パターンの信号波形を逓倍する波形逓倍部と,前記波形逓倍部により生成された高速波形を整形すると共に試験対象のICからの出力について判定を行う高速信号処理部と,前記高速信号処理部の多数の信号端子のそれぞれを試験対象のICが搭載されるICソケットの対応する各端子と選択接続するスクランブル部とを備え,
前記ICソケットに試験対象となるICをセットして高速試験を行うことを特徴とするICの高速試験装置。 - 請求項2において,
前記スクランブル部は前記高速信号処理部の各端末とICソケットの各端子を接続する多数の選択スイッチにより構成され,前記選択スイッチは,前記試験装置本体の本体回路から試験対象のICの規格に対応した制御信号により切替えることを特徴とするICの高速試験装置。
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